JP2001102646A - 積層型圧電セラミックス - Google Patents
積層型圧電セラミックスInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 熱プレスの際の密着強度の差を抑え、焼結時
に割れのない積層型圧電セラミックを提供すること。 【解決手段】 圧電セラミックシート６上で一部が除か
れている形状とした複数の活性内部電極１，３を含み前
記活性内部電極１，３が互いに対向電極となるように積
層した積層体９であって、前記積層体９の側面に外部電
極７ａ，７ｂを形成し、前記活性内部電極１，３を形成
する際に前記積層方向での断面形状に対して前記活性内
部電極１，３が除かれている部分５ａ，５ｂには、前記
活性内部電極１，３と非接触なダミー内部電極２，４が
形成されている。
に割れのない積層型圧電セラミックを提供すること。 【解決手段】 圧電セラミックシート６上で一部が除か
れている形状とした複数の活性内部電極１，３を含み前
記活性内部電極１，３が互いに対向電極となるように積
層した積層体９であって、前記積層体９の側面に外部電
極７ａ，７ｂを形成し、前記活性内部電極１，３を形成
する際に前記積層方向での断面形状に対して前記活性内
部電極１，３が除かれている部分５ａ，５ｂには、前記
活性内部電極１，３と非接触なダミー内部電極２，４が
形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加圧により電圧を
生じさせたり、電圧を加えて変位又は力を生じさせる積
層型圧電セラミックスに属する。
生じさせたり、電圧を加えて変位又は力を生じさせる積
層型圧電セラミックスに属する。
【０００２】
【従来の技術】従来，積層型圧電セラミックスの分野で
は、積層型圧電セラミックスの積層方向での断面形状に
対して一部が形成されない形状とした内部電極を形成し
ている。内部電極は内部電極層内で電気的に導通してお
り、その他の部分においては内部電極の形成は行ってい
ない構造とする技術が用いられていた。
は、積層型圧電セラミックスの積層方向での断面形状に
対して一部が形成されない形状とした内部電極を形成し
ている。内部電極は内部電極層内で電気的に導通してお
り、その他の部分においては内部電極の形成は行ってい
ない構造とする技術が用いられていた。
【０００３】図５（Ａ）及び図５（Ｂ）は従来技術にお
ける内部電極パターンを示しており、図５（Ｃ）は積層
型圧電セラミックスの断面を示している。
ける内部電極パターンを示しており、図５（Ｃ）は積層
型圧電セラミックスの断面を示している。
【０００４】図５（Ａ）乃至図５（Ｃ）を参照して、積
層型圧電セラミックスは、圧電セラミックシート５６
と、圧電セラミックシート５６上に積層型圧電セラミッ
クスの積層方向での断面形状に対して一部に内部電極５
１，５３を形成しない部分５５ａ，５５ｂをもつ形状と
した内部電極５１，５３を形成している。
層型圧電セラミックスは、圧電セラミックシート５６
と、圧電セラミックシート５６上に積層型圧電セラミッ
クスの積層方向での断面形状に対して一部に内部電極５
１，５３を形成しない部分５５ａ，５５ｂをもつ形状と
した内部電極５１，５３を形成している。
【０００５】内部電極５１，５３は互いに対向電極とな
るように積層し、積層体５９の側面に内部電極５１，５
３に接続させるように一対の外部電極５７ａ，５７ｂを
形成している。一対の外部電極５７ａ，５７ｂにはリー
ド線５８ａ，５８ｂが接続されている。
るように積層し、積層体５９の側面に内部電極５１，５
３に接続させるように一対の外部電極５７ａ，５７ｂを
形成している。一対の外部電極５７ａ，５７ｂにはリー
ド線５８ａ，５８ｂが接続されている。
【０００６】ところで、積層型圧電セラミックスを製作
する際、熱プレス工程において製品の厚みが均一になる
ように製作すると、図５（Ａ）及び図５（Ｃ）に示した
ように、内部電極層で対向する内部電極５１，５３の両
方が積層方向に於いて重なり合う部分（密着強度が強い
部分）Ｌ２と、積層型圧電セラミックスの対向する内部
電極５１，５３の両方が積層方向に於いて重なり合わな
い部分（密着強度が弱い部分）Ｌ１とができる。
する際、熱プレス工程において製品の厚みが均一になる
