JPH08274381A - 積層型圧電アクチュエータ及びその製造方法 - Google Patents
積層型圧電アクチュエータ及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH08274381A JPH08274381A JP7099918A JP9991895A JPH08274381A JP H08274381 A JPH08274381 A JP H08274381A JP 7099918 A JP7099918 A JP 7099918A JP 9991895 A JP9991895 A JP 9991895A JP H08274381 A JPH08274381 A JP H08274381A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric actuator
- internal electrodes
- stress relaxation
- electrodes
- laminated piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明の目的は、圧電セラミックスと内部電極
が交互に積層され、内部電極が外部電極と一層おきに接
続される積層型圧電アクチュエータにおいて、電圧印加
時内部電極付近に発生する応力を緩和し、耐久性のある
積層圧電アクチュエータを提供することにある。 【構成】内部電極層間の内部電極が重ならない部分に応
力緩和部を設けたことを特徴とする積層型圧電アクチュ
エータ。
が交互に積層され、内部電極が外部電極と一層おきに接
続される積層型圧電アクチュエータにおいて、電圧印加
時内部電極付近に発生する応力を緩和し、耐久性のある
積層圧電アクチュエータを提供することにある。 【構成】内部電極層間の内部電極が重ならない部分に応
力緩和部を設けたことを特徴とする積層型圧電アクチュ
エータ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は積層型圧電アクチュエー
タの構造に関するものである。
タの構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】積層型圧電アクチュエータは一般に図
１、図２に示される様に、圧電セラミックス層２と内部
電極１が交互に積層し、内部電極１は一層おきに外部電
極４に接続される構造になっている。図１の様な構造の
積層型圧電アクチュエータにおいては、内部電極１が素
子断面全体に形成され、外部電極４を形成する前に、露
出した内部電極１に一層おきに絶縁体５を形成する必要
がある。この様な絶縁体の形成にはスクリーン印刷法
や、電気泳動法が用いられている。しかしながらいずれ
の方法においても積層体の内部電極１の間隔が７０μｍ
より薄くなると、絶縁体５の形成が不可能となる。
１、図２に示される様に、圧電セラミックス層２と内部
電極１が交互に積層し、内部電極１は一層おきに外部電
極４に接続される構造になっている。図１の様な構造の
積層型圧電アクチュエータにおいては、内部電極１が素
子断面全体に形成され、外部電極４を形成する前に、露
出した内部電極１に一層おきに絶縁体５を形成する必要
がある。この様な絶縁体の形成にはスクリーン印刷法
や、電気泳動法が用いられている。しかしながらいずれ
の方法においても積層体の内部電極１の間隔が７０μｍ
より薄くなると、絶縁体５の形成が不可能となる。
【０００３】また、図２の様な構造の積層型圧電アクチ
ュエータにおいては、内部電極１が交互にアクチュエー
タの一方の側面に露出して外部電極４と接続されるもの
で、交互に形成される内部電極１で挟まれた圧電セラミ
ックス層２は電界に応じて変位するが、内部電極１に挟
まれていない部分の圧電セラミックス層２は変位しな
い。このため、内部電極１の周辺部に応力が発生し、素
子全体の変位を妨げるだけでなく、応力の集中する内部
電極の角部に機械的な破損を生じる欠点がある。
ュエータにおいては、内部電極１が交互にアクチュエー
タの一方の側面に露出して外部電極４と接続されるもの
で、交互に形成される内部電極１で挟まれた圧電セラミ
ックス層２は電界に応じて変位するが、内部電極１に挟
まれていない部分の圧電セラミックス層２は変位しな
い。このため、内部電極１の周辺部に応力が発生し、素
子全体の変位を妨げるだけでなく、応力の集中する内部
電極の角部に機械的な破損を生じる欠点がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図２のような構造の積
層型圧電アクチュエータにおいて応力を緩和するための
空乏層を形成する方法などが、例えば特開昭６１−１４
２７８０号、特開昭６２−２５４７５号、特開昭６３−
１７４３８０号に記載されている。しかしながらこの様
な空乏層を設ける方法は、焼成時には空乏層が融着して
しまうという問題や、空乏層付近が脆くなるといった問
題がある。本発明の目的は図２のような構造の積層型圧
電アクチュエータにおいて、内部応力による素子全体の
変位を妨げない、特に応力が内部電極の角部に集中して
機械的破損の生じない積層型圧電アクチュエータの構造
を提供することにある。
層型圧電アクチュエータにおいて応力を緩和するための
空乏層を形成する方法などが、例えば特開昭６１−１４
