JPH11261121A - 積層圧電素子 - Google Patents
積層圧電素子Info
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- JPH11261121A JPH11261121A JP6321098A JP6321098A JPH11261121A JP H11261121 A JPH11261121 A JP H11261121A JP 6321098 A JP6321098 A JP 6321098A JP 6321098 A JP6321098 A JP 6321098A JP H11261121 A JPH11261121 A JP H11261121A
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Abstract
にくい積層圧電素子を提供する。 【解決手段】 電気−機械エネルギー変換機能を有する
材料の層と電極材料の層とを交互に複数重ねて積層し焼
結された積層圧電素子において、分極処理に使用する表
面の電極層(5−1〜5−3)の厚さと、導通回路機能
を有する電極層の厚さ(6−2)を他の内部の電極層
(6−3,6−4,6−5)の厚さより厚くした。
Description
り、特に分極処理時におけるトラブルの発生を防止でき
る積層圧電素子に関するものである。
機能を有する圧電セラミックス等の電気−機械エネルギ
ー変換材料で形成された圧電体である圧電セラミックス
(層)と、電極材料(層)とを交互に積層した積層圧電
素子が提案されている。
一の板状の圧電セラミックスと比較した場合、低い印加
電圧で大きな変形歪や大きな発生力が得られるので、近
年、特に圧電アクチュエータや振動波モータ等の振動駆
動装置を構成する振動体の駆動部に検討され適用されつ
つある。
に焼成前の圧電セラミックス粉末を有機バインダーと混
合したシート状の成形体(グリーンシート)の層と、電
極ペーストの層を焼結前に各々複数枚重ね合せ熱圧着し
て一体化した後に焼成して形成する焼結一体型の方法で
あり、圧電セラミックスの層をより薄く形成でき、より
小型で信頼性の高い積層圧電素子が可能となる。
圧電セラミックスと同時焼成を行うので、融点の高い貴
金属(白金、パラジウム、銀など)を単一もしくは混合
して使用しており、圧電セラミックスの焼結温度にもよ
るが、通常は銀−パラジウムの重量比が5:5〜8:2
で使用されている。
子の材料費の中でも最も高いコストを占める。そこで電
極層は積層圧電素子として製造可能な範囲でさらに、性
能上問題のない範囲でできるだけ薄くなるように電極材
料、有機バインダー、溶剤、その他添加物からなる電極
ペーストとこれを層に形成する例えばスクリーン印刷法
を工夫して製造している。
子を実際の使用に合わせて伸縮させるための分極処理が
行われることになり、最上層の表面電極層はこの分極処
理の際に接触電極として使用されるが、分極処理の終了
後においては、削除され、表面に露出する個々のスルー
ホール(スルーホールに導電体を充填したものをスルー
ホール電極と称したり、バイヤホール等と称することも
ある)と駆動回路との接続を可能としている。
子は使用する前に圧電セラミックス層に電圧を印加する
分極処理が行われるが、通常、高温下(80℃〜200
℃)で3KV/mm〜1KV/mmの電圧を30分間〜
1時間程印加して処理を行っていた。
の圧電素子と比べ静電容量が著しく大きいため、印加直
後に流れる電流も非常に大きくなり、前述の薄い電極
層、とりわけ、分極処理のための直流電源から直接接触
する積層圧電素子の表面電極層とこの表面電極層と各内
部電極層をつなぐ導体電極のつなぎ部分に大きな電流が
流れるため、スパークが発生し易く、その結果溶断が起
り、分極処理ができなくなったり、スパークによる衝撃
で素子の破壊が生じることがあった。
ぐ導体電極に回路基板に使われるスルーホールを応用し
た素子であり、直流電源と直接接触する表面電極層以外
に配線用回路機能を有する内部電極層(後述)を有して
おり、この配線用の電極層においても上記と同様の理由
で配線用の電極層と、導体電極のつぎ目部分でスパーク
や溶断が生じ、素子が破壊することもあった。
おける電気的なトラブルが生じにくい積層圧電素子を提
供しようとするものである。
を実現する第1の構成は、電気−機械エネルギー変換機
能を有する材料の層と電極材料の層とを交互に複数重ね
て積層し焼結された積層圧電素子において、分極処理に
使用する表面の電極層の厚さを内部の電極層の厚さより
も厚くしたものである。
構成は、電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の
層と電極材料の層とを交互に複数重ねて積層し焼結され
た積層圧電素子において、導通回路機能を有する電極層
の厚さを他の内部の電極層の厚さより厚くしたものであ
る。
構成は、電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の
層と電極材料の層とを交互に複数重ねて積層し焼結され
た積層圧電素子において、分極処理に使用する表面の電
極層の厚さと、導通回路機能を有する電極層の厚さを他
の内部の電極層の厚さより厚くしたものである。
構成は、前記分極処理に使用する表面の電極層の厚さを
平均4〜6μmとし、内部の電極層の厚さを2〜3μm
以下としたものである。
構成は、導通回路機能を有する電極層の厚さを平均4〜
6μmとし、その他の電極層の厚さを平均2〜3μmと
したものである。
構成は、分極処理に使用する表面の電極層の厚さを平均