ように製作すると、図５（Ａ）及び図５（Ｃ）に示した
ように、内部電極層で対向する内部電極５１，５３の両
方が積層方向に於いて重なり合う部分（密着強度が強い
部分）Ｌ２と、積層型圧電セラミックスの対向する内部
電極５１，５３の両方が積層方向に於いて重なり合わな
い部分（密着強度が弱い部分）Ｌ１とができる。
【０００７】すなわち、積層型圧電セラミックスの対向
する内部電極５１，５３の両方が積層方向に於いて重な
り合わない部分（密着強度が弱い部分）Ｌ１は内部電極
５１，５３を形成しない部分５５ａ，５５ｂに相当す
る。
する内部電極５１，５３の両方が積層方向に於いて重な
り合わない部分（密着強度が弱い部分）Ｌ１は内部電極
５１，５３を形成しない部分５５ａ，５５ｂに相当す
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、内部電
極５１，５３の両方が積層方向に於いて重なり合う部分
Ｌ２と、積層型圧電セラミックスの対向する内部電極５
１，５３の両方が積層方向に於いて重なり合わない部分
Ｌ１では、積層された内部電極５１，５３の枚数が異な
るので、密着強度の差が生じ、重なり合わない部分Ｌ１
で焼結時に割れが生じる。このように積層型圧電セラミ
ックスに密着強度の差が生じると、焼結時の割れの原因
となる。
極５１，５３の両方が積層方向に於いて重なり合う部分
Ｌ２と、積層型圧電セラミックスの対向する内部電極５
１，５３の両方が積層方向に於いて重なり合わない部分
Ｌ１では、積層された内部電極５１，５３の枚数が異な
るので、密着強度の差が生じ、重なり合わない部分Ｌ１
で焼結時に割れが生じる。このように積層型圧電セラミ
ックスに密着強度の差が生じると、焼結時の割れの原因
となる。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、圧電セ
ラミックシートと、該圧電セラミックシート上に積層方
向での断面形状に対して一部が除かれている部分を有す
る活性内部電極とを含み、複数の該活性内部電極が互い
に対向電極となるように積層した積層体であって、前記
積層体の側面に外部電極を形成した積層型圧電セラミッ
クスにおいて、前記活性内部電極が除かれている部分に
は、前記活性内部電極に対して非接触なダミー内部電極
が形成されていることを特徴とする積層型圧電セラミッ
クスが得られる。
ラミックシートと、該圧電セラミックシート上に積層方
向での断面形状に対して一部が除かれている部分を有す
る活性内部電極とを含み、複数の該活性内部電極が互い
に対向電極となるように積層した積層体であって、前記
積層体の側面に外部電極を形成した積層型圧電セラミッ
クスにおいて、前記活性内部電極が除かれている部分に
は、前記活性内部電極に対して非接触なダミー内部電極
が形成されていることを特徴とする積層型圧電セラミッ
クスが得られる。
【００１０】
【作用】積層型圧電セラミックスの積層方向での断面形
状に対して活性内部電極を除かれている部分に、活性内
部電極と接触しないようにダミー内部電極を追加形成す
る。
状に対して活性内部電極を除かれている部分に、活性内
部電極と接触しないようにダミー内部電極を追加形成す
る。
【００１１】更には、ダミー内部電極が同一層の活性内
部電極が露出する側面に同時に露出しないように、活性
内部電極及びダミー内部電極を形成する。更には、同一
の内部電極層内のダミー内部電極と活性内部電極が各々
対向する極性を持つ外部電極と接触するように形成す
る。
部電極が露出する側面に同時に露出しないように、活性
内部電極及びダミー内部電極を形成する。更には、同一
の内部電極層内のダミー内部電極と活性内部電極が各々
対向する極性を持つ外部電極と接触するように形成す
る。
【００１２】積層型圧電セラミックスの積層方向での断
面形状に対して活性内部電極が除かれている部分に、活
性内部電極と接触しないように更にダミー内部電極を追
加形成する事により、積層方向に対して内部電極が重な
り合わない部分が減り、熱プレスの際の密着強度の差を
減少させ、焼結時に割れが生じない積層型圧電セラミッ
クスを製造する。
面形状に対して活性内部電極が除かれている部分に、活
性内部電極と接触しないように更にダミー内部電極を追
