CN114874029B - 用于制备多孔层的陶瓷浆料及其制备方法和应用 - Google Patents

用于制备多孔层的陶瓷浆料及其制备方法和应用 Download PDF

Info

Publication number
CN114874029B
CN114874029B CN202210811982.7A CN202210811982A CN114874029B CN 114874029 B CN114874029 B CN 114874029B CN 202210811982 A CN202210811982 A CN 202210811982A CN 114874029 B CN114874029 B CN 114874029B
Authority
CN
China
Prior art keywords
piezoelectric ceramic
slurry
component
ceramic
solvent
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202210811982.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN114874029A (zh
Inventor
连子龙
许良
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Yinguan Semiconductor Technology Co ltd
Original Assignee
Suzhou Yinguan Semiconductor Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Yinguan Semiconductor Technology Co ltd filed Critical Suzhou Yinguan Semiconductor Technology Co ltd
Priority to CN202210811982.7A priority Critical patent/CN114874029B/zh
Publication of CN114874029A publication Critical patent/CN114874029A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN114874029B publication Critical patent/CN114874029B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5025—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials with ceramic materials
    • C04B41/5041—Titanium oxide or titanates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
    • C04B35/49—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
    • C04B35/491—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates based on lead zirconates and lead titanates, e.g. PZT
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/495—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on vanadium, niobium, tantalum, molybdenum or tungsten oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. vanadates, niobates, tantalates, molybdates or tungstates
    • C04B35/497—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on vanadium, niobium, tantalum, molybdenum or tungsten oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. vanadates, niobates, tantalates, molybdates or tungstates based on solid solutions with lead oxides
