JP2000252537A - 積層型圧電セラミック - Google Patents
積層型圧電セラミックInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 外部電極を内部電極層との導通確保用外部電
極と、積層型圧電セラミックの信号入力または出力用の
導体との導通確保の為の外部電極を同時に形成すること
による、いずれかの目的に合致せず、内部電極層と外部
電極の導通不具合や、外部信号入出力用端子との導通未
完全が発生を防止することができる積層型圧電セラミッ
クを提供すること。 【解決手段】 積層型圧電セラミック１０において、外
部電極が、積層型圧電セラミック１０の信号入力または
出力用の導体であるリード線７との導通確保のための第
１の外部電極１と、前記第１の外部電極１に接続される
とともに内部電極層３との導通確保用の第２の外部電極
部２とを備えている。この第１の外部電極１と、第２の
外部電極２とは別々の電極材料で形成されている。
極と、積層型圧電セラミックの信号入力または出力用の
導体との導通確保の為の外部電極を同時に形成すること
による、いずれかの目的に合致せず、内部電極層と外部
電極の導通不具合や、外部信号入出力用端子との導通未
完全が発生を防止することができる積層型圧電セラミッ
クを提供すること。 【解決手段】 積層型圧電セラミック１０において、外
部電極が、積層型圧電セラミック１０の信号入力または
出力用の導体であるリード線７との導通確保のための第
１の外部電極１と、前記第１の外部電極１に接続される
とともに内部電極層３との導通確保用の第２の外部電極
部２とを備えている。この第１の外部電極１と、第２の
外部電極２とは別々の電極材料で形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加圧により電圧を
生じさせたり、電圧を加えて変位又は力を生じさせる圧
電トランス、圧電振動子、及び圧電アクチュエータ等の
圧電素子に用いられる積層型圧電セラミックの構造に関
するものである。
生じさせたり、電圧を加えて変位又は力を生じさせる圧
電トランス、圧電振動子、及び圧電アクチュエータ等の
圧電素子に用いられる積層型圧電セラミックの構造に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の積層型圧電セラミック
は、図３に示すような構造を備えている。
は、図３に示すような構造を備えている。
【０００３】図３を参照すると、積層型圧電セラミック
５０は、圧電セラミック層５が上下となるように、圧電
セラミック層５と内部電極層３とを交互に積層し、対向
面の夫々の内部電極層の露出端部を互い違いに絶縁層４
で覆ったのち、この対向面に，積層方向に外部電極５１
を形成することによって製造されている。この従来の積
層型圧電セラミックの外部電極５１は、内部電極層との
導通確保部分と、積層型圧電セラミックの信号入力また
は出力用の導体との導通確保の為の外部電極部分は、個
別化せずに、同時に形成する技術が用いられていた。
５０は、圧電セラミック層５が上下となるように、圧電
セラミック層５と内部電極層３とを交互に積層し、対向
面の夫々の内部電極層の露出端部を互い違いに絶縁層４
で覆ったのち、この対向面に，積層方向に外部電極５１
を形成することによって製造されている。この従来の積
層型圧電セラミックの外部電極５１は、内部電極層との
導通確保部分と、積層型圧電セラミックの信号入力また
は出力用の導体との導通確保の為の外部電極部分は、個
別化せずに、同時に形成する技術が用いられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述したように、従来
技術においては、積層型圧電セラミックの外部電極は、
内部電極層との導通確保用外部電極部分と、積層型圧電
セラミックへの信号入力または出力用の導体との導通確
保の為の外部電極部分は同一電極材料，同一形成条件で
同時に形成されていた。
技術においては、積層型圧電セラミックの外部電極は、
内部電極層との導通確保用外部電極部分と、積層型圧電
セラミックへの信号入力または出力用の導体との導通確
保の為の外部電極部分は同一電極材料，同一形成条件で
同時に形成されていた。
【０００５】従って、内部電極層との導通確保に重点を
おいた電極形成条件では、たとえば、外部信号入力用端
子との導通を半田により確保していた場合、半田付け部
の半田性悪化や半田による外部電極材喰われが発生する
ため導通不具合をおこす様な欠点がある。
おいた電極形成条件では、たとえば、外部信号入力用端
子との導通を半田により確保していた場合、半田付け部
の半田性悪化や半田による外部電極材喰われが発生する
ため導通不具合をおこす様な欠点がある。
【０００６】また、積層型圧電セラミックへの信号入力
または出力用の導体との導通確保の為の外部電極５１に
たとえば、半田付けにより導通確保を行った場合、半田