２７８０号、特開昭６２−２５４７５号、特開昭６３−
１７４３８０号に記載されている。しかしながらこの様
な空乏層を設ける方法は、焼成時には空乏層が融着して
しまうという問題や、空乏層付近が脆くなるといった問
題がある。本発明の目的は図２のような構造の積層型圧
電アクチュエータにおいて、内部応力による素子全体の
変位を妨げない、特に応力が内部電極の角部に集中して
機械的破損の生じない積層型圧電アクチュエータの構造
を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明は、圧電セラミックス層と内部電極が交互
に積層され、内部電極が外部電極と一層おきに接続され
る積層型圧電アクチュエータにおいて、上記内部電極層
間に応力緩和部を設けたことを特徴とする。
めに、本発明は、圧電セラミックス層と内部電極が交互
に積層され、内部電極が外部電極と一層おきに接続され
る積層型圧電アクチュエータにおいて、上記内部電極層
間に応力緩和部を設けたことを特徴とする。
【０００６】即ち、この発明に依れば、上記応力緩和部
がチタン酸鉛であり、該応力緩和部を相隣る内部電極間
の前記圧電セラミックス層周辺部に設けたことを特徴と
する。又、この発明に依れば、内部電極の角部が直線で
面取り、または曲線で丸められることを特徴とする。
がチタン酸鉛であり、該応力緩和部を相隣る内部電極間
の前記圧電セラミックス層周辺部に設けたことを特徴と
する。又、この発明に依れば、内部電極の角部が直線で
面取り、または曲線で丸められることを特徴とする。
【０００７】
【作用】圧電セラミックスは電界を印加することにより
変位し、伸縮する素子であ。本発明の積層型圧電アクチ
ュエータは相隣る内部電極間の前記圧電セラミックス層
周辺部にチタン酸鉛よりなる応力緩和部を設け、該応力
緩和部が圧電セラミックス層ではさまれた構造である。
変位し、伸縮する素子であ。本発明の積層型圧電アクチ
ュエータは相隣る内部電極間の前記圧電セラミックス層
周辺部にチタン酸鉛よりなる応力緩和部を設け、該応力
緩和部が圧電セラミックス層ではさまれた構造である。
【０００８】本発明者らは先に特願平３−１５３２１号
明細書において、外部電極と内部電極の絶縁を保ち、且
つ、内部応力を緩和する部分がチタン酸鉛で構成される
方法を提供し、この中でチタン酸鉛の性質について詳し
く述べているが、簡単に説明すると、チタン酸鉛は高温
で焼成すると降温過程で５００℃付近で微細に破壊され
焼結しない。つまり微細な粒状になっている。また、上
記先願の発明では内部応力を緩和する部分が内部電極と
同じ圧電セラミックス上に、内部電極と隣接する様に配
設され、内部応力を緩和すると共に内部電極と外部電極
を絶縁する機能も持っていた。しかしながらその後、上
記応力緩和部で内部電極と外部電極間でマイグレーショ
ンが発生し絶縁を保持できないことがわかった。そこ
で、本発明では上記応力緩和部を内部電極が重ならない
部分に配設した。内部電極が重ならない部分とは、応力
緩和部を内部電極と同じ圧電セラミックス上に形成する
のではなく、上記応力緩和部がアクチュエータ表面から
交互に露出するように積層される内部電極間の、上記内
部電極をアクチュエータの積層方向から投影的に見て二
重にならない部分、あるいは二重になる内部電極の周辺
部からわずかに内方へ突出する部分を含めて、セラミッ
クス層の周辺部に設けて形成した。
明細書において、外部電極と内部電極の絶縁を保ち、且
つ、内部応力を緩和する部分がチタン酸鉛で構成される
方法を提供し、この中でチタン酸鉛の性質について詳し
く述べているが、簡単に説明すると、チタン酸鉛は高温
で焼成すると降温過程で５００℃付近で微細に破壊され
焼結しない。つまり微細な粒状になっている。また、上
記先願の発明では内部応力を緩和する部分が内部電極と
同じ圧電セラミックス上に、内部電極と隣接する様に配
設され、内部応力を緩和すると共に内部電極と外部電極
を絶縁する機能も持っていた。しかしながらその後、上
記応力緩和部で内部電極と外部電極間でマイグレーショ
ンが発生し絶縁を保持できないことがわかった。そこ
で、本発明では上記応力緩和部を内部電極が重ならない
部分に配設した。内部電極が重ならない部分とは、応力
緩和部を内部電極と同じ圧電セラミックス上に形成する
のではなく、上記応力緩和部がアクチュエータ表面から
交互に露出するように積層される内部電極間の、上記内
部電極をアクチュエータの積層方向から投影的に見て二
重にならない部分、あるいは二重になる内部電極の周辺
部からわずかに内方へ突出する部分を含めて、セラミッ
クス層の周辺部に設けて形成した。
【０００９】外部電極に電圧が印加されると、内部電極
が重なる部分の圧電セラミックス層は電界をうけ変位
し、積層方向に伸びるが、内部電極が重ならない部分の
圧電セラミックス層は変位しない。従って圧電セラミッ
クス層の電界がかかっている部分と電界がかかっていな
い部分の境界で応力が発生する。しかし本発明では応力
が集中する部分即ち内部電極の周囲にチタン酸鉛からな
る応力緩和部を設け、この応力緩和部は粒状で圧電セラ
ミックスの変位を拘束しない。したがって応力が発生せ
ず、素子全体の変位を妨げることがなく、また応力によ
る機械的破損を生じない。さらに圧縮に対しても強い構
造である。
