JPWO2008038683A1 - 積層型圧電素子、これを用いた噴射装置及び燃料噴射システム、並びに積層型圧電素子の製造方法 - Google Patents
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- 238000002347 injection Methods 0.000 title claims description 33
- 239000007924 injection Substances 0.000 title claims description 33
- 239000000446 fuel Substances 0.000 title claims description 30
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 91
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 91
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 44
- 239000002003 electrode paste Substances 0.000 claims description 27
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 14
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 18
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 18
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 17
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 17
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 15
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 14
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 8
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 5
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 5
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 5
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 5
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 5
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 4
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N Di-n-octyl phthalate Natural products CCCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCCC MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N Butyraldehyde Chemical compound CCCC=O ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000002828 fuel tank Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
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- F02M51/00—Fuel-injection apparatus characterised by being operated electrically
- F02M51/06—Injectors peculiar thereto with means directly operating the valve needle
- F02M51/0603—Injectors peculiar thereto with means directly operating the valve needle using piezoelectric or magnetostrictive operating means
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
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- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
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- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
Description
以下、本発明の一実施形態にかかる積層型圧電素子について図面を参照し詳細に説明する。図1は、本実施形態にかかる積層型圧電素子を示す斜視図であり、図2はそのA−A線断面図である。図3は、多孔質部17の周辺を拡大した拡大断面図である。
次に、上記した本発明の積層型圧電素子の製造方法について説明する。本発明の製造方法は、セラミックグリーンシート11aの表面に、金属成分M1を含有する内部電極ペースト層13aを形成するとともに、絶縁部23を形成するために内部電極ペースト層13aから離隔させた状態で、金属成分M1を含有するダミー電極ペースト層を形成する工程と、他のセラミックグリーンシート11aの表面のうち、上記離隔部分に対応する位置に、金属成分M1を含有する応力緩和ペースト層17aを形成する工程と、これらのセラミックグリーンシート11aが隣り合うように積層して積層成形体を作製する工程と、該積層成形体を焼成する工程と、を含む。
図18は、本発明の噴射装置を示すもので、収納容器31の一端には噴射孔33が設けられ、また収納容器31内には、噴射孔33を開閉することができるニードルバルブ35が収容されている。
図19は、本発明の一実施形態にかかる燃料噴射システムを示す概略図である。図18に示すように、本実施形態にかかる燃料噴射システム51は、高圧燃料を蓄えるコモンレール52と、このコモンレール52に蓄えられた燃料を噴射する複数の上記噴射装置53と、コモンレール52に高圧の燃料を供給する圧力ポンプ54と、噴射装置53に駆動信号を与える噴射制御ユニット55と、を備えている。
11a セラミックグリーンシート
13 内部電極
13a 内部電極ペースト層
15 ダミー電極
15a ダミー電極ペースト層
17 多孔質部
17a 応力緩和ペースト層
19 外部電極
21 金属部
23 絶縁部
25 空隙
Claims (16)
- 複数の圧電体層が内部電極を介して積層された積層体を備え、積層方向に隣り合う圧電体層間に、前記内部電極と、この内部電極から離隔し電気的に絶縁されたダミー電極と、このダミー電極と当該内部電極の間の絶縁部と、が並設された積層型圧電素子において、
前記圧電体層を介して前記絶縁部と積層方向に対向する位置に、前記内部電極よりも空隙の多い多孔質部が形成されていることを特徴とする積層型圧電素子。 - 前記多孔質部は、前記圧電体層を介して、前記内部電極、前記ダミー電極及び前記絶縁部と積層方向に対向する位置に形成されている請求項1に記載の積層型圧電素子。
- 前記多孔質部は、前記圧電体層を介して前記絶縁部と積層方向両側に対向する位置にそれぞれ形成されている請求項1又は2に記載の積層型圧電素子。
- 前記積層体はその側面に一対の外部電極を備え、前記ダミー電極は、該ダミー電極と同じ圧電体層間にある内部電極が電気的に接続された外部電極とは異なる外部電極に電気的に接続されている請求項1〜3のいずれかに記載の積層型圧電素子。
- 前記積層体はその側面に一対の外部電極を備え、前記ダミー電極は前記外部電極と電気的に絶縁されている請求項1〜3のいずれかに記載の積層型圧電素子。
- 複数の圧電体層が内部電極を介して積層された積層体を備えた積層型圧電素子において、
前記積層体は、積層体の積層方向に隣り合う内部電極間に、これらの内部電極よりも空隙の多い多孔質部を備え、この多孔質部と前記隣り合う内部電極の少なくとも一方との間に、これらの内部電極から離隔し電気的に絶縁されたダミー電極を備えていることを特徴とする積層型圧電素子。 - 前記ダミー電極は、互いに離隔し電気的に絶縁された状態で存在する複数のダミー部からなる請求項1〜6のいずれかに記載の積層型圧電素子。
