JPH0738168A - 積層型圧電体素子 - Google Patents
積層型圧電体素子Info
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- JPH0738168A JPH0738168A JP5199232A JP19923293A JPH0738168A JP H0738168 A JPH0738168 A JP H0738168A JP 5199232 A JP5199232 A JP 5199232A JP 19923293 A JP19923293 A JP 19923293A JP H0738168 A JPH0738168 A JP H0738168A
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- laminated piezoelectric
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 上・下面の平坦性を損うことなく、上・下面
に形成された外部電極と側面に形成された外部電極とが
確実に接続された積層型圧電体素子を得る。 【構成】 圧電体層１と内部電極２ａ，２ｂとの積層体
３の、外部電極４ａ，４ｂが配設される側面３ａ，３ｂ
と上・下面３ｃ，３ｄから形成されるエッジ部６の、外
部電極４ａ，４ｂが配設される部分の少なくとも一部を
面取りする。
に形成された外部電極と側面に形成された外部電極とが
確実に接続された積層型圧電体素子を得る。 【構成】 圧電体層１と内部電極２ａ，２ｂとの積層体
３の、外部電極４ａ，４ｂが配設される側面３ａ，３ｂ
と上・下面３ｃ，３ｄから形成されるエッジ部６の、外
部電極４ａ，４ｂが配設される部分の少なくとも一部を
面取りする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、積層型圧電体素子に
関し、詳しくは、圧電体層間に配設された内部電極と導
通する外部電極を、圧電体層と内部電極との積層体の側
面から、上・下面の少なくとも一方にまで回り込むよう
に形成してなる積層型圧電体素子に関する。
関し、詳しくは、圧電体層間に配設された内部電極と導
通する外部電極を、圧電体層と内部電極との積層体の側
面から、上・下面の少なくとも一方にまで回り込むよう
に形成してなる積層型圧電体素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電体を利用した積層型圧電アクチュエ
ータとしては、例えば、図４に示すように、複数の圧電
体層５１の間に部分電極構造を有する内部電極５２を配
設するとともに、圧電体層５１と内部電極５２からなる
積層体５３の、内部電極５２が引き出された側面からそ
の上・下面に回り込むように外部電極５４を配設してな
る積層型圧電体素子５５を、金属板５６を介して複数個
積み重ね、所定の金属板５６をリード線５７により接続
するとともに、ばね圧により固定した構造の積層型圧電
アクチュエータが提案されている。
ータとしては、例えば、図４に示すように、複数の圧電
体層５１の間に部分電極構造を有する内部電極５２を配
設するとともに、圧電体層５１と内部電極５２からなる
積層体５３の、内部電極５２が引き出された側面からそ
の上・下面に回り込むように外部電極５４を配設してな
る積層型圧電体素子５５を、金属板５６を介して複数個
積み重ね、所定の金属板５６をリード線５７により接続
するとともに、ばね圧により固定した構造の積層型圧電
アクチュエータが提案されている。
【０００３】なお、上記の積層型圧電アクチュエータを
構成する積層型圧電体素子５５においては、内部電極５
２は、図５に示すように、一層おきに逆側の側面の外部
電極５４（図４）と導通するように交互に逆側の端部に
引き出されている。
構成する積層型圧電体素子５５においては、内部電極５
２は、図５に示すように、一層おきに逆側の側面の外部
電極５４（図４）と導通するように交互に逆側の端部に
引き出されている。
【０００４】また、外部電極５４としては、内部電極５
２との導通の確実性を考慮して厚膜電極が用いられてい
る。
２との導通の確実性を考慮して厚膜電極が用いられてい
る。
【０００５】そして、この積層型圧電アクチュエータに
おいては、各積層型圧電体素子５５の間に挿入された金
属板５６と各積層型圧電体素子５５の上・下面にまで回
り込むように形成された外部電極５４とを接触させるだ
けで、内部電極５２と金属板５６との導通が得られると
いう長所がある。
おいては、各積層型圧電体素子５５の間に挿入された金
属板５６と各積層型圧電体素子５５の上・下面にまで回
り込むように形成された外部電極５４とを接触させるだ
けで、内部電極５２と金属板５６との導通が得られると
いう長所がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の積層型
圧電アクチュエータにおいては、積層型圧電体素子５５
の外部電極５４が積層体５３の側面から上・下面にまで
回り込むように形成されている（例えば、上・下面に厚
膜電極を印刷して、側面に形成された厚膜電極に直接に
接続させるなどの方法により外部電極５４が形成され
る）ため、図６に示すように、積層体５３のエッジ部
（角部）において外部電極５４に盛上り（こぶ）５８が
発生し、積層型圧電体素子５５の上・下面の平坦性が損
われる。そのため、複数の積層型圧電体素子５５を金属
板５６を介して積み重ねた場合に、積重ね状態（連結固
定状態）が不安定になり、確実に固定することができな
かったり、積層型圧電アクチュエータとして使用した場
合に、外力によって破壊が生じたりするというような問
題点がある。
圧電アクチュエータにおいては、積層型圧電体素子５５
の外部電極５４が積層体５３の側面から上・下面にまで
回り込むように形成されている（例えば、上・下面に厚
膜電極を印刷して、側面に形成された厚膜電極に直接に
接続させるなどの方法により外部電極５４が形成され
る）ため、図６に示すように、積層体５３のエッジ部
（角部）において外部電極５４に盛上り（こぶ）５８が
発生し、積層型圧電体素子５５の上・下面の平坦性が損
われる。そのため、複数の積層型圧電体素子５５を金属
板５６を介して積み重ねた場合に、積重ね状態（連結固
定状態）が不安定になり、確実に固定することができな
かったり、積層型圧電アクチュエータとして使用した場
合に、外力によって破壊が生じたりするというような問
題点がある。
【０００７】この発明は、上記問題点を解決するもので
あり、上・下面の平坦性を損うことなく、上・下面に形
成された外部電極と側面に形成された外部電極が確実に
接続された積層型圧電体素子を提供することを目的とす
る。
あり、上・下面の平坦性を損うことなく、上・下面に形
成された外部電極と側面に形成された外部電極が確実に
接続された積層型圧電体素子を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の積層型圧電体素子は、複数の圧電体層
と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引
き出された側面から、上・下面の少なくとも一方にまで
回り込むように配設された外部電極とを備えてなる積層
型圧電体素子において、圧電体層と内部電極との積層体
の、前記外部電極が配設される側面と上・下面から形成
されるエッジ部の、外部電極が配設される部分の少なく
とも一部を面取りしたことを特徴とする。
に、この発明の積層型圧電体素子は、複数の圧電体層
と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引
き出された側面から、上・下面の少なくとも一方にまで
回り込むように配設された外部電極とを備えてなる積層
型圧電体素子において、圧電体層と内部電極との積層体
の、前記外部電極が配設される側面と上・下面から形成
されるエッジ部の、外部電極が配設される部分の少なく
とも一部を面取りしたことを特徴とする。
【０００９】
【作用】積層体の、外部電極が配設される側面と上・下
面から形成されるエッジ部の、外部電極が配設される部
分が面取りされているため、側面の外部電極と上・下面
の外部電極を接続させる部分（面取りされたエッジ部）
に、外部電極の盛上り（こぶ）が形成されるようなこと
がなく、上・下面の平坦性を確保することが可能にな
る。また、仮に、盛上り（こぶ）が形成されたような場
合においても、該盛上り（こぶ）が上・下面から突出す
ることを抑制して、上・下面の平坦性を向上させること
ができる。
面から形成されるエッジ部の、外部電極が配設される部
分が面取りされているため、側面の外部電極と上・下面
の外部電極を接続させる部分（面取りされたエッジ部）
に、外部電極の盛上り（こぶ）が形成されるようなこと
がなく、上・下面の平坦性を確保することが可能にな
る。また、仮に、盛上り（こぶ）が形成されたような場
合においても、該盛上り（こぶ）が上・下面から突出す
ることを抑制して、上・下面の平坦性を向上させること
ができる。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の実施例を示してその特徴と
するところをさらに詳しく説明する。図１は、この発明
の一実施例にかかる積層型圧電体素子を示す図であり、
（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
するところをさらに詳しく説明する。図１は、この発明
の一実施例にかかる積層型圧電体素子を示す図であり、
（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
【００１１】この実施例の積層型圧電体素子５において
は、積層体３は、従来の積層型圧電体素子の場合と同様
に、複数の圧電体層（例えばチタン酸ジルコン酸鉛系材
料からなる圧電体層）１の間に、一層おきに互に対向す
る側面に引き出されるように内部電極２ａ，２ｂを配設
することにより形成されている。
は、積層体３は、従来の積層型圧電体素子の場合と同様
に、複数の圧電体層（例えばチタン酸ジルコン酸鉛系材
料からなる圧電体層）１の間に、一層おきに互に対向す
る側面に引き出されるように内部電極２ａ，２ｂを配設
することにより形成されている。
【００１２】そして、この実施例の積層型圧電体素子５
においては、積層体３の、外部電極４ａ，４ｂが配設さ
れる側面３ａ，３ｂと上・下面３ｃ，３ｄから形成され
るエッジ部６に面取りが施されている。
においては、積層体３の、外部電極４ａ，４ｂが配設さ
れる側面３ａ，３ｂと上・下面３ｃ，３ｄから形成され
るエッジ部６に面取りが施されている。
【００１３】また、積層体３の内部電極２ａ，２ｂが引
き出された側面３ａ，３ｂから上・下面３ｃ，３ｄにか
けては、内部電極２ａ，２ｂと導通する外部電極４ａ，
４ｂが形成されている。すなわち、この実施例の積層型
圧電体素子５においては、外部電極４ａ，４ｂは、積層
体３の側面３ａ，３ｂに形成された内部電極接続電極
（側面外部電極）１４ａ，１４ｂと、積層体３の上・下
面３ｃ，３ｄに形成された外部電極（上・下面外部電
極）２４ａ，２４ｂから形成されている。
き出された側面３ａ，３ｂから上・下面３ｃ，３ｄにか
けては、内部電極２ａ，２ｂと導通する外部電極４ａ，
４ｂが形成されている。すなわち、この実施例の積層型
圧電体素子５においては、外部電極４ａ，４ｂは、積層
体３の側面３ａ，３ｂに形成された内部電極接続電極
（側面外部電極）１４ａ，１４ｂと、積層体３の上・下
面３ｃ，３ｄに形成された外部電極（上・下面外部電
極）２４ａ，２４ｂから形成されている。
【００１４】次に、上記実施例の積層型圧電体素子５の
製造方法について説明する。上記積層型圧電体素子５を
製造するにあたっては、まず、圧電体層（グリーンシー
ト）を製造するために、原料を秤量し、粉砕してバイン
ダとともに混合し、脱泡した後、シート状に成形し、所
定の形状に打抜く。それから、これに内部電極を印刷す
る。
製造方法について説明する。上記積層型圧電体素子５を
製造するにあたっては、まず、圧電体層（グリーンシー
ト）を製造するために、原料を秤量し、粉砕してバイン
ダとともに混合し、脱泡した後、シート状に成形し、所
定の形状に打抜く。それから、これに内部電極を印刷す
る。
【００１５】次に、各圧電体層（グリーンシート）を積
層圧着し、所定の形状に切断した後、焼成して、図２に
示すような積層体３を得る。それから、得られた積層体
３の内部電極２ａ，２ｂが引き出された側面（外部電極
４ａ，４ｂが配設される側面）３ａ，３ｂと上・下面３
ｃ，３ｄから形成されるエッジ部６を、図３に示すよう
に面取りする。
層圧着し、所定の形状に切断した後、焼成して、図２に
示すような積層体３を得る。それから、得られた積層体
３の内部電極２ａ，２ｂが引き出された側面（外部電極
４ａ，４ｂが配設される側面）３ａ，３ｂと上・下面３
ｃ，３ｄから形成されるエッジ部６を、図３に示すよう
に面取りする。
【００１６】その後、図１に示すように、積層体３の側
面３ａ，３ｂと、上・下面３ｃ，３ｄに外部電極４ａ，
４ｂを構成する側面外部電極１４ａ，１４ｂと上・下面
外部電極２４ａ，２４ｂとを、例えば、スパッタリング
や蒸着などの方法により形成し、面取りされたエッジ部
６において、側面外部電極１４ａ，１４ｂと上・下面外
部電極２４ａ，２４ｂを接続させる。
面３ａ，３ｂと、上・下面３ｃ，３ｄに外部電極４ａ，
４ｂを構成する側面外部電極１４ａ，１４ｂと上・下面
外部電極２４ａ，２４ｂとを、例えば、スパッタリング
や蒸着などの方法により形成し、面取りされたエッジ部
６において、側面外部電極１４ａ，１４ｂと上・下面外
部電極２４ａ，２４ｂを接続させる。
【００１７】このようにして形成された積層型圧電体素
子５は、外部電極４ａ，４ｂが形成されたエッジ部６が
面取りされているため、側面外部電極１４ａ，１４ｂと
上・下面外部電極２４ａ，２４ｂを接続させるエッジ部
（面取りされた部分）６に盛上り（こぶ）が形成される
ようなことがなく、上・下面の平坦性を確保することが
可能になる。また、仮に、盛上り（こぶ）が形成された
ような場合においても、該盛上り（こぶ）が上・下面か
ら突出することを抑制して、上・下面の平坦性を向上さ
せることができる。
子５は、外部電極４ａ，４ｂが形成されたエッジ部６が
面取りされているため、側面外部電極１４ａ，１４ｂと
上・下面外部電極２４ａ，２４ｂを接続させるエッジ部
（面取りされた部分）６に盛上り（こぶ）が形成される
ようなことがなく、上・下面の平坦性を確保することが
可能になる。また、仮に、盛上り（こぶ）が形成された
ような場合においても、該盛上り（こぶ）が上・下面か
ら突出することを抑制して、上・下面の平坦性を向上さ
せることができる。
【００１８】なお、上記実施例では、面取りを行ってエ
ッジ部６を斜面とした場合について説明したが、面取り
した後のエッジ部の形状はこれに限定されるものではな
く、種々の形状とすることが可能であり、例えば、丸み
を有する形状（Ｒ形状）になるように面取りすることも
可能である。
ッジ部６を斜面とした場合について説明したが、面取り
した後のエッジ部の形状はこれに限定されるものではな
く、種々の形状とすることが可能であり、例えば、丸み
を有する形状（Ｒ形状）になるように面取りすることも
可能である。
【００１９】また、上記実施例では、４つのエッジ部を
面取りした場合について説明したが、用途によっては、
すべてのエッジ部ではなく、その一部のみを面取りする
ようにしてもよい。
面取りした場合について説明したが、用途によっては、
すべてのエッジ部ではなく、その一部のみを面取りする
ようにしてもよい。
【００２０】さらに、エッジ部の面取り工程は、積層体
を焼成する前の段階において行ってもよい。
を焼成する前の段階において行ってもよい。
【００２１】この発明は、さらにその他の点において
も、上記実施例に限定されるものではなく、圧電体層を
構成する材料の種類や組成、あるいは圧電体層の積層
数、内部電極及び外部電極の構成材料やそのパターンな
どに関し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、
変形を加えることができる。
も、上記実施例に限定されるものではなく、圧電体層を
構成する材料の種類や組成、あるいは圧電体層の積層
数、内部電極及び外部電極の構成材料やそのパターンな
どに関し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、
変形を加えることができる。
【００２２】
【発明の効果】上述のように、この発明の積層型圧電体
素子は、圧電体層と内部電極との積層体の、前記外部電
極が配設される側面と上・下面から形成されるエッジ部
を面取りしているので、側面の外部電極と上・下面の外
部電極を接続させるエッジ部に外部電極の盛上り（こ
ぶ）が形成されることを防止して、上・下面の平坦性を
確保することが可能になる。また、仮に、盛上り（こ
ぶ）が形成されたような場合においても、該盛上り（こ
ぶ）が上・下面から突出することを抑制して、上・下面
の平坦性を向上させることが可能になる。
素子は、圧電体層と内部電極との積層体の、前記外部電
極が配設される側面と上・下面から形成されるエッジ部
を面取りしているので、側面の外部電極と上・下面の外
部電極を接続させるエッジ部に外部電極の盛上り（こ
ぶ）が形成されることを防止して、上・下面の平坦性を
確保することが可能になる。また、仮に、盛上り（こ
ぶ）が形成されたような場合においても、該盛上り（こ
ぶ）が上・下面から突出することを抑制して、上・下面
の平坦性を向上させることが可能になる。
【００２３】また、この発明の積層型圧電体素子におい
ては、製造工程で上・下面を平坦にするためのラップ処
理を施すことが不要になるため、ラップ工程における割
れや欠けの発生を防止することができる。
ては、製造工程で上・下面を平坦にするためのラップ処
理を施すことが不要になるため、ラップ工程における割
れや欠けの発生を防止することができる。
【００２４】また、この発明の積層型圧電体素子は上・
下面が平坦であるため、複数個積重ねて積層型圧電アク
チュエータを構成するような場合において、積重ね（連
結固定）の安定性に優れ、かつ外力によって破壊が生じ
たりすることがなく、信頼性の高い積層型圧電アクチュ
エータを得ることが可能になる。
下面が平坦であるため、複数個積重ねて積層型圧電アク
チュエータを構成するような場合において、積重ね（連
結固定）の安定性に優れ、かつ外力によって破壊が生じ
たりすることがなく、信頼性の高い積層型圧電アクチュ
エータを得ることが可能になる。
【図１】この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子
を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図であ
る。
を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図であ
る。
【図２】この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子
の製造工程において形成された積層体を示す図であり、
（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
の製造工程において形成された積層体を示す図であり、
（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
【図３】この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子
の製造工程において形成された積層体のエッジ部を面取
りした状態を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は
断面図である。
の製造工程において形成された積層体のエッジ部を面取
りした状態を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は
断面図である。
【図４】従来の積層型圧電アクチュエータを示す断面図
である。
である。
【図５】従来の積層型圧電アクチュエータを構成する積
層型圧電体素子の内部電極のパターンを示す分解斜視図
である。
層型圧電体素子の内部電極のパターンを示す分解斜視図
である。
【図６】従来の積層型圧電アクチュエータを構成する積
層型圧電体素子の要部を示す断面図である。
層型圧電体素子の要部を示す断面図である。
１ 圧電体層 ２ａ，２ｂ 内部電極 ３ 積層体 ３ａ，３ｂ 積層体の側面 ３ｃ，３ｄ 積層体の上・下面 ４ａ，４ｂ 外部電極 ５ 積層型圧電体素子 ６ エッジ部 １４ａ，１４ｂ 側面外部電極 ２４ａ，２４ｂ 上・下面外部電極
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の圧電体層と、圧電体層間に配設さ
れた内部電極と、内部電極が引き出された側面から、上
・下面の少なくとも一方にまで回り込むように配設され
た外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子において、 圧電体層と内部電極との積層体の、前記外部電極が配設
される側面と上・下面から形成されるエッジ部の、外部
電極が配設される部分の少なくとも一部を面取りしたこ
とを特徴とする積層型圧電体素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5199232A JPH0738168A (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 積層型圧電体素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5199232A JPH0738168A (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 積層型圧電体素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0738168A true JPH0738168A (ja) | 1995-02-07 |
Family
ID=16404358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5199232A Withdrawn JPH0738168A (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 積層型圧電体素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0738168A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19941044A1 (de) * | 1999-08-28 | 2001-03-22 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Keramikkörper |
| WO2007023594A1 (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-01 | Kyocera Corporation | 圧電アクチュエータ |
| JP2012064674A (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-29 | Taiyo Yuden Co Ltd | 圧電素子及び積層型圧電構造体 |
| WO2012137542A1 (ja) * | 2011-04-05 | 2012-10-11 | 本田技研工業株式会社 | 積層圧電体 |
-
1993
- 1993-07-16 JP JP5199232A patent/JPH0738168A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19941044A1 (de) * | 1999-08-28 | 2001-03-22 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Keramikkörper |
| WO2007023594A1 (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-01 | Kyocera Corporation | 圧電アクチュエータ |
| JP2012064674A (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-29 | Taiyo Yuden Co Ltd | 圧電素子及び積層型圧電構造体 |
| CN103069599A (zh) * | 2010-09-14 | 2013-04-24 | 太阳诱电株式会社 | 压电元件及层叠式压电结构体 |
| US9117993B2 (en) | 2010-09-14 | 2015-08-25 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Piezoelectric element and stacked piezoelectric structure |
| WO2012137542A1 (ja) * | 2011-04-05 | 2012-10-11 | 本田技研工業株式会社 | 積層圧電体 |
| JP5487361B2 (ja) * | 2011-04-05 | 2014-05-07 | 本田技研工業株式会社 | 積層圧電体 |
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