JP2001352110A - 積層型圧電セラミックス - Google Patents
積層型圧電セラミックスInfo
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- JP2001352110A JP2001352110A JP2000166978A JP2000166978A JP2001352110A JP 2001352110 A JP2001352110 A JP 2001352110A JP 2000166978 A JP2000166978 A JP 2000166978A JP 2000166978 A JP2000166978 A JP 2000166978A JP 2001352110 A JP2001352110 A JP 2001352110A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 活性部と不活性部の焼結挙動の差による、焼
結時の割れや、積層型圧電セラミックスとした場合の密
着強度が低いが為におこる活性部と不活性部の界面での
剥離を防止した品質の優れ、歩留まりの良い積層型圧電
セラミックスを提供すること。 【解決手段】 積層型圧電セラミックス１０において、
第２の圧電シートの圧電セラミックシート１上にダミー
内部電極３を、前記外部電極７を２つの外部電極間７，
７で電気的に短絡しないように形成した。
結時の割れや、積層型圧電セラミックスとした場合の密
着強度が低いが為におこる活性部と不活性部の界面での
剥離を防止した品質の優れ、歩留まりの良い積層型圧電
セラミックスを提供すること。 【解決手段】 積層型圧電セラミックス１０において、
第２の圧電シートの圧電セラミックシート１上にダミー
内部電極３を、前記外部電極７を２つの外部電極間７，
７で電気的に短絡しないように形成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加圧により電圧を
生じさせたりする積層型圧電センサや、電圧を加えて変
位又は力を生じさせる積層型圧電アクチュエータに用い
られる積層型圧電セラミックスの構造に関するものであ
る。
生じさせたりする積層型圧電センサや、電圧を加えて変
位又は力を生じさせる積層型圧電アクチュエータに用い
られる積層型圧電セラミックスの構造に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の積層型圧電セラミックス
としては、図６に示すような構造を備えたものが用いら
れている。図６に示すように、従来技術による積層型圧
電セラミックス５０は、圧電セラミック層１に内部電極
２を形成して積層し、積層方向の両側面に露出した内部
電極２を互い違いに絶縁体で覆い、その上に外部電極７
を長さ方向に夫々形成して、接続した構造である。この
構造において、積層方向中央部の内部電極１が対向電極
となる活性部５２のみに内部電極１が形成され、積層方
向端部の両端不活性部５１ａ，５１ｂには、内部電極２
等を形成せずに、圧電セラミック層１のみとする技術が
用いられていた。
としては、図６に示すような構造を備えたものが用いら
れている。図６に示すように、従来技術による積層型圧
電セラミックス５０は、圧電セラミック層１に内部電極
２を形成して積層し、積層方向の両側面に露出した内部
電極２を互い違いに絶縁体で覆い、その上に外部電極７
を長さ方向に夫々形成して、接続した構造である。この
構造において、積層方向中央部の内部電極１が対向電極
となる活性部５２のみに内部電極１が形成され、積層方
向端部の両端不活性部５１ａ，５１ｂには、内部電極２
等を形成せずに、圧電セラミック層１のみとする技術が
用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来技術は、積層型圧
電セラミックスの活性部５２には、内部電極２を形成
し、不活性部５１ａ，５１ｂには、内部電極２等を形成
していなかった為に、積層体を焼結する際に、活性部５
１ａは内部電極１の焼結促進効果があるためにダミー内
