JPH05218519A - 電歪効果素子 - Google Patents
電歪効果素子Info
- Publication number
- JPH05218519A JPH05218519A JP4017342A JP1734292A JPH05218519A JP H05218519 A JPH05218519 A JP H05218519A JP 4017342 A JP4017342 A JP 4017342A JP 1734292 A JP1734292 A JP 1734292A JP H05218519 A JPH05218519 A JP H05218519A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrostrictive effect
- effect element
- electrostrictive
- conductive member
- external electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000000694 effects Effects 0.000 title claims abstract description 65
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims abstract description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 abstract description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 241001391944 Commicarpus scandens Species 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 239000002003 electrode paste Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000007569 slipcasting Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】積層セラミックコンデンサ型の電歪効果素子に
ついて、電圧印加時の内部応力による外部電極切れを防
ぐ。 【構成】電歪材料１の内部の内部電極２ａ，２ｂがそれ
ぞれ外部電極３ａ，３ｂに接続している積層セラミック
型の電歪効果素子が、複数個積み重ねられ接着剤４によ
り接着され、それぞれの外部電極３ａ間、３ｂ間は金属
板６が熱収縮チューブ７によっておしつけられることに
より電気的に接続した構造を有している。 【効果】構造が単位電歪効果素子の積み重ねになってい
る繰返し駆動に対する素子の破断が起こりにくく、また
電圧印加時の素子側面の変形を拘束しないので、外部電
極間に内部応力が生じないため、外部電極の断線を防ぐ
ことができ、信頼性を向上させる効果がある。
ついて、電圧印加時の内部応力による外部電極切れを防
ぐ。 【構成】電歪材料１の内部の内部電極２ａ，２ｂがそれ
ぞれ外部電極３ａ，３ｂに接続している積層セラミック
型の電歪効果素子が、複数個積み重ねられ接着剤４によ
り接着され、それぞれの外部電極３ａ間、３ｂ間は金属
板６が熱収縮チューブ７によっておしつけられることに
より電気的に接続した構造を有している。 【効果】構造が単位電歪効果素子の積み重ねになってい
る繰返し駆動に対する素子の破断が起こりにくく、また
電圧印加時の素子側面の変形を拘束しないので、外部電
極間に内部応力が生じないため、外部電極の断線を防ぐ
ことができ、信頼性を向上させる効果がある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電歪効果素子に関し特に
その積層の構造に関する。
その積層の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】電歪効果素子は固体の電歪効果を利用し
て、電気エネルギーを機械エネルギーに変換するトラン
スデューサである。具体的には電歪効果の大きな固体の
対向する表面に金属膜などの電極を形成し、電極間に電
位差を与えたときに発生する固体の歪を利用する。この
際、電界と平行方向に発生する歪（縦効果歪）は電界強
度が大きくなるほど発生する歪が大きくなるため、電極
間隔を狭くし、これを複数積層して大きな歪を得られる
ようにしたものに積層セラミックコンデンサ型の電歪効
果素子がある。
て、電気エネルギーを機械エネルギーに変換するトラン
スデューサである。具体的には電歪効果の大きな固体の
対向する表面に金属膜などの電極を形成し、電極間に電
位差を与えたときに発生する固体の歪を利用する。この
