JP4506138B2 - スラリーの製造方法、グリーンシートの製造方法及び積層型電子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
また、本発明は、品質、信頼性等が低下することなく、薄層化された積層型電子部品を製造可能な、スラリーの製造方法、グリーンシートの製造方法及び積層型電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、添加剤の分散性を向上させることができるスラリーの製造方法を提供することを目的とする。
有機溶剤に誘電体粉末と添加剤とが分散されたスラリーの製造方法であって、
バリウム、カルシウム、または珪素を含む金属酸化物を所定の比率に調合し、混合・粉砕を行った後、所定温度で所定時間乾燥、仮焼きを行い、前記添加剤を作製する添加剤作製工程と、
前記添加剤作製工程で作製された添加剤を粉砕する粉砕工程と、
前記粉砕工程で湿式粉砕された添加剤にバインダーを添加するバインダー添加工程と、
少なくとも、前記バインダー添加工程でバインダーが添加された添加剤と、前記誘電体粉末と、前記有機溶剤とを混合、粉砕してスラリーを作製するスラリー作製工程と、
を備え、
前記粉砕工程では、前記スラリー作製工程で混合される有機溶剤の少なくとも1つの有機溶剤を用いて湿式粉砕を行い、
前記スラリー作製工程では、前記添加剤を乾燥することなく、少なくとも、前記誘電体粉末および前記有機溶剤と混合し、粉砕する、
ことを特徴とする。
製造されたスラリーを塗布、乾燥してグリーンシートを形成する工程と、
を有する、ことを特徴とする。
製造されたスラリーを塗布、乾燥してグリーンシートを形成する工程と、
形成されたグリーンシートを積層して積層体を形成する工程と、
形成された積層体を焼成して焼結体を形成する工程と、
を備える、ことを特徴とする。
Claims (6)
- 有機溶剤に誘電体粉末と添加剤とが分散されたスラリーの製造方法であって、
バリウム、カルシウム、または珪素を含む金属酸化物を所定の比率に調合し、混合・粉砕を行った後、所定温度で所定時間乾燥、仮焼きを行い、前記添加剤を作製する添加剤作製工程と、
前記添加剤作製工程で作製された添加剤を粉砕する粉砕工程と、
前記粉砕工程で湿式粉砕された添加剤にバインダーを添加するバインダー添加工程と、
少なくとも、前記バインダー添加工程でバインダーが添加された添加剤と、前記誘電体粉末と、前記有機溶剤とを混合、粉砕してスラリーを作製するスラリー作製工程と、
を備え、
前記粉砕工程では、前記スラリー作製工程で混合される有機溶剤の少なくとも1つの有機溶剤を用いて湿式粉砕を行い、
前記スラリー作製工程では、前記添加剤を乾燥することなく、少なくとも、前記誘電体粉末および前記有機溶剤と混合し、粉砕する、
ことを特徴とするスラリーの製造方法。 - 前記バインダー添加工程では、バインダー添加後の粘度が40mPa・s〜500mPa・sとなるように、バインダーを添加する、ことを特徴とする請求項1に記載のスラリーの製造方法。
- 前記粉砕工程では、添加剤の平均粒径が0.4μm以下になるように、添加剤を粉砕する、ことを特徴とする請求項1または2に記載のスラリーの製造方法。
- 前記粉砕工程では、添加剤の平均粒径が前記誘電体粉末の平均粒径の62%以下の粒径になるように、添加剤を粉砕する、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のスラリーの製造方法。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載のスラリーの製造方法によりスラリーを製造する工程と、
製造されたスラリーを塗布、乾燥してグリーンシートを形成する工程と、
を有する、ことを特徴とするグリーンシートの製造方法。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載のスラリーの製造方法によりスラリーを製造する工程と、
製造されたスラリーを塗布、乾燥してグリーンシートを形成する工程と、
形成されたグリーンシートを積層して積層体を形成する工程と、
形成された積層体を焼成して焼結体を形成する工程と、
を備える、ことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
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