JP7036604B2 - 積層圧電セラミック部品及び圧電デバイス - Google Patents
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Description
上記圧電セラミック体は、直方形状であり、厚さ方向に対向する上面及び下面と、長さ方向に対向する第1の端面及び第2の端面と、幅方向に対向する一対の側面とを有する。
上記第1の内部電極は、上記圧電セラミック体の内部に形成され、上記第1の端面に引き出される。
上記第2の内部電極は、上記圧電セラミック体の内部に形成され、上記第2の端面に引き出され、上記第1の内部電極と厚さ方向に所定の距離をおいて交互に積層される。
上記第1の端子電極は、上記第1の端面に形成され、上記第1の内部電極と電気的に接続される。
上記第2の端子電極は、上記第2の端面に形成され、上記第2の内部電極と電気的に接続される。
上記第1の内部電極及び上記第2の内部電極の幅と、上記一対の側面の間の距離とは、同じであり、上記一対の側面の少なくともいずれかは、上記長さ方向に対して非平行に延在する溝を有する。
上記積層圧電セラミック部品は、圧電セラミック体と、第1の内部電極と、第2の内部電極と、第1の端子電極と、第2の端子電極とを具備する。
上記圧電セラミック体は、直方形状であり、厚さ方向に対向する上面及び下面と、長さ方向に対向する第1の端面及び第2の端面と、幅方向に対向する一対の側面とを有する。
上記第1の内部電極は、上記圧電セラミック体の内部に形成され、上記第1の端面に引き出される。
上記第2の内部電極は、上記圧電セラミック体の内部に形成され、上記第2の端面に引き出され、上記第1の内部電極と厚さ方向に所定の距離をおいて交互に積層される。
上記第1の端子電極は、上記第1の端面に形成され、上記第1の内部電極と電気的に接続される。
上記第2の端子電極は、上記第2の端面に形成され、上記第2の内部電極と電気的に接続される。
上記第1の内部電極及び上記第2の内部電極の幅と、上記一対の側面の間の距離とは、同じであり、上記一対の側面の少なくともいずれかは、上記長さ方向に対して非平行に延在する溝を有する。
図1及び図2は、本実施形態に係る積層圧電セラミック部品100の斜視図であり、図2は、図1の反対側から見た図である。
図5は、第1端面101cを示す平面図であり、図6は、第2端面101dを示す平面図である。
図7は、上面101eを示す平面図であり、図8は、下面101fを示す平面図である。
図12(a)は、溝120が設けられた第1側面101aの模式図である。図12(b)には、図12(a)のD-D線に沿った切断面の一部が示されている。溝120は、第1側面101aに限らず、第1側面101a、第2側面101b、第1端面101c及び第2端面101dの少なくともいずれかに設けられてもよい。
積層圧電セラミック部品100は、第1内部電極102と第2内部電極103の間と、第3内部電極104と第2内部電極103の間にそれぞれ独立して電圧を印加することができる。
積層圧電セラミック部品100は、上述のように第1内部電極102、第2内部電極103及び第3内部電極104が第1側面101a及び第2側面101bに露出した構造を有する。
図15は、絶縁膜112を備える積層圧電セラミック部品100を示す斜視図である。
積層圧電セラミック部品100の製造方法について説明する。
積層圧電セラミック部品100は、振動部材に実装され、圧電デバイスを構成することができる。図17は、積層圧電セラミック部品100を備える圧電デバイス400の模式図である。同図に示すように圧電デバイス400は、積層圧電セラミック部品100、振動部材410及び固定冶具252を備える。
101、201、301…圧電セラミック体
101a…第1側面
101b…第2側面
101c…第1端面
101d…第2端面
101h…第1領域
101g…第2領域
101e…上面
101f…下面
102…第1内部電極
103…第2内部電極
104…第3内部電極
105…第1表面電極
106…第2表面電極
107…第1端面端子電極
108…第2端面端子電極
109…第3端面端子電極
110…第1表面端子電極
111…第2表面端子電極
112…絶縁膜
112a…開口
120…溝
210、220、230、240、250…シート部材
252…固定冶具
