JPH11238918A

JPH11238918A - 積層型圧電アクチュエータ

Info

Publication number: JPH11238918A
Application number: JP4080898A
Authority: JP
Inventors: Koki Ashida; 幸喜芦田; Katsuhiko Onizuka; 克彦鬼塚; Makoto Higashibetsupu; 誠東別府; Tomohiro Kawamoto; 智裕川元; Takeshi Setoguchi; 剛瀬戸口
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1998-02-23
Filing date: 1998-02-23
Publication date: 1999-08-31

Abstract

(57)【要約】【課題】積層体外周面に被覆される絶縁性樹脂の剥離を
防止して、マイグレーションを抑制し、耐久性の高い積
層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】複数の圧電板１１と複数の金属薄板１４と
を交互に積層し、該金属薄板１４を導電性接着剤により
各圧電板１１に接合した積層体１を具備するとともに、
から金属薄板１４に形成された接続用突起１５を積層体
１から交互に少なくとも２方向に突出せしめ、同一方向
に突出した接続用突起１５同士を電気的に接続し、さら
に、積層体１の外周面に絶縁性樹脂２０を被覆してなる
積層型圧電アクチュエータであって、圧電板１１の絶縁
性樹脂２０と当接する不活性部分Ａの面粗さＲａ₁を、
圧電板１１の導電性接着剤と当接する活性部分Ｂの面粗
さＲａ₂よりも大きくした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、積層型圧電アクチ
ュエータに係わり、例えば、光学装置等の精密位置決め
装置や振動防止用の駆動素子、自動車用エンジンの燃料
噴射用の駆動素子等に使用される積層型圧電アクチュエ
ータに関するものである。

【０００２】

【従来技術】従来から、電極が形成された圧電板を複数
枚積層して形成された積層型圧電アクチュエータが知ら
れていた。このような積層型圧電アクチュエータでは、
圧電板に電圧を印加して逆圧電効果によって数十μｍ程
度伸長させ、アクチュエータの駆動力源とするものであ
る。

【０００３】積層型の圧電アクチュエータを作製する方
法としては、同時焼成による方法がある。この同時焼成
による方法では、圧電板の厚みを薄く作製することが比
較的容易であり、印加電界を高くできるために低電圧高
変位が可能であるが、圧電板材料（例えば、Ｐｂ（Ｚ
ｒ，Ｔｉ）Ｏ₃等のセラミックスからなる）と同時焼成
を行なうため、内部電極材料としては、ＰｄやＰｔ等の
貴金属を使用する必要があり、積層数が増すにしたがっ
てコスト高になるという問題があった。

【０００４】そこで、従来、両面に金属電極を形成した
圧電板を複数積層し、金属電極間に金属薄板を配置し、
これらの金属薄板に形成された接続用突起を圧電板の外
周縁に対して所定の空隙を残すように軸方向に折り曲
げ、同一極性の接続用突起に重なり合わせて接合し導通
させ、接続用突起と圧電板の外周縁との空隙（間隔０．
５ｍｍ）に、弾性率が０．３〜１０ｋｇｆ／ｍｍ²の絶
縁コーティング材（シリコーン系）を充填するととも
に、積層体全面に前記絶縁コーティング材を被覆した積
層型圧電アクチュエータが開示されている（実開平３−
５０３５７号公報）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この実
開平３−５０３５７号公報に開示された積層型圧電アク
チュエータでは、絶縁コーティング材が連続駆動時の振
動により圧電板の外周面から剥離し、圧電板と絶縁コー
ティング材との隙間から湿気が進入しマイグレーション
を引き起こし、耐久性を低下させるという問題があっ
た。