際、電界と平行方向に発生する歪（縦効果歪）は電界強
度が大きくなるほど発生する歪が大きくなるため、電極
間隔を狭くし、これを複数積層して大きな歪を得られる
ようにしたものに積層セラミックコンデンサ型の電歪効
果素子がある。
【０００３】この積層セラミックコンデンサ型の電歪効
果素子において、より大きな歪を得るためには積層数を
多くすることが考えられる。しかし、積層数の多いもの
は製造技術的に困難であり、かつ製造コスト等の関係で
限界がある。このため、通常は、積層セラミックコンデ
ンサ型の電歪効果素子を複数個積み重ねた構造が用いら
れている。
果素子において、より大きな歪を得るためには積層数を
多くすることが考えられる。しかし、積層数の多いもの
は製造技術的に困難であり、かつ製造コスト等の関係で
限界がある。このため、通常は、積層セラミックコンデ
ンサ型の電歪効果素子を複数個積み重ねた構造が用いら
れている。
【０００４】図３は従来の積層セラミックコンデンサ型
の電歪効果素子を複数個積み重ねた構造の電歪効果素子
の縦断面図である。電歪材料１の内部に内部電極２ａ，
２ｂを一定の間隔で形成した積層セラミックコンデンサ
型の電歪効果素子が、接着剤４によって接着され複数個
積み重ねられている。また、内部電極２ａ，２ｂはそれ
ぞれ側面に形成された外部電極３ａ，３ｂに接続されて
いる。
の電歪効果素子を複数個積み重ねた構造の電歪効果素子
の縦断面図である。電歪材料１の内部に内部電極２ａ，
２ｂを一定の間隔で形成した積層セラミックコンデンサ
型の電歪効果素子が、接着剤４によって接着され複数個
積み重ねられている。また、内部電極２ａ，２ｂはそれ
ぞれ側面に形成された外部電極３ａ，３ｂに接続されて
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図４（ａ）は従来の積
層セラミックコンデンサ型の電歪効果素子の縦断面図で
ある。外部電極３ａ，３ｂ間に電圧を印加した際、図中
Ｘで示した素子中央部は内部電極２ａ，２ｂによって電
界がかかり歪が生じるが、図中Ｙで示した素子側面部は
電界がかからないため歪が生じない。このため、電圧印
加による素子の変形は図４（ｂ）のように端面において
素子中央が凸の形状となる。
層セラミックコンデンサ型の電歪効果素子の縦断面図で
ある。外部電極３ａ，３ｂ間に電圧を印加した際、図中
Ｘで示した素子中央部は内部電極２ａ，２ｂによって電
界がかかり歪が生じるが、図中Ｙで示した素子側面部は
電界がかからないため歪が生じない。このため、電圧印
加による素子の変形は図４（ｂ）のように端面において
素子中央が凸の形状となる。
【０００６】図４（ｃ）は従来の積層セラミックコンデ
ンサ型の電歪効果素子を複数個積み重ねた構造の電歪効
果素子の縦断面図の一部である。個々の積層セラミック
コンデンサ型の電歪効果素子の端面が接着剤４によって
拘束されているため、この構造の素子に電圧を印加する
と図４（ｄ）の様に素子側面で引張応力が生じる。通常
接着剤４は柔らかい樹脂を用いているので素子側面の応
力に追従して変形するが、外部電極３ａ，３ｂは金属粉
を有機溶媒に溶かしてペースト状にしたものを塗布、焼
成してつくる金属薄膜であるためにこの応力によって断
線し易い。このため従来構造の電歪効果素子では電圧印
加によって外部電極が断線し動作不良を起こし易いとい
う問題点があった。
ンサ型の電歪効果素子を複数個積み重ねた構造の電歪効
果素子の縦断面図の一部である。個々の積層セラミック
コンデンサ型の電歪効果素子の端面が接着剤４によって
拘束されているため、この構造の素子に電圧を印加する
と図４（ｄ）の様に素子側面で引張応力が生じる。通常
接着剤４は柔らかい樹脂を用いているので素子側面の応
力に追従して変形するが、外部電極３ａ，３ｂは金属粉
を有機溶媒に溶かしてペースト状にしたものを塗布、焼
成してつくる金属薄膜であるためにこの応力によって断
線し易い。このため従来構造の電歪効果素子では電圧印
加によって外部電極が断線し動作不良を起こし易いとい
う問題点があった。
【０００７】本発明の目的は、電圧印加時の内部応力に
よる外部電極の切れを防ぎ、信頼性の高い電歪効果素子
を提供することにある。
よる外部電極の切れを防ぎ、信頼性の高い電歪効果素子
を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の電歪効果素子
は、電歪効果を示す材料と内部電極が交互に積層され、
各内部電極が一層おきに同一の外部電極に接続してなる
積層セラミック型電歪効果素子を一つの単位とし、前記
一単位電歪効果素子のそれぞれの外部電極が、その外側
に位置し外力が加えられた導電性部材により電気的に接
続されていることを特徴として構成される。
は、電歪効果を示す材料と内部電極が交互に積層され、
