JP2005108989A - 積層型圧電素子とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電体セラミックス層11と内部電極層とを積層してなる積層体10にて形成され、内部電極層は、積層体10の異なる一側面に交互に導出される第1内部電極層12と、積層体10の積層方向の所定の長さ寸法毎に積層体10の略全断面に渡って形成され,積層体10の少なくとも一側面に導出された第2内部電極層15とからなるものである。
【選択図】 図1
Description
10 積層体
11 圧電体セラミックス層
12 第1内部電極層
13 第2外部電極
14 保護層
15 第2内部電極層
16 第1外部電極
A 活性部
B 不活性部
Claims (7)
- 圧電体セラミックス層と内部電極層とを積層してなる積層体にて形成され、
前記内部電極層は、前記積層体の異なる一側面に交互に導出される第1内部電極層と、前記積層体の積層方向の所定の長さ寸法毎に前記積層体の略全断面に渡って形成され,前記積層体の少なくとも一側面に導出された第2内部電極層とからなる、ことを特徴とする積層型圧電素子。 - 前記第2内部電極層は複数形成され、互いに隣り合う前記第2内部電極層間には所定数の前記第1内部電極層が存在してなる、ことを特徴とする請求項1に記載の積層型圧電素子。
- 前記第2内部電極層の形成間隔が5mm以下である、ことを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の積層型圧電素子。
- 前記積層体の前記第1内部電極層が露出した各側面において、それぞれ積層方向に隣り合う一対の第2内部電極層間毎に、当該側面に露出した各第1内部電極層をまとめて電気的に接続する複数の第1外部電極と、
前記積層体の各側面の第1外部電極どうしを電気的に接続する一対の第2外部電極とを備えた、ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の積層型圧電素子。 - 圧電体セラミックス層と内部電極層とを積層してなる積層体にて形成され、前記内部電極層が、前記積層体の異なる一側面に交互に導出される第1内部電極層と、前記積層体の積層方向の所定の長さ寸法毎に前記積層体の略全断面に渡って形成され,前記積層体の少なくとも一側面に導出された第2内部電極層とからなる積層型圧電素子を得る工程と、
前記第2内部電極層間に電界を印加して、積層体全体のドメインの向きを略積層方向に配向してなる全体分極を行う工程と、
前記第1内部電極層を介し前記積層体に電界を印加して層間分極を行う工程と、
を含む積層型圧電素子の製造方法。 - 前記第2内部電極層は複数形成され、互いに隣り合う前記第2内部電極層間には所定数の前記第1内部電極層が存在してなる、ことを特徴とする請求項5に記載の積層型圧電素子の製造方法。
- 前記積層体の前記第1内部電極層が露出した各側面において、それぞれ積層方向に隣り合う一対の第2内部電極層間毎に、当該側面に露出した各第1内部電極層をまとめて電気的に接続する複数の第1外部電極を形成する工程と、
前記積層体の各側面の第1外部電極どうしを電気的に接続する一対の第2外部電極を形成する工程とを含む、ことを特徴とする請求項5または請求項6いずれかに記載の積層型圧電素子の製造方法。
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