【０００６】本発明は積層体外周面に被覆される絶縁性
樹脂の剥離を防止して、マイグレーションを抑制し、耐
久性の高い積層型圧電アクチュエータを提供することを
目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の積層型圧電アク
チュエータは、複数の圧電板と複数の金属薄板とを交互
に積層し、該金属薄板を導電性接着剤により前記各圧電
板に接合した積層体を具備するとともに、前記金属薄板
に形成された接続用突起を前記積層体から交互に少なく
とも２方向に突出せしめ、同一方向に突出した前記接続
用突起同士を電気的に接続し、さらに、前記積層体の外
周面に絶縁性樹脂を被覆してなる積層型圧電アクチュエ
ータであって、前記圧電板の絶縁性樹脂と当接する不活
性部分の面粗さＲａ₁を、前記圧電板の導電性接着剤と
当接する活性部分の面粗さＲａ₂よりも大きくしたもの
である。ここで、圧電板の絶縁性樹脂と当接する不活性
部分の面粗さＲａ₁が５〜１０μｍであることが望まし
い。

【０００８】また、本発明の積層型圧電アクチュエータ
は、複数の圧電板と複数の金属薄板とを交互に積層し、
該金属薄板を導電性接着剤により前記各圧電板に接合し
た積層体を具備するとともに、前記金属薄板に形成され
た接続用突起を前記積層体から交互に少なくとも２方向
に突出せしめ、同一方向に突出した前記接続用突起同士
を電気的に接続し、さらに、前記積層体の外周面に絶縁
性樹脂を被覆してなる積層型圧電アクチュエータであっ
て、前記金属薄板の外周部に、前記絶縁性樹脂が充填さ
れた複数の凹部を形成してなるものである。ここで、凹
部の金属薄板中央部側には拡径凹部が形成されているこ
とが望ましい。

【０００９】

【作用】本発明の積層型圧電アクチュエータでは、圧電
板の絶縁性樹脂と当接する不活性部分の面粗さＲａ
₁を、圧電板の導電性接着剤と当接する活性部分の面粗
さＲａ₂よりも大きくしたので、絶縁性樹脂が圧電板の
外周面に強く付着し、圧電板からの絶縁性樹脂の剥離を
有効に防止することができ、圧電板と絶縁性樹脂間の隙
間からの湿気の進入を防ぎ、マイグレーションを抑制し
て耐久性および長期にわたる信頼性を向上できる。

【００１０】また、圧電板の導電性接着剤と当接する活
性部分の面粗さＲａ₂は従来と同様十分に小さいため、
圧電板間の隙間をなくして積層体の弾性率を高く維持で
き、変位量を従来と同様大きく維持できる。

【００１１】さらに、圧電板の絶縁性樹脂と当接する不
活性部分の面粗さＲａ₁を５〜１０μｍとすることによ
り絶縁性樹脂の圧電板への付着強度をさらに向上でき
る。

【００１２】また、金属薄板の外周部に複数の凹部を形
成したので、積層体の外周面に被覆される絶縁性樹脂が
凹部内に充填され、アンカー効果により絶縁性樹脂が圧
電板の外周面に強く付着し、圧電板からの絶縁性樹脂の
剥離を有効に防止することができ、圧電板と絶縁性樹脂
間の隙間からの湿気の進入を防ぎ、マイグレーションを
抑制して耐久性および長期にわたる信頼性を向上でき
る。

【００１３】さらに、凹部の金属薄板中央部側に拡径凹
部を形成することにより、絶縁性樹脂のアンカー効果を
さらに向上でき、絶縁性樹脂の圧電板への付着強度をさ
らに向上できる。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１および図２は本発明の積層型
圧電アクチュエータを示すもので、符号１１は円板状の
圧電板を示している。尚、図１においては絶縁性樹脂を
省略した。これらの圧電板１１はＰｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ
₃（以下ＰＺＴと略す）を主成分とする焼結体である。

【００１５】圧電板１１を構成する圧電材料は、例え
ば、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電セラミッ
クス材料などが使用されるが、これに限定されるもので
はなく、圧電性を有するセラミックスであれば何れでも
良い。この圧電板１１を構成する圧電材料としては、圧
電歪み定数ｄ₃₃が高いものが望ましい。