が重なる部分の圧電セラミックス層は電界をうけ変位
し、積層方向に伸びるが、内部電極が重ならない部分の
圧電セラミックス層は変位しない。従って圧電セラミッ
クス層の電界がかかっている部分と電界がかかっていな
い部分の境界で応力が発生する。しかし本発明では応力
が集中する部分即ち内部電極の周囲にチタン酸鉛からな
る応力緩和部を設け、この応力緩和部は粒状で圧電セラ
ミックスの変位を拘束しない。したがって応力が発生せ
ず、素子全体の変位を妨げることがなく、また応力によ
る機械的破損を生じない。さらに圧縮に対しても強い構
造である。
【００１０】さらに内部電極の矩形型形状の角部を直線
状に面取りあるいは曲線状に丸めることにより従来内部
応力が集中していた内部電極の角部分に、応力が集中し
ないで分散し、機械的破損が生じない構造にした。
状に面取りあるいは曲線状に丸めることにより従来内部
応力が集中していた内部電極の角部分に、応力が集中し
ないで分散し、機械的破損が生じない構造にした。
【００１１】また内部電極が外部電極との接続部分のみ
がアクチュエータ表面より露出する形状にすることによ
りマイグレションによる絶縁破壊を防ぐことができる。
がアクチュエータ表面より露出する形状にすることによ
りマイグレションによる絶縁破壊を防ぐことができる。
【００１２】
【実施例】以下に、実施例を挙げて、この発明の積層型
圧電アクチュエータ及びその製造方法を図を追って更に
説明する。
圧電アクチュエータ及びその製造方法を図を追って更に
説明する。
【００１３】図３は本発明の積層型圧電アクチュエータ
の構造を示す断面図であり、図４はその斜視図である。
図３及び図４に従って本発明の積層型圧電アクチュエー
タの構造を説明する。
の構造を示す断面図であり、図４はその斜視図である。
図３及び図４に従って本発明の積層型圧電アクチュエー
タの構造を説明する。
【００１４】図３及び図４において１は内部電極層であ
り、２は圧電セラミックス層、３は応力緩和部、４は外
部電極である。電圧を印加すると変位を発生する圧電セ
ラミックス層２と内部電極層１とが交互に積層され、前
記内部電極層１は一層おきに外部電極４に共通に接続さ
れる。さらに外部電極４はリード線６に接続され、この
リード線６より電圧が印加される。また互いに別の外部
電極４に接続されている内部電極層１に挟まれた圧電セ
ラミックス層２内に、内部電極の重ならない部分、若し
くはわずかに重なる周辺部を含めた部分、即ち電界が作
用しない部位に応力緩和部３が配設された構造となって
いる。また積層型圧電アクチュエータの上下にはアクチ
ュエータを保護するため圧電セラミックス層が積層され
ている。以下に製造方法を示しながらさらに詳しく本発
明を説明する。
り、２は圧電セラミックス層、３は応力緩和部、４は外
部電極である。電圧を印加すると変位を発生する圧電セ
ラミックス層２と内部電極層１とが交互に積層され、前
記内部電極層１は一層おきに外部電極４に共通に接続さ
れる。さらに外部電極４はリード線６に接続され、この
リード線６より電圧が印加される。また互いに別の外部
電極４に接続されている内部電極層１に挟まれた圧電セ
ラミックス層２内に、内部電極の重ならない部分、若し
くはわずかに重なる周辺部を含めた部分、即ち電界が作
用しない部位に応力緩和部３が配設された構造となって
いる。また積層型圧電アクチュエータの上下にはアクチ
ュエータを保護するため圧電セラミックス層が積層され
ている。以下に製造方法を示しながらさらに詳しく本発
明を説明する。
【００１５】圧電アクチュエータ用材料として好適であ
るPb（Zr，Ti）O3のセラミックス粉末をサンドミルで粉
砕し、バインダー、分散剤、活性剤、消泡剤を加えて混
練、真空脱泡した後ドクターブレード法を用いてグリー
ンシート２ａ、２ｂを作製する。得られたグリーンシー
ト２ａ、２ｂの厚みは約５５μｍであった。
るPb（Zr，Ti）O3のセラミックス粉末をサンドミルで粉
砕し、バインダー、分散剤、活性剤、消泡剤を加えて混
練、真空脱泡した後ドクターブレード法を用いてグリー
ンシート２ａ、２ｂを作製する。得られたグリーンシー
ト２ａ、２ｂの厚みは約５５μｍであった。
【００１６】市販の高純度チタン酸鉛の粉末（堺化学工
業社製、平均粒径０．５μｍ）を用意し、これにビヒク
ル、溶剤を加え応力緩和部用チタン酸鉛ペーストとし
た。
業社製、平均粒径０．５μｍ）を用意し、これにビヒク
ル、溶剤を加え応力緩和部用チタン酸鉛ペーストとし
た。
【００１７】先に述べたグリーンシート２ａ上にスクリ
ーン印刷法を用いて図５、図７の様に内部電極層１（銀
パラジウム合金）を印刷する。実際には積層後、所定パ
ターンで切断するため、グリーンシート２ａ上には内部
電極となる複数の領域に図の様な内部電極１のパターン
を形成するが、一個分の内部電極１についてのパターン
を図５に示したものとする。内部電極１のパターンは外
部電極４と接続される一辺１ａを残し、他の３辺はその
端部から少し内側になるように、即ち内部電極１が圧電
アクチュエータ表面に露出しないようにし、さらに好ま
しくは該パターンの角部１ｂを直線状に面取りするかま
たは曲線状に丸めれば、応力が内部電極１の角部に集中
するのを防ぐことができる。
ーン印刷法を用いて図５、図７の様に内部電極層１（銀
パラジウム合金）を印刷する。実際には積層後、所定パ