加形成する事により、積層方向に対して内部電極が重な
り合わない部分が減り、熱プレスの際の密着強度の差を
減少させ、焼結時に割れが生じない積層型圧電セラミッ
クスを製造する。
【００１３】またダミー内部電極が同一層の活性内部電
極が露出する側面に同時に露出しないように、活性内部
電極及びダミー内部電極を形成する事によって、異なる
極性を持つ内部電極層が近接することがなくなる。その
結果、内部電極層同士の側面でのショートによる不具合
の発生を防ぐ。
極が露出する側面に同時に露出しないように、活性内部
電極及びダミー内部電極を形成する事によって、異なる
極性を持つ内部電極層が近接することがなくなる。その
結果、内部電極層同士の側面でのショートによる不具合
の発生を防ぐ。
【００１４】更に、同一の内部電極層内のダミー内部電
極と活性内部電極が各々対向する極性を持つ活性外部電
極と接触するように形成することで、ダミー内部電極が
２つの外部電極及び外部電極に接続される活性内部電極
と異なる電位を持ち、特性を不安定にすることを防ぐ。
極と活性内部電極が各々対向する極性を持つ活性外部電
極と接触するように形成することで、ダミー内部電極が
２つの外部電極及び外部電極に接続される活性内部電極
と異なる電位を持ち、特性を不安定にすることを防ぐ。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に発明の積層型圧電セラミッ
クスの一実施の形態例を図面を参照して説明する。図１
（Ａ）乃至図１（Ｄ）は、一実施の形態例における積層
型圧電セラミックスの構造を示し、図１（Ａ）及び図１
（Ｂ）は内部電極パターンを示している。図１（Ｃ）は
図１（Ａ）及び図１（Ｂ）の内部電極パターンの積層上
面からの透視図を示し、図１（Ｄ）は積層型圧電セラミ
ックスの断面図を示している。
クスの一実施の形態例を図面を参照して説明する。図１
（Ａ）乃至図１（Ｄ）は、一実施の形態例における積層
型圧電セラミックスの構造を示し、図１（Ａ）及び図１
（Ｂ）は内部電極パターンを示している。図１（Ｃ）は
図１（Ａ）及び図１（Ｂ）の内部電極パターンの積層上
面からの透視図を示し、図１（Ｄ）は積層型圧電セラミ
ックスの断面図を示している。
【００１６】図１（Ａ）乃至図１（Ｄ）を参照して、積
層型圧電セラミックスは圧電セラミックシート６と、圧
電セラミックシート６上に積層型圧電セラミックスの積
層方向での断面形状に対して一部が除かれている形状と
した複数の活性内部電極１，３とを含み活性内部電極
１，３が互いに対向電極となるように積層した積層体９
を有している。
層型圧電セラミックスは圧電セラミックシート６と、圧
電セラミックシート６上に積層型圧電セラミックスの積
層方向での断面形状に対して一部が除かれている形状と
した複数の活性内部電極１，３とを含み活性内部電極
１，３が互いに対向電極となるように積層した積層体９
を有している。
【００１７】積層体９の側面には一対の外部電極７ａ，
７ｂとこれらの外部電極７ａ，７ｂに接続されている一
対のリード線８ａ，８ｂとが設けられている。積層型圧
電セラミックスの積層方向での断面形状に対して活性内
部電極１，３が除かれている部分５ａ，５ｂには、活性
内部電極１，３に対して非接触としたダミー内部電極
２，４が形成されている。
７ｂとこれらの外部電極７ａ，７ｂに接続されている一
対のリード線８ａ，８ｂとが設けられている。積層型圧
電セラミックスの積層方向での断面形状に対して活性内
部電極１，３が除かれている部分５ａ，５ｂには、活性
内部電極１，３に対して非接触としたダミー内部電極
２，４が形成されている。
【００１８】ダミー内部電極２，４は、同一層の活性内
部電極１，３が露出する側面に同時に露出しないように
活性内部電極１，３及びダミー内部電極２，４を形成し
ている。同一のダミー内部電極２，４と活性内部電極
１，３とは各々対向する極性を持つ外部電極７ａ，７ｂ
と接触するように形成されている。
部電極１，３が露出する側面に同時に露出しないように
活性内部電極１，３及びダミー内部電極２，４を形成し
ている。同一のダミー内部電極２，４と活性内部電極
１，３とは各々対向する極性を持つ外部電極７ａ，７ｂ
と接触するように形成されている。
【００１９】積層体９は四角柱形状を呈しており、図１