【００１６】特に、金属成分としてＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、
Ｚｎ、Ｓｂを含む複合ペロブスカイト型化合物であっ
て、これらの金属元素のモル比による組成式を、Ｐｂ
_1-x-yＳｒ_xＢａ_y（Ｚｎ_1/3Ｓｂ_2/3）_a（Ｎｉ_1/2
Ｔｅ_1/2）_bＺｒ_cＴｉ_1-a-b-cＯ₃と表わした時、
ｘ、ｙ、ａ、ｂ、ｃのモル比が、０≦ｘ≦０．１２、０
≦ｙ≦０．１２、０＜ｘ＋ｙ、０．０５≦ａ≦０．１
２、０≦ｂ≦０．０１５、０．４３≦ｃ≦０．５２を満
足する基本成分１００重量部に対して、等モル比からな
るＰｂＯおよびＮｂ₂Ｏ₅を合量で０．２〜１．２重量
部添加含有してなる圧電磁器組成物が望ましい。

【００１７】この圧電板１１の厚みｔは、小型化および
高い電圧を印加するという点から、０．２〜０．６ｍｍ
であることが望ましい。

【００１８】そして、複数の圧電板１１が積層されてお
り、その間には２層の導電性接着層１２が形成され、そ
れらの導電性接着層１２間には、図４に示すように、円
板状の金属薄板１４が介装され、積層体１が形成されて
いる。これら金属薄板１４には接続用突起１５が形成さ
れており、圧電板１１の径方向に突出している。

【００１９】また、金属薄板１４が交互に９０度反対を
向くように、圧電板１１の間に介装されており、これら
金属薄板１４は接続用突起１５の位置により正電極用金
属薄板および負電極用金属薄板とされている。そして、
金属薄板１４の接続用突起１５の先端部が折曲され、そ
の先端部が同一方向に突出した接続用突起１５に接続さ
れている。

【００２０】金属薄板１４および接続用突起１５は導電
性を有するもので、例えば、銀、黄銅、銅、ステンレス
等の金属が好ましい。金属薄板１４の厚さは、変位量に
寄与しないためにできるだけ薄いもの、例えば２０〜５
０μｍのものが好ましい。また、金属薄板１４として
は、他の金属薄板１４との短絡や放電を防止するため
に、積層体の外周面に露出しないように圧電板１１より
小さいことが望ましい。

【００２１】導電性接着層１２は導電性接着剤を圧電板
１１に塗布し乾燥することによって形成されるが、この
導電性接着剤は、Ａｇ等の金属粉末とガラス成分とから
なり、４００〜６００℃程度で溶融するものが望まし
い。これは、積層時に加圧加熱すると導電性接着剤に含
有されているガラス成分が溶融し、圧電板１１同士を強
固に接合し、高電界の繰り返し印加によって発生する界
面での剥離などを防止することができ、積層体１の信頼
性を向上できるからである。導電性接着剤は、特に、Ａ
ｇ粉末を７０〜９８重量％と、ＰｂＯ−ＳｉＯ₂−Ｂ₂
Ｏ₃からなるガラス成分２〜３０重量％とからなること
が望ましい。

【００２２】そして、図２に示すように、積層体１の外
周面に絶縁性樹脂２０が被覆されている。即ち、接続用
突起１５と圧電板１１の外周面との間にも絶縁性樹脂２
０が充填されている。使用される絶縁性樹脂２０は、絶
縁性が高く、常温から２００℃までの温度で使用でき、
弾性率が低いという点からシリコン系の樹脂もしくはシ
リコンゴムが望ましい。これは繰り返しの応力に対して
高い弾性率の樹脂であれば、接続用突起１５に応力集中
が生じ、接続用突起１５が断裂してしまうためである。

【００２３】また、圧電板１１の外周面と接続用突起１
５との間に隙間がないように絶縁性樹脂２０で充填する
には、あらかじめ粘度等の条件を調節し、真空脱泡によ
りエアーを完全に除去していくようにすることが重要で
ある。