ターンで切断するため、グリーンシート２ａ上には内部
電極となる複数の領域に図の様な内部電極１のパターン
を形成するが、一個分の内部電極１についてのパターン
を図５に示したものとする。内部電極１のパターンは外
部電極４と接続される一辺１ａを残し、他の３辺はその
端部から少し内側になるように、即ち内部電極１が圧電
アクチュエータ表面に露出しないようにし、さらに好ま
しくは該パターンの角部１ｂを直線状に面取りするかま
たは曲線状に丸めれば、応力が内部電極１の角部に集中
するのを防ぐことができる。
【００１８】同様に別のグリーンシート２ｂ上にスクリ
ーン印刷法を用いて図６、図８の様に内部電極を積層方
向から見て、内部電極１が重ならない部位あるいは内部
電極１と重なる内部電極１の周辺部からわずかに突出す
る部分を含めて、応力緩和部３としてのチタン酸鉛を印
刷する。即ちシート２ｂの周辺部に応力緩和部３が形成
される。このチタン酸鉛は焼成時、微細に破壊され、圧
電セラミックス層２と反応しないので、圧電セラミック
ス層２の変位を誘起する特性に影響を与えない。さらに
チタン酸鉛は絶縁物なので内部電極と外部電極の絶縁を
保持できると共に圧縮に対しても強い。
ーン印刷法を用いて図６、図８の様に内部電極を積層方
向から見て、内部電極１が重ならない部位あるいは内部
電極１と重なる内部電極１の周辺部からわずかに突出す
る部分を含めて、応力緩和部３としてのチタン酸鉛を印
刷する。即ちシート２ｂの周辺部に応力緩和部３が形成
される。このチタン酸鉛は焼成時、微細に破壊され、圧
電セラミックス層２と反応しないので、圧電セラミック
ス層２の変位を誘起する特性に影響を与えない。さらに
チタン酸鉛は絶縁物なので内部電極と外部電極の絶縁を
保持できると共に圧縮に対しても強い。
【００１９】次に１００×１００ｍｍの大きさに切断し
た後、内部電極１を印刷したシートと応力緩和部３用チ
タン酸鉛ペーストを印刷したシートを交互にそれぞれ１
３０枚づつ積層した。これを、圧着し、脱脂焼成後切断
研磨し５×７×１０ｍｍの個々のブロックを得た。内部
電極間隔は約５０μｍであった。これに外部電極４を取
り付け、リード線６を取り出して積層型圧電アクチュエ
ータの素子とした。
た後、内部電極１を印刷したシートと応力緩和部３用チ
タン酸鉛ペーストを印刷したシートを交互にそれぞれ１
３０枚づつ積層した。これを、圧着し、脱脂焼成後切断
研磨し５×７×１０ｍｍの個々のブロックを得た。内部
電極間隔は約５０μｍであった。これに外部電極４を取
り付け、リード線６を取り出して積層型圧電アクチュエ
ータの素子とした。
【００２０】この様にして得られた積層型圧電アクチュ
エータ素子は、内部電極１間のほぼ中央の重ならない部
位に応力緩和部３を有してなるもので、外装をする前で
も、絶縁抵抗は１ＧΩ以上あった。また、変位を測定し
たところ、１５０Ｖで約１１μｍの変位を示した。この
素子に、０ー１５０Ｖ、ｓｉｎ波、３００Ｈｚを印加し
て駆動させ、寿命試験を行ったところ、１０9回変位さ
せても破壊は起こらなかった。また、耐湿性試験を行っ
た。試験は４０℃９０％Ｒ．Ｈ．の環境でＤＣ１５０Ｖ
印加し破壊までの時間を計測した。比較用に従来の積層
型圧電アクチュエータ形状の、内部電極端面が素子表面
に露出したタイプも測定した。本発明による素子は、外
装を施さなくても３０時間以上の耐湿性を示したのに対
し、従来の樹脂外装を施した素子は１時間未満で絶縁破
壊を起こした。図９にその結果を示す。
エータ素子は、内部電極１間のほぼ中央の重ならない部
位に応力緩和部３を有してなるもので、外装をする前で
も、絶縁抵抗は１ＧΩ以上あった。また、変位を測定し
たところ、１５０Ｖで約１１μｍの変位を示した。この
素子に、０ー１５０Ｖ、ｓｉｎ波、３００Ｈｚを印加し
て駆動させ、寿命試験を行ったところ、１０9回変位さ
せても破壊は起こらなかった。また、耐湿性試験を行っ
た。試験は４０℃９０％Ｒ．Ｈ．の環境でＤＣ１５０Ｖ
印加し破壊までの時間を計測した。比較用に従来の積層
型圧電アクチュエータ形状の、内部電極端面が素子表面
に露出したタイプも測定した。本発明による素子は、外
装を施さなくても３０時間以上の耐湿性を示したのに対
し、従来の樹脂外装を施した素子は１時間未満で絶縁破
壊を起こした。図９にその結果を示す。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による積層
型圧電アクチュエータは、内部電極間隔が７０μｍ以下
の小型積層圧電アクチュエータにおいても対応可能であ
り、内部電極が一層おきに外部電極と確実に絶縁され、
また内部電極間も確実に絶縁されているのでマイグレー
ションによる絶縁破壊の起こりにくい構造である。さら
に内部電極間に応力緩和部を設け、また内部電極の形状
を内部応力が集中せず、分散する形状にしたことで、内
部応力による機械的破損が生じにくい。また絶縁物を挟
むことにより圧縮にたいしての強度も向上した。よって
本発明による積層型圧電アクチュエータは、従来のもの
に比べはるかに耐久性が優れた積層型圧電アクチュエー
タである。
型圧電アクチュエータは、内部電極間隔が７０μｍ以下
の小型積層圧電アクチュエータにおいても対応可能であ
り、内部電極が一層おきに外部電極と確実に絶縁され、
また内部電極間も確実に絶縁されているのでマイグレー
ションによる絶縁破壊の起こりにくい構造である。さら