各内部電極が一層おきに同一の外部電極に接続してなる
積層セラミック型電歪効果素子を一つの単位とし、前記
一単位電歪効果素子のそれぞれの外部電極が、その外側
に位置し外力が加えられた導電性部材により電気的に接
続されていることを特徴として構成される。
【０００９】又、導電性部材としては金属板，金属線，
ゴム状の導電性部材を用いることを特徴とする。
ゴム状の導電性部材を用いることを特徴とする。
【００１０】又外力としては熱収縮チューブの収縮力を
用いること特徴として構成される。
用いること特徴として構成される。
【００１１】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の第１の実施例による電歪効果素子の
縦断面図である。チタン酸ジルコン酸鉛系の電歪材料１
の予焼粉末に有機溶媒、バインダ、可塑剤を添加してド
クターブレード法によってグリーンシートを作成する。
このグリーンシート上に白金粉末を主成分とする内部電
極２ａ，２ｂをスクリーン印刷し、所定形状に切断し、
所定枚数積層して熱圧着した後１１００℃で焼成する。
さらに、内部電極２ａ，２ｂの端が露出する一対の側面
に銀粉末を主成分とする外部電極ペーストを塗布、焼成
して、外部電極３ａ，３ｂを形成して積層セラミックコ
ンデンサ型の電歪効果素子を作成する。
る。図１は本発明の第１の実施例による電歪効果素子の
縦断面図である。チタン酸ジルコン酸鉛系の電歪材料１
の予焼粉末に有機溶媒、バインダ、可塑剤を添加してド
クターブレード法によってグリーンシートを作成する。
このグリーンシート上に白金粉末を主成分とする内部電
極２ａ，２ｂをスクリーン印刷し、所定形状に切断し、
所定枚数積層して熱圧着した後１１００℃で焼成する。
さらに、内部電極２ａ，２ｂの端が露出する一対の側面
に銀粉末を主成分とする外部電極ペーストを塗布、焼成
して、外部電極３ａ，３ｂを形成して積層セラミックコ
ンデンサ型の電歪効果素子を作成する。
【００１２】次に、この積層セラミックコンデンサ型の
電歪効果素子を所定個数エポキシ系の接着剤４により接
着する。次に、外部電極３ａ，３ｂが形成されている側
面に、あらかじめリード線５を取り付け、金メッキを施
した銅製などの金属板６をあてがい、熱収縮チューブ７
をかぶせる。これを熱風で収縮させて金属板６を外部電
極３ａ，３ｂに密着させる。
電歪効果素子を所定個数エポキシ系の接着剤４により接
着する。次に、外部電極３ａ，３ｂが形成されている側
面に、あらかじめリード線５を取り付け、金メッキを施
した銅製などの金属板６をあてがい、熱収縮チューブ７
をかぶせる。これを熱風で収縮させて金属板６を外部電
極３ａ，３ｂに密着させる。
【００１３】本発明の電歪効果素子に電圧１５０Ｖ、周
波数３０Ｈｚのパルス状の電圧を印加して動作を確認し
たところ、従来構造の電歪効果素子が１０００時間で約
１０％の外部電極断線による動作不良が起こるのに対
し、本発明による電歪効果素子は２０００時間でも正常
に動作することを確認した。
波数３０Ｈｚのパルス状の電圧を印加して動作を確認し
たところ、従来構造の電歪効果素子が１０００時間で約
１０％の外部電極断線による動作不良が起こるのに対
し、本発明による電歪効果素子は２０００時間でも正常
に動作することを確認した。
【００１４】図２は本発明の第２の実施例の縦断面図で
ある。第２の実施例では、第１の実施例と同様の方法で
積層セラミック型の電歪効果素子を作成し、所定個数積
み重ねて接着剤４により接着する。
ある。第２の実施例では、第１の実施例と同様の方法で
積層セラミック型の電歪効果素子を作成し、所定個数積
み重ねて接着剤４により接着する。
【００１５】次に、一方の端に位置する積層セラミック
型の電歪効果素子の外部電極３ａ，３ｂにリード線５を
半田付けする。次に、外部電極３ａ間，３ｂ間にわたっ
てスチールウール８をあてがい、熱収縮チューブ７をか
ぶせる。これに、熱風で収縮させ、スチールウール８を
外部電極３ａ，３ｂに密着させる。
型の電歪効果素子の外部電極３ａ，３ｂにリード線５を
半田付けする。次に、外部電極３ａ間，３ｂ間にわたっ
てスチールウール８をあてがい、熱収縮チューブ７をか
ぶせる。これに、熱風で収縮させ、スチールウール８を
外部電極３ａ，３ｂに密着させる。
【００１６】外部電極間の接続にスチールウールを用い
たことにより、第１の実施例の金属板を用いた場合に比
べ、外部電極との密着性が良くなり、電気的な接続の信
頼性が増す。
たことにより、第１の実施例の金属板を用いた場合に比
べ、外部電極との密着性が良くなり、電気的な接続の信
頼性が増す。
【００１７】図３は本発明の第３の実施例の縦断面図で
ある。チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電セラミ
ック粉末と有機バインダと溶剤とを混合した泥漿をスリ
