JPS6392068A - グリ−ンシ−ト積層型圧電積層体 - Google Patents
グリ−ンシ−ト積層型圧電積層体Info
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- JPS6392068A JPS6392068A JP61236339A JP23633986A JPS6392068A JP S6392068 A JPS6392068 A JP S6392068A JP 61236339 A JP61236339 A JP 61236339A JP 23633986 A JP23633986 A JP 23633986A JP S6392068 A JPS6392068 A JP S6392068A
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- lamination
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/874—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices embedded within piezoelectric or electrostrictive material, e.g. via connections
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
Landscapes
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧電式アクチュエータの圧電積層体に係り、特
に、グリーンシート積層型の圧電積層体に関する。
に、グリーンシート積層型の圧電積層体に関する。
薄い板状の個々の圧電素子を複数積み重ねてなる圧電積
層体に代えて、積層コンデンサの製造手法を応用したグ
リーンシート積層型の圧電積層体の研究開発が進められ
ている。これによれば、圧電性セラミック粉末を含んだ
グリーンシートを打ち抜きまたは切断して所定形状のグ
リーンシート片を製作し、内部電極となる導電性ペース
トを各シートの表面に適当位置に印刷する。これらのシ
ート片を複数枚積層して焼結すると各シート片が互いに
一体的に結合した焼結体が得られ、内部電極は一枚おき
に側方に露出している。この焼結体の側面に導電性ペー
ストを印刷して焼き付けると、内部電極に電気接続され
た外部電極が形成される。
層体に代えて、積層コンデンサの製造手法を応用したグ
リーンシート積層型の圧電積層体の研究開発が進められ
ている。これによれば、圧電性セラミック粉末を含んだ
グリーンシートを打ち抜きまたは切断して所定形状のグ
リーンシート片を製作し、内部電極となる導電性ペース
トを各シートの表面に適当位置に印刷する。これらのシ
ート片を複数枚積層して焼結すると各シート片が互いに
一体的に結合した焼結体が得られ、内部電極は一枚おき
に側方に露出している。この焼結体の側面に導電性ペー
ストを印刷して焼き付けると、内部電極に電気接続され
た外部電極が形成される。
この外部電極にリード線を接続して得られるのがグリー
ンシート積層型圧電積層体である。
ンシート積層型圧電積層体である。
従来のグリーンシート積層型の圧電積層体では、外部電
極とリード線との接続方法としてはハンダ等の低融点合
金による点付けが行われている。この方法では、ハンダ
付は部の強度が十分でないので、自動車の様な大きな振
動を受ける用途に圧電積層体を用いた場合には振動によ
りハンダ付は部が外部電極から剥離し、圧電積層体の作
動不良を招く。
極とリード線との接続方法としてはハンダ等の低融点合
金による点付けが行われている。この方法では、ハンダ
付は部の強度が十分でないので、自動車の様な大きな振
動を受ける用途に圧電積層体を用いた場合には振動によ
りハンダ付は部が外部電極から剥離し、圧電積層体の作
動不良を招く。
また、使用に際して圧電積層体に電圧を印加しまたは解
除して積層体を伸縮させる時には、外部電極には歪みが
生じる。外部電極は非常に薄い(数ミクロン)ので、歪
みにより亀裂が発生しやすい。亀裂発生により、リード
線側から見て亀裂より先の外部電極に導通不良が生じ、
圧電積層体の作動不良が生じる惧れがある。
除して積層体を伸縮させる時には、外部電極には歪みが
生じる。外部電極は非常に薄い(数ミクロン)ので、歪
みにより亀裂が発生しやすい。亀裂発生により、リード
線側から見て亀裂より先の外部電極に導通不良が生じ、
圧電積層体の作動不良が生じる惧れがある。
〔問題点を解決するための手段および作用〕本発明では
、リード線は積層方向のほぼ全長にわたって配置すると
ともに、ハンダ等の低融点接合合金により積層方向ほぼ
全長にわたって外部電極に接合する。
、リード線は積層方向のほぼ全長にわたって配置すると
ともに、ハンダ等の低融点接合合金により積層方向ほぼ
全長にわたって外部電極に接合する。
この様にすればリード線の接合面積が増大するので、接
合部(ハンダ付は部)の強度が増大する。
合部(ハンダ付は部)の強度が増大する。
更に、接合部は積層方向のほぼ全長にわたって延長して
いるので、積層体の反復伸縮により外部電極に亀裂が生
じても、すべての内部電極とリード線との間には常に電
気接続が確保される。
いるので、積層体の反復伸縮により外部電極に亀裂が生
じても、すべての内部電極とリード線との間には常に電
気接続が確保される。
第1図から第3図を参照して本発明の第1実施例を説明
する。公知の様に、グリーンシートは、圧電性セラミッ
ク粉床と樹脂バインダーと溶剤とを適宜混練した後シー