に内部電極間に応力緩和部を設け、また内部電極の形状
を内部応力が集中せず、分散する形状にしたことで、内
部応力による機械的破損が生じにくい。また絶縁物を挟
むことにより圧縮にたいしての強度も向上した。よって
本発明による積層型圧電アクチュエータは、従来のもの
に比べはるかに耐久性が優れた積層型圧電アクチュエー
タである。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の積層型圧電アクチュエータの一例の断面
図である。
図である。
【図２】従来の別の積層型圧電アクチュエータの一例の
断面図である。
断面図である。
【図３】本発明の一実施例である積層型圧電アクチュエ
ータの断面図である。
ータの断面図である。
【図４】本発明の一実施例である積層型圧電アクチュエ
ータの斜視図である。
ータの斜視図である。
【図５】本発明の一実施例である積層型圧電アクチュエ
ータの内部電極パターン図。
ータの内部電極パターン図。
【図６】本発明の一実施例である積層型圧電アクチュエ
ータの応力緩和部パターン図。
ータの応力緩和部パターン図。
【図７】本発明の別の実施例である積層型圧電アクチュ
エータの内部電極パターン図。
エータの内部電極パターン図。
【図８】本発明の別の実施例である積層型圧電アクチュ
エータの応力緩和部パターン図。
エータの応力緩和部パターン図。
【図９】本発明の積層型圧電アクチュエータと従来型の
積層型圧電アクチュエータの耐湿性試験の結果。
積層型圧電アクチュエータの耐湿性試験の結果。
１ 内部電極 ２ 圧電セラミックス層 ３ 応力緩和部 ４ 外部電極 ５ 絶縁体 ６ リード線
Claims (8)
- 【請求項１】 圧電セラミックス層と内部電極が交互に
積層され、内部電極が外部電極と一層おきに接続される
積層型圧電アクチュエータにおいて、上記内部電極間に
応力緩和部を設けたことを特徴とする積層型圧電アクチ
ュエータ。 - 【請求項２】 上記内部電極の外部電極に接続される面
が交互にアクチュエータの一方の側面より露出すること
を特徴とする請求項１記載の積層型圧電アクチュエー
タ。 - 【請求項３】 上記応力緩和部がチタン酸鉛であること
を特徴とする請求項１記載の積層型圧電アクチュエー
タ。 - 【請求項４】 応力緩和部が相隣る内部電極間の、前記
圧電セラミックス層周辺部に設けたことを特徴とする請
求項１記載の積層型圧電アクチュエータ。 - 【請求項５】 応力緩和部を相隣る内部電極間の、該内
部電極が前記アクチュエータの積層方向から投影的に見
て重ならない部分で前記セラミックス層周辺部に設けた
ことを特徴とする請求項４記載の積層型圧電アクチュエ
ータ。 - 【請求項６】 前記応力緩和部が相隣る内部電極間の、
該内部電極の周辺部から前記アクチュエータの積層方向
から投影的に見て内部電極の重なる部分の内方へわずか
に突出するように前記セラミックス層周辺部に設けたこ
とを特徴とする請求項４記載の積層型圧電アクチュエー
タ。 - 【請求項７】 前記応力緩和部が相隣る内部電極間のほ
ぼ中間部に内部電極に平行に設けられたことを特徴とす
る請求項４〜６いずれか記載の積層型圧電アクチュエー
タ。 - 【請求項８】 上記内部電極の角部が直線状に面取り、
または曲線状に丸められることを特徴とする請求項１記
載の積層型圧電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7099918A JPH08274381A (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 積層型圧電アクチュエータ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7099918A JPH08274381A (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 積層型圧電アクチュエータ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08274381A true JPH08274381A (ja) | 1996-10-18 |
Family
ID=14260165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7099918A Pending JPH08274381A (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 積層型圧電アクチュエータ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08274381A (ja) |
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19928177A1 (de) * | 1999-06-19 | 2001-01-11 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
| JP2001267646A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-28 | Taiheiyo Cement Corp | 積層型圧電アクチュエータ |