302…表面電極
303…端子電極
304…端子電極
400…圧電デバイス
410…振動部材
420…接合部
Claims (4)
- 厚さ方向に対向する上面及び下面と、長さ方向に対向する第1の端面及び第2の端面と、幅方向に対向する一対の側面とを有する直方形状の圧電セラミック体と、
前記圧電セラミック体の内部に形成され、前記第1の端面に引き出された第1の内部電極と、
前記圧電セラミック体の内部に形成され、前記第2の端面に引き出され、前記第1の内部電極と厚さ方向に所定の距離をおいて交互に積層された第2の内部電極と、
前記圧電セラミック体の前記内部に前記第1の端面の前記第1の内部電極と異なる位置に引き出され、前記第2の内部電極と厚さ方向に所定の距離をおいて交互に積層された第3の内部電極と、
前記第1の端面に形成され、前記第1の内部電極と電気的に接続する第1端面端子電極と、
前記第2の端面に形成され、前記第2の内部電極と電気的に接続される第2端面端子電極と、
前記第1の端面の前記第1の内部電極と異なる位置に、前記第3の内部電極と電気的に接続する第3端面端子電極と、
前記上面に形成され、前記第1端面端子電極に電気的に接続された第1表面端子電極と、
前記上面に形成され、前記第3端面端子電極に電気的に接続された第2表面端子電極と、
前記上面に形成され、前記第2端面端子電極に電気的に接続された第1表面電極と
を具備し、
前記厚さ方向において、前記第1の内部電極と前記第2の内部電極とが交互に積層された第1領域と、前記第3の内部電極と前記第2の内部電極とが交互に積層された第2領域とに区分けされ、
前記第1の内部電極及び前記第2の内部電極の幅と、前記一対の側面の間の距離とは、同じであり、
前記第3の内部電極の幅と、前記一対の側面の間の距離とは、同じであり、
前記一対の側面の少なくともいずれかは、前記第1の内部電極及び前記第2の内部電極に対して非平行に延在する溝を有する
積層圧電セラミック部品。 - 請求項1に記載の積層圧電セラミック部品であって、
前記一対の側面は、前記圧電セラミック体とは異なる絶縁体からなる絶縁膜で覆われている
積層圧電セラミック部品。 - 請求項1または2に記載の積層圧電セラミック部品であって、
前記圧電セラミック体には、長さ>幅>厚さの関係がある
積層圧電セラミック部品。 - 振動部材と、
前記振動部材に実装された積層圧電セラミック部品とを具備し、
前記積層圧電セラミック部品は、
厚さ方向に対向する上面及び下面と、長さ方向に対向する第1の端面及び第2の端面と、幅方向に対向する一対の側面とを有する直方形状の圧電セラミック体と、
前記圧電セラミック体の内部に形成され、前記第1の端面に引き出された第1の内部電極と、
前記圧電セラミック体の内部に形成され、前記第2の端面に引き出され、前記第1の内部電極と厚さ方向に所定の距離をおいて交互に積層された第2の内部電極と、
前記圧電セラミック体の前記内部に前記第1の端面の前記第1の内部電極と異なる位置に引き出され、前記第2の内部電極と厚さ方向に所定の距離をおいて交互に積層された第3の内部電極と、
前記第1の端面に形成され、前記第1の内部電極と電気的に接続する第1端面端子電極と、
前記第2の端面に形成され、前記第2の内部電極と電気的に接続される第2端面端子電極と、
前記第1の端面の前記第1の内部電極と異なる位置に、前記第3の内部電極と電気的に接続する第3端面端子電極と、
前記上面に形成され、前記第1端面端子電極に電気的に接続された第1表面端子電極と、
前記上面に形成され、前記第3端面端子電極に電気的に接続された第2表面端子電極と、
前記上面に形成され、前記第2端面端子電極に電気的に接続された第1表面電極と
を有し、
前記厚さ方向において、前記第1の内部電極と前記第2の内部電極とが交互に積層された第1領域と、前記第3の内部電極と前記第2の内部電極とが交互に積層された第2領域とに区分けされ、
前記第1の内部電極及び前記第2の内部電極の幅と、前記一対の側面の間の距離とは、同じであり、
前記第3の内部電極の幅と、前記一対の側面の間の距離とは、同じであり、
前記一対の側面の少なくともいずれかは、前記第1の内部電極及び前記第2の内部電極に対して非平行に延在する溝を有する
圧電デバイス。
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