部分特性に重点を置くために内部電極層３との導通が未
完全であつたり、電極形成条件が製品特性に合致せずに
特性低下が発生するという欠点を有する。
または出力用の導体との導通確保の為の外部電極５１に
たとえば、半田付けにより導通確保を行った場合、半田
部分特性に重点を置くために内部電極層３との導通が未
完全であつたり、電極形成条件が製品特性に合致せずに
特性低下が発生するという欠点を有する。
【０００７】したがつて、本発明の技術的課題は、外部
電極を内部電極層との導通確保用外部電極と、積層型圧
電セラミックの信号入力または出力用の導体との導通確
保の為の外部電極を同時に形成することにより、いずれ
かの目的に合致せず、内部電極層と外部電極の導通不具
合や、外部信号入出力用端子との導通未完全が発生を防
止することができる積層型圧電セラミックを提供するこ
とにある。
電極を内部電極層との導通確保用外部電極と、積層型圧
電セラミックの信号入力または出力用の導体との導通確
保の為の外部電極を同時に形成することにより、いずれ
かの目的に合致せず、内部電極層と外部電極の導通不具
合や、外部信号入出力用端子との導通未完全が発生を防
止することができる積層型圧電セラミックを提供するこ
とにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、少なく
とも３層の圧電セラミック層と前記圧電セラミック層の
間に設けられた少なくとも２層の内部電極層とを交互に
積層した積層体と、前記積層体の対向する２つの面上に
前記内部電極層の両端を互い違いに夫々接続するように
形成された外部電極とを備えた積層型圧電セラミックに
おいて、前記外部電極は、前記積層型圧電セラミックの
信号入力または出力用の導体との導通確保のための第１
の外部電極と、前記第１の外部電極に接続されるととも
に前記内部電極層との導通確保用の第２の外部電極とを
備え、前記第１の外部電極と前記第２の外部電極とは別
々の電極材料で形成されていることを特徴とする積層型
圧電セラミックが得られる。
とも３層の圧電セラミック層と前記圧電セラミック層の
間に設けられた少なくとも２層の内部電極層とを交互に
積層した積層体と、前記積層体の対向する２つの面上に
前記内部電極層の両端を互い違いに夫々接続するように
形成された外部電極とを備えた積層型圧電セラミックに
おいて、前記外部電極は、前記積層型圧電セラミックの
信号入力または出力用の導体との導通確保のための第１
の外部電極と、前記第１の外部電極に接続されるととも
に前記内部電極層との導通確保用の第２の外部電極とを
備え、前記第１の外部電極と前記第２の外部電極とは別
々の電極材料で形成されていることを特徴とする積層型
圧電セラミックが得られる。
【０００９】また、本発明によれば、前記積層型圧電セ
ラミックにおいて、前記対向する２つの面に夫々露出し
た前記内部電極層の両端を互い違いに覆うように絶縁層
を設け、前記第２の外部電極は前記絶縁層上に延在して
いることを特徴とする積層型圧電セラミックが得られ
る。
ラミックにおいて、前記対向する２つの面に夫々露出し
た前記内部電極層の両端を互い違いに覆うように絶縁層
を設け、前記第２の外部電極は前記絶縁層上に延在して
いることを特徴とする積層型圧電セラミックが得られ
る。
【００１０】また、本発明によれば、前記積層型圧電セ
ラミックにおいて、前記内部電極層をその一端が前記対
向する２つの面から夫々露出するように設け、前記第１
の外部電極は前記内部電極層の露出部分を覆うことによ
って接続されていることを特徴とする積層型圧電セラミ
ックが得られる。
ラミックにおいて、前記内部電極層をその一端が前記対
向する２つの面から夫々露出するように設け、前記第１
の外部電極は前記内部電極層の露出部分を覆うことによ
って接続されていることを特徴とする積層型圧電セラミ
ックが得られる。
【００１１】また、本発明によれば、前記いずれかの積
層型圧電セラミックにおいて、前記第１及び第２の外部
電極は、別々の形成方法で形成されていることを特徴と
する積層型圧電セラミックが得られる。
層型圧電セラミックにおいて、前記第１及び第２の外部
電極は、別々の形成方法で形成されていることを特徴と
する積層型圧電セラミックが得られる。
【００１２】さらに、本発明によれば、前記いずれかの
積層型圧電セラミックにおいて、前記第１及び第２の外
部電極は、別々の形成条件で形成されていることを特徴
とする積層型圧電セラミックが得られる。
積層型圧電セラミックにおいて、前記第１及び第２の外
部電極は、別々の形成条件で形成されていることを特徴
とする積層型圧電セラミックが得られる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。
て図面を参照しながら説明する。
【００１４】図１は本発明の実施の形態による積層型圧
電セラミックの斜視図である。また、図２は図１の積層
型圧電セラミックにリード線を接続した状態を示す図で