| JP2007287940A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Tdk Corp | 積層型圧電素子 |
| US7309945B2 (en) | 2004-02-03 | 2007-12-18 | Denso Corporation | Laminated-type piezoelectric element and a manufacturing method thereof |
| JP2008034542A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| WO2008038683A1 (en) * | 2006-09-28 | 2008-04-03 | Kyocera Corporation | Laminated piezoelectric element, injection apparatus and fuel injection system using the laminated piezoelectric element, and method for manufacturing laminated piezoelectric element |
| WO2008072746A1 (ja) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム |
| US7594309B2 (en) | 2005-12-01 | 2009-09-29 | Denso Corporation | Method of producing laminate-type piezoelectric element |
| US7598660B2 (en) * | 2005-02-15 | 2009-10-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Monolithic piezoelectric element |
| WO2010035437A1 (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-01 | 株式会社村田製作所 | 圧電積層体 |
| JP4658280B2 (ja) * | 1999-11-29 | 2011-03-23 | 太平洋セメント株式会社 | 積層型圧電アクチュエータ |
| JP2011181958A (ja) * | 2011-05-23 | 2011-09-15 | Taiheiyo Cement Corp | 積層型圧電アクチュエータの製造方法 |
| US8240582B2 (en) | 2007-02-26 | 2012-08-14 | Denso Corporation | Stacked piezoelectric device |
| JP2012216874A (ja) * | 2003-02-24 | 2012-11-08 | Epcos Ag | 電気的な多層構成部材及び層スタック |
| JP5084745B2 (ja) * | 2006-12-15 | 2012-11-28 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム |
| JP2013016548A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-24 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電素子 |
| JP2014085547A (ja) * | 2012-10-24 | 2014-05-12 | Ricoh Co Ltd | 圧電光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
| CN106465021A (zh) * | 2014-08-28 | 2017-02-22 | 京瓷株式会社 | 压电元件及具备该压电元件的音响产生器、音响产生装置、电子设备 |
| CN110233202A (zh) * | 2018-03-06 | 2019-09-13 | 太阳诱电株式会社 | 层叠型压电元件 |
| JP2020205369A (ja) * | 2019-06-18 | 2020-12-24 | Tdk株式会社 | 圧電デバイス |
-
1995
- 1995-03-31 JP JP7099918A patent/JPH08274381A/ja active Pending
Cited By (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19928177C2 (de) * | 1999-06-19 | 2001-04-26 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
| DE19928177A1 (de) * | 1999-06-19 | 2001-01-11 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
| JP4658280B2 (ja) * | 1999-11-29 | 2011-03-23 | 太平洋セメント株式会社 | 積層型圧電アクチュエータ |