4〜6μmとし、導通回路機能を有する電極層の厚さを
平均4〜6μmとし、その他の電極層の厚さを平均2〜
3μmとしたものである。
構成は、各電極層間を導通するためにスルーホールを用
いるものである。
処理時に発生するスパークによって起こる電極層と各電
極層間をつなぐ導体電極の溶断での素子の分極不良を防
止することができる。また、スパークや溶断の発生を防
ぐための電圧の印加方法たとえば少しづつ電圧を上げる
など特別手段や装置を用いることなく短時間での分極が
可能となる。
は本発明の第1の実施の形態を示す。
図、図2は第1層の表面電極層5(各電極は5−1〜5
−3)および2層目以降の電極層6(6−2〜)をつな
ぐスルーホールである最上部の導体電極3(3−1〜3
−12)および2層目以降の導体電極4(4−2−1〜
9・・・)を示す。
0mm、内径φ2.8mm、厚さ約2mmであり、第1
層(直径φ9.5mm)と第2層から第22層(直径φ
9mm)の電極層からなり、これらの電極層は圧電セラ
ミックス粉末と有機バインダーからなる厚さ90μmの
グリーンシート(不図示)上にスクリーン印刷法により
電極ペーストを印刷して形成した。
ーンシートに約0.1mmの穴をあけ、穴の内部に電極
ペーストを充填して各電極層間の導通が図れるように形
成した。使用した電極ペーストの電極材料は、銀とパラ
ジウムで重量比で6:4である。これらのグリーンシー
トと電極層は精度よく同位相に重ね合せ熱プレスにより
それぞれ圧着させ、その後最高温度1120℃で焼成
し、焼成により約20%収縮した。
第23層までつながっているのは3−2〜3−9であ
り、3−1は第3層まで(第3層のSは信号を出力する
ためのセンサ用の電極層)、3−10〜3−12は本積
層圧電素子の位置認識用のスルーホールである。
は、分極処理の際に、図1で分極用の直流電源から直接
にコンタクトピン2で電圧が印加される表面電極層であ
る。分極処理は、図1で直流電源8を用い、GNDを基
準にして(+)側に180V、(−)側に−180Vを
印加し、150℃のシリコーンオイル中で1時間かけて
行った。
さを他の電極層6よりも厚くしている。
は高価な貴金属を使用していることから、できるだけ薄
く形成していたが、現状の電極ペーストとスクリーン印
刷法では薄くて1μm台であり、平均2〜3μmとなっ
ていた。
と、印加直後はいわばコンデンサーに充電がなされるの
と同じ原理で急激に電流が流れ(本積層素子の静電容量
は(+)(−)側で各々65nFを有する)、スルーホ
ール電極3−2〜3−9と電極層5−1〜5−3のつな
ぎ目部分でスパークが発生し易く、前述のごとく溶断に
よる分極不良や、スパークの衝撃による素子の破壊が発
生することがあった。そこで、スクリーンの版を変更
し、表面電極層5−1〜5−3の厚さを平均4〜6μm
にしたところ発生は殆どなくなった。
り効果は確実になる。これは表面電極層5の厚みを増や
すことで、スルーホール表面との導通が確実になり、電
気抵抗が減少することでスパーク溶断が起りにくくなっ
たと思われる。ただあまり厚くなってもコストが上り不
適切である。
る導体電極を用いているが、スルーホール以外に良く使
用される、素子側面に設ける導体電極である側面電極に
関しても電極層を厚くすることは同様の効果がみられ
た。
1層の電極層に加え、図2に示す第2層の電極層6−2
の厚さを他の電極層よりも厚くしたものである。
にスルーホール3−4と4−2−4,3−5と4−2−
5,3−7と4−2−7,3−8と4−2−8,3−9
と4−2−9の5ケ所は第2層の電極層を介して下の第
3層のスルーホールへ導通が行われており、導通回路機
能を持つ配線用の内部電極層でもある。
の半径方向の横断面の模式図を示す。分極に使用する電
極層5−1につながるスルーホール3−4は第2層6−
2の電極層を介して、スルーホール4−2−4と導通が
図られている。
ーホール3−4と電極層5−1との接続部、同じくスル
ーホール3−4と電極層6−2、スルーホール4−2−
4と電極層6−2の各々の接続部の部分の電気抵抗が減
少し、導通がより確実になりスパーク溶断の発生がなく
なる。
6は真直ぐに第22層までスルーホールにより導通が図
られる。なお、スルーホール3−1,3−10〜3−1
2については前述の通りである。
っていたが、分極処理直後は急激に流れる電流のためス
パークが発生し分極不良や第1層の表面にクラックが生
じたり、素子全体の破壊が生じたりする問題が頻繁して
発生していた。そこで第2層の電極層の厚さを平均4〜
6μmにしたところ発生はほとんどなくなった。
と、第2層は内部電極層であるため第1層の電極層が形
成された圧電セラミック層と剥離し易くなった。これは
基本的に電極層は圧電セラミック層とは化学的に反応し
ておらず電極層が厚くなると剥離が起り易いものと考え
られる。そのため第2層の回路用電極層の厚さは4〜6
μmが最適である。
領域でなくてもスルーホールのある3−4と4−2−
4,3−5と4−2−5,3−7と4−2−7,3−8
と4−2−8,3−9と4−2−9のある領域だけで良
いが、製造上(スクリーン印刷法)、第2層全域の電極
膜の厚さを厚くした方が容易である。
は、2方向の曲げ振動の合成で進行波を形成する振動波
モータ等の振動波駆動装置における振動体を構成する振
動発生源として利用されるものであるが、特に、この目
的に限定されたものではなく電極層の構成を変更すれば
他の目的の振動発生源として使用することが可能であ
り、例えば積層の圧電トランスなどにも充分に適用可能
である。
分極処理時に起こる不良を減らし、積層圧電素子の良品
率を向上させるとともに、分極処理に使用する電源やそ
