JPH053349A - 積層型圧電アクチユエータおよびその製造方法 - Google Patents
積層型圧電アクチユエータおよびその製造方法Info
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- JPH053349A JPH053349A JP3153219A JP15321991A JPH053349A JP H053349 A JPH053349 A JP H053349A JP 3153219 A JP3153219 A JP 3153219A JP 15321991 A JP15321991 A JP 15321991A JP H053349 A JPH053349 A JP H053349A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、内部電極が外部電極と一層置きに
接続される積層型圧電アクチュエータにおいて、外部電
極と内部電極が接続されていない端部における外部電極
と内部電極との絶縁を保ち且つ内部応力を緩和する部分
がチタン酸鉛で構成されることを特徴としている。 【構成】この発明は、圧電セラミックスグリーンシート
上に導体ペーストを印刷して内部電極を形成し、チタン
酸鉛を主とする絶縁物からなる絶縁ペーストを導体ペー
ストと隣接するように印刷した後に、積層、圧着、脱
脂、焼成して、内部電極と外部電極を一層置きに接続し
て積層型圧電アクチュエータを製造することを特徴とし
ている。
接続される積層型圧電アクチュエータにおいて、外部電
極と内部電極が接続されていない端部における外部電極
と内部電極との絶縁を保ち且つ内部応力を緩和する部分
がチタン酸鉛で構成されることを特徴としている。 【構成】この発明は、圧電セラミックスグリーンシート
上に導体ペーストを印刷して内部電極を形成し、チタン
酸鉛を主とする絶縁物からなる絶縁ペーストを導体ペー
ストと隣接するように印刷した後に、積層、圧着、脱
脂、焼成して、内部電極と外部電極を一層置きに接続し
て積層型圧電アクチュエータを製造することを特徴とし
ている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、積層型圧電アクチュ
エータおよびその製造方法、特に内部電極と外部電極を
一層置きに交互に接続する際の絶縁および内部応力を緩
和する部分が形成された圧電アクチュエータおよびその
製造方法に関するものである。
エータおよびその製造方法、特に内部電極と外部電極を
一層置きに交互に接続する際の絶縁および内部応力を緩
和する部分が形成された圧電アクチュエータおよびその
製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、積層セラミックスコンデンサ等の
セラミックス積層素子１０は一般に図５に示される様
に、セラミックス層１１と内部電極層１２が交互に積層
し、内部電極層１２と外部電極１４とを一層置きに接続
する構造になっている。併し、積層型圧電アクチュエー
タ素子の場合、図５の様な構造にすると、内部電極層１
２と外部電極１４が接続されないセラミックス層１１に
内部応力が発生するために、変位量が拘束されてしま
う。また、接続されないセラミックス層１１部分には応
力が集中するために、亀裂が入るという問題が生じる。
セラミックス積層素子１０は一般に図５に示される様
に、セラミックス層１１と内部電極層１２が交互に積層
し、内部電極層１２と外部電極１４とを一層置きに接続
する構造になっている。併し、積層型圧電アクチュエー
タ素子の場合、図５の様な構造にすると、内部電極層１
２と外部電極１４が接続されないセラミックス層１１に
内部応力が発生するために、変位量が拘束されてしま
う。また、接続されないセラミックス層１１部分には応
力が集中するために、亀裂が入るという問題が生じる。
【０００３】このために、積層型圧電アクチュエータ素
子２０においては、一般に図６に示されるような圧電セ
ラミックス層２１と内部電極層２２が交互に積層し、内
部電極層２２が一層置きに外部電極２４によって電気的
に接続された構造が提案されている。この様な方法にお
いては、図６から理解される様に、積層型圧電アクチュ
エータ素子２０は、外部電極２４を形成する前に側面に
露出した内部電極層２２に一層置きに絶縁体２５を形成
する必要がある。
子２０においては、一般に図６に示されるような圧電セ
ラミックス層２１と内部電極層２２が交互に積層し、内
部電極層２２が一層置きに外部電極２４によって電気的
