JP6259194B2 - 圧電素子 - Google Patents
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Description
図1(a)〜(c)は、それぞれ圧電素子100を示す斜視図、応力緩和層140の位置の各平断面図である。圧電素子100は、電圧の印加により伸縮する積層型の圧電素子であり、圧電体層110と内部電極層120とが積層方向Zについて交互に積層され、矩形体に形成されている。
次に、上記のように構成された圧電素子100の製造方法について説明する。まず、圧電セラミックスを含むスラリーを用い、引き上げ成形、ドクターブレード成形、押出成形等の方法によってグリーンシートを形成する。グリーンシートには、導電性材料を含む内部電極層120用および絶縁性の非焼結材料を含む応力緩和層140用のパターンをスクリーン印刷等により塗布する。内部電極層120用としての電極ペーストおよび応力緩和層140用としての非焼結材料ペーストを塗布し、その後、乾燥させてそれぞれ焼成前の電極膜および非焼結材料膜を形成する。
上記の形態では、応力緩和層140が、隣合う2つの側面に沿って設けられているが、外周全体の側面に面するよう設けられていても良い。応力緩和の機能を重視する場合には、応力緩和層140の設けられる側面が多いほど好ましい。図3(a)〜(c)は、それぞれ圧電素子200を示す斜視図および各平断面図である。
実施例として、上記の図1(a)〜(c)に示されるようなバリア層を有する圧電素子を複数個作製し、これらを多連化し、キャップに封止して分極処理し、圧電アクチュエータを作製した。また、比較例として、バリア層が無い圧電素子(バリア層の有無以外は同じ形態)を複数個作製し、これらを多連化し、キャップに封止して分極処理し、圧電アクチュエータを作製した。
110 圧電体層
120 内部電極層
130 外部電極
140 応力緩和層
145 素子外周
150 バリア層
Z 積層方向
W1 バリア層の幅
W2 内部電極層の外周から素子外周までの幅
A 断面
200 圧電素子
210 圧電体層
220 内部電極層
230 外部電極
240 応力緩和層
245 素子外周
250 バリア層
Claims (2)
- 電圧の印加により伸縮する積層型の圧電素子であって、
圧電セラミックスで形成された圧電体層と、
前記圧電体層と交互に積層された内部電極層と、
絶縁性を有し、前記内部電極層と同一積層面に沿って素子外周に接して設けられた応力緩和層と、
前記内部電極層と同一積層面上において前記応力緩和層と前記内部電極層との間に設けられたバリア層と、を備え、
前記応力緩和層は、絶縁抵抗を高めるハード化元素が添加されたチタン酸鉛で形成されており、
前記バリア層は、前記内部電極層と同一積層面上に前記圧電セラミックスと同一の材料で形成されていることを特徴とする圧電素子。 - 前記バリア層は、前記内部電極層の外周から前記素子外周までの幅に対して30%以上50%以下の幅を有することを特徴とする請求項1記載の圧電素子。
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