JP3850130B2 - 積層圧電素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は積層圧電素子に係り、特に分極処理時におけるトラブルの発生を防止できる積層圧電素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば電気−機械エネルギー変換機能を有する圧電セラミックス等の電気−機械エネルギー変換材料で形成された圧電体である圧電セラミックス(層)と、電極材料(層)とを交互に積層した積層圧電素子が提案されている。
【0003】
この積層圧電素子は、例えば同じ厚さの単一の板状の圧電セラミックスと比較した場合、低い印加電圧で大きな変形歪や大きな発生力が得られるので、近年、特に圧電アクチュエータや振動波モータ等の振動駆動装置を構成する振動体の駆動部に検討され適用されつつある。
【0004】
このような積層圧電素子の製造方法は、主に焼成前の圧電セラミックス粉末を有機バインダーと混合したシート状の成形体(グリーンシート)の層と、電極ペーストの層を焼結前に各々複数枚重ね合せ熱圧着して一体化した後に焼成して形成する焼結一体型の方法であり、圧電セラミックスの層をより薄く形成でき、より小型で信頼性の高い積層圧電素子が可能となる。
【0005】
一般に、上述の製造に用いる電極材料は、圧電セラミックスと同時焼成を行うので、融点の高い貴金属(白金、パラジウム、銀など)を単一もしくは混合して使用しており、圧電セラミックスの焼結温度にもよるが、通常は銀−パラジウムの重量比が5:5〜8:2で使用されている。
【0006】
これらの貴金属は高価であり、積層圧電素子の材料費の中でも最も高いコストを占める。そこで電極層は積層圧電素子として製造可能な範囲でさらに、性能上問題のない範囲でできるだけ薄くなるように電極材料、有機バインダー、溶剤、その他添加物からなる電極ペーストとこれを層に形成する例えばスクリーン印刷法を工夫して製造している。
【0007】
そして、このようにして形成された圧電素子を実際の使用に合わせて伸縮させるための分極処理が行われることになり、最上層の表面電極層はこの分極処理の際に接触電極として使用されるが、分極処理の終了後においては、削除され、表面に露出する個々のスルーホール(スルーホールに導電体を充填したものをスルーホール電極と称したり、バイヤホール等と称することもある)と駆動回路との接続を可能としている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、積層圧電素子は使用する前に圧電セラミックス層に電圧を印加する分極処理が行われるが、通常、高温下(80℃〜200℃)で3KV/mm〜1KV/mmの電圧を30分間〜1時間程印加して処理を行っていた。
【0009】
この処理の際、積層圧電素子は従来の単板の圧電素子と比べ静電容量が著しく大きいため、印加直後に流れる電流も非常に大きくなり、前述の薄い電極層、とりわけ、分極処理のための直流電源から直接接触する積層圧電素子の表面電極層とこの表面電極層と各内部電極層をつなぐ導体電極のつなぎ部分に大きな電流が流れるため、スパークが発生し易く、その結果溶断が起り、分極処理ができなくなったり、スパークによる衝撃で素子の破壊が生じることがあった。
【0010】
また、積層圧電素子は各内部電極層をつなぐ導体電極に回路基板に使われるスルーホールを応用した素子であり、直流電源と直接接触する表面電極層以外に配線用回路機能を有する内部電極層(後述)を有しており、この配線用の電極層においても上記と同様の理由で配線用の電極層と、導体電極のつぎ目部分でスパークや溶断が生じ、素子が破壊することもあった。
【0011】
本出願に係る発明の目的は、分極処理時における電気的なトラブルが生じにくい積層圧電素子を提供しようとするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本出願に係る発明の目的を実現する第1の構成は、電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層と電極層とを交互に複数重ねて積層し焼結された積層圧電素子において、電極層間の導通を図るため、電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層に設けた穴の内部に電極材料が充填された導体電極を備え、複数の電極層のうち、積層圧電素子の積層方向における表面に位置し、分極処理に使用する電極層の厚さを、前記積層方向の内部に位置する電極層の厚さよりも厚くしたものである。
【0013】
本出願に係る発明の目的を実現する第2の構成は、電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層と電極層とを交互に複数重ねて積層し焼結された積層圧電素子において、電極層間の導通を図るため、電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層に設けた穴の内部に電極材料が充填された導体電極を備え、複数の電極層のうち、積層圧電素子の積層方向における表面に位置して分極処理に使用される電極層と導通する導体電極及び該導体電極とは異なる層に設けられた他の導体電極に導通する導通回路機能を有する電極層の厚さを、積層方向の内部に位置する他の電極層の厚さよりも厚くしたものである。
【0014】