    • C04B35/499—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on vanadium, niobium, tantalum, molybdenum or tungsten oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. vanadates, niobates, tantalates, molybdates or tungstates based on solid solutions with lead oxides containing also titanates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/63—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B using additives specially adapted for forming the products, e.g.. binder binders
    • C04B35/632—Organic additives
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5025—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials with ceramic materials
    • C04B41/5051—Niobium oxides or niobates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87—Ceramics

Abstract

本发明提供了一种用于制备多孔层的陶瓷浆料及其制备方法和应用。该陶瓷浆料包括溶解组分和固体粉料，溶解组分与固体粉料的重量比为2:3~3:2；其中溶解组分包括多组分溶剂、增塑剂、分散剂和触变剂，多组分溶剂在溶解组分中的占比为80wt%~90wt%；固体粉料为改性压电陶瓷材料和/或压电陶瓷材料组合物；改性压电陶瓷材料包括烧结温度低于压电陶瓷基体材料的低温烧结掺杂改性压电陶瓷材料，压电陶瓷材料组合物包括压电陶瓷基体材料和晶粒生长助剂。本申请的陶瓷浆料能够与基体牢固结合，同时形成的涂层断裂韧性低于基体，当基体内部产生拉应力时，首先在浆料涂层（应力消减层）区域产生裂纹，从而减少对陶瓷基体的应力影响。

Description

用于制备多孔层的陶瓷浆料及其制备方法和应用
技术领域
本发明涉及压电陶瓷领域，具体而言，涉及一种用于制备多孔层的陶瓷浆料及其制备方法和应用。
背景技术
随着电子技术的发展，压电陶瓷产品在很多领域得到了越来越多的关注，特别是压电致动器产品，其具有良好的刚度、线性度和分辨率、可应用于高真空环境等优良特性，被广泛应用于：精密力学及机械工程、生命科学、医学及生物学、气/液压阀、纳米定位/高速开关和主动、自适应光学等领域。压电微致动器产品是利用压电技术的逆压电效应，其由压电陶瓷，多层内电极共烧结而成。为了防止压电陶瓷在使用过程中水汽诱导其内部银离子迁移，从而产生银枝晶导致压电陶瓷失效的问题，都会在其外部设置保护层，目前最好的保护层是与基体共烧的陶瓷材料。当施加外部激励电压时，压电微致动器内部的每层压电陶瓷都会产生一个微小的相变，这些微小形变叠加后对外产生一个微小的位移，该位移一般为零点几微米到几微米，因此为了提高压电微致动器的输出位移值，需要增加压电陶瓷的内部层数，即从压电陶瓷片向压电陶瓷叠堆发展。
由于压电陶瓷工作过程中，只有内部的有效区域产生位移形变，而保护层部分不产生位移，因此产生微位移区域对不产生位移区域会产生拉伸力，导致产生疲劳损伤而出现裂纹，裂纹还会产生无序扩展，如果裂纹扩展至压电单元的厚度方向，就会产生器件内部不良，从而产生失效。当多层压电陶瓷产品的厚度超过3mm时，内部就极易产生裂纹，极大的降低产品的寿命。针对此问题，目前有以下解决方式：第一种是使用环氧胶将多个厚度小于3mm的多层压电陶瓷产品粘结，最终制备出高位移量的叠堆，但该方法存在刚度低，不适用于高真空环境等缺点；第二种是一体共烧大尺寸叠堆，每间隔约2mm厚度制备一个应力消减层。
在专利CN100483766C中，提到了一种制备单片多层致动器的方法，沿着执行器层叠结构的纵轴，基本上平行于内部电极且与内部电极相隔一段距离，在至少两个相对设置的外表面区域内，在执行器结构中有目的的加入轻微干扰，即应力消减层。最终通过在预先设定的应力消减层的开裂，达到消除单片多层致动器内部应力的效果，由于开裂出现在应力消减层，即开裂的位置是可控的，便于提前采取相应的保护措施，从而极大的延长了多层致动器的使用寿命。
本发明专利便是提出一种用于制备应力消减层的陶瓷浆料及其制备方法。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种用于制备多孔层的陶瓷浆料及其制备方法和应用，以解决现有技术中压电陶瓷器件在工作过程中易产生裂纹影响使用寿命的问题。
为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种用于制备多孔层的陶瓷浆料，该陶瓷浆料包括溶解组分和固体粉料，溶解组分与固体粉料的重量比为2:3~3:2；其中溶解组分包括多组分溶剂、增塑剂、分散剂和触变剂，多组分溶剂包括至少四种溶剂组分，多组分溶剂在溶解组分中的占比为80wt%~90wt%；固体粉料为改性压电陶瓷材料和/或压电陶瓷材料组合物；改性压电陶瓷材料包括烧结温度低于压电陶瓷基体材料的低温烧结掺杂改性压电陶瓷材料；压电陶瓷材料组合物包括压电陶瓷基体材料和晶粒生长助剂。