【００２４】そして、圧電板１１の絶縁性樹脂２０と当
接する不活性部分Ａの面粗さＲａ₁が、圧電板１１の導
電性接着層１２と当接する活性部分Ｂの面粗さＲａ₂よ
りも大きくされている。不活性部分Ａと活性部分Ｂを図
３（ａ）、３（ｂ）を用いて説明すると、不活性部分Ａ
は圧電板１１の外周面にドーナツ状に形成され、活性部
分Ｂは圧電板１１の上下面に円形状に形成されている。
尚、面粗さＲａ₁、Ｒａ₂は、中心線平均粗さである。

【００２５】一般に、積層体１の弾性率を高くして変位
量を増加させるために、導電性接着層１２と当接する部
分の圧電板の表面は面粗さＲａ₂が０．３〜０．５μｍ
程度に研摩されているため、活性部分Ｂの面粗さＲａ₂
は０．３〜０．５μｍ程度である。一方、不活性部分Ａ
の面粗さＲａ₁は、活性部分Ｂの面粗さＲａ₂よりも大
きい５〜１０μｍであることが絶縁性樹脂２０の付着強
度という点から望ましい。これは、表面粗さＲａ₁が５
μｍ以下である場合には連続駆動時の振動により絶縁性
樹脂２０の剥離が生じ易く、１０μｍ以上になると圧電
板１１の脱粒及びクラックの進展の原因になり耐久性が
低下するからである。

【００２６】以上のように構成された積層型圧電アクチ
ュエータは以下のようにして製造される。先ず、圧電板
１１の表面を、面粗さＲａ₂が０．３〜０．５μｍ程度
に研摩する。そして、圧電板１１中央の両面に導電性接
着剤を塗布し、所定温度で焼き付け、導電性接着層１２
を形成する。

【００２７】この後、導電性接着層１２の形成されてい
る部分をマスキングし、そのマスキング部分以外を、サ
ンドブラストなどにより所定の面粗さに加工を行う。

【００２８】そして、圧電体１１と金属薄板１４とを交
互に積層し、加熱して接合する。この後、金属薄板１４
の接続用突起１５の先端部を折曲し、その先端部を同一
方向に突出した接続用突起１５にハンダ等により接続す
る。

【００２９】最後に、積層体１の外周面に絶縁性樹脂２
０を被覆することにより、本発明の積層型圧電アクチュ
エータが作製される。

【００３０】以上のように構成された積層型圧電アクチ
ュエータでは、圧電板１１の絶縁性樹脂２０と当接する
不活性部分Ａの面粗さＲａ₁を、圧電板１１の導電性接
着層１２と当接する活性部分Ｂの面粗さＲａ₂よりも大
きくしたので、絶縁性樹脂２０が圧電板１１の外周面に
強く付着し、圧電板１１からの絶縁性樹脂２０の剥離を
有効に防止することができ、圧電板１１と絶縁性樹脂２
０間の隙間からの湿気の進入を防ぎ、マイグレーション
を抑制して耐久性および長期にわたる信頼性を向上でき
る。また、活性部分Ｂの面粗さＲａ₂は従来と同様と小
さくできるため、積層体１の弾性率を高く維持でき、変
位量が低下することがない。

【００３１】さらに、圧電板１１の絶縁性樹脂２０と当
接する不活性部分Ａの面粗さＲａ₁を５〜１０μｍとす
ることにより、絶縁性樹脂２０の圧電板１１への付着強
度をさらに向上できる。

【００３２】本発明の他の積層型圧電アクチュエータで
は、図５に示すように圧電体１１間に介装される金属薄
板１４および接続用突起１５の外周部に、絶縁性樹脂２
０が浸入する複数の凹部２５が形成されている。この凹
部２５の金属薄板１４中央部側には、図６に示すように
円形の拡径凹部２７が形成され、凹部２５および拡径凹
部２７には絶縁性樹脂２０の被覆時に絶縁性樹脂２０が
充填されることになる。