| JP2001267646A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-28 | Taiheiyo Cement Corp | 積層型圧電アクチュエータ |
| JP2012216874A (ja) * | 2003-02-24 | 2012-11-08 | Epcos Ag | 電気的な多層構成部材及び層スタック |
| US7309945B2 (en) | 2004-02-03 | 2007-12-18 | Denso Corporation | Laminated-type piezoelectric element and a manufacturing method thereof |
| US7598660B2 (en) * | 2005-02-15 | 2009-10-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Monolithic piezoelectric element |
| JP4775372B2 (ja) * | 2005-02-15 | 2011-09-21 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電素子 |
| US7594309B2 (en) | 2005-12-01 | 2009-09-29 | Denso Corporation | Method of producing laminate-type piezoelectric element |
| JP2007287940A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Tdk Corp | 積層型圧電素子 |
| JP2008034542A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| JPWO2008038683A1 (ja) * | 2006-09-28 | 2010-01-28 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子、これを用いた噴射装置及び燃料噴射システム、並びに積層型圧電素子の製造方法 |
| WO2008038683A1 (en) * | 2006-09-28 | 2008-04-03 | Kyocera Corporation | Laminated piezoelectric element, injection apparatus and fuel injection system using the laminated piezoelectric element, and method for manufacturing laminated piezoelectric element |
| US8104693B2 (en) | 2006-09-28 | 2012-01-31 | Kyocera Corporation | Multilayer piezoelectric element, injection device and fuel injection system using the same, and method of manufacturing multilayer piezoelectric element |
| WO2008072746A1 (ja) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム |
| US8188637B2 (en) | 2006-12-15 | 2012-05-29 | Kyocera Corporation | Laminated piezoelectric element with porous sections |
| JP5025661B2 (ja) * | 2006-12-15 | 2012-09-12 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム |
| JP5084745B2 (ja) * | 2006-12-15 | 2012-11-28 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム |
| US8240582B2 (en) | 2007-02-26 | 2012-08-14 | Denso Corporation | Stacked piezoelectric device |
| WO2010035437A1 (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-01 | 株式会社村田製作所 | 圧電積層体 |
| JP2011181958A (ja) * | 2011-05-23 | 2011-09-15 | Taiheiyo Cement Corp | 積層型圧電アクチュエータの製造方法 |
| JP2013016548A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-24 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電素子 |