进一步地，晶粒生长助剂在压电陶瓷材料组合物中的占比为0.8wt%~1.5wt%。
进一步地，晶粒生长助剂包括氧化银、氧化铟和氧化镝中的任意一种或者多种。
进一步地，低温烧结掺杂改性压电陶瓷材料的烧结温度较压电陶瓷基体材料的烧结温度低50-100℃。
进一步地，多组分溶剂包括环己酮、二甲苯、正丁醇、邻苯二甲酸二丁酯、磷酸三乙酯、松油醇、丁基卡必醇、柠檬酸三丁酯和邻苯二甲酸丁苄酯中的任意四种。
进一步地，多组分溶剂包括松油醇、丁基卡必醇、柠檬酸三丁酯和邻苯二甲酸丁苄酯。
进一步地，增塑剂在溶解组分中的占比为3wt%-8wt%，增塑剂包括聚乙二醇、聚乙二醇油酸酯、乙基纤维素和邻苯二甲酸二丁酯中的任意一种或者多种；
和/或，分散剂在溶解组分中的占比为3wt%~7wt%，分散剂包括玉米油、PVB、司盘85和三乙醇胺中的任意一种或者多种；
和/或，触变剂在溶解组分中的占比为1wt%~5wt%，触变剂包括氢化蓖麻油。
根据本发明的另一方面，提供了一种上述任一种的陶瓷浆料的制备方法，该制备方法包括：步骤S1、将多组分溶剂、增塑剂、分散剂和触变剂混合，得到球磨溶剂；步骤S2、将球磨溶剂和固体粉料混合，球磨，得到混合浆料；步骤S3、将混合浆料经筛网过滤，得到筛后浆料；步骤S4、将筛后浆料研磨、均质，得到陶瓷浆料。
进一步地，步骤S1在加热条件下进行，加热的温度为70~85℃；
和/或，步骤S3使用的筛网为100~200目；
和/或，步骤S4中使用三辊研磨机进行研磨分散。
根据本发明的又一方面，提供了上述任一种的陶瓷浆料在压电陶瓷器件中的应用。
应用本发明的技术方案，通过采用一定比例的多组分溶剂，将溶剂的沸点拉宽，使得浆料中的溶剂在烧结时可以均匀、缓慢挥发，从而使浆料与基体的结合更加牢固，避免了单组分溶剂的浆料沸点集中，在很小温度范围内的大量挥发，挥发过快导致浆料涂层缺陷较多，致使浆料与陶瓷基体结合不牢固；另一方面，固体粉料为改性压电陶瓷材料和/或上述压电陶瓷材料组合物时，形成的晶粒尺寸较大，涂层中存在多孔结构，使得浆料涂层的断裂韧性低于基体，当基体内部产生拉应力时，首先在浆料涂层（应力消减层）区域产生裂纹，从而减少对陶瓷基体的应力影响，最终可以提高基体以及基体所在的执行机构的使用寿命。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1示出了根据本发明实施例1的制备流程示意图；
图2示出了根据本发明实施例1所制备的浆料涂层的表面形貌图；
图3示出了根据本发明实施例1所制备的浆料涂层形成的应力消减层在基体中的示意图；以及
图4示出了根据本发明实施例1所制备的浆料涂层形成的应力消减层在基体中的局部放大图。
其中，上述附图包括以下附图标记：1、内部电极层；2、浆料涂层（应力消减层）；3、压电陶瓷基体。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
如本申请背景技术所分析的，现有技术中存在压电陶瓷在工作过程中易产生裂纹影响使用寿命的问题，为了解决该问题，申请人尝试采用设置应力消减层的方式，通过在预先设定的应力消减层的开裂，达到消除单片多层致动器内部应力的目的，但是在尝试了现有技术中的陶瓷浆料应用于消减层的制备时，效果不理想，因此对现有的陶瓷浆料进行了改进，基于以上研究，本申请提供了一种用于制备多孔层的陶瓷浆料及其制备方法和应用。
根据本申请的一种典型的实施方式，提供了一种用于制备多孔层的陶瓷浆料，该陶瓷浆料包括：溶解组分和固体粉料，溶解组分与固体粉料的重量比为2:3~3:2；其中，溶解组分包括：多组分溶剂、增塑剂、分散剂和触变剂，且溶剂在溶解组分中的占比为80wt%~90wt%；固体粉料为为改性压电陶瓷材料和/或压电陶瓷材料组合物；压电陶瓷材料组合物包括压电陶瓷基体材料和晶粒生长助剂。上述改性压电陶瓷材料是指通过各种技术手段使得烧结后的压电陶瓷材料晶粒尺寸增大的压电陶瓷材料，尤其是指通过掺杂材料使烧结温度低于压电陶瓷基体材料的低温烧结掺杂改性压电陶瓷材料，上述压电陶瓷基体材料是指压电陶瓷叠堆基体的固体材料。
本申请通过采用一定比例的多组分溶剂，将溶剂的沸点拉宽，使得浆料中的溶剂在烧结时可以均匀、缓慢挥发，从而使浆料与基体的结合更加牢固，避免了单组分溶剂的浆料沸点集中，在很小温度范围内的大量挥发，挥发过快导致浆料涂层缺陷较多，致使浆料与陶瓷基体结合不牢固；另一方面，固体粉料为改性压电陶瓷材料和/或上述压电陶瓷材料组合物时，形成的晶粒尺寸较大，涂层中存在多孔结构，使得浆料涂层的断裂韧性低于基体，当基体内部产生拉应力时，首先在浆料涂层（应力消减层）区域产生裂纹，从而减少对陶瓷基体的应力影响，最终可以提高基体以及基体所在的执行机构的使用寿命。
在本申请的一些实施例中，固体粉料为压电陶瓷材料组合物，包括压电陶瓷基体材料和晶粒生长助剂，通过在压电陶瓷基体材料中掺杂晶粒生长助剂，使得烧结后浆料涂层的晶粒尺寸大于压电陶瓷基体的晶粒尺寸，从而形成较基体更为多孔的应力消减层，在受到拉伸力时，更易产生裂纹，减少陶瓷基体的疲劳损伤。当晶粒生长助剂的含量为压电陶瓷材料组合物含量的0.8wt%~1.5wt%时，形成的应力消减层效果较好。尤其是当晶粒生长助剂的含量为压电陶瓷材料组合物含量的1wt%~1.3wt%时，浆料涂层形成的晶粒尺寸更为适宜，可以进一步提升应力消减层的效果。