（Ａ）に示した内部電極パターンでは活性内部電極１が
積層体９の断面正四角形の直角に交わっている２辺を含
み積層体９の他の直角に交わっている２辺から所定間隔
をもって正四角形に形成されている。
（Ａ）に示した内部電極パターンでは活性内部電極１が
積層体９の断面正四角形の直角に交わっている２辺を含
み積層体９の他の直角に交わっている２辺から所定間隔
をもって正四角形に形成されている。
【００２０】したがって、積層体９の他の直角に交わっ
ている２辺と、これら２辺に対向している活性内部電極
１の２辺との間に活性内部電極１が除かれている部分５
ａと積層体９の他の直角に交わっている２辺を含みこれ
ら２辺に沿ってダミー内部電極２が形成されている。
ている２辺と、これら２辺に対向している活性内部電極
１の２辺との間に活性内部電極１が除かれている部分５
ａと積層体９の他の直角に交わっている２辺を含みこれ
ら２辺に沿ってダミー内部電極２が形成されている。
【００２１】同様に、図１（Ｂ）に示した内部電極パタ
ーンでは活性内部電極３が積層体９の断面正四角形の直
角に交わっている他の２辺を含み積層体９の直角に交わ
っている２辺から所定間隔をもって正四角形に形成され
ている。
ーンでは活性内部電極３が積層体９の断面正四角形の直
角に交わっている他の２辺を含み積層体９の直角に交わ
っている２辺から所定間隔をもって正四角形に形成され
ている。
【００２２】したがって、積層体９の直角に交わってい
る他の２辺と、これら他の２辺に対向している活性内部
電極３の２辺との間に活性内部電極３が除かれている部
分５ｂと積層体９の直角に交わっている２辺を含みこれ
ら２辺に沿ってダミー内部電極４が形成されている。
る他の２辺と、これら他の２辺に対向している活性内部
電極３の２辺との間に活性内部電極３が除かれている部
分５ｂと積層体９の直角に交わっている２辺を含みこれ
ら２辺に沿ってダミー内部電極４が形成されている。
【００２３】この実施の形態例における積層型圧電セラ
ミックスは、以下に説明する厚膜積層法により製造され
る。図１（Ａ）、図１（Ｂ）に示すように、圧電セラミ
ックシート６上の４端面のうち２面にはみ出さないよう
に活性内部電極１，３を形成し、活性内部電極１，３が
除かれている部分５ａ，５ｂに、活性内部電極１，３と
接触しないようにさらにダミー内部電極２，４を形成す
る。
ミックスは、以下に説明する厚膜積層法により製造され
る。図１（Ａ）、図１（Ｂ）に示すように、圧電セラミ
ックシート６上の４端面のうち２面にはみ出さないよう
に活性内部電極１，３を形成し、活性内部電極１，３が
除かれている部分５ａ，５ｂに、活性内部電極１，３と
接触しないようにさらにダミー内部電極２，４を形成す
る。
【００２４】そして図１（Ｃ）に示すように、活性内部
電極１，３が互いに対向電極となるように積層し、積層
型圧電セラミックスを製作して図１（Ｄ）の構成を得
る。
電極１，３が互いに対向電極となるように積層し、積層
型圧電セラミックスを製作して図１（Ｄ）の構成を得
る。
【００２５】図２（Ａ）、図２（Ｂ）は図１（Ａ）及び
図１（Ｂ）の内部電極パターンの変形例を示している。
図２（Ｃ）は図２（Ａ）及び図２（Ｂ）の内部電極パタ
ーンの積層上面からの透視図を示している。
図１（Ｂ）の内部電極パターンの変形例を示している。
図２（Ｃ）は図２（Ａ）及び図２（Ｂ）の内部電極パタ
ーンの積層上面からの透視図を示している。
【００２６】図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示した内部電
極パターンでは、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示したダ
ミー内部電極２，４の両端部分のダミー内部電極２，４
が除かれており、その結果、積層体９の２つの角隅部分
で活性内部電極１，３が除かれている部分５ａ′，５
ｂ′となっている。
極パターンでは、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示したダ
ミー内部電極２，４の両端部分のダミー内部電極２，４
が除かれており、その結果、積層体９の２つの角隅部分
で活性内部電極１，３が除かれている部分５ａ′，５
