JP2017188628A - 圧電素子、その製造方法および圧電アクチュエータ - Google Patents
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図1は、圧電素子100を示す斜視図である。図2(a)は、圧電素子100を示す正断面図である。図2(b)は、内部電極120aを含む断面による圧電素子100の平断面図であり、図2(c)は、内部電極120bを含む断面による圧電素子100の平断面図である。
上記のように構成された圧電素子100の製造方法の一例を説明する。まず、圧電層110の材料としてPZT系材料を用いて成形体を作製する。具体的には、圧電層110の材料でグリーンシートを成形し、シート上に内部電極120a、120bの材料としてAg/Pdの電極ペーストをスクリーン印刷する。その際には、圧電セラミックスのグリーンシートに、露出部を有する内部電極が形成されるように電極ペーストを印刷する。このとき全ての内部電極を、取り出し部を有する同じ凸形状のパターンで形成できるため、効率的に製造できる。そして、印刷が施されたグリーンシートを含め、圧電セラミックスのグリーンシートを積層して圧着し、積層してプレスし矩形体の成形体を作製する。
図3は、圧電アクチュエータ200を示す側断面図である。圧電アクチュエータ200は、圧電アクチュエータ本体205、シム231、半球233、座240およびキャップ260により構成されている。圧電アクチュエータ本体205は、複数の圧電素子100、リード線208で構成されている。複数の圧電素子100は、圧電素子100同士が端面で接着されることで互いに直列(電圧印加による伸縮方向)に連結されている。この連結を多連化とも呼ぶ。
110 圧電層
120a、120b 内部電極
125a、125b 外部電極
130 素子本体
140 保護層
200 圧電アクチュエータ
205 圧電アクチュエータ本体
208 リード線
231 シム
233 半球
240 座
250 端子
260 キャップ
Claims (5)
- 電圧の印加により伸縮する積層型の圧電素子であって、
圧電材料で形成された圧電層と露出部を有する内部電極とが交互に積層されて形成された素子本体と、
前記素子本体の積層方向両端に隣接して圧電材料で形成された保護層と、
積層方向に沿って前記素子本体の側面に設けられ、前記内部電極の露出部に接続された外部電極と、を備え、
前記外部電極は、前記内部電極のうち積層方向両端以外の電極に接続されていることを特徴とする圧電素子。 - 直列に連結された請求項1記載の圧電素子と、
前記圧電素子の外部電極と電源とを接続するリード線と、を備えることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 電圧の印加により伸縮する積層型の圧電素子の製造方法であって、
圧電セラミックスのグリーンシートに、露出部を有する内部電極が形成されるように電極ペーストを印刷する工程と、
前記印刷が施されたグリーンシートを含め、圧電セラミックスのグリーンシートを積層して圧着する工程と、
前記圧着により得られた成形体を脱脂、焼成する工程と、
前記焼成された焼成体を加工する工程と、
前記加工された焼成体の側面に、前記内部電極のうち積層方向両端以外の電極に接続された外部電極を設ける工程と、
前記焼成体を分極処理する工程と、を含むことを特徴とする圧電素子の製造方法。 - 前記外部電極を設ける工程では、前記内部電極のうち積層方向両端以外の電極に接続されるパターンで電極ペーストを塗布し、焼成することを特徴とする請求項3記載の圧電素子の製造方法。
- 前記外部電極を設ける工程では、前記内部電極に接続されるように電極ペーストを塗布し、焼成し、前記内部電極のうち積層方向両端以外の電極に接続するように前記電極ペーストの焼成で形成された電極を研削することを特徴とする請求項3記載の圧電素子の製造方法。
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2016
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