在一些优选的实施例中，上述晶粒生长助剂包括（不限于此）氧化银、氧化铟和氧化镝中的任意一种或者多种，与压电陶瓷基体材料组合使用时，形成的固体粉料效果更佳，尤其是烧结后形成的晶粒尺寸均匀，应力消减作用更强。
前述内容介绍了采用压电陶瓷组合物作为固体粉料，即在压电陶瓷基体材料的基础上加入晶粒助长剂，实际上，不止是可以在压电陶瓷基体材料中加入晶体助长剂实现上述目的，也可以在现有技术的其他压电陶瓷材料中加入晶粒助长剂来增加浆料涂层的晶粒尺寸，用于制备多孔层的陶瓷浆料。
上述改性压电陶瓷材料采用的具体改性手段可以从现有技术中进行选择。在本申请的一些实施例中，改性的压电陶瓷材料包括：烧结温度低于压电陶瓷基体材料的低温烧结掺杂改性压电陶瓷材料，选用烧结温度低于压电陶瓷基体材料的改性的压电陶瓷材料，使得浆料涂层由于过烧而导致晶粒尺寸大于压电陶瓷基体的晶粒尺寸，也可以导致浆料涂层的断裂韧性降低。本申请对改性的压电陶瓷材料于压电陶瓷基体材料的烧结温度的差值不做限定，根据本申请的一些优选的实施例，低温烧结掺杂改性压电陶瓷材料的烧结温度较压电陶瓷基体材料的烧结温度低50-100℃，能够进一步提高应力消减层的性能。比如，压电陶瓷基体材料采用Pb(Zr0.52Ti0.48)O3，其烧结温度为970℃，相应采用的低温烧结掺杂改性压电陶瓷材料的烧结温度为则优选为870-920℃，制备的陶瓷浆料能够形成性能良好的多孔层。
上述烧结温度较低的改性压电陶瓷材料可以从现有技术中进行选择，在本申请的一些实施例中，低温烧结掺杂改性压电陶瓷材料包括掺杂氧化铜、碳酸锂、五氧化二钒中任意一种或多种进行改性的压电陶瓷材料，其作为固体粉料时，形成的压电陶瓷浆料在烧结后形成的多孔层的孔结构比较均匀，重复性好。举例而言，可以是在锆钛酸铅、氧化锆或者氧化铝等常用的压电陶瓷材料中加入氧化铜、碳酸锂进行改性。
上述多组分溶剂的具体种类可以从现有技术中进行选择，在本申请的一些实施例中，溶剂在溶解组分中的占比为80wt%~90wt%，作为优选多组分溶剂包括至少四种溶剂组分，较多的溶剂种类可以使压电陶瓷浆料的沸点更为宽泛，烧结时浆料与陶瓷基体结合的更加牢固。在一些实施例中，多组分溶剂包括环己酮、二甲苯、正丁醇、邻苯二甲酸二丁酯、磷酸三乙酯、松油醇、丁基卡必醇、柠檬酸三丁酯和邻苯二甲酸丁苄酯中的任意四种。比如多组分溶剂可以是正丁醇、邻苯二甲酸二丁酯、磷酸三乙酯、松油醇的组合，或者是，环己酮、二甲苯、正丁醇、邻苯二甲酸二丁酯的组合，或者是二甲苯、正丁醇、丁基卡必醇、柠檬酸三丁酯的组合，或者是邻苯二甲酸二丁酯、磷酸三乙酯、松油醇、丁基卡必醇的组合，或者是环己酮、邻苯二甲酸二丁酯、松油醇和邻苯二甲酸丁苄酯的组合。多组分溶剂也可以包括五种、六种、七种或者更多的种类，并且具有多种组合方式，在此不再赘述。上述溶剂可以以任意的比例混合，以使浆料获得适宜的粘度和流动性为佳。在本申请的一些优选的实施例中，上述多组分溶剂包括：松油醇、丁基卡必醇、柠檬酸三丁酯和邻苯二甲酸丁苄酯的混合溶剂，含有上述种类的溶剂时，烧结过程中溶剂蒸发较为平稳，形成的多孔层更加均匀，而且和基体的结合效果较好，另外，柠檬酸三丁酯和邻苯二甲酸丁苄酯在浆料中具有一定的增塑效果，能够提高浆料的粘度，使浆料涂层与基体结合的更加牢固。优选上述四种溶剂的比例为4~9.5:5~12: 0.2~1:1，含有上述组合和比例关系的多组分溶剂，形成的压电陶瓷浆料的沸点更为适宜，更有利于浆料与压电陶瓷基体的结合，同时也更有利于形成适宜孔结构的压力消减层。
上述增塑剂的种类和用量可以根据现有技术确定，在本申请的一些实施例中，增塑剂在溶解组分中的占比为3wt%-8wt%，使溶解组分具有为适宜的粘度。在本申请的一些实施例中，增塑剂包括聚乙二醇、聚乙二醇油酸酯、乙基纤维素和邻苯二甲酸二丁酯中的任意一种或者多种。
上述分散剂可以从现有技术中进行选择，在本申请的一些实施例中，为了改善粒子与粒子、分散介质之间的相互作用，分散剂在溶解组分中的占比为3wt%~7wt%，优选分散剂包括玉米油、PVB、司盘85和三乙醇胺中的任意一种或者多种，可以进一步改善粒子与粒子、分散介质之间的相互作用，从而进一步提高浆料的分散性和稳定性，更有效的抑制粒子的团聚和结块。
上述触变剂也可以在现有技术中进行选择，其作用是在受到剪切力时粘度变小，当去除剪切力时粘度变大，便于使用浆料印刷准确的图案。在本申请的一些实施例中，触变剂在溶解组分中的占比为1wt%~5wt%，加入该含量的触变剂可以使浆料的粘度更为适宜，更有利于浆料印刷准确的图案。作为优选，触变剂包括氢化蓖麻油，能够更好的调节本申请的压电陶瓷浆料的粘度，印制的图案更准确。
上述溶解组分与固体粉料的重量比可以为2:3~3:2中的任意比例，比如5:6、1:1、6:5、4:3、4:5。
根据本申请的另一种典型的实施方式，提供了如上述任一种的陶瓷浆料的制备方法，该制备方法包括：步骤S1、将溶剂、增塑剂、分散剂和触变剂混合，得到球磨溶剂；步骤S2、将球磨溶剂和固体粉料混合，球磨，得到混合浆料；步骤S3、将混合浆料经筛网过滤，得到筛后浆料；步骤S4、将筛后浆料研磨、均质，得到陶瓷浆料。
通过上述制备方法得到的压电陶瓷浆料由于采用了多组分溶剂，将溶剂的沸点拉宽，使得浆料中的溶剂在烧结时可以均匀、缓慢挥发，从而使浆料与基体的结合更加牢固，避免了单组分溶剂的浆料沸点集中，在很小温度范围内的大量挥发，挥发过快导致浆料涂层缺陷较多，致使浆料与陶瓷基体结合不牢固；另一方面，制得的陶瓷浆料中改性的压电陶瓷材料与陶瓷基体的构造不同，更容易在烧结后形成的应力消减层断裂，减少对陶瓷基体的应力影响。