部電極３の無い不活性部に比較し、収縮量が大きくな
り、よって活性部５２と不活性部５１ａ，５１ｂとの間
に歪みを生じ、活性部５２と不活性部５１ａ，５１ｂの
界面または界面付近で割れが発生したり、焼結の際に割
れが発生しなかった場合でも、積層型圧電セラミックス
５０の密着強度が活性部５２と不活性部５１ａ，５１ｂ
の界面で、活性部のみおよび不活性部のみの部分より弱
く、長期間の使用で活性部５２と不活性部５２ａ，５２
ｂとの界面で剥離する欠点がある。
電セラミックスの活性部５２には、内部電極２を形成
し、不活性部５１ａ，５１ｂには、内部電極２等を形成
していなかった為に、積層体を焼結する際に、活性部５
１ａは内部電極１の焼結促進効果があるためにダミー内
部電極３の無い不活性部に比較し、収縮量が大きくな
り、よって活性部５２と不活性部５１ａ，５１ｂとの間
に歪みを生じ、活性部５２と不活性部５１ａ，５１ｂの
界面または界面付近で割れが発生したり、焼結の際に割
れが発生しなかった場合でも、積層型圧電セラミックス
５０の密着強度が活性部５２と不活性部５１ａ，５１ｂ
の界面で、活性部のみおよび不活性部のみの部分より弱
く、長期間の使用で活性部５２と不活性部５２ａ，５２
ｂとの界面で剥離する欠点がある。
【０００４】従って、本発明の技術的課題は、活性部と
不活性部の焼結挙動の差による、焼結時の割れや、積層
型圧電セラミックスとした場合の密着強度が低いが為に
おこる活性部と不活性部の界面での剥離を防止した品質
の優れ、歩留まりの良い積層型圧電セラミックスを提供
することにある。
不活性部の焼結挙動の差による、焼結時の割れや、積層
型圧電セラミックスとした場合の密着強度が低いが為に
おこる活性部と不活性部の界面での剥離を防止した品質
の優れ、歩留まりの良い積層型圧電セラミックスを提供
することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、焼結前
の圧電セラミックシート上に内部電極を形成した２枚以
上の第１の圧電シートと、焼結前の圧電セラミックシー
トからなる３枚以上の第２の圧電シートとを、積層し、
圧着により積層体とし、焼結し、この積層体の側面に、
前記内部電極が１層おきに対向電極となるように、一対
の外部電極を前記積層体の積層方向に沿って長く形成し
て前記内部電極を接続した互いに対向する前記内部電極
を有する活性部と、互いに対向する前記内部電極が形成
されていない不活性部とを形成した積層型圧電セラミッ
クスにおいて、前記第２の圧電シートの圧電セラミック
シート上にダミー内部電極を、前記一対の外部電極間で
電気的に短絡しないように形成したことを特徴とする積
層型圧電セラミックスが得られる。即ち、本発明では、
内部電極の有無による焼結の際の収縮率を近づける為
に、不活性部にダミー内部電極を形成し、収縮率を活性
部に近づけるものである。
の圧電セラミックシート上に内部電極を形成した２枚以
上の第１の圧電シートと、焼結前の圧電セラミックシー
トからなる３枚以上の第２の圧電シートとを、積層し、
圧着により積層体とし、焼結し、この積層体の側面に、
前記内部電極が１層おきに対向電極となるように、一対
の外部電極を前記積層体の積層方向に沿って長く形成し
て前記内部電極を接続した互いに対向する前記内部電極
を有する活性部と、互いに対向する前記内部電極が形成
されていない不活性部とを形成した積層型圧電セラミッ
クスにおいて、前記第２の圧電シートの圧電セラミック
シート上にダミー内部電極を、前記一対の外部電極間で
電気的に短絡しないように形成したことを特徴とする積
層型圧電セラミックスが得られる。即ち、本発明では、
内部電極の有無による焼結の際の収縮率を近づける為
に、不活性部にダミー内部電極を形成し、収縮率を活性
部に近づけるものである。
【０００６】また、本発明によれば、前記積層型圧電セ
ラミックスにおいて、前記ダミー電極は、積層型圧電セ
ラミックスの断面に対し少なくとも２分割されている形
状を備えていることを特徴とする積層型圧電セラミック
スが得られる。
ラミックスにおいて、前記ダミー電極は、積層型圧電セ
