DE102004050803A1 - Piezoaktor - Google Patents
Piezoaktor Download PDFInfo
- Publication number
- DE102004050803A1 DE102004050803A1 DE102004050803A DE102004050803A DE102004050803A1 DE 102004050803 A1 DE102004050803 A1 DE 102004050803A1 DE 102004050803 A DE102004050803 A DE 102004050803A DE 102004050803 A DE102004050803 A DE 102004050803A DE 102004050803 A1 DE102004050803 A1 DE 102004050803A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layers
- piezoelectric actuator
- layer structure
- relief
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000005336 cracking Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003466 anti-cipated effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
- H10N30/508—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure adapted for alleviating internal stress, e.g. cracking control layers
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
Abstract
Es wird ein Piezoaktor, beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils, vorgeschlagen, der einen Mehrschichtaufbau von Piezolagen (2) aus piezoelektrischen oder elektrostriktiven Keramikschichten und dazwischen angeordneten Innenelektroden (3, 4) und einer wechselseitigen seitlichen Kontaktierung der Innenelektroden (3, 4) aufweist. Im Bereich des Schichtaufbaus sind in vorgegebenen Abständen Keramikschichten als Entlastungsschichten (5) angeordnet, die durch einen von den anderen Keramikschichten (2) abweichenden Aufbau und/oder Stoffzusammensetzung eine erhöhte Neigung zu Rissbildungen aufweisen.
Description
- Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor, beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils wie ein Ventil oder dergleichen, nach den gattungsgemäßen Merkmalen des Hauptanspruchs.
- Es ist allgemein bekannt, dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts ein Piezoelement aus einem Material mit einer geeigneten Kristallstruktur so aufgebaut werden kann, dass sich die piezoelektrischen oder elektrostriktiven Keramiken beim Anlegen elektrischer Felder ausdehnen bzw. zusammenziehen. Aufgrund des extrem schnellen und genau regelbaren Effektes können solche Anordnungen zum Bau von Stellern verwendet werden, die als Piezoaktoren bezeichnet werden.
- Da die elektrischen Feldstärken bei solchen Piezoaktoren im Bereich von mehreren Kilovolt pro Millimeter liegen aber in der Regel moderate elektrische Spannungen zur Ansteuerung gewünscht sind, werden sogenannte Vielschichtaktoren oder Multilayeraktoren hergestellt, deren Schichtdicke im Bereich von etwa 100 μm liegt. Ein typisches Verfahren zum Herstellen solcher Schichten besteht in der Foliengießtechnik. Die einzelnen Schichten werden metallisiert und übereinandergstapelt, so dass zwischen zwei Schichten mit den durch die Metallisierung gebildeten Innenelektroden unterschiedlicher Polarität schließlich der Piezoeffekt wirkt. Bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung an die Innenelektroden erfolgt eine mechanische Reaktion des Piezoelements, die in Abhängigkeit von der Kristallstruktur und der Anlagebereiche der elektrischen Spannung einen Druck oder Zug in eine vorgebbare Richtung darstellt.
- Beim Betrieb des Piezoaktors ist darauf zu achten, dass durch mechanische Spannungen im Lagenaufbau keine störenden Rissbildungen entstehen, die den elektrischen Kontakt beeinträchtigen können. Oft besteht jedoch die Gefahr, dass im Herstellungsprozess oder im Betrieb solche Risse in den Keramikschichten entstehen. Letzteres ist mitunter durch das Design des Piezoaktors bedingt, da im Übergangsbereich zwischen aktiven und passiven Bereichen, z.B. an den Enden, Zugspannungen entstehen. Dieses Phänomen hat eine verminderte Lebensdauer zur Folge und kann zum Totalausfall des Piezoaktors führen.