上述步骤的具体操作方式可以根据现有技术进行。在本申请的一些实施例中，上述步骤S1在加热的条件下进行，提高温度有利于包括溶剂、增塑剂、分散剂和触变剂在内的溶解组分流动性更好，混合的更加快速和均匀，加热方式可以从现有技术中进行选择，比如水浴、油浴，热量传递比较均匀，避免局部过热。优选加热的温度为70~85℃，便于节能和提高混合的效率。
在本申请的一些实施例中，上述步骤S2将球磨溶剂和固体粉料混合时，在球磨过程中加入氧化锆研磨球，优选氧化锆研磨球的大球、小球的重量比为1:3~1:2。球磨机可以从现有技术中进行选择，比如全方位行星式球磨机。
在本申请的一些实施例中，为了进一步提高过滤效率，便于将研磨球与浆料分离，同时保证浆料中过大的颗粒充分去除，上述步骤S3使用的筛网为100~200目。
在本申请的一些实施例中，为了进一步改善研磨的效果，上述步骤S4中使用三辊研磨机进行研磨分散，优选三辊机的间距为90~70μm、70~40μm分别研磨一至多次。在本申请的另一些实施例中，在步骤S4中，将研磨分散完毕的浆料放入真空离心均质机中搅拌混合，即得到用于制备多孔层的陶瓷浆料。
根据本申请的又一种典型的实施方式，提供了上述任一种的陶瓷浆料在压电陶瓷器件中的应用。
采用本申请的陶瓷浆料制备的压电陶瓷器件，由于设置了由该陶瓷浆料制成的多孔层，当压电陶瓷伸缩变形时，多孔层可以消减其内部应力，从而避免了压电陶瓷基体产生内部缺陷，一方面可以增加压电陶瓷器件的寿命，另一方面有利于实现高性能压电陶瓷器件的生产，例如，可以适用于高真空环境、具有高刚度、大厚度尺寸、长寿命的一体共烧压电陶瓷叠堆。
在本申请的一个实施例中，提供了一种压电陶瓷器件，该压电陶瓷器件包括：压电陶瓷基体、内部电极和多孔层，多孔层由上述任一种的陶瓷浆料制成。该压电陶瓷器件由于设置了由上述陶瓷浆料制成的多孔层，当压电陶瓷伸缩变形时，其内部应力导致由浆料涂层形成的多孔层产生裂纹，从而避免了压电陶瓷基体产生内部缺陷，从而增加压电陶瓷器件的寿命。
在本申请的一个实施例中，提供了一种压电陶瓷器件的制备方法，该制备方法包括以下步骤，使用丝网印刷工艺将如上述任一种的陶瓷浆料均匀印刷在压电陶瓷的至少两个相对设置的外表面区域内，烧结，得到陶瓷元件。
下面将结合实施例和对比例进一步说明本申请的有益效果。
实施例1
本实施例的压电陶瓷浆料按照图1为所示的制备流程示意图进行制备。
首先，分别取松油醇30g、丁基卡必醇40g、柠檬酸三丁酯3g、邻苯二甲酸丁苄酯7g、聚乙二醇（分子量400，阿拉丁，下同）3g、乙基纤维素（45-55mpa.s，5% in tolutne:isopropanol 80:20，阿拉丁，下同）5g、三乙醇胺7g、氢化蓖麻油（H196306，阿拉丁，下同）5g，将上述材料加入烧杯中混合，在水浴中加热，并搅拌，水浴温度为85℃，直至固体物质完全溶解后，再缓慢搅拌2h，得到球磨溶剂。
固体粉料选用和压电陶瓷基体相同的材料，具体是上海乃欧纳米科技有限公司生产的PZT压电材料，并在粉料中添加1wt%的晶粒生长促进剂氧化银，按照球磨溶剂:固体粉料为45% : 55%的比例，将物料添加至球磨罐中，并加入适量的氧化锆研磨球，氧化锆研磨球的大球、小球的重量比为1/2；使用全方位行星式球磨机在600r/min的条件下球磨样品10h，得到混合浆料；然后使用100目的筛网过滤球磨后的浆料，分离浆料与研磨球，得到筛后浆料。使用三辊研磨机将筛后浆料进行分散、研磨，三辊机转速为200r/min，间距90-70um、70-40um各操作3次。将经过上述操作的浆料放置于非介入式真空均质机中，搅拌混合均匀，制得用于制备应力消减层的陶瓷浆料。
使用丝网印刷工艺将上述陶瓷浆料均匀印刷在压电陶瓷基体上，对上述样品进行烧结，由于晶粒生长助剂的影响，浆料涂层中的晶粒尺寸会大于压电陶瓷基体中晶粒的尺寸。经烧结后，如图2、图3和图4所示，观察到浆料涂层2内部具有一定的孔结构，并且浆料涂层与压电陶瓷基体3连接牢固，从图4中可以清楚的看到浆料涂层的多孔结构，其厚度约15.55μm（图中两个“×”之间的距离）。大的晶粒尺寸会增加浆料涂层2中的气孔缺陷，且大的晶粒尺寸使得浆料涂层2本身的断裂韧性低于压电陶瓷基体3。因此，当内部电极层1受到外部激励电压使压电陶瓷基体3伸缩变形时，其内部应力在具有多孔结构的浆料涂层2中可以消减一部分，从而避免压电陶瓷基体1产生内部缺陷而导致断裂，有助于提高压电陶瓷器件的寿命。
实施例2
分别取松油醇30g、丁基卡必醇45g、柠檬酸三丁酯1g、邻苯二甲酸丁苄酯4g、聚乙二醇5g、乙基纤维素3g、三乙醇胺7g、氢化蓖麻油5g，将上述材料加入烧杯中混合，在水浴中加热，并搅拌，水浴温度为85℃，直至固体物质完全溶解后，再缓慢搅拌2h，得到球磨溶剂。
选用改性压电陶瓷材料，具体的为在压电陶瓷基体材料中掺杂1%wt的氧化铜，压电陶瓷基体材料为PZT-PMN压电陶瓷材料，该改性压电陶瓷材料的烧结温度比压电陶瓷基体材料的烧结温度低80℃，按照球磨溶剂:固体粉料为60% : 40%的比例，将物料添加至球磨罐中，并加入适量的氧化锆研磨球，氧化锆研磨球的大球、小球的重量比为1:3；使用全方位行星式球磨机在600r/min的条件下球磨样品8h，得到混合浆料；然后使用200目的筛网过滤球磨后的浆料，分离浆料与研磨球，得到筛后浆料。使用三辊研磨机将筛后浆料进行分散、研磨，三辊机转速为200r/min，间距90-70um、70-40um各操作3次。将经过上述操作的浆料放置于非介入式真空均质机中，搅拌混合均匀，制得用于制备应力消减层的陶瓷浆料。
在本实施例中，使用丝网印刷工艺将上述浆料均匀印刷在压电陶瓷基体上，按照压电陶瓷基体的烧结温度将上述印刷有浆料涂层的压电陶瓷材料进行烧结，由于该烧结温度高于浆料中粉体的烧结温度，导致浆料中粉体的晶粒异常长大，同时也会增加浆料涂层的孔洞数量。经烧结后，观察到浆料涂层具有一定的孔结构，并且浆料涂层与压电陶瓷基体连接牢固，且由于浆料涂层的晶粒尺寸大于基体材料，且涂层中具有孔结构，使得其断裂韧性低于压电陶瓷基体。因此，当压电陶瓷伸缩变形时，其内部应力导致浆料涂层产生裂纹，从而避免压电陶瓷基体产生内部缺陷，有助于提高压电陶瓷器件的寿命。
实施例3
与实施例1的不同之处在于：松油醇的添加量为40g、丁基卡必醇的添加量为40g、柠檬酸三丁酯的添加量为4g、邻苯二甲酸丁苄酯的添加量为6g、聚乙二醇的添加量为1g、乙基纤维素的添加量为4g、三乙醇胺的添加量为3g、氢化蓖麻油的添加量为2g。
经烧结后，观察到浆料涂层与基体结合处结构致密、连接牢固，涂层的晶粒尺寸大于基体的晶粒尺寸，涂层呈现均匀的多孔结构。
实施例4
与实施例2的不同之处在于：松油醇的添加量为50g、丁基卡必醇的添加量为30g、柠檬酸三丁酯的添加量为5g、邻苯二甲酸丁苄酯的添加量为5g、聚乙二醇的添加量为3g、乙基纤维素的添加量为2g、三乙醇胺的添加量为3g、氢化蓖麻油的添加量为2g。
经烧结后，观察到浆料涂层与基体结合处结构致密、连接牢固，涂层的晶粒尺寸大于基体的晶粒尺寸，涂层呈现均匀的多孔结构。
实施例5
与实施例1的不同之处在于：用37g松油醇和43g丁基卡必醇代替“松油醇30g、丁基卡必醇40g、柠檬酸三丁酯3g、邻苯二甲酸丁苄酯7g”。
经烧结后，观察到浆料涂层与基体结合处结构较为致密，连接比较牢固，涂层的晶粒尺寸大于基体的晶粒尺寸，涂层呈现出多孔结构，但涂层较薄，边界不清晰。
实施例6
与实施例1的不同之处在于：松油醇、丁基卡必醇、柠檬酸三丁酯和邻苯二甲酸丁苄酯的用量分别为松油醇35g、丁基卡必醇40g、柠檬酸三丁酯5g、邻苯二甲酸丁苄酯5g。
经烧结后，观察到浆料涂层与基体结合处结构致密、连接牢固，涂层的晶粒尺寸大于基体的晶粒尺寸，涂层呈现均匀的多孔结构。
实施例7
与实施例2的不同之处在于：改性的压电陶瓷材料的烧结温度比压电陶瓷基体的烧结温度低150℃。
经烧结后，观察到浆料涂层的晶粒尺寸与基体的晶粒尺寸相差较大，涂层呈现出多孔结构，多孔结构较为均匀，涂层与基体结合比较牢固，局部形成稍大的孔隙。
实施例8
与实施例1的不同之处在于：在粉料中添加2wt%的晶粒生长促进剂氧化银。
经烧结后，观察到浆料涂层的晶粒尺寸与基体的晶粒尺寸相差较大，涂层呈现出多孔结构，多孔结构较为均匀，涂层与基体结合比较牢固，局部形成稍大的孔隙。
实施例9
与实施例2的不同之处在于：采用环己酮60g、二甲苯15g、磷酸三乙酯1g、邻苯二甲酸二丁酯4g代替“松油醇30g、丁基卡必醇45g、柠檬酸三丁酯1g、邻苯二甲酸丁苄酯4g”。
经烧结后，观察到浆料涂层结合处结构致密，连接牢固，涂层的晶粒尺寸大于基体的晶粒尺寸，呈现出多孔结构，多孔结构较为均匀，局部形成稍大的孔隙。
对比例1
与实施例1的不同在于，固体粉料选用和压电陶瓷基体相同的材料，未加入晶体增长剂晶粒生长促进剂氧化银。
经烧结后，观察到浆料涂层与基体结合处结构较为致密，涂层的晶粒尺寸与基体的晶粒尺寸基本一致，未呈现多孔结构。
对比例2
与实施例1的不同在于，用80g松油醇代替松油醇30g、丁基卡必醇40g、柠檬酸三丁酯3g、邻苯二甲酸丁苄酯7g。
经烧结后，观察到浆料涂层与基体结合处存在大量气孔，浆料涂层易脱落，涂层的晶粒尺寸大于基体的晶粒尺寸，但是晶粒大小差异大，多孔结构不均匀，涂层有少量裂纹。
对比例3
与实施例1的不同之处在于：球磨溶剂:固体粉料的重量比为70% :30%。
经烧结后，观察到浆料涂层较薄，且涂层形成有裂缝，与基体结合不牢固。
对比例4
与实施例1的不同之处在于：分别取松油醇30g、丁基卡必醇30g、柠檬酸三丁酯5g、邻苯二甲酸丁苄酯5g、聚乙二醇10g、乙基纤维素15g、三乙醇胺3g、氢化蓖麻油2g，加入烧杯中混合。
经烧结后，观察到浆料涂层局部与基体结合处结构较为致密，局部与基体结合处形成空腔，连接不牢固。
从以上的描述中，可以看出，本发明上述的实施例实现了如下技术效果：通过采用多组分溶剂，将溶剂的沸点拉宽，使得浆料中的溶剂在烧结时可以均匀、缓慢挥发，从而使浆料与基体的结合更加牢固，避免了单组分溶剂的浆料沸点集中，在很小温度范围内的大量挥发，挥发过快导致浆料涂层缺陷较多，致使浆料与陶瓷基体结合不牢固；另一方面，固体粉料为改性压电陶瓷材料和/或上述压电陶瓷材料组合物时，形成的晶粒尺寸较大，涂层中存在多孔结构，使得浆料涂层的断裂韧性低于基体，当基体内部产生拉应力时，首先在浆料涂层（应力消减层）区域产生裂纹，从而减少对陶瓷基体的应力影响，最终可以提高基体以及基体所在的执行机构的使用寿命。