ｂ′となっている。
【００２７】図２（Ｃ）において、活性内部電極１とダ
ミー内部電極４が同一側面に露出し同一の外部電極７
ａ，７ｂに接続しており、同様に活性内部電極１，３と
ダミー内部電極２，４が同一側面に露出し同一の外部電
極７ａ，７ｂに接続している。
ミー内部電極４が同一側面に露出し同一の外部電極７
ａ，７ｂに接続しており、同様に活性内部電極１，３と
ダミー内部電極２，４が同一側面に露出し同一の外部電
極７ａ，７ｂに接続している。
【００２８】また、ダミー内部電極２，４が同一層の活
性内部電極１，３が露出する側面に同時に露出しないよ
うに活性内部電極１，３及びダミー内部電極２，４を形
成することにより、異なる極性を持つ内部電極層が近接
することはなく、側面での電気的なショートによる不具
合を防ぐことが可能となる。
性内部電極１，３が露出する側面に同時に露出しないよ
うに活性内部電極１，３及びダミー内部電極２，４を形
成することにより、異なる極性を持つ内部電極層が近接
することはなく、側面での電気的なショートによる不具
合を防ぐことが可能となる。
【００２９】図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は、図１（Ａ）
及び図１（Ｂ）の内部電極パターンの更に他の変形例を
示している。図３（Ｃ）はダミー内部電極２，４と外部
電極７ａ，７ｂを接触させない内部電極パターンの積層
型圧電セラミックスを示す断面図である。
及び図１（Ｂ）の内部電極パターンの更に他の変形例を
示している。図３（Ｃ）はダミー内部電極２，４と外部
電極７ａ，７ｂを接触させない内部電極パターンの積層
型圧電セラミックスを示す断面図である。
【００３０】図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示した内部電
極パターンでは、積層体９の他の２辺側における図１
（Ａ）及び図１（Ｂ）に示したダミー内部電極２，４の
２辺側部分のダミー内部電極２，４が除かれており、そ
の結果、活性内部電極１，３が除かれている部分５ｃ，
５ｄとなっている。
極パターンでは、積層体９の他の２辺側における図１
（Ａ）及び図１（Ｂ）に示したダミー内部電極２，４の
２辺側部分のダミー内部電極２，４が除かれており、そ
の結果、活性内部電極１，３が除かれている部分５ｃ，
５ｄとなっている。
【００３１】活性内部電極１，３及びダミー内部電極
２，４の両方が外部電極７ａ，７ｂと接触するように形
成する事により、ダミー内部電極２，４が外部電極７
ａ，７ｂと接触しない構造のように、外部電極７に接続
されないダミー内部電極２，４及び外部電極７ａ，７ｂ
に接続される活性内部電極１，３と異なる電位を持ち、
特性が不安定になることを防ぐことができる。
２，４の両方が外部電極７ａ，７ｂと接触するように形
成する事により、ダミー内部電極２，４が外部電極７
ａ，７ｂと接触しない構造のように、外部電極７に接続
されないダミー内部電極２，４及び外部電極７ａ，７ｂ
に接続される活性内部電極１，３と異なる電位を持ち、
特性が不安定になることを防ぐことができる。
【００３２】更に図４（Ａ）及び図４（Ｂ）、図４
（Ｃ）及び図４（Ｄ）は、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）の
内部電極パターンの更に他の変形例を示している。
（Ｃ）及び図４（Ｄ）は、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）の
内部電極パターンの更に他の変形例を示している。
【００３３】図４（Ａ）及び図４（Ｂ）の組み合わせに
おけるの内部電極パターンでは、積層体９の四角形の３
辺に沿ってダミー内部電極２，４が形成されており、残
りの１辺を含むようにダミー内部電極２，４の内側に活
性内部電極１，３が除かれている部分５ｆ，５ｇを挟む
ように活性内部電極１，３が形成されている。したがっ
て、活性内部電極１，３は残りの１辺側に形成されてい
る外部電極７ａ，７ｂに接続されるものである。
おけるの内部電極パターンでは、積層体９の四角形の３
辺に沿ってダミー内部電極２，４が形成されており、残
りの１辺を含むようにダミー内部電極２，４の内側に活