本出願に係る発明の目的を実現する第3の構成は、電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層と電極層とを交互に複数重ねて積層し焼結された積層圧電素子において、電極層間の導通を図るため、電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層に設けた穴の内部に電極材料が充填された導体電極を備え、複数の電極層のうち、積層圧電素子の積層方向における表面に位置して分極処理に使用される電極層の厚さと、この分極処理に使用される電極層と導通する導体電極及び該導体電極とは異なる層に設けられた他の導体電極に導通する導通回路機能を有する電極層の厚さを、積層方向の内部に位置する他の電極層の厚さよりも厚くしたものである。
【0015】
本出願に係る発明の目的を実現する第4の構成は、前記分極処理に使用する表面の電極層の厚さを平均4〜6μmとし、内部の電極層の厚さを2〜3μm以下としたものである。
【0016】
本出願に係る発明の目的を実現する第5の構成は、導通回路機能を有する電極層の厚さを平均4〜6μmとし、その他の電極層の厚さを平均2〜3μmとしたものである。
【0017】
本出願に係る発明の目的を実現する第6の構成は、分極処理に使用する表面の電極層の厚さを平均4〜6μmとし、導通回路機能を有する電極層の厚さを平均4〜6μmとし、その他の電極層の厚さを平均2〜3μmとしたものである。
【0019】
上記の構成によれば、積層圧電素子の分極処理時に発生するスパークによって起こる電極層と各電極層間をつなぐ導体電極の溶断での素子の分極不良を防止することができる。また、スパークや溶断の発生を防ぐための電圧の印加方法たとえば少しづつ電圧を上げるなど特別手段や装置を用いることなく短時間での分極が可能となる。
【0020】
【発明の実施の形態】
(第1の実施の形態)
図1、図2は本発明の第1の実施の形態を示す。
【0021】
図1は積層圧電素子1の分極処理時の外観図、図2は第1層の表面電極層5(各電極は5−1〜5−3)および2層目以降の電極層6(6−2〜6−5を含む)をつなぐスルーホールである最上部の導体電極3(3−1〜3−12)および2層目以降の導体電極4(4−2−1〜4−2−9・・・)を示す。
【0022】
本実施の形態の積層圧電素子は、外径φ10mm、内径φ2.8mm、厚さ約2mmであり、第1層(直径φ9.5mm)と第2層から第23層(直径φ9mm)の電極層からなり、これらの電極層は圧電セラミックス粉末と有機バインダーからなる厚さ90μmのグリーンシート(不図示)上にスクリーン印刷法により電極ペーストを印刷して形成した。
【0023】
また、スルーホール3,4は、同じくグリーンシートに約0.1mmの穴をあけ、穴の内部に電極ペーストを充填して各電極層間の導通が図れるように形成した。使用した電極ペーストの電極材料は、銀とパラジウムで重量比で6:4である。これらのグリーンシートと電極層は精度よく同位相に重ね合せ熱プレスによりそれぞれ圧着させ、その後最高温度1120℃で焼成し、焼成により約20%収縮した。
【0024】
なお、スルーホールは第1層の電極層から第23層までつながっているのは3−2〜3−9であり、3−1は第3層まで(第3層のSは信号を出力するためのセンサ用の電極層)、3−10〜3−12は本積層圧電素子の位置認識用のスルーホールである。
【0025】
ここで、第1層の電極層5−1〜5−3は、分極処理の際に、図1で分極用の直流電源から直接にコンタクトピン2で電圧が印加される表面電極層である。分極処理は、図1で直流電源8を用い、GNDを基準にして(+)側に180V、(−)側に−180Vを印加し、150℃のシリコーンオイル中で1時間かけて行った。
【0026】
本実施の形態では、第1層の電極層5の厚さを他の電極層6よりも厚くしている。
【0027】
従来、第1層から第22層の電極層の厚さは高価な貴金属を使用していることから、できるだけ薄く形成していたが、現状の電極ペーストとスクリーン印刷法では薄くて1μm台であり、平均2〜3μmとなっていた。
【0028】
この状態で、前述の条件で分極処理を行うと、印加直後はいわばコンデンサーに充電がなされるのと同じ原理で急激に電流が流れ(本積層素子の静電容量は(+)(−)側で各々65nFを有する)、スルーホール電極3−2〜3−9と電極層5−1〜5−3のつなぎ目部分でスパークが発生し易く、前述のごとく溶断による分極不良や、スパークの衝撃による素子の破壊が発生することがあった。そこで、スクリーンの版を変更し、表面電極層5−1〜5−3の厚さを平均4〜6μmにしたところ発生は殆どなくなった。
【0029】
表面電極層5の厚さをさらに厚くすればより効果は確実になる。これは表面電極層5の厚みを増やすことで、スルーホール表面との導通が確実になり、電気抵抗が減少することでスパーク溶断が起りにくくなったと思われる。ただあまり厚くなってもコストが上り不適切である。
【0030】
また、本実施の形態は、スルーホールによる導体電極を用いているが、スルーホール以外に良く使用される、素子側面に設ける導体電極である側面電極に関しても電極層を厚くすることは同様の効果がみられた。
【0031】
(第2の実施の形態)
本実施の形態は、第1層の電極層に加え、図2に示す第2層の電極層6−2の厚さを他の電極層よりも厚くしたものである。
【0032】
第2層の電極層6−2は、図2に示すようにスルーホール3−4と4−2−4,3−5と4−2−5,3−7と4−2−7,3−8と4−2−8,3−9と4−2−9の5ケ所は第2層の電極層を介して下の第3層のスルーホールへ導通が行われており、導通回路機能を持つ配線用の内部電極層でもある。
【0033】
図3は、スルーホール3−4と4−2−4の半径方向の横断面の模式図を示す。分極に使用する電極層5−1につながるスルーホール3−4は第2層の電極層6−2を介して、スルーホール4−2−4と導通が図られている。
【0034】