| JP2014085547A (ja) * | 2012-10-24 | 2014-05-12 | Ricoh Co Ltd | 圧電光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
| CN106465021A (zh) * | 2014-08-28 | 2017-02-22 | 京瓷株式会社 | 压电元件及具备该压电元件的音响产生器、音响产生装置、电子设备 |
| EP3188506A4 (en) * | 2014-08-28 | 2018-06-06 | Kyocera Corporation | Piezoelectric element and acoustic generator, acoustic generation device, and electronic apparatus provided with same |
| CN106465021B (zh) * | 2014-08-28 | 2019-04-19 | 京瓷株式会社 | 压电元件及具备该压电元件的音响产生器、音响产生装置、电子设备 |
| US10333051B2 (en) | 2014-08-28 | 2019-06-25 | Kyocera Corporation | Piezoelectric element, and acoustic generator, acoustic generation device, and electronic apparatus employing same |
| CN110233202A (zh) * | 2018-03-06 | 2019-09-13 | 太阳诱电株式会社 | 层叠型压电元件 |
| US11616189B2 (en) * | 2018-03-06 | 2023-03-28 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Laminated piezoelectric element |
| CN110233202B (zh) * | 2018-03-06 | 2024-05-14 | 太阳诱电株式会社 | 层叠型压电元件 |
| JP2020205369A (ja) * | 2019-06-18 | 2020-12-24 | Tdk株式会社 | 圧電デバイス |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08274381A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ及びその製造方法 | |
| JPH04214686A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH0732273B2 (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP4843948B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
| EP0584842A2 (en) | Laminated ceramic device and method of manufacturing the same | |
| JPH04159785A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2006351602A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ素子 | |
| JP2001102646A (ja) | 積層型圧電セラミックス | |
| JPH0256830B2 (ja) | ||
| JP4802445B2 (ja) | 積層型圧電素子とその製造方法 | |
| JPH0364979A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2951129B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
| JP4670260B2 (ja) | 積層型電子部品 | |
| JPH053349A (ja) | 積層型圧電アクチユエータおよびその製造方法 | |
| JP4359873B2 (ja) | セラミック積層型電気機械変換素子とその製造方法 | |
| JPH02237083A (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JP6898167B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JPS62133777A (ja) | 積層型圧電素子およびその製造方法 | |
| JPH04337682A (ja) | 圧電効果素子および電歪効果素子 | |
| JPH0534122Y2 (ja) | ||
| JPH02132870A (ja) | 積層圧電素子 | |
| JPH04274377A (ja) | 積層圧電アクチュエータ | |
| JPH0738168A (ja) | 積層型圧電体素子 | |
| JPH049390B2 (ja) | ||
| JP4724385B2 (ja) | 積層型電子部品及び積層中間体 |