ップキャスティングにより成膜，乾燥した８０μｍ厚さ
のグリーンシート上にパラジウムを３０％混合した銀・
パラジウム粉末をビヒクルに分散させたペーストをスク
リーン印刷により印刷・成形した。
ある。チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電セラミ
ック粉末と有機バインダと溶剤とを混合した泥漿をスリ
ップキャスティングにより成膜，乾燥した８０μｍ厚さ
のグリーンシート上にパラジウムを３０％混合した銀・
パラジウム粉末をビヒクルに分散させたペーストをスク
リーン印刷により印刷・成形した。
【００１８】このシートを３０枚積層し、最後にペース
トを印刷していないグリーンシートを重ね、１２０℃で
２００Ｋｇｆ／ｃｍの圧力を加え、熱圧着し、一体化し
た後、所定の大きさに切断する。これを１０００℃で２
時間焼成しグリーンシートを電歪材料１に、銀・パラジ
ウム粉末を内部電極２とした。内部電極２が露出してい
る部分に銀粉末とガラスフリット粉末を５％含むペース
トを塗布し、８００℃で一時間焼成し、外部電極３と
し、縦，横５ｍｍ，厚さ２ｍｍの単位の電歪効果素子と
した。
トを印刷していないグリーンシートを重ね、１２０℃で
２００Ｋｇｆ／ｃｍの圧力を加え、熱圧着し、一体化し
た後、所定の大きさに切断する。これを１０００℃で２
時間焼成しグリーンシートを電歪材料１に、銀・パラジ
ウム粉末を内部電極２とした。内部電極２が露出してい
る部分に銀粉末とガラスフリット粉末を５％含むペース
トを塗布し、８００℃で一時間焼成し、外部電極３と
し、縦，横５ｍｍ，厚さ２ｍｍの単位の電歪効果素子と
した。
【００１９】次に、この単位電歪効果素子を外部電極３
ａ，３ｂを同一方向にそろえて５個積み重ね、カーボン
を分散した導電性ゴム９を外部電極３ａ，３ｂの上に重
ね、その上からフッ素樹脂性の熱収縮チューブ７を被せ
て２００℃で１５分間加熱し、収縮させ全体を保持す
る。
ａ，３ｂを同一方向にそろえて５個積み重ね、カーボン
を分散した導電性ゴム９を外部電極３ａ，３ｂの上に重
ね、その上からフッ素樹脂性の熱収縮チューブ７を被せ
て２００℃で１５分間加熱し、収縮させ全体を保持す
る。
【００２０】リード線５は導電性ゴム９と熱収縮性チュ
ーブ７の間にはさみ込むことにより固定し、電気的に接
続する。
ーブ７の間にはさみ込むことにより固定し、電気的に接
続する。
【００２１】図４に本実施例の電歪効果素子に電圧を印
加した様子を示す縦断面図を示す。図より明らかなよう
に本実施例では、全体が複数個の単位電歪効果素子に分
割されているので、個々の電歪効果素子の端面の凸面状
になる程度は、従来の電歪効果素子に比べ小さくなって
いる。さらに圧電活性部Ｘ，圧電不活性部Ｙとの境界の
応力も小さくなっている。
加した様子を示す縦断面図を示す。図より明らかなよう
に本実施例では、全体が複数個の単位電歪効果素子に分
割されているので、個々の電歪効果素子の端面の凸面状
になる程度は、従来の電歪効果素子に比べ小さくなって
いる。さらに圧電活性部Ｘ，圧電不活性部Ｙとの境界の
応力も小さくなっている。
【００２２】図５は本発明の第４の実施例の斜視図であ
る。図５に示すように単位電歪効果素子は実施例３と同
様の製造方法、および構造である。単位電歪効果素子を
外部電極を同一方向にそろえて５個積み重ね、金，銀，
白金，ニッケルを分散した導電性ゴム９を外部電極の上
に重ねた後、断面がコの字のポリカーボネート製のホル
ダー１０で導電性ゴム９の上からはさみ込み、全体を支
えている。
る。図５に示すように単位電歪効果素子は実施例３と同
様の製造方法、および構造である。単位電歪効果素子を
外部電極を同一方向にそろえて５個積み重ね、金，銀，
白金，ニッケルを分散した導電性ゴム９を外部電極の上
に重ねた後、断面がコの字のポリカーボネート製のホル
ダー１０で導電性ゴム９の上からはさみ込み、全体を支
えている。
【００２３】なお、第３，第４の実施例では導電性ゴム
を導電性部材として使用しているので、電圧印加時に単
位の電歪効果素子の端面が凸面になって、すきまがあい
ても、ゴムの弾性によって接続が切断させることはな
く、また第４の実施例の如くホルダーで容易に電気的接
続をとることができる。
を導電性部材として使用しているので、電圧印加時に単
位の電歪効果素子の端面が凸面になって、すきまがあい
ても、ゴムの弾性によって接続が切断させることはな
く、また第４の実施例の如くホルダーで容易に電気的接
続をとることができる。
【００２４】次に、従来の電歪効果素子と本発明の第３
の実施例について電圧を印加し、繰り返し駆動回数と不
良率の関係を図６に示した。外形は両方とも断面５ｍｍ
×５ｍｍ，長さ２０ｍｍで、０〜１５０Ｖのサイン波を
３０Ｈｚの周期で印加したもので、上幅に改善されたこ
とを示している。