性内部電極１，３が除かれている部分５ｆ，５ｇを挟む
ように活性内部電極１，３が形成されている。したがっ
て、活性内部電極１，３は残りの１辺側に形成されてい
る外部電極７ａ，７ｂに接続されるものである。
【００３４】図４（Ｃ）及び図４（Ｄ）の組み合わせに
おけるの内部電極パターンでは、図４（Ａ）及び図４
（Ｂ）に示したダミー内部電極２，４の両端部分にダミ
ー内部電極２，４及び活性内部電極１，３が除かれてい
る部分５ｆ′，５ｇ′が形成されている。
おけるの内部電極パターンでは、図４（Ａ）及び図４
（Ｂ）に示したダミー内部電極２，４の両端部分にダミ
ー内部電極２，４及び活性内部電極１，３が除かれてい
る部分５ｆ′，５ｇ′が形成されている。
【００３５】積層型圧電セラミックスを試作する際、熱
プレス工程において製品の厚みが均一になるように製作
した場合には、従来技術では密着強度の差が生じ、重な
り合わない部分１１で焼結時に割れが生じるが、本発明
の積層型圧電セラミックスの構造ではダミー内部電極
２，４を形成することで、活性内部電極１，３が除かれ
ている部分５ａ〜５ｄ、５ｆ〜５ｇ′を従来の内部電極
より減らすことができるので、熱プレスの際、活性内部
電極１，３が除かれている部分５ａ〜５ｄ、５ｆ〜５
ｇ′に、圧電セラミックシート６がある程度柔軟性をも
っていて入り込むので、密着強度の差を軽減し、焼結時
の割れの発生が生じない。
プレス工程において製品の厚みが均一になるように製作
した場合には、従来技術では密着強度の差が生じ、重な
り合わない部分１１で焼結時に割れが生じるが、本発明
の積層型圧電セラミックスの構造ではダミー内部電極
２，４を形成することで、活性内部電極１，３が除かれ
ている部分５ａ〜５ｄ、５ｆ〜５ｇ′を従来の内部電極
より減らすことができるので、熱プレスの際、活性内部
電極１，３が除かれている部分５ａ〜５ｄ、５ｆ〜５
ｇ′に、圧電セラミックシート６がある程度柔軟性をも
っていて入り込むので、密着強度の差を軽減し、焼結時
の割れの発生が生じない。
【００３６】以上、実施の形態例における図１（Ａ）乃
至図３（Ｂ）、図４（Ａ）乃至図４（Ｄ）にて製作した
内部電極パターンを用いた積層型圧電セラミックスは、
それぞれサンプル数 １０個を製作し、その製作後にお
ける結果、割れがゼロであった。ちなみに従来技術にお
ける図５（Ａ）及び図５（Ｂ）の内部電極パターンで
は、サンプル数 １０個に対し製作後の割れが７個発生
した。
至図３（Ｂ）、図４（Ａ）乃至図４（Ｄ）にて製作した
内部電極パターンを用いた積層型圧電セラミックスは、
それぞれサンプル数 １０個を製作し、その製作後にお
ける結果、割れがゼロであった。ちなみに従来技術にお
ける図５（Ａ）及び図５（Ｂ）の内部電極パターンで
は、サンプル数 １０個に対し製作後の割れが７個発生
した。
【００３７】なお、各実施の形態例における積層体９は
正四角柱形状に形成されているが、角柱形状に限らず円
柱形状や多角柱形状であってもよい。したがって、積層
体９の形状に合わせて、活性内部電極１，３及びダミー
内部電極２，４の内部電極パターン形状を変更すること
ができることはいうまでもない。
正四角柱形状に形成されているが、角柱形状に限らず円
柱形状や多角柱形状であってもよい。したがって、積層
体９の形状に合わせて、活性内部電極１，３及びダミー
内部電極２，４の内部電極パターン形状を変更すること
ができることはいうまでもない。
【００３８】
【発明の効果】以上、実施の形態例によって説明したよ
うに、本発明によれば、積層体の断面形状に対して内部
電極層を形成しなかった部分に、活性内部電極と接触し
ないように更にダミー内部電極を追加形成する事によ
り、内部電極層を対向電極となるように積層を繰り返し
た場合でも、熱プレスの際の密着強度の差を抑え、焼結
時に割れのない積層型圧電セラミックスを提供できる。
うに、本発明によれば、積層体の断面形状に対して内部
電極層を形成しなかった部分に、活性内部電極と接触し
ないように更にダミー内部電極を追加形成する事によ
り、内部電極層を対向電極となるように積層を繰り返し
た場合でも、熱プレスの際の密着強度の差を抑え、焼結
時に割れのない積層型圧電セラミックスを提供できる。
【００３９】また、ダミー内部電極が同一層の活性内部