【００３３】金属薄板１４の凹部２５および拡径凹部２
７はエッチングにより形成されている。円形の拡径凹部
２７の直径は０．２〜０．５ｍｍが望ましい。これは
０．２ｍｍ以下の場合加工が困難であり、また絶縁性樹
脂２０が浸透し難いからである。また０．５ｍｍ以上の
場合では、金属薄板１４に占める拡径凹部２７の面積が
大きくなり、荷重変位特性等のアクチュエータの荷重特
性に影響を及ぼすためである。凹部２５の幅も同様に
０．２〜０．５ｍｍが好ましいが、アンカー効果の点か
ら拡径凹部２７の径の約１／２程度が望ましい。尚、拡
径凹部２７は必ずしも円形である必要はなく、例えば四
角形であっても良いことは勿論である。

【００３４】金属薄板１４の凹部２５および拡径凹部２
７に絶縁性樹脂２０を充填するには、絶縁性樹脂２０の
粘度等の条件を予め調節し、真空脱泡によりエアーを完
全に除去していくようにすることが重要である。

【００３５】尚、金属薄板１４を導電性接着層１２より
も凹部２５および拡径凹部２７の形成分だけ大きく作製
し、金属薄板１４の外周部が圧電板１１の径方向に導電
性接着層１２から突出させても良い。この場合には絶縁
性樹脂２０の凹部２５および拡径凹部２７への充填が確
実に行なわれ、絶縁性樹脂２０の剥離を確実に防止でき
る。

【００３６】以上のように構成された積層型圧電アクチ
ュエータでは、金属薄板１４の外周部に凹部２５を形成
したので、積層体１の外周面に被覆される絶縁性樹脂２
０が凹部２５内に充填され、アンカー効果により絶縁性
樹脂２０が圧電板１１の外周面に強く付着し、圧電板１
１からの絶縁性樹脂２０の剥離を有効に防止することが
でき、圧電板１１と絶縁性樹脂２０間の隙間からの湿気
の進入を防ぎ、マイグレーションを抑制して耐久性およ
び長期にわたる信頼性を向上できる。

【００３７】さらに、凹部２５の金属薄板１４中央部側
に拡径凹部２７を形成することにより、絶縁性樹脂２０
のアンカー効果をさらに向上でき、絶縁性樹脂２０の圧
電板１１への付着強度をさらに向上できる。また、接続
用突起１５の外周部にも凹部２５および拡径凹部２７を
形成したため、絶縁性樹脂２０の積層体１への付着強度
をさらに向上できる。

【００３８】尚、本発明の積層型圧電アクチュエータは
円柱状や四角柱以外の六角柱等どのような多角形状であ
っても良い。

【００３９】また、圧電板の絶縁性樹脂と当接する不活
性部分の面粗さＲａ₁を、圧電板の導電性接着剤と当接
する活性部分の面粗さＲａ₂よりも大きくするととも
に、金属薄板の外周部に、絶縁性樹脂が浸入する複数の
凹部を形成することが、絶縁性樹脂の圧電板への付着強
度をさらに向上できる点で最も望ましい。

【００４０】

【実施例】実施例１ＰＺＴ焼結体の両面を研磨して、直径約１５ｍｍ、厚み
０．４ｍｍの円板状の圧電板１１を形成した。また、同
時に、圧電板１１の表面を平面ラップ盤により表面粗さ
Ｒａ₂を０．４μｍに研摩した。

【００４１】圧電板１１の両主面にＡｇ粉末９７重量
％、ＰｂＯ−ＳｉＯ₂―Ｂ₂Ｏ₃を主成分とするガラス
３重量％の導電性接着剤を５μｍの厚みになるように印
刷した後、１００℃にて乾燥し、４５０℃にて焼き付け
を行い、導電性接着層１２を形成した。

【００４２】その後、導電性接着層１２をマスキング
し、圧電板１１の不活性部分Ａの面粗さがＲａ₁＝１０
μｍになるようにサンドブラストによる研磨を行った。
そして、厚さ２５μｍのＡｇ製の金属薄板１４を圧電板
１１の間に挟み込み、圧電板１１を１００層積層して、
図１に示すような積層体１を形成した。

【００４３】尚、金属薄板１４の接続用突起１５を一層
おきに同じ位置にくるように交互に配置した。圧電板１
１を１００層積層した積層体１の上下に不活性ブロック
を積層し、位置ずれが生じないように、接合治具にセッ
トし軽く圧力を加えた後、積層体１の上部に約３ｋｇの
重りをのせて６００℃、１時間で加圧接合した。

【００４４】次に図１に示したように、圧電板１１の径
方向に突出した接続用突起１５を軸方向に折り曲げ、ハ
ンダにより電気的に接続した。

【００４５】これを８０℃のシリコンオイル中で３ｋＶ
／ｍｍの直流電圧を３０分間印加して分極処理を行っ
た。その後、積層体１の表面にシリコンゴムを塗布して
真空脱泡により接続用突起１５と圧電板１１の外周面間
に空気が入らないように被覆し、１２０℃、１時間で乾
燥硬化させ、本発明の積層型圧電アクチュエータを作製
した。

【００４６】得られた積層型圧電アクチュエータに５０
０Ｖの直流電圧を印加した結果、４０μｍの変位量が得
られた。

【００４７】また、本発明の積層型圧電アクチュエータ
１０個を常温、湿度９０％の雰囲気で、５００Ｖの矩形
交番電圧を１００Ｈｚで印加し、連続駆動試験を行った
結果、１０個すべてにおいて駆動回数１０億サイクルを
達成した。初期値からの１０億サイクル後の変位量の変
動は約５％であった。

【００４８】次に、不活性部分Ａのサンドブラストによ
る研磨加工を施さない積層型圧電アクチュエータを１０
個作製し、同様の試験を行ったところ、５００Ｖの直流
電圧を印加した結果、４０μｍの変位量が得られたが、
湿度９０％での駆動では、１０個中４個が３億サイクル
でショートした。また、残り６個についても５億サイク
ルまでに全てショートした。この積層型圧電アクチュエ
ータについてカットを行い、断面観察を行なったとこ
ろ、全てのサンプルにおいて、絶縁性樹脂２０と圧電板
１１との間に隙間が形成されており、正極側の不活性部
分Ａにマイグレーションが確認できた。

【００４９】また、圧電板１１の不活性部分Ａの面粗さ
Ｒａ₁を５μｍおよび８μｍになるようにサンドブラス
トによる研磨を行った積層型圧電アクチュエータをそれ
ぞれ作製し、上記と同様の試験を行なったところ、５０
０Ｖの直流電圧を印加した結果、４２μｍの変位量が得
られ、湿度９０％での駆動でも駆動回数１０億サイクル
を達成した。

【００５０】尚、変位量の測定は、試料を荷重印加用治
具に固定し、２ｋＮの荷重を印加しレーザー変位計にて
測定した。

【００５１】実施例２実施例１と同様にして、導電性接着層１２を有する圧電
体１１を作製した。この後、幅０．３ｍｍ、長さ０．８
ｍｍの凹部２５と、この凹部２５先端の直径０．５ｍｍ
の拡径凹部２７を形成した厚さ２５μｍＡｇ製の金属薄
板１４を圧電板１１の間に挟み込み、実施例１と同様に
して、積層型圧電アクチュエータを形成した。

【００５２】得られた積層型圧電アクチュエータに５０
０Ｖの直流電圧を印加した結果、３９μｍの変位量が得
られた。

【００５３】また、本発明の積層型圧電アクチュエータ
１０個を常温、湿度９０％の雰囲気で、５００Ｖの矩形
交番電圧を１００Ｈｚで印加し、連続駆動試験を行った
結果、１０個すべてにおいて駆動回数１０億サイクルを
達成した。初期値からの１０億サイクル後の変位量の変
動は約５％であった。