の実施例について電圧を印加し、繰り返し駆動回数と不
良率の関係を図６に示した。外形は両方とも断面５ｍｍ
×５ｍｍ，長さ２０ｍｍで、０〜１５０Ｖのサイン波を
３０Ｈｚの周期で印加したもので、上幅に改善されたこ
とを示している。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は電歪効果素
子を複数個の素子に分割し、それらの個々の外部電極を
金属板、スチールウール，導電性ゴムなどの導電性部材
で接続し、これを熱収縮チューブなどによって密着させ
る構造としたので、まず単位電歪効果素子の高さが低く
なっているため、圧電活性部と圧電不活性部の境界に発
生する内部応力が小さくなり繰り返し駆動による素子の
破断が生じにくくなる。
子を複数個の素子に分割し、それらの個々の外部電極を
金属板、スチールウール，導電性ゴムなどの導電性部材
で接続し、これを熱収縮チューブなどによって密着させ
る構造としたので、まず単位電歪効果素子の高さが低く
なっているため、圧電活性部と圧電不活性部の境界に発
生する内部応力が小さくなり繰り返し駆動による素子の
破断が生じにくくなる。
【００２６】また、上記構造は電圧印加時の素子側面の
変形を拘束しないようにすることができるので、外部電
極間に内部応力が生じないため、外部電極の断線を防ぐ
ことができ、信頼性を向上させるという効果が得られ
る。
変形を拘束しないようにすることができるので、外部電
極間に内部応力が生じないため、外部電極の断線を防ぐ
ことができ、信頼性を向上させるという効果が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例の電歪効果素子の縦断面
図である。
図である。
【図２】本発明の第２の実施例の電歪効果素子の縦断面
図である。
図である。
【図３】本発明の第３の実施例の電歪効果素子の縦断面
図である。
図である。
【図４】本発明の第３の実施例に電圧を印加したときの
変形を示す縦断面図である。
変形を示す縦断面図である。
【図５】本発明の第４の実施例の電歪効果素子の斜視図
である。
である。
【図６】本発明の第３の実施例と従来の電歪効果素子の
繰り返し駆動による不良率を示すグラフである。
繰り返し駆動による不良率を示すグラフである。
【図７】従来構造の電歪効果素子の縦断面図である。
【図８】従来の積層セラミック型電歪効果素子の縦断面
図，電圧を印加したときの変形を示す縦断面図，積層し
た電歪効果素子の一部縦断面図，おび電圧を印加した際
の様子を示す縦断面図である。
図，電圧を印加したときの変形を示す縦断面図，積層し
た電歪効果素子の一部縦断面図，おび電圧を印加した際
の様子を示す縦断面図である。
１ 電歪材料 ２ａ，２ｂ 内部電極 ３ａ，３ｂ 外部電極 ４ 接着剤 ５ リード線 ６ 金属板 ７ 熱収縮チューブ ８ スチールウール ９ 導電性ゴム １０ ホルダー
Claims (7)
- 【請求項１】 電歪効果を示す材料と内部電極とが交互
に積層され、各内部電極が一層おきに同一の外部電極に
接続してなる積層セラミック型電歪効果素子を一つの単
位とし、前記一単位の電歪効果素子を複数個積み重ねて
積層体とし、該積層体の単位電歪効果素子のそれぞれの
外部電極が、その外側に位置し外力が加えられた導電性
部材により電気的に接続されていることを特徴とする電
歪効果素子。 - 【請求項２】 前記導電性部材が金属板又は金属線又は
ゴム状の導電性部材であることを特徴とする請求項１記
載の電歪効果素子。 - 【請求項３】 前記導電性部材の金属線がスチールウー
ムであること特徴とする請求項２記載の電歪効果素子。 - 【請求項４】 前記導電性部材のゴム状の導電性部材が
導電性材料としてカーボンを含むことを特徴とする請求
項２記載の電歪効果素子。 - 【請求項５】 前記導電性部材のゴム状の導電性部材が
導電性材料として金，銀，ニッケル，白金のうちのいず
れか、又はこれらの合金を含むことを特徴とする請求項
２記載の電歪効果素子。 - 【請求項６】 前記外力が熱収縮チューブの収縮力であ
ることを特徴とする請求項１記載の電歪効果素子。 - 【請求項７】 前記外力がコの字型のホルダーであるこ
とを特徴とする請求項１記載の電歪効果素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4017342A JPH05218519A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 電歪効果素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4017342A JPH05218519A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 電歪効果素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05218519A true JPH05218519A (ja) | 1993-08-27 |