- Beispielsweise ist aus der
DE 199 28 177 A1 ist ein solcher Piezoaktor bekannt, bei dem im Schichtaufbau des Piezoaktors neutrale Phasen ohne Innenelektrodenschicht vorhanden sind, die eine spezielle Formgebung zur Verhinderung dieses Fehlers aufweisen. Rissbildungen im Bereich der elektrischen Kontaktierung werden hierbei dadurch verhindert, dass mit der speziellen Formgebung der neutralen Phase eine erhöhte mechanische Spannung bei der Einspannung des Piezoaktors senkrecht zum Schichtaufbau im Bereich dieser neutralen Phasen aufbringbar ist. - Vorteile der Erfindung
- Der eingangs beschriebene Piezoaktor, der beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils verwendbar sein kann, ist in vorteilhafter Weise mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen aus piezoelektrischen oder elektrostriktiven Keramikschichten und dazwischen angeordneten Elektroden sowie einer wechselseitigen seitlichen Kontaktierung der Elektroden aufgebaut. Im Bereich des Schichtaufbaus sind erfindungsgemäß in vorteilhafter Weise in vorgegebenen Abständen Keramikschichten als Entlastungsschichten angeordnet, die durch einen von den anderen Keramikschichten abweichenden Aufbau und/oder Stoffzusammensetzung eine erhöhte Neigung zu Rissbildungen aufweisen.
- Beispielsweise können die Entlastungsschichten eine im Vergleich zu den anderen Keramikschichten größere Porösität aufweisen, die dann leichter zu kontrollierten Rissbildungen führen können. Mit der Erfindung ist es somit möglich, die Rissbildung bei piezoelektrischen Stapelaktoren in definierten Bereichen stattfinden zu lassen. Verlaufen diese Risse kontrolliert innerhalb von räumlich begrenzten Zonen, so wird verhindert, dass Risse quer durch den Piezoaktor verlaufen und diesen komplett zerstören können.
- Es ist mit der erfindungsgemäßen Anordnung auch weiterhin möglich, dass Außenelektroden zur Kontaktierung der Innenelektroden so gezielt aufgebracht werden können, dass eine Rissüberbrückung im Außenbereich des Piezoaktors die Kontaktierung über die gesamte Aktorlänge sicherstellt.
- Die Herstellbarkeit und die Zuverlässigkeit von Piezoaktoren wird somit deutlich verbessert. Zum Beispiel können herstellungsbedingte Entlastungsrisse, beispielsweise durch das Schwindungsverhalten des Aktors, im Lagenaufbau des Piezoaktors durchaus zugelassen werden um die Ausbringung in der Produktion erhöhen.
- Die Entlastungsschichten können auf einfache Weise im Verlauf des Schichtaufbaus des Piezoaktors in äquidistanten Abständen eingefügt werden, wobei die Entlastungsschichten im Verlauf des Schichtaufbaus des Piezoaktors gleichverteilt angeordnet werden können.
- Alternativ können die Entlastungsschichten auch im Verlauf des Schichtaufbaus des Piezoaktors zum Kopf- und/oder zum Fußende hin einen größeren Abstand als der Zwischenbereich zwischen den Entlastungsschichten in der Mitte aufweisen. Dies ist deshalb vorteilhaft, da Risse im Betrieb zuerst in der Mitte auftreten.
- Weiterhin ist es auch möglich, dass die Entlastungsschichten im Verlauf des Schichtaufbaus des Piezoaktors von der Mitte bis zum Kopf- und/oder Fußende einen steigenden Abstand aufweisen.