【００５４】

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、圧
電板の絶縁性樹脂と当接する不活性部分の面粗さＲａ₁
を、圧電板の導電性接着剤と当接する活性部分の面粗さ
Ｒａ₂よりも大きくしたので、絶縁性樹脂が圧電板の外
周面に強く付着し、圧電板からの絶縁性樹脂の剥離を有
効に防止することができ、圧電板と絶縁性樹脂間の隙間
からの湿気の進入を防ぎ、マイグレーションを抑制して
耐久性および長期にわたる信頼性を向上できる。また、
活性部分の面粗さＲａ₂は小さく維持できるため、積層
体の弾性率を高く維持でき、変位量が低下することがな
い。

【００５５】また、金属薄板の外周部に複数の凹部を形
成したので、積層体の外周面に被覆される絶縁性樹脂が
凹部内に充填され、アンカー効果により絶縁性樹脂が圧
電板の外周面に強く付着し、圧電板からの絶縁性樹脂の
剥離を有効に防止することができ、圧電板と絶縁性樹脂
間の隙間からの湿気の進入を防ぎ、マイグレーションを
抑制して耐久性および長期にわたる信頼性を向上でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の積層型圧電アクチュエータを示す側面
図である。

【図２】図１の一部を拡大して示す断面図である。

【図３】導電性接着層が形成された圧電板を示すもの
で、（ａ）は平面図、（ｂ）断面図である。

【図４】金属薄板に接続用突起が一体に形成されている
状態を示す平面図である。

【図５】金属薄板および接続用突起に凹部および拡径凹
部が形成されている状態を示す平面図である。

【図６】図５の一部を拡大して示す平面図である。

【符号の説明】

１・・・積層体１１・・・圧電板１２・・・導電性接着層１４・・・金属薄板１５・・・接続用突起２０・・・・絶縁性樹脂２５・・・凹部２７・・・拡径凹部Ａ・・・不活性部分Ｂ・・・活性部分

フロントページの続き (72)発明者川元智裕鹿児島県国分市山下町１番４号京セラ株式会社総合研究所内 (72)発明者瀬戸口剛鹿児島県国分市山下町１番４号京セラ株式会社総合研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の圧電板と複数の金属薄板とを交互に
積層し、該金属薄板を導電性接着剤により前記各圧電板
に接合した積層体を具備するとともに、前記金属薄板に
形成された接続用突起を前記積層体から交互に少なくと
も２方向に突出せしめ、同一方向に突出した前記接続用
突起同士を電気的に接続し、さらに、前記積層体の外周
面に絶縁性樹脂を被覆してなる積層型圧電アクチュエー
タであって、前記圧電板の絶縁性樹脂と当接する不活性
部分の面粗さＲａ₁を、前記圧電板の導電性接着剤と当
接する活性部分の面粗さＲａ₂よりも大きくしたことを
特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
【請求項２】圧電板の絶縁性樹脂と当接する不活性部分
の面粗さＲａ₁が５〜１０μｍであることを特徴とする
請求項１記載の積層型圧電アクチュエータ。
【請求項３】複数の圧電板と複数の金属薄板とを交互に
積層し、該金属薄板を導電性接着剤により前記各圧電板
に接合した積層体を具備するとともに、前記金属薄板に
形成された接続用突起を前記積層体から交互に少なくと
も２方向に突出せしめ、同一方向に突出した前記接続用
突起同士を電気的に接続し、さらに、前記積層体の外周
面に絶縁性樹脂を被覆してなる積層型圧電アクチュエー
タであって、前記金属薄板の外周部に、前記絶縁性樹脂
が充填された複数の凹部を形成してなることを特徴とす
る積層型圧電アクチュエータ。
【請求項４】凹部の金属薄板中央部側には拡径凹部が形
成されている請求項３記載の積層型圧電アクチュエー
タ。