ラミックスの断面に対し少なくとも２分割されている形
状を備えていることを特徴とする積層型圧電セラミック
スが得られる。
【０００７】また、本発明によれば、前記積層型圧電セ
ラミックスにおいて、前記ダミー内部電極は、前記外部
電極の一方もしくは両方とは、電気的に導通が無いよう
に、前記セラミックシートの一面の全面の内の一部を除
いて形成されていることを特徴とする積層型圧電セラミ
ックスが得られる。
ラミックスにおいて、前記ダミー内部電極は、前記外部
電極の一方もしくは両方とは、電気的に導通が無いよう
に、前記セラミックシートの一面の全面の内の一部を除
いて形成されていることを特徴とする積層型圧電セラミ
ックスが得られる。
【０００８】さらに、本発明によれば、前記いずれか一
つの積層型圧電セラミックスにおいて、前記ダミー内部
電極における前記外部電極が形成され、この外部電極と
前記ダミー内部電極と接続される部分であって、前記ダ
ミー内部電極の表面に露出している部分に絶縁体を形成
したことを特徴とする積層型圧電セラミックスが得られ
る。
つの積層型圧電セラミックスにおいて、前記ダミー内部
電極における前記外部電極が形成され、この外部電極と
前記ダミー内部電極と接続される部分であって、前記ダ
ミー内部電極の表面に露出している部分に絶縁体を形成
したことを特徴とする積層型圧電セラミックスが得られ
る。
【０００９】さらに、本発明によれば、前記いずれか一
つの積層型圧電セラミックスにおいて、当該積層型圧電
セラミックス表面であって、少なくとも前記ダミー内部
電極が露出している部分を除いた面に外部電極を形成し
たことを特徴とする積層型圧電セラミックスが得られ
る。
つの積層型圧電セラミックスにおいて、当該積層型圧電
セラミックス表面であって、少なくとも前記ダミー内部
電極が露出している部分を除いた面に外部電極を形成し
たことを特徴とする積層型圧電セラミックスが得られ
る。
【００１０】
【作用】本発明によれば、不活性部にもダミー内部電極
を形成することにより、活性部と不活性部の間の焼結に
よる歪みの低減もしくは解消ができ、焼結の際の割れ
や、活性部と不活性部の密着強度の低下による剥離を防
止することが可能となる。
を形成することにより、活性部と不活性部の間の焼結に
よる歪みの低減もしくは解消ができ、焼結の際の割れ
や、活性部と不活性部の密着強度の低下による剥離を防
止することが可能となる。
【００１１】また、ダミー内部電極の形状を２つの外部
電極間で電気的に短絡しない形状とすることによりダミ
ー内部電極を追加したことによる、２つの外部電極間で
電気的に短絡することを防ぐことが可能となる。また
は、ダミー内部電極と外部電極が電気的に接続される部
分に、あらかじめ絶縁体を形成すること、もしくは、ダ
ミー内部電極が表面に露出する部分に外部電極を形成し
ないことにより、ダミー内部電極３の形状に関わらず、
２つの外部電極４間で電気的に短絡することを防ぐこと
が可能となる。
電極間で電気的に短絡しない形状とすることによりダミ
ー内部電極を追加したことによる、２つの外部電極間で
電気的に短絡することを防ぐことが可能となる。また
は、ダミー内部電極と外部電極が電気的に接続される部
分に、あらかじめ絶縁体を形成すること、もしくは、ダ
ミー内部電極が表面に露出する部分に外部電極を形成し
ないことにより、ダミー内部電極３の形状に関わらず、
２つの外部電極４間で電気的に短絡することを防ぐこと
が可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態につい
て図面を参照して更に説明する。
て図面を参照して更に説明する。
【００１３】図１は、本発明の第１の実施の形態による
積層型圧電セラミックスの外形を示す斜視図であり、図
２（ａ）は図１の積層型圧電セラミックスのダミー内部
電極の形状を示す平面断面図及び正面図、図２（ｂ）は
図１の積層型圧電セラミックスの内部電極の形状を示す
平面断面図及び正面図である。
積層型圧電セラミックスの外形を示す斜視図であり、図