- Zeichnung
- Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Piezoaktors werden anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:
-
1 einen Schnitt durch einen Piezoaktor mit einem Mehrschichtaufbau von Schichten aus Piezokeramik und Innenelektroden sowie in äquidistanten Abständen angeordneten Entlastungsschichten, -
2 einen Schnitt durch ein gegenüber der1 abgewandeltes Ausführungsbeispiel mit jeweils größeren Abständen zum Kopf- und Fußbereich des Piezoaktors und -
3 einen Schnitt durch ein weiteres gegenüber der1 abgewandeltes Ausführungsbeispiel mit zum Kopf- und Fußbereich des Piezoaktors jeweils kontinuierlich größer werdenden Abständen zwischen den Entlastungsschichten. - Beschreibung der Ausführungsbeispiele
- In
1 ist ein Piezoaktor1 gezeigt, der in an sich bekannter Weise aus Piezofolien2 eines Piezomaterials mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut ist, so dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts bei Anlage einer elektrischen Spannung über an Außenflächen des Piezoaktors1 angebrachte Außenelektroden an Innenelektroden3 und4 , eine mechanische Reaktion des Piezoaktors1 in Richtung des Schichtaufbaus erfolgt. Hier sind nur exemplarisch im oberen Teil des Piezoaktors1 die Piezofolien2 und die Innenelektroden3 und4 bezeichnet, die sich aber über den gesamten Schichtaufbau, hier also senkrecht, erstrecken. - Im Bereich des Schichtaufbaus sind gemäß des in der
1 dargestellten Ausführungsbeispiels der Erfindung in vorgegebenen Abständen Keramikschichten als Entlastungsschichten5 angeordnet, die mit einem von den anderen Keramikschichten bzw. Piezofolien2 abweichenden Aufbau und/oder eine andere Stoffzusammensetzung, z.B. mit einer größeren Porösität, eine erhöhte Neigung zu Rissbildungen aufweisen. - Diese Entlastungsschichten
5 müssen nicht notwendiger weise piezoelektrisch aktiv sein, da die Gesamtzahl nent dieser Entlastungsschichten5 klein im Vergleich zur Gesamtzahl nges der Schichten ist. Die Folge der Entlastungsschichten5 kann zum Beispiel regelmäßig sein, wobei insbesondere eine äquidistante Einteilung vorteilhaft ist. Bei nent Entlastungsschichten von insgesamt nges Schichten, folgen jeweils
N = (nges – nent)/(nent – l) inaktive Schichten. - Alternativ können die Entlastungsschichten
5 auch im Verlauf des Schichtaufbaus des Piezoaktors1 zum Kopf- und/oder zum Fußende hin einen größeren Abstand als der Zwischenbereich zwischen den Entlastungsschichten in der Mitte aufweisen. - Da in der Praxis Rissbildung im Betrieb des Piezoaktors
1 zuerst in der Mitte auftreten und dann jeweils in 1/2, 1/4, etc. der Aktorlänge, ist bei dem Ausführungsbeispiel nach der2 dieser Effekt vorweggenommen. Durch die Intervallhalbierung nach der2 zwischen den Entlastungsschichten5 folgen jeweils
N = (nges – nent)/(nent + 1) inaktive Entlastungsschichten5 . - Weiterhin ist es auch möglich, dass die Entlastungsschichten
5 im Verlauf des Lagenaufbaus des Piezoaktors1 von der Mitte bis zum Kopf- und/oder Fußende einen veränderlichen Abstand gemäß3 aufweisen. Gemäß der3 sind steigende Schichtfolgen der Entlastungsschichten5 von der Mitte zum Kopf- und zum Fußende des Piezoaktors1 hin realisiert. Im Einzelfall kann hierbei auch eine umgekehrte Reihenfolge oder eine einseitige Folge nur zum Kopf- oder Fußende hin vorteilhaft sein. - Die Erfindung ist überdies unabhängig von der Geometrie der Innenelektroden
3 und4 , z.B. interdigital, platethrough-type, Übereckdesign etc., oder vom Material der Innenelektroden3 und4 , z.B. AgPd, Cu etc..