- 前記多孔質部は、金属からなる金属部及びセラミックスからなるセラミック部の少なくとも一方が、隣り合う2つの圧電体層間に空隙を介して複数点在してなる請求項1〜7のいずれかに記載の積層型圧電素子。
- 複数の前記金属部は、互いに離隔して電気的に絶縁された状態で点在している請求項8に記載の積層型圧電素子。
- 前記積層体は前記多孔質部を複数備え、これらの多孔質部が前記積層体の積層方向に規則的に配置されている請求項1〜9のいずれかに記載の積層型圧電素子。
- 前記圧電体層を介して前記多孔質部と積層方向両側に隣り合う内部電極が同極である請求項1〜10のいずれかに記載の積層型圧電素子。
- 前記圧電体層を介して前記多孔質部の積層方向両側に隣り合う内部電極が異極である請求項1〜10のいずれかに記載の積層型圧電素子。
- 噴出孔を有する容器と、請求項1〜12のいずれかに記載の積層型圧電素子とを備え、前記容器内に充填された液体を前記積層型圧電素子の駆動により前記噴射孔から吐出させるように構成されたことを特徴とする噴射装置。
- 高圧燃料を蓄えるコモンレールと、
このコモンレールに蓄えられた燃料を噴射する請求項13に記載の噴射装置と、
前記コモンレールに高圧の燃料を供給する圧力ポンプと、
前記噴射装置に駆動信号を与える噴射制御ユニットと、
を備えた燃料噴射システム。 - 複数の圧電体層が内部電極を介して積層された積層体を備え、隣り合う2つの圧電体層間に、前記内部電極と、該内部電極から離隔し電気的に絶縁されたダミー電極と、該ダミー電極と当該内部電極の間の絶縁部と、が設けられた積層型圧電素子を製造するための製造方法であって、
セラミックグリーンシートの表面に、金属成分M1を含有する内部電極ペースト層を形成するとともに、前記絶縁部を形成するために前記内部電極ペースト層から離隔させた状態で、金属成分M1を含有するダミー電極ペースト層を形成する工程と、他のセラミックグリーンシートの表面のうち、前記離隔部分に対応する位置に、金属成分M1を含有する応力緩和ペースト層を形成する工程と、これらのセラミックグリーンシートが隣り合うように積層された部分を含む積層成形体を作製する工程と、該積層成形体を焼成する工程と、を含み、
前記応力緩和ペースト層は、ペースト中における金属成分総量に対する金属成分M1の比率Xが前記内部電極ペースト層及び前記ダミー電極ペースト層よりも高いことを特徴とする積層型圧電素子の製造方法。 - 前記応力緩和ペースト層は、前記内部電極ペースト層、前記ダミー電極ペースト層及びこれらの前記離隔部分に対応する位置に形成されている請求項15に記載の積層型圧電素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008536404A JP4933554B2 (ja) | 2006-09-28 | 2007-09-26 | 積層型圧電素子、これを用いた噴射装置及び燃料噴射システム、並びに積層型圧電素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006264012 | 2006-09-28 | ||
JP2006264012 | 2006-09-28 | ||
JP2006338637 | 2006-12-15 | ||
JP2006338637 | 2006-12-15 | ||
PCT/JP2007/068719 WO2008038683A1 (en) | 2006-09-28 | 2007-09-26 | Laminated piezoelectric element, injection apparatus and fuel injection system using the laminated piezoelectric element, and method for manufacturing laminated piezoelectric element |
JP2008536404A JP4933554B2 (ja) | 2006-09-28 | 2007-09-26 | 積層型圧電素子、これを用いた噴射装置及び燃料噴射システム、並びに積層型圧電素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008038683A1 true JPWO2008038683A1 (ja) | 2010-01-28 |
JP4933554B2 JP4933554B2 (ja) | 2012-05-16 |
Family
ID=39230119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008536404A Active JP4933554B2 (ja) | 2006-09-28 | 2007-09-26 | 積層型圧電素子、これを用いた噴射装置及び燃料噴射システム、並びに積層型圧電素子の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8104693B2 (ja) |
EP (1) | EP2073283B1 (ja) |
JP (1) | JP4933554B2 (ja) |
CN (1) | CN101507007B (ja) |
WO (1) | WO2008038683A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1930962B1 (en) * | 2005-08-29 | 2013-03-20 | Kyocera Corporation | Layered piezoelectric element and injection device using the same |
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DE102007046077A1 (de) * | 2007-09-26 | 2009-04-02 | Epcos Ag | Piezoelektrisches Vielschichtbauelement |
JP2009268182A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Olympus Corp | 積層圧電素子及び超音波モータ |
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Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW432731B (en) * | 1998-12-01 | 2001-05-01 | Murata Manufacturing Co | Multilayer piezoelectric part |
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- 2007-09-26 EP EP20070828465 patent/EP2073283B1/en active Active
- 2007-09-26 JP JP2008536404A patent/JP4933554B2/ja active Active
- 2007-09-26 US US12/443,450 patent/US8104693B2/en active Active
- 2007-09-26 CN CN2007800305239A patent/CN101507007B/zh active Active
- 2007-09-26 WO PCT/JP2007/068719 patent/WO2008038683A1/ja active Application Filing
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008038683A1 (en) | 2008-04-03 |
US8104693B2 (en) | 2012-01-31 |
JP4933554B2 (ja) | 2012-05-16 |
US20100072306A1 (en) | 2010-03-25 |
EP2073283B1 (en) | 2014-12-17 |
EP2073283A4 (en) | 2013-07-10 |
CN101507007B (zh) | 2010-11-17 |
EP2073283A1 (en) | 2009-06-24 |
CN101507007A (zh) | 2009-08-12 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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