図において、電極層を厚くすることでスルーホール3−4と電極層5−1との接続部、同じくスルーホール3−4と電極層6−2、スルーホール4−2−4と電極層6−2の各々の接続部の部分の電気抵抗が減少し、導通がより確実になりスパーク溶断の発生がなくなる。
【0035】
一方、スルーホール3−2,3−3,3−6は真直ぐに第22層までスルーホールにより導通が図られる。なお、スルーホール3−1,3−10〜3−12については前述の通りである。
【0036】
従来第2層の電極層も平均2〜3μmとなっていたが、分極処理直後は急激に流れる電流のためスパークが発生し分極不良や第1層の表面にクラックが生じたり、素子全体の破壊が生じたりする問題が頻繁して発生していた。そこで第2層の電極層の厚さを平均4〜6μmにしたところ発生はほとんどなくなった。
【0037】
ただし、電極層の厚さをさらに厚くすると、第2層は内部電極層であるため第1層の電極層が形成された圧電セラミック層と剥離し易くなった。これは基本的に電極層は圧電セラミック層とは化学的に反応しておらず電極層が厚くなると剥離が起り易いものと考えられる。そのため第2層の回路用電極層の厚さは4〜6μmが最適である。
【0038】
なお、実際の厚くする電極膜は第2層の全領域でなくてもスルーホールのある3−4と4−2−4,3−5と4−2−5,3−7と4−2−7,3−8と4−2−8,3−9と4−2−9のある領域だけで良いが、製造上(スクリーン印刷法)、第2層全域の電極膜の厚さを厚くした方が容易である。
【0039】
なお、上記した積層圧電素子の用途としては、2方向の曲げ振動の合成で進行波を形成する振動波モータ等の振動波駆動装置における振動体を構成する振動発生源として利用されるものであるが、特に、この目的に限定されたものではなく電極層の構成を変更すれば他の目的の振動発生源として使用することが可能であり、例えば積層の圧電トランスなどにも充分に適用可能である。
【0040】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、分極処理時に起こる不良を減らし、積層圧電素子の良品率を向上させるとともに、分極処理に使用する電源やその電圧条件やその昇圧方法、手段に特別に工夫を行うことなく短時間での分極処理が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す斜視図。
【図2】図1の積層圧電素子の各層の平面図。
【図3】第2の実施の形態の積層圧電素子の一部側断面図。
【符号の説明】
1 積層圧電素子
2 コンタクトピン
3,4 スルーホール導体電極
5 第1層分極用表面電極層
6 第2層回路用電極層
Claims (6)
- 電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層と電極層とを交互に複数重ねて積層し焼結された積層圧電素子において、
前記電極層間の導通を図るため、前記電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層に設けた穴の内部に電極材料が充填された導体電極を備え、
前記複数の電極層のうち、該積層圧電素子の積層方向における表面に位置して分極処理に使用される電極層の厚さを、前記積層方向の内部に位置する電極層の厚さよりも厚くしたことを特徴とする積層圧電素子。 - 電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層と電極層とを交互に複数重ねて積層し焼結された積層圧電素子において、
前記電極層間の導通を図るため、前記電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層に設けた穴の内部に電極材料が充填された導体電極を備え、
前記複数の電極層のうち、該積層圧電素子の積層方向における表面に位置して分極処理に使用される電極層と導通する導体電極及び該導体電極とは異なる層に設けられた他の導体電極に導通する導通回路機能を有する電極層の厚さを、前記積層方向の内部に位置する他の電極層の厚さよりも厚くしたことを特徴とする積層圧電素子。 - 電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層と電極層とを交互に複数重ねて積層し焼結された積層圧電素子において、
前記電極層間の導通を図るため、前記電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層に設けた穴の内部に電極材料が充填された導体電極を備え、
前記複数の電極層のうち、該積層圧電素子の積層方向における表面に位置して分極処理に使用される電極層の厚さと、この分極処理に使用される電極層と導通する導体電極及び該導体電極とは異なる層に設けられた他の導体電極に導通する導通回路機能を有する電極層の厚さを、前記積層方向の内部に位置する他の電極層の厚さよりも厚くしたことを特徴とする積層圧電素子。 - 前記分極処理に使用される電極層の厚さを平均4〜6μmとし、前記内部の電極層の厚さを2〜3μm以下としたことを特徴とする請求項1に記載の積層圧電素子。
- 前記導通回路機能を有する電極層の厚さを平均4〜6μmとし、前記他の電極層の厚さを平均2〜3μmとしたことを特徴とする請求項2に記載の積層圧電素子。
- 前記分極処理に使用される電極層の厚さを平均4〜6μmとし、前記導通回路機能を有する電極層の厚さを平均4〜6μmとし、前記他の電極層の厚さを平均2〜3μmとしたことを特徴とする請求項3に記載の積層圧電素子。
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