２（ａ）は図１の積層型圧電セラミックスのダミー内部
電極の形状を示す平面断面図及び正面図、図２（ｂ）は
図１の積層型圧電セラミックスの内部電極の形状を示す
平面断面図及び正面図である。
【００１４】図１、図２（ａ）及び（ｂ）に示すよう
に、積層型圧電セラミックス１０は、焼結前の圧電セラ
ミックシー卜１上に、活性部１２用には、積層型圧電セ
ラミックス１０の内部電極２が断面形状に対し全面とな
るように形成して第１の圧電シート５とし、また，活性
部１２の両端の不活性部１１ａ，１１ｂ用には、積層型
圧電セラミックスの外部電極７が形成される面と平行な
帯状のダミー内部電極３となるように、銀／パラジウム
系の電極材料により形成して第２の圧電シート４とし、
さらには、活性部１２および不活性部１１ａ，１１ｂ用
の圧電セラミックシート、即ち、第１の圧電シート５、
第２の圧電シート４とを積層体形状に合わせ切り抜き、
第１の圧電シート５を１５０枚と、その上下に第２の圧
電シート４を２５枚ずつ積層し、ブレスにより一体化し
た後、１１００℃で焼結し、断面形状１０×１０ｍｍ，
積層方向長さ２０ｍｍとなるように外形加工を施して、
積層体とする。この積層体の両側面に、活性部１２ａの
内部電極１が、積層方向において、一層おきに対向電極
となるように絶縁層６を形成した後、外部電極７を形成
した。また、ダミー内部電極３を外部電極７形成面と平
行な帯状にすることにより２つの外部電極７間でのダミ
ー電極３を介しての電気的短絡を防ぐことができる。
に、積層型圧電セラミックス１０は、焼結前の圧電セラ
ミックシー卜１上に、活性部１２用には、積層型圧電セ
ラミックス１０の内部電極２が断面形状に対し全面とな
るように形成して第１の圧電シート５とし、また，活性
部１２の両端の不活性部１１ａ，１１ｂ用には、積層型
圧電セラミックスの外部電極７が形成される面と平行な
帯状のダミー内部電極３となるように、銀／パラジウム
系の電極材料により形成して第２の圧電シート４とし、
さらには、活性部１２および不活性部１１ａ，１１ｂ用
の圧電セラミックシート、即ち、第１の圧電シート５、
第２の圧電シート４とを積層体形状に合わせ切り抜き、
第１の圧電シート５を１５０枚と、その上下に第２の圧
電シート４を２５枚ずつ積層し、ブレスにより一体化し
た後、１１００℃で焼結し、断面形状１０×１０ｍｍ，
積層方向長さ２０ｍｍとなるように外形加工を施して、
積層体とする。この積層体の両側面に、活性部１２ａの
内部電極１が、積層方向において、一層おきに対向電極
となるように絶縁層６を形成した後、外部電極７を形成
した。また、ダミー内部電極３を外部電極７形成面と平
行な帯状にすることにより２つの外部電極７間でのダミ
ー電極３を介しての電気的短絡を防ぐことができる。
【００１５】尚、図６に示す従来技術による積層型圧電
セラミックスの場合は、不活性部の５１ａの圧電セラミ
ックシートにダミー内部電極３を形成していないこと以
外は、図１の積層型圧電セラミックスと同様の構造を備
え、同様の製造方法によって製造される。
セラミックスの場合は、不活性部の５１ａの圧電セラミ
ックシートにダミー内部電極３を形成していないこと以
外は、図１の積層型圧電セラミックスと同様の構造を備
え、同様の製造方法によって製造される。
【００１６】下記表１は、図１及び図６の積層型圧電セ
ラミックスの積層体を焼結した際の、活性部および不活
性部の断面に対する収縮率を示している。また、下記表
２は、活性部および活性部と不活性部の界面での抗折強
度を示している。
ラミックスの積層体を焼結した際の、活性部および不活
性部の断面に対する収縮率を示している。また、下記表
２は、活性部および活性部と不活性部の界面での抗折強
度を示している。
【００１７】下記表１および表２より、本発明の実施の
形態によるものでは、活性部と不活性部の収縮率が同等
であり、さらには、抗折強度においても活性部および活
性部と不活性部の界面に差が見られなかったことより、
ダミー内部電極３を形成することにより焼結の際の収縮
率の差による歪みを取り除けたことが確認できた。
形態によるものでは、活性部と不活性部の収縮率が同等