以上仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于制备多孔层的陶瓷浆料，其特征在于，所述陶瓷浆料作为压电陶瓷的应力消减层，与压电陶瓷基体材料共烧，所述陶瓷浆料包括溶解组分和固体粉料，所述溶解组分与所述固体粉料的重量比为2:3~3:2；
所述溶解组分包括多组分溶剂、增塑剂、分散剂和触变剂，所述多组分溶剂包括至少四种溶剂组分，通过采用所述多组分溶剂，将所述多组分溶剂的沸点拉宽，使得所述陶瓷浆料中的所述多组分溶剂在烧结时可以均匀、缓慢挥发，所述多组分溶剂在所述溶解组分中的占比为80wt%~90wt%；
所述固体粉料为改性压电陶瓷材料和/或压电陶瓷材料组合物；
所述改性压电陶瓷材料包括烧结温度低于所述压电陶瓷基体材料的低温烧结掺杂改性压电陶瓷材料；
所述压电陶瓷材料组合物包括压电陶瓷基体材料和晶粒生长助剂。
2.根据权利要求1所述的陶瓷浆料，其特征在于，所述晶粒生长助剂在所述压电陶瓷材料组合物中的占比为0.8wt%~1.5wt%。
3.根据权利要求2所述的陶瓷浆料，其特征在于，所述晶粒生长助剂包括氧化银、氧化铟和氧化镝中的任意一种或者多种。
4.根据权利要求1所述的陶瓷浆料，其特征在于，所述低温烧结掺杂改性压电陶瓷材料的烧结温度较所述压电陶瓷基体材料的烧结温度低50-100℃。
5.根据权利要求1所述的陶瓷浆料，其特征在于，所述多组分溶剂包括环己酮、二甲苯、正丁醇、邻苯二甲酸二丁酯、磷酸三乙酯、松油醇、丁基卡必醇、柠檬酸三丁酯和邻苯二甲酸丁苄酯中的任意四种。
6.根据权利要求5所述的陶瓷浆料，其特征在于，所述多组分溶剂包括松油醇、丁基卡必醇、柠檬酸三丁酯和邻苯二甲酸丁苄酯。
7.根据权利要求1所述的陶瓷浆料，其特征在于，所述增塑剂在所述溶解组分中的占比为3wt%-8wt%，所述增塑剂包括聚乙二醇、聚乙二醇油酸酯、乙基纤维素和邻苯二甲酸二丁酯中的任意一种或者多种；
和/或，所述分散剂在所述溶解组分中的占比为3wt%~7wt%，所述分散剂包括玉米油、PVB、司盘85和三乙醇胺中的任意一种或者多种；
和/或，所述触变剂在所述溶解组分中的占比为1wt%~5wt%，所述触变剂包括氢化蓖麻油。
8.一种如权利要求1至7任一项所述的陶瓷浆料的制备方法，其特征在于，包括：
步骤S1、将多组分溶剂、增塑剂、分散剂和触变剂混合，得到球磨溶剂；
步骤S2、将所述球磨溶剂和固体粉料混合，球磨，得到混合浆料；
步骤S3、将所述混合浆料经筛网过滤，得到筛后浆料；
步骤S4、将所述筛后浆料研磨、均质，得到陶瓷浆料。
9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S1在加热条件下进行，加热的温度为70~85℃；
和/或，所述步骤S3使用的所述筛网为100~200目；
和/或，所述步骤S4中使用三辊研磨机进行研磨分散。
10.一种如权利要求1至7任一项所述的陶瓷浆料在压电陶瓷器件中的应用。
CN202210811982.7A 2022-07-12 2022-07-12 用于制备多孔层的陶瓷浆料及其制备方法和应用 Active CN114874029B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210811982.7A CN114874029B (zh) 2022-07-12 2022-07-12 用于制备多孔层的陶瓷浆料及其制备方法和应用

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210811982.7A CN114874029B (zh) 2022-07-12 2022-07-12 用于制备多孔层的陶瓷浆料及其制备方法和应用

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN114874029A CN114874029A (zh) 2022-08-09
CN114874029B true CN114874029B (zh) 2022-09-20

Family

ID=82683110

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210811982.7A Active CN114874029B (zh) 2022-07-12 2022-07-12 用于制备多孔层的陶瓷浆料及其制备方法和应用

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114874029B (zh)

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05228912A (ja) * 1992-02-14 1993-09-07 Oki Ceramic Kogyo Kk 圧電セラミックスの製造方法
CN101507007B (zh) * 2006-09-28 2010-11-17 京瓷株式会社 层叠型压电元件、使用它的喷射装置和燃料喷射系统、层叠型压电元件的制造方法
KR20090016063A (ko) * 2007-08-10 2009-02-13 재단법인서울대학교산학협력재단 정수압 성능이 우수한 다공체 압전 세라믹 및 그 제조방법
CN101391892A (zh) * 2008-10-17 2009-03-25 清华大学 一种高气孔率多孔压电陶瓷的制备方法