ある。図１及び図２を参照すると，積層型圧電セラミッ
ク１０は、圧電セラミック層５と、内部電極層３とを、
上下面が圧電セラミック層５となるように、交互に積層
して積層体を形成している。積層体は圧電セラミック層
及び導電層の各グリーンシート又はペーストを積層し
て、個々の大きさに切断の後、焼成されたものからな
る。この積層体の最下層の圧電セラミック層５には、積
層型圧電セラミック１０の引き出し用の第１の外部電極
１が形成されている。また、この積層体の積層方向の両
側の対向面には、積層方向に交互に絶縁層４が形成され
ている。さらに、絶縁層４が形成された対向面のその上
に、積層方向に延在する第２の外部電極２が夫々形成さ
れており、積層方向に内部電極層３の一端と交互に接続
されている。 ここで，第１の外部電極１は、第２の外
部電極２に接続され、図２に示すように、積層型圧電セ
ラミック１０の信号入力または出力用のリード線７と半
田６を介して接続するために用いられている。また、第
２の外部電極２は、積層型圧電セラミック１０の内部電
極層３との導通確保のために用いられる。
電セラミックの斜視図である。また、図２は図１の積層
型圧電セラミックにリード線を接続した状態を示す図で
ある。図１及び図２を参照すると，積層型圧電セラミッ
ク１０は、圧電セラミック層５と、内部電極層３とを、
上下面が圧電セラミック層５となるように、交互に積層
して積層体を形成している。積層体は圧電セラミック層
及び導電層の各グリーンシート又はペーストを積層し
て、個々の大きさに切断の後、焼成されたものからな
る。この積層体の最下層の圧電セラミック層５には、積
層型圧電セラミック１０の引き出し用の第１の外部電極
１が形成されている。また、この積層体の積層方向の両
側の対向面には、積層方向に交互に絶縁層４が形成され
ている。さらに、絶縁層４が形成された対向面のその上
に、積層方向に延在する第２の外部電極２が夫々形成さ
れており、積層方向に内部電極層３の一端と交互に接続
されている。 ここで，第１の外部電極１は、第２の外
部電極２に接続され、図２に示すように、積層型圧電セ
ラミック１０の信号入力または出力用のリード線７と半
田６を介して接続するために用いられている。また、第
２の外部電極２は、積層型圧電セラミック１０の内部電
極層３との導通確保のために用いられる。
【００１５】ここで，積層型圧電セラミック１０の第１
及び第２の外部電極１、２を形成する際に、内部電極層
３との導通確保用の第１の外部電極１と、積層型圧電セ
ラミックへの信号入力または出力用の導体との導通確保
の為の第２の外部電極２を、各々の目的に合った電極材
および電極形成方法・条件にて別々に形成し、各々の外
部電極の一部または全部を接合させ電気的に導通するよ
うに形成されている。
及び第２の外部電極１、２を形成する際に、内部電極層
３との導通確保用の第１の外部電極１と、積層型圧電セ
ラミックへの信号入力または出力用の導体との導通確保
の為の第２の外部電極２を、各々の目的に合った電極材
および電極形成方法・条件にて別々に形成し、各々の外
部電極の一部または全部を接合させ電気的に導通するよ
うに形成されている。
【００１６】このような構成の本発明の実施の形態によ
る積層型圧電セラミックによれば、外部電極を形成する
際、積層型圧電セラミック１０の信号入力または出力用
の導体との導通確保の為の第１の外部電極１と、内部電
極層３との導通確保用の第２の外部電極２と、各々の目
的に合わせて別々に形成することにより、外部電極の各
部分の目的に合致した外部電極の形成が可能となる。
る積層型圧電セラミックによれば、外部電極を形成する
際、積層型圧電セラミック１０の信号入力または出力用
の導体との導通確保の為の第１の外部電極１と、内部電
極層３との導通確保用の第２の外部電極２と、各々の目
的に合わせて別々に形成することにより、外部電極の各
部分の目的に合致した外部電極の形成が可能となる。
【００１７】次に、本発明の実施の形態による積層型圧
電セラミックの製造の具体例について説明する。
電セラミックの製造の具体例について説明する。
【００１８】図１を参照して，積層体を、圧電セラミッ
ク層５を形成する圧電セラミックグリーンシートと内部
電極層３を形成する導電体ペースト又は導電体シーとを
交互に積層して、個々の大きさに切断した後、１０００
〜１４００℃の温度で焼成して形成する。次に、ガラス
層もしくは樹脂層で、積層体の対向面に内部電極層の両
側の露出部を積層方向に交互に覆い絶縁層４を形成す
る。絶縁層４がガラス層の場合には焼成によるが、樹脂
の場合には、夫々の樹脂の特性に応じて、固化形成され
る。
ク層５を形成する圧電セラミックグリーンシートと内部
電極層３を形成する導電体ペースト又は導電体シーとを
交互に積層して、個々の大きさに切断した後、１０００
〜１４００℃の温度で焼成して形成する。次に、ガラス
層もしくは樹脂層で、積層体の対向面に内部電極層の両
側の露出部を積層方向に交互に覆い絶縁層４を形成す
る。絶縁層４がガラス層の場合には焼成によるが、樹脂
の場合には、夫々の樹脂の特性に応じて、固化形成され
る。
【００１９】次に、絶縁層４が形成された積層体に、外
部信号入力または出力用の第１の外部電極１を、銀−パ
ラジウム（Ａｇ−Ｐｄ）電極を９００℃の焼成にて形成
し，次に、内部電極層３が１層おきに対向極性となるよ
う絶縁体層４を形成し、その後、内部電極層３との導通
確保用の第２の外部電極２に、銀（Ａｇ）電極を５００
℃の焼成にて形成を行った。また、積層体の夫々の対向
面において、第１及び第２の外部電極１、２は、各々の
電極の端部で重なる様に形成し、重なった部分で電気的
に接続されている。
部信号入力または出力用の第１の外部電極１を、銀−パ
ラジウム（Ａｇ−Ｐｄ）電極を９００℃の焼成にて形成
し，次に、内部電極層３が１層おきに対向極性となるよ
う絶縁体層４を形成し、その後、内部電極層３との導通
確保用の第２の外部電極２に、銀（Ａｇ）電極を５００
℃の焼成にて形成を行った。また、積層体の夫々の対向
面において、第１及び第２の外部電極１、２は、各々の
電極の端部で重なる様に形成し、重なった部分で電気的
に接続されている。
【００２０】また、図２に示す様に、外部信号入力また
は出力用導体にリード線７を使用し、リード線と外部信
号入力または出力用の外部電極１との接続は半田６にて
行った。
は出力用導体にリード線７を使用し、リード線と外部信
号入力または出力用の外部電極１との接続は半田６にて
行った。
【００２１】また、比較のために、図３に示す従来の積
層型圧電セラミックも製造した。この比較例は、絶縁層
４形成後、本発明での実施の形態で使用した、銀電極を
同様の５００℃の焼成にて形成したもの、および、銀−
パラジウム電極を同様に９００℃の焼成で形成したもの
を使用した。
層型圧電セラミックも製造した。この比較例は、絶縁層
４形成後、本発明での実施の形態で使用した、銀電極を
同様の５００℃の焼成にて形成したもの、および、銀−
パラジウム電極を同様に９００℃の焼成で形成したもの
を使用した。
【００２２】下記表１は、積層型圧電セラミックの信号
入力または出力用の導体７と外部電極２を半田６て接続
した際の、電極材料および形成条件での強度比較を行っ
た結果を示している。試料は、本発明の実施の形態によ
る電極形成条件で製造したもので半田は、銀−パラジウ
ムからなる第１の外部電極１部分に行った。また、比較
用の銀のみで形成したものには、外部信号入力または出
力用の外部電極１に相当する部分に、半田６で接続し
た。なお、試料を１５０℃で１０００時間放置した後
に、１ｋｇの力でリード線７を引っ張った際に、積層型
圧電セラミックから外部電極が剥離した数量を求めた。
入力または出力用の導体７と外部電極２を半田６て接続
した際の、電極材料および形成条件での強度比較を行っ
た結果を示している。試料は、本発明の実施の形態によ
る電極形成条件で製造したもので半田は、銀−パラジウ
ムからなる第１の外部電極１部分に行った。また、比較
用の銀のみで形成したものには、外部信号入力または出
力用の外部電極１に相当する部分に、半田６で接続し
た。なお、試料を１５０℃で１０００時間放置した後
に、１ｋｇの力でリード線７を引っ張った際に、積層型
圧電セラミックから外部電極が剥離した数量を求めた。
【００２３】
【表１】
【００２４】表１より、銀電極では、高温放置後の強度
が低下していることが確認された。．なお、リード線の
半田付け直後は１ｋｇで外部電極１が積層型圧電セラミ
ックから取れるものは無かった。
が低下していることが確認された。．なお、リード線の
半田付け直後は１ｋｇで外部電極１が積層型圧電セラミ
ックから取れるものは無かった。
【００２５】また、下記表２は、内部電極層との導通確
保用外部電極の電極材料および形成条件で、特性値の比
較を行った結果を示している。表２中の試料は、本発明
の実施の形態の電極形成条件で形成したもので、内部電
極層との導通確保部分の電極材科は銀であり、また、比
較用には、銀−パラジウムのみで形成を行ったものにつ
いて行った。
保用外部電極の電極材料および形成条件で、特性値の比
較を行った結果を示している。表２中の試料は、本発明
の実施の形態の電極形成条件で形成したもので、内部電
極層との導通確保部分の電極材科は銀であり、また、比
較用には、銀−パラジウムのみで形成を行ったものにつ
いて行った。
【００２６】
【表２】
【００２７】上記表２より銀−パラジウムのみで形成を
行ったものについては、絶縁抵抗が低くなっていること
が確認された。
行ったものについては、絶縁抵抗が低くなっていること
が確認された。
【００２８】よって，第１及び第２の外部電極を各々の
部分の目的に合致した電極材料および形成方法・条件で
形成することにより、外部電極に関係する不具合を無く
することが可能である。
部分の目的に合致した電極材料および形成方法・条件で
形成することにより、外部電極に関係する不具合を無く
することが可能である。
【００２９】なお、内部電極層３との導通確保用の外部
電極２および、積層型圧電セラミックの信号入力または
出力用の導体との導通確保の為の外部電極１は、２種類
の外部電極の電気的導通が確保でき、更に、積層型圧電
セラミックに対する特性や強度に問題が無く、また、積
層型圧電セラミックへの信号入力または出力用のいかな
る導体に対しても、導体との導通確保状態に問題のない
電極材料および形成方法・条件であれば同様の効果が得
られる。
電極２および、積層型圧電セラミックの信号入力または
出力用の導体との導通確保の為の外部電極１は、２種類
の外部電極の電気的導通が確保でき、更に、積層型圧電
セラミックに対する特性や強度に問題が無く、また、積
層型圧電セラミックへの信号入力または出力用のいかな
る導体に対しても、導体との導通確保状態に問題のない
電極材料および形成方法・条件であれば同様の効果が得
られる。
【００３０】また、上記実施の形態において、内部電極
層３の両端を互い違いに覆う絶縁層４からなるように構
成したが、積層体として、内部電極層３の両端が互い違
いに露出しないように、即ち、内部電極層の一端のみを
交互に積層体の対向面に露出させ、その上の第２の外部
電極２を形成することによって，絶縁層４を形成するこ
とを省略することもできる。
層３の両端を互い違いに覆う絶縁層４からなるように構
成したが、積層体として、内部電極層３の両端が互い違
いに露出しないように、即ち、内部電極層の一端のみを
交互に積層体の対向面に露出させ、その上の第２の外部
電極２を形成することによって，絶縁層４を形成するこ
とを省略することもできる。
【００３１】
【発明の効果】以上，本発明によれば、積層型圧電セラ
ミックの信号入力または出力用の導体との導通確保の為
の第１の外部電極と、内部電極層との導通確保用の第２
の外部電極が、各々目的に合致した電極材料および形成
方法・条件で形成されるため、外部電極は、２種類の外
部電極の電気的導通が確保であり、外部電極に関係する
不具合の発生がなくなる利点を持った積層型圧電セラミ
ックの提供が可能となった。
ミックの信号入力または出力用の導体との導通確保の為
の第１の外部電極と、内部電極層との導通確保用の第２
の外部電極が、各々目的に合致した電極材料および形成
方法・条件で形成されるため、外部電極は、２種類の外
部電極の電気的導通が確保であり、外部電極に関係する
不具合の発生がなくなる利点を持った積層型圧電セラミ
ックの提供が可能となった。
【図１】本発明の実施の形態における積層型圧電セラミ
ックの外部・電極形成状態を示す斜視図である。
ックの外部・電極形成状態を示す斜視図である。
【図２】図１の積層型圧電セラミックに外部信号入力ま
たは出力用端子にリード線を使用し、更に、リード線を
半田により、外部信号入力または出力用端子接続のため
の外部電極に接続した例を示す断面図である。
たは出力用端子にリード線を使用し、更に、リード線を
半田により、外部信号入力または出力用端子接続のため
の外部電極に接続した例を示す断面図である。
【図３】従来技術による積層圧電セラミックの外部電極
形成状態を示す斜視図である。
形成状態を示す斜視図である。
１ 第１の外部電極 ２ 第２の外部電極 ３ 内部電極層 ４ 絶縁層 ５ 圧電セラミック層 ６ 半田 ７ リード線 ５１ 外部電極
Claims (5)
- 【請求項１】 少なくとも３層の圧電セラミック層と前
記圧電セラミック層の間に設けられた少なくとも２層の
内部電極層とを交互に積層した積層体と、 前記積層体の対向する２つの面上に前記内部電極層の両
端を互い違いに夫々接続するように形成された外部電極
とを備えた積層型圧電セラミックにおいて、前記外部電
極は、前記積層型圧電セラミックの信号入力または出力
用の導体との導通確保のための第１の外部電極と、前記
第１の外部電極に接続されるとともに前記内部電極層と
の導通確保用の第２の外部電極とを備え、前記第１の外
部電極と前記第２の外部電極とは別々の電極材料で形成
されていることを特徴とする積層型圧電セラミック。 - 【請求項２】 請求項１記載の積層型圧電セラミックに
おいて、前記対向する２つの面に夫々露出した前記内部
電極層の両端を互い違いに覆うように絶縁層を設け、前
記第２の外部電極は前記絶縁層上に延在していることを
特徴とする積層型圧電セラミック。 - 【請求項３】 請求項１記載の積層型圧電セラミックに
おいて、前記内部電極層をその一端が前記対向する２つ
の面から夫々露出するように設け、前記第１の外部電極
は前記内部電極層の露出部分を覆うことによって接続さ
れていることを特徴とする積層型圧電セラミック。 - 【請求項４】 請求項１乃至３の内のいずれかに記載の
積層型圧電セラミックにおいて、前記第１及び第２の外
部電極は、別々の形成方法で形成されていることを特徴
とする積層型圧電セラミック。 - 【請求項５】 請求項１乃至４の内のいずれかに記載の
積層型圧電セラミックにおいて、前記第１及び第２の外
部電極は、別々の形成条件で形成されていることを特徴
とする積層型圧電セラミック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5171099A JP2000252537A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 積層型圧電セラミック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5171099A JP2000252537A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 積層型圧電セラミック |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000252537A true JP2000252537A (ja) | 2000-09-14 |
Family
ID=12894465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5171099A Withdrawn JP2000252537A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 積層型圧電セラミック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000252537A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6414418B1 (en) * | 1999-03-04 | 2002-07-02 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric actuator |
| JP2003070096A (ja) * | 2001-01-25 | 2003-03-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合圧電体と超音波診断装置用超音波探触子と超音波診断装置および複合圧電体の製造方法 |
| JP2003174698A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合圧電体およびその製造方法 |
| JP2004096071A (ja) * | 2002-03-18 | 2004-03-25 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、及び、アクチュエータ母部材 |
| JP2009065014A (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-26 | Nec Tokin Corp | 積層型圧電アクチュエータ素子 |
| JP2009218311A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Nec Tokin Corp | 積層型圧電アクチュエータ |
-
1999
- 1999-02-26 JP JP5171099A patent/JP2000252537A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6414418B1 (en) * | 1999-03-04 | 2002-07-02 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric actuator |
| JP2003070096A (ja) * | 2001-01-25 | 2003-03-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合圧電体と超音波診断装置用超音波探触子と超音波診断装置および複合圧電体の製造方法 |
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| JP2004096071A (ja) * | 2002-03-18 | 2004-03-25 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、及び、アクチュエータ母部材 |
| JP2009065014A (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-26 | Nec Tokin Corp | 積層型圧電アクチュエータ素子 |
| JP2009218311A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Nec Tokin Corp | 積層型圧電アクチュエータ |
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