JP2013016548A - 圧電素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】矩形体状に形成され、電圧の印加により伸縮する積層型の圧電素子100であって、圧電層110と内部電極120とが交互に積層された素子本体と、素子本体の外周に接して設けられ、積層面に沿って形成された応力緩和層140と、を備え、応力緩和層140は、角が取れた矩形の内周141を有する。これにより、応力緩和層140の根元への応力集中を回避し、破壊を防止できる。すなわち、圧電素子100の変位に応じて応力緩和層140が開いたときでも、応力緩和層140の根元にかかる応力を分散でき、圧電素子100の破壊を防止できる。
【選択図】図1
Description
図1(a)、(b)は、それぞれ圧電素子100を示す斜視図、応力緩和層140の位置の断面図である。圧電素子100の素子本体は、圧電層110と内部電極120とが積層方向Zについて交互に積層され、矩形体状に形成されている。圧電層110は、たとえばPZTのような圧電材料で構成され、厚み方向の互い違いの向きに分極されている。内部電極120は、対向する圧電素子100の側面上で外部電極130に取り出されており、隣り合う内部電極120に異なる電圧を印加できるように形成されている。内部電極120へ電圧を印加することで各圧電層110が歪み、圧電素子全体が伸縮する。なお、圧電アクチュエータとして圧電素子100を説明するが、本発明は必ずしもこれに限定されない。
次に、上記のように構成された圧電素子100の製造方法について説明する。まず、圧電体の粉体を含むスラリーを用い、引き上げ成形、ドクターブレード成形、押出成形等の方法によってグリーンシートを形成する。グリーンシートには内部電極120用および応力緩和層140用のパターンをスクリーン印刷等により塗布する。内部電極120用として電極ペースト(Ag−Pd合金等)を塗布し、その後、乾燥させて焼成前の電極膜を形成する。
上記のように構成された圧電素子100についてFEM解析を行った。使用した圧電素子のモデルは、断面が6×6mm、高さ10mmの圧電素子の1/8分割モデルで、断面が3×3mm、高さ5mm、応力緩和層140の内周141の隅角部142のRを1mmとして要素を構成したものである。なお、1/8分割モデルとした際の分割面には、対称拘束を設定し、重力や上下面での拘束を一切無くす設定とした。このようなモデルを駆動させ、各部に発生する応力を解析した。その結果、応力緩和層140の内周141の応力が従来の160MPaから120MPaへ緩和されたのを確認できた。
また、断面が6×6mm、高さ10mm、R=0.7の圧電素子100を4つ積み重ねて作製して連結し、連結型の圧電アクチュエータとしてポジショナを作製した。そして、ファンクションジェネレータ+アンプで、0−150V、周期6sの矩形波を生成し、突入電流保護用の抵抗34kΩを介してポジショナに印加し、圧電アクチュエータを長時間駆動した。その結果、破壊までの平均駆動回数は、従来構造の素子では約100万回であったのに対し、圧電素子100では150万回以上であり、圧電素子100が破壊し難いことを確認できた。
110 圧電層
120 内部電極
130 外部電極
140 応力緩和層
141 内周
142 隅角部
Z 積層方向
Claims (3)
- 矩形体状に形成され、電圧の印加により伸縮する積層型の圧電素子であって、
圧電層と内部電極とが交互に積層された素子本体と、
前記素子本体の外周に接して設けられ、積層面に沿って形成された応力緩和層と、を備え、
前記応力緩和層は、角が取れた矩形の内周を有することを特徴とする圧電素子。 - 前記応力緩和層は、前記内周の隅角部がR状であることを特徴とする請求項1記載の圧電素子。
- 前記応力緩和層は、前記内周の隅角部のRと外周の一辺との比が0.1以上0.2以下であることを特徴とする請求項2記載の圧電素子。
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