JP4775372B2 - 積層型圧電素子 - Google Patents
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Description
11 セラミック層
12 内部導体層
13 クラック導入導体層
21,22 外部電極
をそれぞれ5つずつ用意し、上記と同じ方法で連続駆動試験を行った。
一区画当たりの歪み量D/Mと連続駆動試験の結果を表2に示す。また、参考として、一区画当たりの積層方向の寸法L/M(Lは積層体の積層方向の寸法)も示す。試料番号7は、全ての内部導体層間にクラック導入導体層を配置したものである。
Claims (8)
- 圧電性を有するセラミック層と内部導体層とが一体に形成された積層体と、前記積層体の表面に形成された外部電極と、を備える積層型圧電素子であって、
前記積層体の内部に、前記積層体にクラックを発生させるためのクラック導入導体層を備えることを特徴とする積層型圧電素子。 - 前記クラック導入導体層と前記セラミック層との間の界面強度は、前記内部導体層と前記セラミック層との間の界面強度よりも弱いことを特徴とする請求項1に記載の積層型圧電素子。
- 前記内部導体層は前記セラミック層に含有されるセラミックスと同一組成系のセラミックスを含有し、
前記クラック導入導体層は前記セラミック層に含有されるセラミックスと同一組成系のセラミックスを含有しないか、または、前記内部導体層に含有される前記セラミックスの含有率よりも低い含有率で前記セラミックスを含有することを特徴とする請求項2に記載の積層型圧電素子。 - 前記クラック導入導体層の厚みは、前記内部導体層の厚みよりも厚いことを特徴とする請求項2あるいは請求項3に記載の積層型圧電素子。
- 前記クラック導入導体層は、前記積層体の積層面に沿って配置され、前記内部導体層が位置されている積層面と同じ積層面に配置されていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の積層型圧電素子。
- 前記クラック導入導体層は、前記積層体の積層面に沿って配置され、前記内部導体層が配置されている積層面とは異なる積層面に配置されていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の積層型圧電素子。
- 前記クラック導入導体層は、前記内部導体層が積層方向に重なり合っている領域を避けて形成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の積層型圧電素子。
- 前記クラック導入導体層が形成されている積層面によって前記積層体が分割されてなる区画の数をMとし、前記積層体の積層方向の歪み量をD(μm)としたとき、一区画当たりの歪み量D/Mが7.5μm以下であることを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の積層型圧電素子。
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