電極が露出する側面に同時に露出しないように活性内部
電極及びダミー内部電極を形成することにより、異なる
極性または異なる電位を持つ内部電極層が近接すること
はなく、側面での電気的なショートによる不具合を防ぐ
ことが可能となる。
電極が露出する側面に同時に露出しないように活性内部
電極及びダミー内部電極を形成することにより、異なる
極性または異なる電位を持つ内部電極層が近接すること
はなく、側面での電気的なショートによる不具合を防ぐ
ことが可能となる。
【００４０】また、活性内部電極及びダミー内部電極の
両方が外部電極と接触するように形成して同一の内部電
極層間でダミー内部電極を各々活性内部電極と対向する
極性を持つように形成する事により、ダミー内部電極が
外部電極と接触しない構造のように、外部電極に接続さ
れないダミー内部電極及び、外部電極に接続される内部
電極と異なる電位を持ち、特性が不安定になることを防
ぐことができる。
両方が外部電極と接触するように形成して同一の内部電
極層間でダミー内部電極を各々活性内部電極と対向する
極性を持つように形成する事により、ダミー内部電極が
外部電極と接触しない構造のように、外部電極に接続さ
れないダミー内部電極及び、外部電極に接続される内部
電極と異なる電位を持ち、特性が不安定になることを防
ぐことができる。
【００４１】更に、内部電極の形状は、圧電セラミック
シート上の４端面のうち少なくとも１面には露出するよ
うに活性内部電極を形成し、活性内部電極を形成しない
部分に、活性内部電極と接触しないようにダミー内部電
極を形成すれば、焼結時の割れを防ぐことができる。更
には同一の内部電極層内のダミー内部電極と活性内部電
極が各々対向する極性を持つ外部電極と接触するように
形成すれば、他の形状の内部電極パターンでも同様に、
内部電極と異なる電位を持ち、特性を不安定にすること
を防ぐ効果が得られる。また同一側面に対向する極性が
露出しなければ、同様にショートも防ぐことができる。
シート上の４端面のうち少なくとも１面には露出するよ
うに活性内部電極を形成し、活性内部電極を形成しない
部分に、活性内部電極と接触しないようにダミー内部電
極を形成すれば、焼結時の割れを防ぐことができる。更
には同一の内部電極層内のダミー内部電極と活性内部電
極が各々対向する極性を持つ外部電極と接触するように
形成すれば、他の形状の内部電極パターンでも同様に、
内部電極と異なる電位を持ち、特性を不安定にすること
を防ぐ効果が得られる。また同一側面に対向する極性が
露出しなければ、同様にショートも防ぐことができる。
【図１】本発明の積層型圧電セラミックスの一実施の形
態例を示しており、（Ａ）及び（Ｂ）は内部電極パター
ンを示し、（Ｃ）は（Ａ）及び（Ｂ）の内部電極パター
ンの積層上面からの透視図を示し、（Ｄ）は、積層型圧
電セラミックスの断面図を示している。
態例を示しており、（Ａ）及び（Ｂ）は内部電極パター
ンを示し、（Ｃ）は（Ａ）及び（Ｂ）の内部電極パター
ンの積層上面からの透視図を示し、（Ｄ）は、積層型圧
電セラミックスの断面図を示している。
【図２】図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示した内部電極パ
ターンの変形例を示しており、（Ａ）及び（Ｂ）は内部
電極パターンを示す図であり、（Ｃ）は、（Ａ）及び
（Ｂ）の内部電極パターンの積層上面からの透視図であ
る。
ターンの変形例を示しており、（Ａ）及び（Ｂ）は内部
電極パターンを示す図であり、（Ｃ）は、（Ａ）及び
（Ｂ）の内部電極パターンの積層上面からの透視図であ
る。
【図３】図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示した内部電極パ
ターンの変形例を示しており、（Ａ）及び（Ｂ）はダミ
ー内部電極と外部電極を接触させない内部電極パターン
を示す図であり、（Ｃ）はダミー内部電極と外部電極を
接触させない内部電極パターンの積層型圧電セラミック
スの断面図である。
ターンの変形例を示しており、（Ａ）及び（Ｂ）はダミ
ー内部電極と外部電極を接触させない内部電極パターン
を示す図であり、（Ｃ）はダミー内部電極と外部電極を
接触させない内部電極パターンの積層型圧電セラミック
スの断面図である。