Claims (7)
- Piezoaktor, mit – einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen (
2 ) aus piezoelektrischen oder elektrostriktiven Keramikschichten und dazwischen angeordneten Innenelektroden (3 ,4 ) und einer wechselseitigen seitlichen Kontaktierung der Innenelektroden (3 ,4 ), dadurch gekennzeichnet, dass, – im Bereich des Schichtaufbaus in vorgegebenen Abständen Keramikschichten als Entlastungsschichten (5 ) angeordnet sind, die durch einen von den anderen Keramikschichten (2 ) abweichenden Aufbau und/oder eine andere Stoffzusammensetzung eine erhöhte Neigung zu Rissbildungen aufweisen. - Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass – die Entlastungsschichten (
5 ) eine im Vergleich zu den anderen Keramikschichten (2 ) größere Porösität aufweisen. - Piezoaktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass – die Entlastungsschichten (
5 ) aus einem artfremden oder nicht piezoaktiven Material hergestellt sind. - Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – die Entlastungsschichten (
5 ) im Verlauf des Schichtaufbaus des Piezoaktors (1 ) in äquidistanten Abständen eingefügt sind. - Piezoaktor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass – die Entlastungsschichten (
5 ) im Verlauf des Schichtaufbaus des Piezoaktors (1 ) gleichverteilt angeordnet sind. - Piezoaktor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass – die Entlastungsschichten (
5 ) im Verlauf des Schichtaufbaus des Piezoaktors (1 ) zum Kopf- und/oder zum Fußende hin einen größeren Abstand als den Abstand zwischen den Entlastungsschichten (5 ) in der Mitte aufweisen. - Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – die Entlastungsschichten (
5 ) im Verlauf des Schichtaufbaus des Piezoaktors (1 ) von der Mitte bis zum Kopf- und/oder Fußende einen steigenden Abstand aufweisen.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004050803A DE102004050803A1 (de) | 2004-10-19 | 2004-10-19 | Piezoaktor |
PCT/EP2005/055072 WO2006042791A1 (de) | 2004-10-19 | 2005-10-06 | Piezoaktor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004050803A DE102004050803A1 (de) | 2004-10-19 | 2004-10-19 | Piezoaktor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102004050803A1 true DE102004050803A1 (de) | 2006-04-20 |
Family
ID=35445946
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102004050803A Ceased DE102004050803A1 (de) | 2004-10-19 | 2004-10-19 | Piezoaktor |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102004050803A1 (de) |
WO (1) | WO2006042791A1 (de) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008017655A1 (en) * | 2006-08-09 | 2008-02-14 | Continental Automotive Gmbh | Piezoceramic multilayer actuator with high reliability |
WO2008047460A1 (en) * | 2006-10-20 | 2008-04-24 | Kyocera Corporation | Piezoelectric actuator unit and method for manufacturing the same |
WO2008049815A1 (de) | 2006-10-23 | 2008-05-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Monolithischer piezoaktor mit übergangsbereich und sicherheitsschicht sowie verwendung des piezoaktors |
WO2008092932A1 (de) * | 2007-02-02 | 2008-08-07 | Epcos Ag | Vielschichtbauelement sowie verfahren zur herstellung eines vielschichtbauelements |
WO2008119702A1 (de) * | 2007-03-30 | 2008-10-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezoelektrisches bauteil mit sicherheitsschicht und infiltrationsbarriere und verfahren zu dessen herstellung |
WO2008119704A1 (de) * | 2007-03-30 | 2008-10-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezoelektrisches bauteil mit sicherheitsschicht und verfahren zu dessen herstellung |
EP2073283A1 (de) * | 2006-09-28 | 2009-06-24 | Kyocera Corporation | Laminiertes piezoelektrisches element, einspritzvorrichtung und kraftstoffeinspritzsystem mit einem laminierten piezoelektrischen element und verfahren zur herstellung eines laminierten piezoelektrischen elements |
US20100032503A1 (en) * | 2005-09-29 | 2010-02-11 | Kyocera Corporation | Multilayer Piezoelectric Element and Injector Using the Same |