Family
ID=11941386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4017342A Pending JPH05218519A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 電歪効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05218519A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6333587B1 (en) * | 1998-12-11 | 2001-12-25 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric actuator |
| JP2003060249A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-28 | Nec Tokin Ceramics Corp | 積層型圧電セラミック |
| US7276841B2 (en) | 2003-12-26 | 2007-10-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Thick film electrode and multilayer ceramic electronic device |
| JP2011147514A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Sanyo Product Co Ltd | 遊技機 |
| JP2011147515A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Sanyo Product Co Ltd | 遊技機 |
| JP2011181958A (ja) * | 2011-05-23 | 2011-09-15 | Taiheiyo Cement Corp | 積層型圧電アクチュエータの製造方法 |
| JP2012209579A (ja) * | 2012-07-09 | 2012-10-25 | Denso Corp | 積層型圧電素子 |
| JP2013048149A (ja) * | 2011-08-29 | 2013-03-07 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電アクチュエータ |
| JP2013543662A (ja) * | 2010-10-19 | 2013-12-05 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | スタック可能な圧電アクチュエータ素子 |
| DE102004012282B4 (de) * | 2003-03-13 | 2014-02-13 | Denso Corporation | Piezoelektrisches Schichtelement und Herstellungsverfahren dafür |
-
1992
- 1992-02-03 JP JP4017342A patent/JPH05218519A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6333587B1 (en) * | 1998-12-11 | 2001-12-25 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric actuator |
| JP2003060249A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-28 | Nec Tokin Ceramics Corp | 積層型圧電セラミック |
| DE102004012282B4 (de) * | 2003-03-13 | 2014-02-13 | Denso Corporation | Piezoelektrisches Schichtelement und Herstellungsverfahren dafür |
| US7276841B2 (en) | 2003-12-26 | 2007-10-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Thick film electrode and multilayer ceramic electronic device |