ト状に押出し成形して乾燥することにより形成される。
する。公知の様に、グリーンシートは、圧電性セラミッ
ク粉床と樹脂バインダーと溶剤とを適宜混練した後シー
ト状に押出し成形して乾燥することにより形成される。
グリーンシートを円形その他の所望形状(本実施例では
矩形)に打抜きしまたは切断してグリーンシート片を製
作し、各シート片の片面または両面に白金または銀パラ
ジウムの導電性ペーストを所定パターンでスクリーン印
刷する。これらのシート片を複数枚積層して1100〜
1200℃で焼成すると、各シート片が互いに一体的に
焼結した焼結体10が得られる。第1図から分る様に、
この焼結体IOにおいては、導電性ペーストから成る内
部電極12端部は一枚おきに焼結体10の右側面および
左側面まで延長しており、その他端側では各側面より引
込んだ状態にある。
矩形)に打抜きしまたは切断してグリーンシート片を製
作し、各シート片の片面または両面に白金または銀パラ
ジウムの導電性ペーストを所定パターンでスクリーン印
刷する。これらのシート片を複数枚積層して1100〜
1200℃で焼成すると、各シート片が互いに一体的に
焼結した焼結体10が得られる。第1図から分る様に、
この焼結体IOにおいては、導電性ペーストから成る内
部電極12端部は一枚おきに焼結体10の右側面および
左側面まで延長しており、その他端側では各側面より引
込んだ状態にある。
次に、焼結体10の左右側面に所定横幅にわたり、かつ
、積層方向のほぼ全長にわたって銀ペースト等の導電性
ペーストを印刷し500〜600℃で焼成すると外部電
極14 、16が形成される。これらの外部電極14
、16の厚さは一般に数ミクロンである。外部電極14
、16のうちいずれか一方がプラス電極、他方がマイ
ナス電極となる。内部電極には一枚おきに一方の外部電
極に接続しているので、これらの外部電極14 、16
間に電圧を印加し解除することにより焼結体lOを伸縮
させることができる。
、積層方向のほぼ全長にわたって銀ペースト等の導電性
ペーストを印刷し500〜600℃で焼成すると外部電
極14 、16が形成される。これらの外部電極14
、16の厚さは一般に数ミクロンである。外部電極14
、16のうちいずれか一方がプラス電極、他方がマイ
ナス電極となる。内部電極には一枚おきに一方の外部電
極に接続しているので、これらの外部電極14 、16
間に電圧を印加し解除することにより焼結体lOを伸縮
させることができる。
本発明に従い、リード線18 、20を積層方向のほぼ
全長にわたって夫々の外部電極14.16に沿って配置
し、ハンダ22 、24により外部電極に電気的かつ機
械的に接続する。この様にして、圧電積層体30が得ら
れる。
全長にわたって夫々の外部電極14.16に沿って配置
し、ハンダ22 、24により外部電極に電気的かつ機
械的に接続する。この様にして、圧電積層体30が得ら
れる。
第4図から第6図は本発明の第2実施例を示す。
第1実施例と共通する構成要素は同じ参照番号で示し、
相違点のみを説明する。第2実施例の圧電積層体40に
おいては、外部電極14 、16とリード線18 、2
0との間には夫々銅板の様な比較的厚い導電性金属板4
2 、44が介在させてあり、各金属板42゜44は対
応する外部電極およびリード線にハンダ付けしである。
相違点のみを説明する。第2実施例の圧電積層体40に
おいては、外部電極14 、16とリード線18 、2
0との間には夫々銅板の様な比較的厚い導電性金属板4
2 、44が介在させてあり、各金属板42゜44は対
応する外部電極およびリード線にハンダ付けしである。
〔発明の効果)
従来の様にリード線と外部電極とが積層方向上の一点の
みにおいて点付けした場合には、圧電積層体が激しい振
動を受ける時には点付は部に荷重が集中し、点付は部が
外部電極から剥離しやすい。
みにおいて点付けした場合には、圧電積層体が激しい振
動を受ける時には点付は部に荷重が集中し、点付は部が
外部電極から剥離しやすい。
また、積層体の反復伸縮に伴い外部電極自体にも引張り
荷重が反復作用するので、外部電極が切断したり亀裂が
生じる惧れがある。
荷重が反復作用するので、外部電極が切断したり亀裂が
生じる惧れがある。
本発明では、積層方向ほぼ全長にわたってリード線を延
長させかつ外部電極に接続したので、接合部の面積が増
大し、接合部の単位面積当たりの荷重が低減する。従っ
て、接合部全体の強度を著しく向上させることができ、
効果的に剥離を防止することができる。
長させかつ外部電極に接続したので、接合部の面積が増
大し、接合部の単位面積当たりの荷重が低減する。従っ
て、接合部全体の強度を著しく向上させることができ、
効果的に剥離を防止することができる。
また、外部電極とリード線とは積層方向のほぼ全長にわ
たって接合されているので、薄い外部電極が切断したり
亀裂が生じた場合でも、切断や亀裂の位置に関係なくす
べての内部電極とリード線とは十分な電気接続関係に保
持される。
たって接合されているので、薄い外部電極が切断したり
亀裂が生じた場合でも、切断や亀裂の位置に関係なくす
べての内部電極とリード線とは十分な電気接続関係に保
持される。
この様にして、本発明によれば、圧電積層体の機能を長
期間にわたりフルに維持することができ、信頼性を向上
させることができる。
期間にわたりフルに維持することができ、信頼性を向上
させることができる。
第2実施例では、更に、比較的厚い銅板等の金属板42
、44を用い、この金属板と外部電極とを全面積にわ
たって接合したので、単位面積当りの外部電極に加わる
荷重は一層小さくなり、接合強度を更に増加させること
が可能となる。
、44を用い、この金属板と外部電極とを全面積にわ
たって接合したので、単位面積当りの外部電極に加わる
荷重は一層小さくなり、接合強度を更に増加させること
が可能となる。
第1図から第3図は夫々第1実施例の正面図、側面図、
および平面図、第4図から第6図は第2実施例の正面図
、側面図、および平面図である。 30 、40・・・圧電積層体、 10・・・グリーンシート焼結体、 12・・・内部電極、 14 、16・・・外部電極
、18 、20・・・リード線、 22 、24・・・
ハンダ付は部、42 、44・・・金属板。
および平面図、第4図から第6図は第2実施例の正面図
、側面図、および平面図である。 30 、40・・・圧電積層体、 10・・・グリーンシート焼結体、 12・・・内部電極、 14 、16・・・外部電極
、18 、20・・・リード線、 22 、24・・・
ハンダ付は部、42 、44・・・金属板。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、積層体の側面に沿って一対の薄い外部電極を被着し
、外部電極にリード線を夫々接続してなるグリーンシー
ト積層型の圧電積層体において、各リード線は積層体の
積層方向のほぼ全長にわたって配置するとともに、積層
方向ほぼ全長にわたり外部電極に電気的かつ機械的に接
続したことを特徴とするグリーンシート型圧電積層体。 2、リード線と外部電極との間には積層方向ほぼ全長に
わたり所定幅所定厚さの金属板を配置し、金属板はその
ほぼ全面積にわたり外部電極に接合し、リード線は積層
方向ほぼ全長にわたり金属板に接合したことを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の圧電積層体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61236339A JPS6392068A (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | グリ−ンシ−ト積層型圧電積層体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61236339A JPS6392068A (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | グリ−ンシ−ト積層型圧電積層体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6392068A true JPS6392068A (ja) | 1988-04-22 |
Family
ID=16999342
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61236339A Pending JPS6392068A (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | グリ−ンシ−ト積層型圧電積層体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6392068A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02251185A (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-08 | Hitachi Metals Ltd | 積層型変位素子 |
US5168189A (en) * | 1991-09-18 | 1992-12-01 | Caterpillar Inc. | Solderless connector for a solid state motor stack |
US5438232A (en) * | 1991-01-25 | 1995-08-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric lamination actuator |
JP2010103250A (ja) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電アクチュエータ |
-
1986
- 1986-10-06 JP JP61236339A patent/JPS6392068A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02251185A (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-08 | Hitachi Metals Ltd | 積層型変位素子 |
US5438232A (en) * | 1991-01-25 | 1995-08-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric lamination actuator |
US5168189A (en) * | 1991-09-18 | 1992-12-01 | Caterpillar Inc. | Solderless connector for a solid state motor stack |
JP2010103250A (ja) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電アクチュエータ |
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