に接続された構造が提案されている。この様な方法にお
いては、図６から理解される様に、積層型圧電アクチュ
エータ素子２０は、外部電極２４を形成する前に側面に
露出した内部電極層２２に一層置きに絶縁体２５を形成
する必要がある。
【０００４】従来、この様な絶縁体２５の形成には、電
気泳動法やスクリーン印刷法が用いられている。併し乍
ら、いずれの方法においても積層体の内部電極層間隔が
７０ミクロン前後よりも薄くなると、絶縁体の形成が不
可能になる。これに対して、積層型圧電アクチュエータ
素子を小型化、低電圧駆動化すると、積層体の内部電極
層間隔を７０ミクロン以下にする必要があり、この時
に、内部電極層２２と外部電極２４の層を一層置きに確
実に接続することができる方法が必要とされている。
気泳動法やスクリーン印刷法が用いられている。併し乍
ら、いずれの方法においても積層体の内部電極層間隔が
７０ミクロン前後よりも薄くなると、絶縁体の形成が不
可能になる。これに対して、積層型圧電アクチュエータ
素子を小型化、低電圧駆動化すると、積層体の内部電極
層間隔を７０ミクロン以下にする必要があり、この時
に、内部電極層２２と外部電極２４の層を一層置きに確
実に接続することができる方法が必要とされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述の様な問題点を解
決するために、積層するセラミックスグリーンシート上
に内部電極用導体ペーストを印刷し、内部電極と外部電
極を一層置きに接続した際に、接続しない内部電極と外
部電極の絶縁を保つための空孔を形成するためのカーボ
ンペーストを同時に印刷して積層する方法などが、例え
ば特開昭６１−１４２７８０号、特開昭６２−２５４７
５号、特開昭６３ー１７４３８０号公報に記載されるよ
う提案されている。
決するために、積層するセラミックスグリーンシート上
に内部電極用導体ペーストを印刷し、内部電極と外部電
極を一層置きに接続した際に、接続しない内部電極と外
部電極の絶縁を保つための空孔を形成するためのカーボ
ンペーストを同時に印刷して積層する方法などが、例え
ば特開昭６１−１４２７８０号、特開昭６２−２５４７
５号、特開昭６３ー１７４３８０号公報に記載されるよ
う提案されている。
【０００６】これ等の方法は、内部電極と外部電極の絶
縁を保つ方法として、図８に示される様に圧電アクチュ
エータ素子の外側に絶縁物を設けるのではなく、図４に
示される様に圧電アクチュエータ素子の内部に絶縁部を
設けて、これ等の絶縁部を空孔にして絶縁物を詰つめる
という方法である。併し乍ら、この様な空孔を設ける方
法では、セラミックス層の厚みが１００μm以下と薄く
なる場合では、焼成時に空孔が融着してしまうという問
題や、空孔が設けられている側面が脆くなる等の問題点
が見られる。
縁を保つ方法として、図８に示される様に圧電アクチュ
エータ素子の外側に絶縁物を設けるのではなく、図４に
示される様に圧電アクチュエータ素子の内部に絶縁部を
設けて、これ等の絶縁部を空孔にして絶縁物を詰つめる
という方法である。併し乍ら、この様な空孔を設ける方
法では、セラミックス層の厚みが１００μm以下と薄く
なる場合では、焼成時に空孔が融着してしまうという問
題や、空孔が設けられている側面が脆くなる等の問題点
が見られる。
【０００７】従って、この発明の目的は、この様な従来
における問題点を解決するために、グリーンシートを積
層して一体焼結することによって作成される積層型圧電
アクチュエータにおいて、内部電極と外部電極が一層置
きに接続される積層型圧電アクチュエータおよびその製
造方法を提供することにある。特に、内部電極間隔が７
０μm以下の超小型の積層型圧電アクチュエータにおい
て、７０μm以下の内部電極積層間隔を持つ積層焼結体
においても、内部電極層と外部電極層が一層置きに接続
される積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法を
提供することにある。
における問題点を解決するために、グリーンシートを積
層して一体焼結することによって作成される積層型圧電
アクチュエータにおいて、内部電極と外部電極が一層置
きに接続される積層型圧電アクチュエータおよびその製
造方法を提供することにある。特に、内部電極間隔が７
０μm以下の超小型の積層型圧電アクチュエータにおい
て、７０μm以下の内部電極積層間隔を持つ積層焼結体
においても、内部電極層と外部電極層が一層置きに接続
される積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法を