の電圧条件やその昇圧方法、手段に特別に工夫を行うこ
となく短時間での分極処理が可能となる。
図。
Claims (7)
- 【請求項1】 電気−機械エネルギー変換機能を有する
材料の層と電極材料の層とを交互に複数重ねて積層し焼
結された積層圧電素子において、 分極処理に使用する表面の電極層の厚さを内部の電極層
の厚さよりも厚くしたことを特徴とした積層圧電素子。 - 【請求項2】 電気−機械エネルギー変換機能を有する
材料の層と電極材料の層とを交互に複数重ねて積層し焼
結された積層圧電素子において、 導通回路機能を有する電極層の厚さを他の内部の電極層
の厚さより厚くしたことを特徴とする積層圧電素子。 - 【請求項3】 電気−機械エネルギー変換機能を有する
材料の層と電極材料の層とを交互に複数重ねて積層し焼
結された積層圧電素子において、 分極処理に使用する表面の電極層の厚さと、導通回路機
能を有する電極層の厚さを他の内部の電極層の厚さより
厚くしたことを特徴とする積層圧電素子。 - 【請求項4】 前記分極処理に使用する表面の電極層の
厚さを平均4〜6μmとし、内部の電極層の厚さを2〜
3μm以下としたことを特徴とする請求項1に記載の積
層圧電素子。 - 【請求項5】 導通回路機能を有する電極層の厚さを平
均4〜6μmとし、その他の電極層の厚さを平均2〜3
μmとしたことを特徴とする請求項2に記載の積層圧電
素子。 - 【請求項6】 分極処理に使用する表面の電極層の厚さ
を平均4〜6μmとし、導通回路機能を有する電極層の
厚さを平均4〜6μmとし、その他の電極層の厚さを平
均2〜3μmとしたことを特徴とする請求項3に記載の
積層圧電素子。 - 【請求項7】 各電極層間を導通するためにスルーホー
ルを用いたことを特徴とする請求項1、2、3、4、5
または6に記載の積層圧電素子。
Priority Applications (4)
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---|---|---|---|
JP06321098A JP3850130B2 (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | 積層圧電素子 |
US09/251,494 US6291932B1 (en) | 1998-02-17 | 1999-02-17 | Stacked piezoelectric element and producing method therefor |
US09/597,727 US6668437B1 (en) | 1998-02-17 | 2000-06-19 | Method for producing a stacked piezoelectric element |
US10/700,852 US6951048B2 (en) | 1998-02-17 | 2003-11-05 | Method for producing a stacked piezoelectric element |
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JPH11261121A true JPH11261121A (ja) | 1999-09-24 |
JP3850130B2 JP3850130B2 (ja) | 2006-11-29 |
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JP06321098A Expired - Fee Related JP3850130B2 (ja) | 1998-02-17 | 1998-03-13 | 積層圧電素子 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005008797A1 (ja) * | 2003-07-22 | 2005-01-27 | Ngk Insulators, Ltd. | アクチュエータ素子及びアクチュエータ素子を有する装置 |
US7141915B2 (en) | 2003-07-22 | 2006-11-28 | Ngk Insulators, Ltd. | Actuator device |
CN1323442C (zh) * | 2000-12-15 | 2007-06-27 | 松下电器产业株式会社 | 同轴柔性压电电缆的极化装置和极化方法 |
-
1998
- 1998-03-13 JP JP06321098A patent/JP3850130B2/ja not_active Expired - Fee Related
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WO2005008797A1 (ja) * | 2003-07-22 | 2005-01-27 | Ngk Insulators, Ltd. | アクチュエータ素子及びアクチュエータ素子を有する装置 |
US7126254B2 (en) | 2003-07-22 | 2006-10-24 | Ngk Insulators, Ltd. | Actuator element and device including the actuator element |
US7141915B2 (en) | 2003-07-22 | 2006-11-28 | Ngk Insulators, Ltd. | Actuator device |
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