【図４】図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示した内部電極パ
ターンの変形例を示しており、（Ａ）及び（Ｂ）、
（Ｃ）及び（Ｄ）はそれぞれ内部電極パターンを示す図
である。
ターンの変形例を示しており、（Ａ）及び（Ｂ）、
（Ｃ）及び（Ｄ）はそれぞれ内部電極パターンを示す図
である。
【図５】従来技術の積層型圧電セラミックスを示してお
り、（Ａ）及び（Ｂ）は従来の内部電極パターンを示
し、（Ｃ）は従来の積層型圧電セラミックスの断面図で
ある。
り、（Ａ）及び（Ｂ）は従来の内部電極パターンを示
し、（Ｃ）は従来の積層型圧電セラミックスの断面図で
ある。
【符号の説明】 １，３，５１，５３ 活性内部電極 ２，４ ダミー内部電極 ５ａ，５ｂ，５ａ′，５ｂ′，５ｃ，５ｄ，５ｆ，５
ｆ′，５ｇ，５ｇ′活性内部電極が除かれている部分 ６，５６ 圧電セラミックシート ７ａ，７ｂ，５７ａ，５７ｂ 外部電極 ８ａ，８ｂ，５８ａ，５８ｂ リード線 ９，５９ 積層体 ５１，５３ 内部電極 ５５ａ，５５ｂ 内部電極を形成しない部分
ｆ′，５ｇ，５ｇ′活性内部電極が除かれている部分 ６，５６ 圧電セラミックシート ７ａ，７ｂ，５７ａ，５７ｂ 外部電極 ８ａ，８ｂ，５８ａ，５８ｂ リード線 ９，５９ 積層体 ５１，５３ 内部電極 ５５ａ，５５ｂ 内部電極を形成しない部分
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電セラミックシートと、該圧電セラミ
ックシート上に積層方向での断面形状に対して一部が除
かれている部分を有する活性内部電極とを含み、複数の
該活性内部電極が互いに対向電極となるように積層した
積層体であって、前記積層体の側面に外部電極を形成し
た積層型圧電セラミックスにおいて、前記活性内部電極
が除かれている部分には、前記活性内部電極に対して非
接触なダミー内部電極が形成されていることを特徴とす
る積層型圧電セラミックス。 - 【請求項２】 請求項１記載の積層型圧電セラミックス
において、前記ダミー内部電極が同一層の前記活性内部
電極が露出する側面に同時に露出しないように前記活性
内部電極及び前記ダミー内部電極を形成したことを特徴
とする積層型圧電セラミックス。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の積層型圧電セラミ
ックスにおいて、同一の前記ダミー内部電極と前記活性
内部電極とが各々対向する極性を持つ前記外部電極と接
触するように形成したこと特徴とする積層型圧電セラミ
ックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27375899A JP2001102646A (ja) | 1999-09-28 | 1999-09-28 | 積層型圧電セラミックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27375899A JP2001102646A (ja) | 1999-09-28 | 1999-09-28 | 積層型圧電セラミックス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001102646A true JP2001102646A (ja) | 2001-04-13 |
Family
ID=17532181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27375899A Pending JP2001102646A (ja) | 1999-09-28 | 1999-09-28 | 積層型圧電セラミックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001102646A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1999
- 1999-09-28 JP JP27375899A patent/JP2001102646A/ja active Pending
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