提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】従って、上述の目的を達
成するために、この発明に依れば、積層型圧電アクチュ
エータは、圧電セラミックスと内部電極が交互に積層さ
れ、内部電極が外部電極と一層置きに接続される積層型
圧電アクチュエータにおいて、外部電極と内部電極が接
続されていない端部における外部電極と内部電極との絶
縁を保ち且つ内部応力を緩和する部分がチタン酸鉛で構
成されることを特徴としている。
成するために、この発明に依れば、積層型圧電アクチュ
エータは、圧電セラミックスと内部電極が交互に積層さ
れ、内部電極が外部電極と一層置きに接続される積層型
圧電アクチュエータにおいて、外部電極と内部電極が接
続されていない端部における外部電極と内部電極との絶
縁を保ち且つ内部応力を緩和する部分がチタン酸鉛で構
成されることを特徴としている。
【０００９】更にまた、この発明に依れば、積層型圧電
アクチュエータの製造方法は、圧電セラミックスグリー
ンシート上に導体ペーストを印刷して内部電極を形成
し、チタン酸鉛を主とする絶縁物から成る絶縁ペースト
を導体ペーストと隣接するように印刷した後に、積層、
圧着、脱脂、焼成して、内部電極と外部電極を一層置き
に接続することを特徴としている。
アクチュエータの製造方法は、圧電セラミックスグリー
ンシート上に導体ペーストを印刷して内部電極を形成
し、チタン酸鉛を主とする絶縁物から成る絶縁ペースト
を導体ペーストと隣接するように印刷した後に、積層、
圧着、脱脂、焼成して、内部電極と外部電極を一層置き
に接続することを特徴としている。
【００１０】チタン酸鉛（ＰbＴiＯ3）は、積層型圧電
アクチュエータに使用されるチタン酸ジルコン酸鉛（Ｐ
ＺＴ）等と同じペロブスカイト型化合物で、５００℃付
近にキユリー温度を持っている。純粋なチタン酸鉛は、
高温で焼結しても５００℃付近のキユリー温度を通過し
た時に起きる相転移による軸比の変化が大きいために、
大きな内部応力が発生し、微細に破壊して焼結しない。
この発明は、この現象に着目し、チタン酸鉛を、内部電
極を一層置きに外部電極と接続する際に、接続しない側
の絶縁および内部応力を緩和する部分として利用するこ
とによって、構成されている。
アクチュエータに使用されるチタン酸ジルコン酸鉛（Ｐ
ＺＴ）等と同じペロブスカイト型化合物で、５００℃付
近にキユリー温度を持っている。純粋なチタン酸鉛は、
高温で焼結しても５００℃付近のキユリー温度を通過し
た時に起きる相転移による軸比の変化が大きいために、
大きな内部応力が発生し、微細に破壊して焼結しない。
この発明は、この現象に着目し、チタン酸鉛を、内部電
極を一層置きに外部電極と接続する際に、接続しない側
の絶縁および内部応力を緩和する部分として利用するこ
とによって、構成されている。
【００１１】すなわち、絶縁および内部応力を緩和する
部分として使用されるチタン酸鉛は変位を誘起するセラ
ミックス層のチタン酸ジルコン酸鉛と同じペロブスカイ
ト型結晶構造を持つ化合物であり、絶縁および内部応力
を緩和する部分としてセラミックス層との馴じみが良
い。また、焼成時の昇温過程では、セラミックス層のチ
タン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）と同じ様に焼結して、焼
成時の降温過程で５００℃付近のキユリー点で相転移に
より微細化する、特性を利用したものである。形成され
た絶縁および内部応力を緩和する部分は微細化したチタ
ン酸鉛が入っているので、十分に絶縁を示し、且つ積層
型圧電アクチュエータに電圧を印加した時に変位を拘束
することがなく、また、変位時に応力集中によって積層
型圧電アクチュエータ素子に亀裂が入ることを防ぐこと
が出来る。
部分として使用されるチタン酸鉛は変位を誘起するセラ
ミックス層のチタン酸ジルコン酸鉛と同じペロブスカイ
ト型結晶構造を持つ化合物であり、絶縁および内部応力
を緩和する部分としてセラミックス層との馴じみが良
い。また、焼成時の昇温過程では、セラミックス層のチ
タン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）と同じ様に焼結して、焼
成時の降温過程で５００℃付近のキユリー点で相転移に
より微細化する、特性を利用したものである。形成され
た絶縁および内部応力を緩和する部分は微細化したチタ
ン酸鉛が入っているので、十分に絶縁を示し、且つ積層
型圧電アクチュエータに電圧を印加した時に変位を拘束
することがなく、また、変位時に応力集中によって積層
型圧電アクチュエータ素子に亀裂が入ることを防ぐこと
が出来る。
【００１２】積層型圧電アクチュエータ素子に使用され
る変位を誘起するセラミックスは、先に述べた様に、ペ
ロブスカイト型構造のチタン酸ジルコン酸鉛系の化合物
が殆どである。この化合物はＡサイトに鉛（Ｐb）を含
む化合物であるが、焼成時に鉛雰囲気を調節してやらな
いと、Ａサイトの鉛が蒸発してセラミックスの特性に悪
影響を与えるという問題がある。従って、この発明にお
いて、絶縁および内部応力を緩和する部分に使用される
チタン酸鉛は、その点でも同じペロブスカイト化合物で
あってＡサイトに鉛が入っているので、セラミックス層
の鉛の蒸発を抑えることが出来る。また、チタン酸鉛
は、鉛化合物の中では、特に変位を誘起するチタン酸ジ
ルコン酸鉛（ＰＺＴ）と比べて、安定な化合物であり、
セラミックス層と反応して変位を誘起する特性に悪影響
を与えることも少ない。
る変位を誘起するセラミックスは、先に述べた様に、ペ
ロブスカイト型構造のチタン酸ジルコン酸鉛系の化合物
が殆どである。この化合物はＡサイトに鉛（Ｐb）を含
む化合物であるが、焼成時に鉛雰囲気を調節してやらな
いと、Ａサイトの鉛が蒸発してセラミックスの特性に悪
影響を与えるという問題がある。従って、この発明にお
いて、絶縁および内部応力を緩和する部分に使用される
チタン酸鉛は、その点でも同じペロブスカイト化合物で
あってＡサイトに鉛が入っているので、セラミックス層
の鉛の蒸発を抑えることが出来る。また、チタン酸鉛
は、鉛化合物の中では、特に変位を誘起するチタン酸ジ
ルコン酸鉛（ＰＺＴ）と比べて、安定な化合物であり、
セラミックス層と反応して変位を誘起する特性に悪影響
を与えることも少ない。
【００１３】また、絶縁および内部応力を緩和する部分
として、使用するチタン酸鉛は、焼成時に変位を誘起す
る圧電セラミックスと反応しないことが必要であり、ま
た、焼結後に、冷却過程での相転移による破砕が起きる
ように、軸比の変化が十分起きる程度の純度が望まし
い。このためには、チタン酸鉛が、高純度であること
ゝ、十分結晶化していること等が重要である。
として、使用するチタン酸鉛は、焼成時に変位を誘起す
る圧電セラミックスと反応しないことが必要であり、ま
た、焼結後に、冷却過程での相転移による破砕が起きる
ように、軸比の変化が十分起きる程度の純度が望まし
い。このためには、チタン酸鉛が、高純度であること
ゝ、十分結晶化していること等が重要である。
【００１４】
【実施例】以下、実施例を挙げて、この発明の積層型圧
電アクチュエータおよびその製造方法を、図を追って更
に詳細に説明する。まず、一体焼成可能な積層型圧電ア
クチュエータ用材料として好適であるＰb（Ｚr，Ｔi）
Ｏ3に第３成分として複合ベロブスカイト化合物を加
え、ストロンチウムで変性したセラミックス粉体を、サ
ンドミルで粉砕して１ミクロン以下の粒径にする。この
粉砕した粉末にバインダー、分散剤、活性剤、消泡剤を
加えて真空脱泡した後にドクタブレード法を用いてグリ
ーンシートを作製する。得られたグリーンシートの厚み
は５５ミクロンであった。このグリーンシート４の上
に、スクリーン印刷法を用いて白金の内部電極層５を印
刷した（図１）。次に、同じグリーンシート４の上に内
部電極層５に隣接するように、チタン酸鉛から構成され
る絶縁ペーストすなわち絶縁および内部応力を緩和する
部分６を印刷する（第２図）。この絶縁ペーストから成
る絶縁および内部応力を緩和する部分６は、９９．９％
のチタン酸鉛粉末を固形分（７０重量％）とし、エチル
セルロースをバインダーとして、ブチルカルビトール、
α−テルビネオールを溶剤として構成される。絶縁ペー
ストの絶縁および内部応力を緩和する部分６の印刷厚み
は内部電極層５の印刷厚みを考慮した上で決定する必要
がある。つまり、積層体焼結時に同じ厚みになる必要が
ある。積層圧着時や焼結時に厚みの差があると、デラミ
ネーションやクラックの原因となる。図示の実施例で
は、内部電極層５のペースト印刷厚みを１８μm、絶縁
および内部応力を緩和する部分６の絶縁ペースト印刷厚
みを８μmとした。次に、内部電極層５の印刷していな
いグリーンシートを３０枚、内部電極層とチタン酸鉛で
構成される部分の印刷してあるグリーンシートを１２０
枚、更に、内部電極層の印刷していないグリーンシート
を３０枚宛、積層して加熱圧着し、脱脂した後に、１２
００℃で焼成して図３に示される様な積層焼結体２を得
た。この積層焼結体２のセラミックス層３の厚みは２５
μm、内部電極層５とチタン酸鉛で構成される部分、す