DE102010005906A1 (de) * | 2010-01-27 | 2011-07-28 | Epcos Ag, 81669 | Piezoelektrisches Bauelement |
DE102008041061B4 (de) | 2007-08-24 | 2018-05-09 | Denso Corporation | Piezoelektrisches Schichtelement |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4775372B2 (ja) * | 2005-02-15 | 2011-09-21 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電素子 |
DE102005026717B4 (de) * | 2005-06-09 | 2016-09-15 | Epcos Ag | Piezoelektrisches Vielschichtbauelement |
DK1944813T3 (da) | 2005-09-16 | 2011-06-06 | Delphi Tech Holding Sarl | Piezoelektrisk aktuator |
US7443080B2 (en) * | 2006-01-23 | 2008-10-28 | Ngk Insulators, Ltd. | Laminated piezoelectric/electrostrictive device |
CN101558506B (zh) * | 2006-12-15 | 2011-03-16 | 京瓷株式会社 | 层叠型压电元件、具有其的喷射装置以及燃料喷射系统 |
EP1978569B1 (de) * | 2007-02-19 | 2011-11-30 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezokeramischer Mehrschichtaktor und Verfahren zur Herstellung eines piezokeramischen Mehrschichtaktors |
EP1978567B1 (de) | 2007-02-19 | 2014-06-25 | Continental Automotive GmbH | Piezokeramischer Mehrschichtaktor und Verfahren zur Herstellung eines piezokeramischen Mehrschichtaktors |
ATE528802T1 (de) * | 2007-02-19 | 2011-10-15 | Siemens Ag | Piezokeramischer vielschichtaktor und herstellungsverfahren dafür |
DE102007037500A1 (de) * | 2007-05-11 | 2008-11-13 | Epcos Ag | Piezoelektrisches Vielschichtbauelement |
EP2194592B1 (de) * | 2007-08-29 | 2015-03-25 | Kyocera Corporation | Laminiertes piezoelektrisches element und einspritzvorrichtung und kraftstoffeinspritzsystem, die mit dem laminierten piezoelektrischen element ausgestattet sind |
CN111865138A (zh) * | 2020-08-18 | 2020-10-30 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 长行程压电陶瓷致动器及其加工方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04214686A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-08-05 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
DE10201943A1 (de) * | 2001-02-15 | 2002-10-24 | Ceramtec Ag | Vielschichtaktor mit versetzt angeordneten Kontaktflächen gleich gepolter Innenelektroden für ihre Außenelektrode |
DE10202574A1 (de) * | 2001-02-15 | 2002-09-12 | Ceramtec Ag | Piezokeramischer Vielschichtaktor mit einem Übergangsbereich zwischen dem aktiven Bereich und den inaktiven Kopf- und Fußbereichen |
DE10234787C1 (de) * | 2002-06-07 | 2003-10-30 | Pi Ceramic Gmbh Keramische Tec | Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Vielschichtaktors, monolithischer Vielschichtaktor aus einem piezokeramischen oder elektrostriktiven Material |
DE10307825A1 (de) * | 2003-02-24 | 2004-09-09 | Epcos Ag | Elektrisches Vielschichtbauelement und Schichtstapel |
-
2004
- 2004-10-19 DE DE102004050803A patent/DE102004050803A1/de not_active Ceased
-
2005
- 2005-10-06 WO PCT/EP2005/055072 patent/WO2006042791A1/de active Application Filing
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100032503A1 (en) * | 2005-09-29 | 2010-02-11 | Kyocera Corporation | Multilayer Piezoelectric Element and Injector Using the Same |
US8288921B2 (en) * | 2005-09-29 | 2012-10-16 | Kyocera Corporation | Multilayer piezoelectric element and injector using the same |
WO2008017655A1 (en) * | 2006-08-09 | 2008-02-14 | Continental Automotive Gmbh | Piezoceramic multilayer actuator with high reliability |
US8704430B2 (en) | 2006-08-09 | 2014-04-22 | Continental Automotive Gmbh | Piezoceramic multilayer actuator with high reliability |
EP2073283A1 (de) * | 2006-09-28 | 2009-06-24 | Kyocera Corporation | Laminiertes piezoelektrisches element, einspritzvorrichtung und kraftstoffeinspritzsystem mit einem laminierten piezoelektrischen element und verfahren zur herstellung eines laminierten piezoelektrischen elements |
EP2073283A4 (de) * | 2006-09-28 | 2013-07-10 | Kyocera Corp | Laminiertes piezoelektrisches element, einspritzvorrichtung und kraftstoffeinspritzsystem mit einem laminierten piezoelektrischen element und verfahren zur herstellung eines laminierten piezoelektrischen elements |
US8410663B2 (en) | 2006-10-20 | 2013-04-02 | Kyocera Corporation | Piezoelectric actuator unit having a stress relieving layer and method for manufacturing the same |
WO2008047460A1 (en) * | 2006-10-20 | 2008-04-24 | Kyocera Corporation | Piezoelectric actuator unit and method for manufacturing the same |
WO2008049815A1 (de) | 2006-10-23 | 2008-05-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Monolithischer piezoaktor mit übergangsbereich und sicherheitsschicht sowie verwendung des piezoaktors |
WO2008092932A1 (de) * | 2007-02-02 | 2008-08-07 | Epcos Ag | Vielschichtbauelement sowie verfahren zur herstellung eines vielschichtbauelements |
US9728706B2 (en) | 2007-02-02 | 2017-08-08 | Epcos Ag | Method for producing a multilayer element |
WO2008119702A1 (de) * | 2007-03-30 | 2008-10-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezoelektrisches bauteil mit sicherheitsschicht und infiltrationsbarriere und verfahren zu dessen herstellung |
US8264125B2 (en) | 2007-03-30 | 2012-09-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezoelectric component comprising a security layer and an infiltration barrier and a method for the production thereof |
US8492955B2 (en) | 2007-03-30 | 2013-07-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezoelectric component comprising security layer and method for the production thereof |
WO2008119704A1 (de) * | 2007-03-30 | 2008-10-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezoelektrisches bauteil mit sicherheitsschicht und verfahren zu dessen herstellung |
DE102008041061B4 (de) | 2007-08-24 | 2018-05-09 | Denso Corporation | Piezoelektrisches Schichtelement |
DE102010005906A1 (de) * | 2010-01-27 | 2011-07-28 | Epcos Ag, 81669 | Piezoelektrisches Bauelement |
US9209382B2 (en) | 2010-01-27 | 2015-12-08 | Epcos Ag | Piezoelectric component |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006042791A1 (de) | 2006-04-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2006042791A1 (de) | Piezoaktor | |
EP0978148B1 (de) | Piezoelektrischer aktor | |
WO2000079608A1 (de) | Piezoaktor mit wärmedehnungsangepasster aussenelektrode | |
DE10147666B4 (de) | Piezoelement und Verfahren zur Herstellung eines Piezoelements | |
EP1530807B1 (de) | Piezoaktor | |
EP2043170A2 (de) | Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102004047105A1 (de) | Piezoaktor mit spannungsabbauenden Strukturen | |
DE102006001656A1 (de) | Piezoaktor und Verfahren zur Herstellung desselben | |
EP1233462B1 (de) | Vielschichtaktor mit versetzt angeordneten Kontaktflächen gleich gepolter Innenelektroden für ihre Aussenelektrode | |
DE102005002980B3 (de) | Monolithischer Vielschichtaktor und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE10353171A1 (de) | Piezoaktor | |
EP1503435B1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktors | |
DE19946835A1 (de) | Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102005023370A1 (de) | Piezoelektrischer oder elektrostriktiver Stack mit erhöhter Lebensdauer | |
DE102005050340A1 (de) | Piezoaktor und Verfahren zur Herstellung desselben | |
WO2013098168A1 (de) | Piezostack mit passivierung und verfahren zur passivierung eines piezostacks | |
EP1763901A1 (de) | Piezoaktor | |
DE10237588A1 (de) | Piezoaktor | |
DE102011014296A1 (de) | Piezoelektrisches Aktorbauelement und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Aktorbauelements | |
EP2079117A2 (de) | Piezoaktormodul mit mehreren Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102008040769A1 (de) | Piezoaktor mit passiven Bereichen am Kopf und/oder Fuß | |
EP2043171A2 (de) | Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102008031641B4 (de) | Piezoaktor in Vielschichtbauweise | |
DE10257952A1 (de) | Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
WO2001024287A2 (de) | Innenelektroden für einen piezostapelaktor und zugehöriges herstellung-verfahren |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed |
Effective date: 20110907 |
|
R016 | Response to examination communication | ||
R002 | Refusal decision in examination/registration proceedings | ||
R003 | Refusal decision now final |
Effective date: 20120925 |