ATE535946T1 - Piezokeramischer mehrschichtaktor und verfahren zur herstellung eines piezokeramischen mehrschichtaktors - Google Patents

Piezokeramischer mehrschichtaktor und verfahren zur herstellung eines piezokeramischen mehrschichtaktors

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ATE535946T1
ATE535946T1 AT07003447T AT07003447T ATE535946T1 AT E535946 T1 ATE535946 T1 AT E535946T1 AT 07003447 T AT07003447 T AT 07003447T AT 07003447 T AT07003447 T AT 07003447T AT E535946 T1 ATE535946 T1 AT E535946T1
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AT
Austria
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piezoceramic
layers
green
layer actuator
piezoceramic multi
Prior art date
Application number
AT07003447T
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Bernhard Doellgast
Masahiro Inagaki
Harald Johannes Kastl
Atsushi Ochi
Takami Sakamoto
Carsten Schuh
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Siemens Ag
Kyocera Corp
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