なわち絶縁および内部応力を緩和する部分６の厚みは共
に５μmであった。
電アクチュエータおよびその製造方法を、図を追って更
に詳細に説明する。まず、一体焼成可能な積層型圧電ア
クチュエータ用材料として好適であるＰb（Ｚr，Ｔi）
Ｏ3に第３成分として複合ベロブスカイト化合物を加
え、ストロンチウムで変性したセラミックス粉体を、サ
ンドミルで粉砕して１ミクロン以下の粒径にする。この
粉砕した粉末にバインダー、分散剤、活性剤、消泡剤を
加えて真空脱泡した後にドクタブレード法を用いてグリ
ーンシートを作製する。得られたグリーンシートの厚み
は５５ミクロンであった。このグリーンシート４の上
に、スクリーン印刷法を用いて白金の内部電極層５を印
刷した（図１）。次に、同じグリーンシート４の上に内
部電極層５に隣接するように、チタン酸鉛から構成され
る絶縁ペーストすなわち絶縁および内部応力を緩和する
部分６を印刷する（第２図）。この絶縁ペーストから成
る絶縁および内部応力を緩和する部分６は、９９．９％
のチタン酸鉛粉末を固形分（７０重量％）とし、エチル
セルロースをバインダーとして、ブチルカルビトール、
α−テルビネオールを溶剤として構成される。絶縁ペー
ストの絶縁および内部応力を緩和する部分６の印刷厚み
は内部電極層５の印刷厚みを考慮した上で決定する必要
がある。つまり、積層体焼結時に同じ厚みになる必要が
ある。積層圧着時や焼結時に厚みの差があると、デラミ
ネーションやクラックの原因となる。図示の実施例で
は、内部電極層５のペースト印刷厚みを１８μm、絶縁
および内部応力を緩和する部分６の絶縁ペースト印刷厚
みを８μmとした。次に、内部電極層５の印刷していな
いグリーンシートを３０枚、内部電極層とチタン酸鉛で
構成される部分の印刷してあるグリーンシートを１２０
枚、更に、内部電極層の印刷していないグリーンシート
を３０枚宛、積層して加熱圧着し、脱脂した後に、１２
００℃で焼成して図３に示される様な積層焼結体２を得
た。この積層焼結体２のセラミックス層３の厚みは２５
μm、内部電極層５とチタン酸鉛で構成される部分、す
なわち絶縁および内部応力を緩和する部分６の厚みは共
に５μmであった。
【００１５】次に、この積層焼結体２の４側面を夫々研
磨して、内部電極層５とチタン酸鉛で構成される部分、
すなわち絶縁および内部応力を緩和する部分６の露出す
る相対する側面に銀ペーストを焼き付けて外部電極７を
形成する。この外部電極７にリード線を半田付けし、外
装を施して図４に示される様な幅２×直径３×高さ５mm
の積層型圧電アクチュエータ素子１を得ることが出来
た。
磨して、内部電極層５とチタン酸鉛で構成される部分、
すなわち絶縁および内部応力を緩和する部分６の露出す
る相対する側面に銀ペーストを焼き付けて外部電極７を
形成する。この外部電極７にリード線を半田付けし、外
装を施して図４に示される様な幅２×直径３×高さ５mm
の積層型圧電アクチュエータ素子１を得ることが出来
た。
【００１６】この様にして作製された積層型圧電アクチ
ュエータ素子の絶縁抵抗を調べたところ１００ＭΩ以上
もあり十分絶縁されていること、また、変位を測定した
ところ７０Ｖで３μm以上変位し、積層型圧電アクチュ
エータ素子として十分機能することが解かった。また、
この積層型圧電アクチュエータ素子に７０Ｖ、１kＨzの
サイン波電圧を印加して積層型圧電アクチュエータ素子
を駆動させ、寿命試験を行ったところ、１０8回変位さ
せても破壊は起こらず十分に耐久性も有ることも解かっ
た。
ュエータ素子の絶縁抵抗を調べたところ１００ＭΩ以上
もあり十分絶縁されていること、また、変位を測定した
ところ７０Ｖで３μm以上変位し、積層型圧電アクチュ
エータ素子として十分機能することが解かった。また、
この積層型圧電アクチュエータ素子に７０Ｖ、１kＨzの
サイン波電圧を印加して積層型圧電アクチュエータ素子
を駆動させ、寿命試験を行ったところ、１０8回変位さ
せても破壊は起こらず十分に耐久性も有ることも解かっ
た。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、この発明に従って
製造された積層型圧電アクチュエータにおいては、７０
μm以下の内部電極間隔を持った積層焼結体において
も、内部電極層と外部電極層を一層置きに確実に接続す
ることができ、内部電極間隔７０μm以下の小型で、低
電圧駆動可能な積層型圧電アクチュエータ素子を製造す
ることが出来る等の効果が得られる。
製造された積層型圧電アクチュエータにおいては、７０
μm以下の内部電極間隔を持った積層焼結体において
も、内部電極層と外部電極層を一層置きに確実に接続す
ることができ、内部電極間隔７０μm以下の小型で、低
電圧駆動可能な積層型圧電アクチュエータ素子を製造す
ることが出来る等の効果が得られる。
【図１】この発明の積層型圧電アクチュエータの製造工
程の第１段階を示す説明図である。
程の第１段階を示す説明図である。
【図２】この発明での製造工程の第２段階を示す説明図
である。
である。
【図３】この発明での製造工程の第３段階を示す説明図
である。
である。
【図４】この発明での製造工程の最終の第４段階を示す
説明図である。
説明図である。
【図５】従来の積層型圧電アクチュエータ素子の一例を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図６】従来の積層型圧電アクチュエータ素子の別の例
を示す説明図である。
を示す説明図である。
１ 積層型圧電アクチュエータ素子
２ 積層焼結体
３ セラミックス層
４ グリーンシート
５ 内部電極層
６ 絶縁および内部応力を緩和する部分
７ 外部電極
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電セラミックスと内部電極が交互に積
層され、内部電極が外部電極と一層置きに接続される積
層型圧電アクチュエータにおいて、外部電極と内部電極
が接続されていない端部における外部電極と内部電極と
の絶縁を保ち且つ内部応力を緩和する部分がチタン酸鉛
で構成されることを特徴とする積層型圧電アクチュエー
タ。 - 【請求項２】 圧電セラミックスグリーンシート上に導
体ペーストを印刷して内部電極を形成し、チタン酸鉛を
主とする絶縁物からなる絶縁ペーストを導体ペーストと
隣接するように印刷した後に、積層、圧着、脱脂、焼成
して、内部電極と外部電極を一層置きに接続することを
特徴とする積層型圧電アクチュエータの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15321991A JP2994492B2 (ja) | 1991-06-25 | 1991-06-25 | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15321991A JP2994492B2 (ja) | 1991-06-25 | 1991-06-25 | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH053349A true JPH053349A (ja) | 1993-01-08 |
| JP2994492B2 JP2994492B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=15557659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15321991A Expired - Lifetime JP2994492B2 (ja) | 1991-06-25 | 1991-06-25 | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 |
Country Status (1)
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|---|---|
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Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| LT4555B (lt) | 1997-10-06 | 1999-10-25 | Uab "Ciklonas" | Organinis elektrofotografinis fotoreceptorius, skirtas darbui su skystais ryškalais ir jo gamybos būdas |
| US6344283B1 (en) | 1996-12-28 | 2002-02-05 | Tdk Corporation | Organic electroluminescent elements |
| JP2004207632A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Kyocera Corp | セラミック電子部品及びその製法並びに噴射装置 |
| JP2007073993A (ja) * | 2006-11-21 | 2007-03-22 | Kyocera Corp | セラミック電子部品及び噴射装置 |
| JP2014187060A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-10-02 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電素子 |
| JP2014187061A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-10-02 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電素子およびその作製方法 |
| JP2015050289A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 太平洋セメント株式会社 | 圧電素子 |
| JP2015185666A (ja) * | 2014-03-24 | 2015-10-22 | 株式会社日本セラテック | 圧電素子の製造方法 |
| CN117412660A (zh) * | 2023-12-14 | 2024-01-16 | 乌镇实验室 | 一种共烧型多层压电致动器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6420757U (ja) * | 1987-07-28 | 1989-02-01 |
-
1991
- 1991-06-25 JP JP15321991A patent/JP2994492B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6420757U (ja) * | 1987-07-28 | 1989-02-01 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6344283B1 (en) | 1996-12-28 | 2002-02-05 | Tdk Corporation | Organic electroluminescent elements |
| LT4555B (lt) | 1997-10-06 | 1999-10-25 | Uab "Ciklonas" | Organinis elektrofotografinis fotoreceptorius, skirtas darbui su skystais ryškalais ir jo gamybos būdas |
| JP2004207632A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Kyocera Corp | セラミック電子部品及びその製法並びに噴射装置 |
| JP2007073993A (ja) * | 2006-11-21 | 2007-03-22 | Kyocera Corp | セラミック電子部品及び噴射装置 |
| JP2014187060A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-10-02 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電素子 |
| JP2014187061A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-10-02 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電素子およびその作製方法 |
| JP2015050289A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 太平洋セメント株式会社 | 圧電素子 |
| JP2015185666A (ja) * | 2014-03-24 | 2015-10-22 | 株式会社日本セラテック | 圧電素子の製造方法 |
| CN117412660A (zh) * | 2023-12-14 | 2024-01-16 | 乌镇实验室 | 一种共烧型多层压电致动器 |
| CN117412660B (zh) * | 2023-12-14 | 2024-04-16 | 乌镇实验室 | 一种共烧型多层压电致动器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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