であり、さらには、抗折強度においても活性部および活
性部と不活性部の界面に差が見られなかったことより、
ダミー内部電極３を形成することにより焼結の際の収縮
率の差による歪みを取り除けたことが確認できた。
【００１８】
【表１】
【００１９】
【表２】
【００２０】図３は本発明の第２の実施の形態による積
層型圧電セラミックスのダミー内部電極３構造を示す平
面断面図である。図３に示すように、第２の圧電シート
１５において、ダミー内部電極１３は外部電極７が形成
される部分を除く圧電セラミックシート１の一面に形成
されている。この構造によっても、２つの外部電極７，
７がダミー内部電極１３を介して電気的に短絡すること
を防ぐことが可能であり、さらには、焼結時の収縮率の
差による歪みの解消効果も図１の第１の実施の形態によ
るものと同様に得られる。
層型圧電セラミックスのダミー内部電極３構造を示す平
面断面図である。図３に示すように、第２の圧電シート
１５において、ダミー内部電極１３は外部電極７が形成
される部分を除く圧電セラミックシート１の一面に形成
されている。この構造によっても、２つの外部電極７，
７がダミー内部電極１３を介して電気的に短絡すること
を防ぐことが可能であり、さらには、焼結時の収縮率の
差による歪みの解消効果も図１の第１の実施の形態によ
るものと同様に得られる。
【００２１】図４は本発明の第３の実施の形態による積
層型圧電セラミックスを示す斜視図である。図４に示す
ように、ダミー内部電極３構造は積層型圧電セラミック
ス２０の断面形状に対し全面となるように形成されてい
る。さらに、外部電極７が形成される面でダミー内部電
極３が露出している部分に、絶縁体６と同様のガラスの
絶縁体１６を形成し、その後、外部電極７を形成してい
る。この構造にすることにより、外部電極４を形成した
際に、ダミー内部電極３が外部電極４とガラスの絶縁体
１６により絶縁される為、外部電極７間で電気的に短絡
することを防ぐことが可能である。また、ダミー内部電
極３が活性部と同等の割合で入っていることより、焼結
時の収縮差による歪みの解消も図１による第１の実施の
形態によるものと同様に得られる。
層型圧電セラミックスを示す斜視図である。図４に示す
ように、ダミー内部電極３構造は積層型圧電セラミック
ス２０の断面形状に対し全面となるように形成されてい
る。さらに、外部電極７が形成される面でダミー内部電
極３が露出している部分に、絶縁体６と同様のガラスの
絶縁体１６を形成し、その後、外部電極７を形成してい
る。この構造にすることにより、外部電極４を形成した
際に、ダミー内部電極３が外部電極４とガラスの絶縁体
１６により絶縁される為、外部電極７間で電気的に短絡
することを防ぐことが可能である。また、ダミー内部電
極３が活性部と同等の割合で入っていることより、焼結
時の収縮差による歪みの解消も図１による第１の実施の
形態によるものと同様に得られる。
【００２２】図５は、本発明の第４の実施の形態による
積層型圧電セラミックスを示す斜視図である。図５に示
すように、第４の実施の形態による積層型圧電セラミッ
クス３０は、ダミー内部電極３が積層型圧電セラミック
ス３０の断面形状に対し全面となるように形成されてい
る。さらに、外部電極７は活性部１２の最外部に位置す
る内部電極９と、活性部１２の最外部に位置する内部電
極９のとなりの不活性部１８ａ，１８ｂのダミー内部電
極３の間まで形成されている。この構造によっても、２
つの外部電極７がダミー内部電極３を介して電気的に短
絡することを防ぐことが可能であり、さらには、焼結時
の収縮差による歪みの解消効果も図１に示す実施と同様
に得られる。また、以上述ぺた内部電極構造１、ダミー
内部電極構造３、絶縁体６構造、外部電極７構造以外で
あっても、不活性部１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，
１８ａ，１８ｂにダミー内部電極３を形成し、２つの外
部電極７が電気的に短絡しない様に構成することにより
同様の効果が得られる。
積層型圧電セラミックスを示す斜視図である。図５に示