CN103762305A (zh) * 2013-10-26 2014-04-30 溧阳市东大技术转移中心有限公司 包括La2O3应力缓冲体的压电元件的制造方法
CN103604851B (zh) * 2013-11-26 2015-10-21 武汉锆元传感技术有限公司 一种车用汽车尾气传感器外电极保护层及制备方法
FR3021967B1 (fr) * 2014-06-06 2021-04-23 Saint Gobain Procede d'obtention d'un substrat revetu d'une couche fonctionnelle
CN105552212B (zh) * 2015-12-16 2017-11-14 中北大学 一种3‑3型压电陶瓷/水泥压电复合材料及其制备方法
CN110534637A (zh) * 2019-08-22 2019-12-03 东莞东阳光科研发有限公司 一种叠层共烧结压电陶瓷器件及所用的补偿胶水浆料
CN110872123A (zh) * 2019-11-11 2020-03-10 内蒙古民族大学 一种无机多孔材料的制备方法
CN112389039B (zh) * 2020-11-02 2022-11-04 宁波伏尔肯科技股份有限公司 一种高强度、高韧性层状复相陶瓷的制备方法
CN112939613B (zh) * 2021-04-02 2022-06-03 浙江清华长三角研究院 一种用于482℃高温环境中的多层压电陶瓷的制备方法
CN113321526B (zh) * 2021-05-28 2023-04-14 深圳顺络电子股份有限公司 牺牲浆料制备材料和其制备方法以及气体传感器制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN114874029A (zh) 2022-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100583479C (zh) 叠层型压电元件及其制造方法
CN101182202B (zh) 压电/电致伸缩材料、压电/电致伸缩体以及压电/电致伸缩元件
JPH03181186A (ja) 積層圧電アクチュエータ及びその製法
WO2005086247A1 (ja) 積層型圧電素子とその製造方法
EP1675191A1 (en) Piezoelectric/electrostrictive body, piezoelectric/electrostrictive laminate, and piezoelectric/electrostrictive actuator
EP2073284B1 (en) Piezoelectric/electrostrictive membrane element
US6221271B1 (en) Piezoelectric sintered ceramics and piezoelectric ceramic elements constituted thereby
WO2005031887A1 (ja) 積層型圧電素子
CN101217180B (zh) 一种无铅压电厚膜制备方法
CN114874029B (zh) 用于制备多孔层的陶瓷浆料及其制备方法和应用
CN111081865B (zh) 微电机系统多层压电致动器的制备方法
US20060205097A1 (en) Methods of manufacturing a crystal-oriented ceramic and of manufacturing a ceramic laminate
KR20050055596A (ko) 압전 자기 디바이스의 제조방법
Zuo et al. Effects of additives on the interfacial microstructure of cofired electrode‐ceramic multilayer systems
CN114890789B (zh) 匹配银内电极共烧铌锰-锆钛酸铅压电陶瓷、其制备方法及其制品
CN115536392A (zh) 高温叠层压电驱动器用压电陶瓷片及其制备方法
US8758536B2 (en) Method for manufacturing ceramic plates
EP2840621A1 (en) Film-type piezoelectric/electrostrictive element
JP4506138B2 (ja) スラリーの製造方法、グリーンシートの製造方法及び積層型電子部品の製造方法
JP2007001838A (ja) 圧電／電歪磁器組成物、圧電／電歪体、及び圧電／電歪膜型素子
JPH11168248A (ja) 圧電素子及びその製造方法
JP2004241590A (ja) 積層型圧電体素子
CN114853471B (zh) 一种高电压叠堆式压电陶瓷致动器及其制备方法
JPH07240340A (ja) 積層セラミックコンデンサー内部電極用ペースト
CN116178008B (zh) 压电陶瓷叠堆原料组合物、压电陶瓷叠堆和制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant