JP2010087380A - 圧電駆動素子及び圧電駆動装置 - Google Patents
圧電駆動素子及び圧電駆動装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010087380A JP2010087380A JP2008256907A JP2008256907A JP2010087380A JP 2010087380 A JP2010087380 A JP 2010087380A JP 2008256907 A JP2008256907 A JP 2008256907A JP 2008256907 A JP2008256907 A JP 2008256907A JP 2010087380 A JP2010087380 A JP 2010087380A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- oriented
- piezoelectric ceramic
- ceramic layer
- piezoelectric drive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【解決手段】圧電アクチュエータ10は、圧電体セラミックス層12と内部電極14,16を積層した圧電駆動部18と、圧電体セラミックスからなる一対の保護層24,26と、外部電極20,22によって構成される。内部電極14,16は交互に積層されており、一方の内部電極14は外部電極20に、他方の内部電極16は外部電極22に接続されている。圧電駆動部18の圧電体セラミックス層12では、セラミックス粒子30が積層方向に配向しており、圧電特性を向上させる。一方、保護層24,26を構成する圧電体セラミックスでは、セラミックス粒子30がランダム配向(ないし無配向)となっており、機械的強度を維持する。また、保護層24,26によって、圧電駆動部18が保護される。
【選択図】図1
Description
(1)前記実施例で示した形状,寸法は一例であり、必要に応じて適宜変更してよい。材料についても同様であり、必要に応じて適宜変更してよい。
(2)前記実施例に示した内部電極14,16や圧電体セラミックス層12の積層数も一例であり、同様の効果を奏するように適宜増減してよい。
(3)保護層24,26の厚さも一例であり、必要に応じて適宜変更してよい。
(4)上述した圧電体セラミックス層12や保護層24,26の製造方法も一例であり、同様の効果を奏するように適宜変更してよい。
(6)前記実施例では、圧電体セラミックス層12を全て配向性としたが、これも一例であり、配向性の圧電体セラミックス層12と、ランダム配向の圧電体セラミックス層12を交互に積層して機械的強度の向上を図るようにしてもよい。
(7)前記実施例は、本発明を圧電アクチュエータに適用した例でありが、これも一例であり、本発明の圧電駆動素子は、他の公知の各種の駆動部を有する装置全般に適用可能である。
12:圧電体セラミックス層
14,16:内部電極
18:圧電駆動部
20,22:外部電極
24,26:保護層
30:セラミックス粒子
40:粉体
42:分極軸(ないしc軸)
44:成型体
46:結晶
48:結晶配向焼結体
Claims (6)
- 圧電体セラミックス層と内部電極とを積層した圧電駆動部と、該圧電駆動部の積層方向両端側に設けられた一対の保護用の圧電体セラミックス層と、前記内部電極と接続する一対の外部電極とを備えた圧電駆動素子であって、
前記圧電駆動部の内部電極に挟まれた圧電体セラミックス層のうち、少なくとも一部の層において、圧電体セラミックスの粒子が積層方向に配向しており、
前記保護用の圧電体セラミックス層では、圧電体セラミックスの粒子がランダム配向していることを特徴とする圧電駆動素子。 - 前記圧電駆動部の圧電体セラミックス層の配向度が、焼成後において60%以上であることを特徴とする請求項1記載の圧電駆動素子。
- 前記保護用の圧電体セラミックス層の配向度が、焼成後において5%以下であることを特徴とする請求項1又は2記載の圧電駆動素子。
- 前記圧電駆動部の内部電極で挟まれた圧電体セラミックス層が10〜100層であり、かつ、一層あたりの厚みが5〜40μmであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の圧電駆動素子。
- 前記保護用の圧電体セラミックス層の厚みが、50〜500μmであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧電駆動素子。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の圧電駆動素子を利用したことを特徴とする圧電駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008256907A JP5689220B2 (ja) | 2008-10-01 | 2008-10-01 | 圧電駆動素子及び圧電駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008256907A JP5689220B2 (ja) | 2008-10-01 | 2008-10-01 | 圧電駆動素子及び圧電駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010087380A true JP2010087380A (ja) | 2010-04-15 |
JP5689220B2 JP5689220B2 (ja) | 2015-03-25 |
Family
ID=42251020
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008256907A Active JP5689220B2 (ja) | 2008-10-01 | 2008-10-01 | 圧電駆動素子及び圧電駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5689220B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011044579A (ja) * | 2009-08-21 | 2011-03-03 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電薄膜素子及びその製造方法 |
EP2664600A2 (en) | 2012-05-15 | 2013-11-20 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Piezoelectric ceramic and method of manufacturing the same |
EP3579648A1 (en) | 2010-02-15 | 2019-12-11 | NTT DoCoMo, Inc. | Radio base station apparatus, mobile terminal device and wireless communication method |
JP2019216203A (ja) * | 2018-06-14 | 2019-12-19 | 太陽誘電株式会社 | 圧電素子,振動波形センサー,及び振動波形センサーモジュール |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01261257A (ja) * | 1988-04-09 | 1989-10-18 | Mitsubishi Mining & Cement Co Ltd | 一次元粒子配向物質構造体の製造方法 |
JP2005044926A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子及びアクチュエータ並びに印刷ヘッド |
JP2005108989A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型圧電素子とその製造方法 |
JP2006248860A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Denso Corp | 結晶配向セラミックス及びセラミックス積層体の製造方法 |
JP2008036816A (ja) * | 2004-10-21 | 2008-02-21 | Murata Mfg Co Ltd | 非強磁性物質成形体の製造方法、及び非強磁性物質成形体 |
-
2008
- 2008-10-01 JP JP2008256907A patent/JP5689220B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01261257A (ja) * | 1988-04-09 | 1989-10-18 | Mitsubishi Mining & Cement Co Ltd | 一次元粒子配向物質構造体の製造方法 |
JP2005044926A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子及びアクチュエータ並びに印刷ヘッド |
JP2005108989A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型圧電素子とその製造方法 |
JP2008036816A (ja) * | 2004-10-21 | 2008-02-21 | Murata Mfg Co Ltd | 非強磁性物質成形体の製造方法、及び非強磁性物質成形体 |
JP2006248860A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Denso Corp | 結晶配向セラミックス及びセラミックス積層体の製造方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011044579A (ja) * | 2009-08-21 | 2011-03-03 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電薄膜素子及びその製造方法 |
EP3579648A1 (en) | 2010-02-15 | 2019-12-11 | NTT DoCoMo, Inc. | Radio base station apparatus, mobile terminal device and wireless communication method |
EP2664600A2 (en) | 2012-05-15 | 2013-11-20 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Piezoelectric ceramic and method of manufacturing the same |
JP2013237589A (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-28 | Taiyo Yuden Co Ltd | 圧電セラミックス及びその製造方法 |
US8974687B2 (en) | 2012-05-15 | 2015-03-10 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Piezoelectric ceramic and method of manufacturing the same |
JP2019216203A (ja) * | 2018-06-14 | 2019-12-19 | 太陽誘電株式会社 | 圧電素子,振動波形センサー,及び振動波形センサーモジュール |
WO2019240111A1 (ja) * | 2018-06-14 | 2019-12-19 | 太陽誘電株式会社 | 圧電素子,振動波形センサー,及び振動波形センサーモジュール |
CN112262483A (zh) * | 2018-06-14 | 2021-01-22 | 太阳诱电株式会社 | 压电元件、振动波形传感器和振动波形传感器组件 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5689220B2 (ja) | 2015-03-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5237239A (en) | Piezoelectric actuator | |
Kwon et al. | Flexoelectric sensing using a multilayered barium strontium titanate structure | |
JP2738706B2 (ja) | 積層型圧電素子の製法 | |
JP5718910B2 (ja) | 圧電素子 | |
JP4039029B2 (ja) | 圧電セラミックス、圧電素子、および積層型圧電素子 | |
US20140375174A1 (en) | Low-temperature co-firing of multilayer textured piezoelectric ceramics with inner electrodes | |
JP5689220B2 (ja) | 圧電駆動素子及び圧電駆動装置 | |
CN111509118A (zh) | 层叠型压电元件 | |
JP5522899B2 (ja) | 多層圧電セラミックアクチュエータ、および多層圧電セラミックアクチュエータの製造方法 | |
JP4147954B2 (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
JP4635439B2 (ja) | 積層型圧電体素子及びその製造方法 | |
TWI379446B (ja) | ||
JP2010161286A (ja) | 積層型圧電素子及びその製造方法 | |
JP2010103198A (ja) | 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 | |
JP5597368B2 (ja) | 積層型電子部品およびその製法 | |
JP2008270738A (ja) | 多層圧電セラミックアクチュエータ、および多層圧電セラミックアクチュエータの製造方法 | |
JP2005005680A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP2007305907A (ja) | 積層型圧電素子及びその分極方法 | |
JP2001230463A (ja) | 積層圧電アクチュエータ | |
JP2013518422A (ja) | 圧電素子 | |
JP4666578B2 (ja) | 超音波振動素子及びそれを用いた超音波アクチュエータ | |
JP5674768B2 (ja) | 圧電多層コンポーネント | |
JP2010527143A5 (ja) | ||
JP5153093B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
Ngernchuklin et al. | Electromechanical displacement of piezoelectric-electrostrictive monolithic bilayer composites |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110922 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130416 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130418 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130530 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131227 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140426 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140507 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20140523 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150128 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5689220 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |