ATE528802T1 - Piezokeramischer vielschichtaktor und herstellungsverfahren dafür - Google Patents

Piezokeramischer vielschichtaktor und herstellungsverfahren dafür

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ATE528802T1
ATE528802T1 AT07003446T AT07003446T ATE528802T1 AT E528802 T1 ATE528802 T1 AT E528802T1 AT 07003446 T AT07003446 T AT 07003446T AT 07003446 T AT07003446 T AT 07003446T AT E528802 T1 ATE528802 T1 AT E528802T1
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AT
Austria
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piezo
production method
ceramic multi
piezoceramic
layer actuator
Prior art date
Application number
AT07003446T
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Bernhard Doellgast
Masahiro Inagaki
Harald Johannes Kastl
Atsushi Ochi
Takami Sakamoto
Carsten Schuh
Original Assignee
Siemens Ag
Kyocera Corp
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    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H10N30/05—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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