| JP2011147514A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Sanyo Product Co Ltd | 遊技機 |
| JP2011147515A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Sanyo Product Co Ltd | 遊技機 |
| JP2013543662A (ja) * | 2010-10-19 | 2013-12-05 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | スタック可能な圧電アクチュエータ素子 |
| US9455397B2 (en) | 2010-10-19 | 2016-09-27 | Epcos Ag | Stackable piezoelectric actuator component |
| JP2011181958A (ja) * | 2011-05-23 | 2011-09-15 | Taiheiyo Cement Corp | 積層型圧電アクチュエータの製造方法 |
| JP2013048149A (ja) * | 2011-08-29 | 2013-03-07 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電アクチュエータ |
| JP2012209579A (ja) * | 2012-07-09 | 2012-10-25 | Denso Corp | 積層型圧電素子 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0247540A2 (en) | Electrostriction effect element | |
| JPH08242025A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPWO2007114002A1 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPH05218519A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2986706B2 (ja) | 圧電素子及びそれを用いた圧電アクチュエータ | |
| JP2007287910A (ja) | 積層型圧電バイモルフ素子 | |
| JP3668072B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH11112046A (ja) | 圧電アクチュエータ及びその製造方法 | |
| JPS63153870A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP7163570B2 (ja) | 積層型圧電素子及び振動デバイス | |
| WO2009125553A1 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP3881474B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPWO2010024276A1 (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JP3506614B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPS6388875A (ja) | 積層型圧電素子の製造方法 | |
| JPH04264784A (ja) | 電歪効果素子およびその製造方法 | |
| JP3250918B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JP3017784B2 (ja) | 積層型変位素子 | |
| JPH04273183A (ja) | 圧電効果素子および電歪効果素子並びにその製造方法 | |
| JP3377922B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH01184968A (ja) | 積層型圧電素子の製造法 | |
| JP3227896B2 (ja) | 積層型圧電体 | |
| JP2882164B2 (ja) | 電歪効果素子およびその製造方法 | |
| JPH11238918A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH1126828A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980929 |