すように、第４の実施の形態による積層型圧電セラミッ
クス３０は、ダミー内部電極３が積層型圧電セラミック
ス３０の断面形状に対し全面となるように形成されてい
る。さらに、外部電極７は活性部１２の最外部に位置す
る内部電極９と、活性部１２の最外部に位置する内部電
極９のとなりの不活性部１８ａ，１８ｂのダミー内部電
極３の間まで形成されている。この構造によっても、２
つの外部電極７がダミー内部電極３を介して電気的に短
絡することを防ぐことが可能であり、さらには、焼結時
の収縮差による歪みの解消効果も図１に示す実施と同様
に得られる。また、以上述ぺた内部電極構造１、ダミー
内部電極構造３、絶縁体６構造、外部電極７構造以外で
あっても、不活性部１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，
１８ａ，１８ｂにダミー内部電極３を形成し、２つの外
部電極７が電気的に短絡しない様に構成することにより
同様の効果が得られる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
不活性部にダミー内部電極を形成し、さらにダミー内部
電極を追加したことによる、２つの外部電極間での電気
的短絡がない様に、ダミー内部電極を形成すること、も
しくはダミー内部電極と２つの外部電極のいずれか片方
以上の接続部分に絶縁体を形成すること、もしくはダミ
ー内部電極の表面に露出する部分に外部電極のいずれか
片方以上を形成しないことにより、活性部と不活性部の
間の焼結による歪みの低減もしくは解消ができ、焼結の
際の割れや、活性部と不活性部の密着強度の低下による
剥離のない積層型圧電セラミックスの提供が可能になっ
た。
不活性部にダミー内部電極を形成し、さらにダミー内部
電極を追加したことによる、２つの外部電極間での電気
的短絡がない様に、ダミー内部電極を形成すること、も
しくはダミー内部電極と２つの外部電極のいずれか片方
以上の接続部分に絶縁体を形成すること、もしくはダミ
ー内部電極の表面に露出する部分に外部電極のいずれか
片方以上を形成しないことにより、活性部と不活性部の
間の焼結による歪みの低減もしくは解消ができ、焼結の
際の割れや、活性部と不活性部の密着強度の低下による
剥離のない積層型圧電セラミックスの提供が可能になっ
た。
【図１】本発明の第１の実施の形態での積層型圧電セラ
ミックスの外形を示す斜視図である。
ミックスの外形を示す斜視図である。
【図２】（ａ）は図１の積層型圧電セラミックスのダミ
ー内部電極の構造および外部電極形成部分を示した平面
図及び正面図である。（ｂ）は図１の積層型圧電セラミ
ックスの内部電極の構造および外部電極形成部分を示し
た平面図及び正面図である。
ー内部電極の構造および外部電極形成部分を示した平面
図及び正面図である。（ｂ）は図１の積層型圧電セラミ
ックスの内部電極の構造および外部電極形成部分を示し
た平面図及び正面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態による積層型圧電セ
ラミックスのダミー内部電極形状および外部電極形成部
分を示す平面図である。
ラミックスのダミー内部電極形状および外部電極形成部
分を示す平面図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態による積層型圧電セ
ラミックスを示す斜視図であり、ダミー内部電極の表面
露出部分に絶縁体を形成したことを示している。
ラミックスを示す斜視図であり、ダミー内部電極の表面
露出部分に絶縁体を形成したことを示している。
【図５】本発明の第４の実施の形態による積層型圧電セ
ラミックスを示す斜視図であり、外部電極がダミー内部
電極部まで形成されていないことを示している。
ラミックスを示す斜視図であり、外部電極がダミー内部
電極部まで形成されていないことを示している。
【図６】従来技術による積層型圧電セラミックスを示し
た斜視図である。
た斜視図である。
１ 圧電セラミックシート（圧電セラミック層） ２ 内部電極 ３ ダミー内部電極 ５ 第１の圧電シート ４,１５ 第２の圧電シート ６，１６ 絶縁体 ７ 外部電極 ９ 活性部最外に位置する内部電極 １０，２０，３０，５０ 積層型圧電セラミックス １１ａ，１１ｂ，１７ａ，１７ｂ，１８ａ，１８ｂ，５
１ａ，５１ｂ 不活性部 １２，５２ 活性部
１ａ，５１ｂ 不活性部 １２，５２ 活性部
Claims (5)
- 【請求項１】 焼結前の圧電セラミックシート上に内部
電極を形成した２枚以上の第１の圧電シートと、焼結前
の圧電セラミックシートからなる３枚以上の第２の圧電
シートとを、積層し、圧着により積層体とし、焼結し、
この積層体の側面に、前記内部電極が１層おきに対向電
極となるように、一対の外部電極を前記積層体の積層方
向に沿って長く形成して前記内部電極を接続し、前記第
１の圧電シートからなり互いに対向する前記内部電極を
有する活性部と、前記第２の圧電シートからなり、前記
内部電極が形成されていない不活性部とを形成した積層
型圧電セラミックスにおいて、前記第２の圧電シートの
圧電セラミックシート上にダミー内部電極を、前記外部
電極を２つの外部電極間で電気的に短絡しないように形
成したことを特徴とする積層型圧電セラミックス。 - 【請求項２】 請求項１記載の積層型圧電セラミックス
において、前記ダミー電極は、当該積層型圧電セラミッ
クスの断面に対し２分割以上されている形状を備えてい
ることを特徴とする積層型圧電セラミックス。 - 【請求項３】 請求項１記載の積層型圧電セラミックス
において、前記ダミー内部電極は、前記外部電極の一方
もしくは両方とは、電気的に導通が無いように、前記セ
ラミックシートの一面の全面の内の一部を除いて形成さ
れていることを特徴とする積層型圧電セラミックス。 - 【請求項４】 請求項１乃至３の内のいずれか一つに記
載の積層型圧電セラミックスにおいて、前記ダミー内部
電極の前記外部電極が形成され、この外部電極と、前記
ダミー内部電極と接続される部分であって、前記ダミー
内部電極の表面に露出している部分に絶縁体を形成した
ことを特徴とする積層型圧電セラミックス。 - 【請求項５】 請求項１乃至４の内のいずれか一つに記
載の積層型圧電セラミックスにおいて、当該積層型圧電
セラミックス表面であって、少なくとも前記ダミー内部
電極が露出している部分を除いた面に外部電極を形成し
たことを特徴とする積層型圧電セラミックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000166978A JP2001352110A (ja) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | 積層型圧電セラミックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000166978A JP2001352110A (ja) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | 積層型圧電セラミックス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001352110A true JP2001352110A (ja) | 2001-12-21 |
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ID=18670207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000166978A Withdrawn JP2001352110A (ja) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | 積層型圧電セラミックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001352110A (ja) |
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