JP2010124649A - 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒および光学機器 - Google Patents

振動アクチュエータ、レンズ鏡筒および光学機器 Download PDF

Info

Publication number
JP2010124649A
JP2010124649A JP2008298141A JP2008298141A JP2010124649A JP 2010124649 A JP2010124649 A JP 2010124649A JP 2008298141 A JP2008298141 A JP 2008298141A JP 2008298141 A JP2008298141 A JP 2008298141A JP 2010124649 A JP2010124649 A JP 2010124649A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibration actuator
electrode
wiring board
electrodes
vibrating body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008298141A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuteru Hino
光輝 日野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2008298141A priority Critical patent/JP2010124649A/ja
Publication of JP2010124649A publication Critical patent/JP2010124649A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

【課題】レンズ鏡筒の小型化が可能な導電構造を有する振動アクチュエータ、レンズ鏡筒および光学機器を提供すること。
【解決手段】リング形状の面8bを有する電気機械変換素子8と、前記リング形状の面8bに設けられ、前記リング形状に沿った形状の外周部6aを有する振動体6と、前記電気機械変換素子8の前記振動体6が設けられる面と反対側8aの面に沿って設けられる第1の部分10aと、前記振動体6の前記外周部6aから突出した第2の部分10cとを有し、前記第2の部分10cに電極32cが設けられた可撓性配線基板10とを備えた振動アクチュエータ。
【選択図】図4

Description

本発明は、振動アクチュエータ、レンズ鏡筒および光学機器に関する。
カメラのオートフォーカス機構において、超音波モータを利用したものが知られている。このような超音波モータにおいては、回転力を伝える弾性体と導電性のフレキシブルプリント基板との導通が確実に行われる必要がある。従来、弾性体とフレキシブルプリント基板の電極との間の導通を確実に行うために、弾性体の内周側に導電性ペーストを塗布することが一般的である(特許文献1参照)。
近年、レンズ鏡筒の小型化が要請されている。しかし、弾性体の内周側はスペースが狭く、従来の技術では、弾性体の内周側に導電性ペーストがはみ出しているため、小型化をした場合に、導電性ペーストと弾性体の内周側に位置する他の部品との間で干渉が起きてしまう虞がある。
特開2003−244977号公報
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、レンズ鏡筒の小型化が可能な導電構造を有する振動アクチュエータ、レンズ鏡筒および光学機器を提供することである。
上記目的を達成するために、本発明に係る振動アクチュエータは、
リング形状の面(8b)を有する電気機械変換素子(8)と、
前記リング形状の面(8b)に設けられ、前記リング形状に沿った形状の外周部(6a)を有する振動体(6)と、
前記電気機械変換素子(8)の前記振動体(6)が設けられる面と反対側の面(8a)に沿って設けられる第1の部分(10a)と、前記振動体(6)の前記外周部(6a)から突出した第2の部分(10c)とを有し、前記第2の部分(10c)に電極(32c)が設けられた可撓性配線基板(10)とを備えたことを特徴とする。
本発明における振動アクチュエータでは、円周状の振動体(6)が接触する可撓性配線基板(10)の第1の部分(10a)に対して、外周方向に突出した第2の部分(10c)を設け、そこに導電用の電極(32c)を設ける。それにより、内周方向に電極を設けて導電した場合に比べて、振動体(6)の内周側に部品設置の余裕が生じ、振動アクチュエータおよびレンズ鏡筒を容易に小型化することができる。
前記電極(32c)と前記振動体(6)は、導電性材料(9)によって導通されていてもよい。第2の部分に導電性の塗料を塗布することにより、確実に電極(32c)と振動体(6)との間の導通が得られる。
前記電気機械変換素子(8)の前記振動体(6)が設置される側の面には、前記振動体(6)に接続される電極(30)が形成されていてもよい。
前記可撓性配線基板(10)は、前記第1の部分(10a)に設けられ、前記第2の部分(10c)に設けられた前記電極(32c)に接続された接地用電極パターン(32a)を有し、前記接地用電極パターン(32a)は、前記第1の部分(10a)の内周側に設けられていてもよい。
前記可撓性配線基板(10)は、前記第1の部分(10a)から延在して設けられる第3の部分(10b)を有し、前記第3の部分(10b)には、前記接地用電極パターン(32a)に接続された接地用配線パターン(32b)が設けられ、前記第3の部分(10b)は、前記第1の部分(10a)に対して、前記第2の部分(10c)と反対側に設けられていてもよい。
前記電気機械変換素子(8)の前記可撓性配線基板(10)が設けられる側の面(8a)には、分離された複数の電極(28a,28b,28c)が設けられ、前記可撓性配線基板(10)の前記第1の部分(10a)の前記接地用電極パターン(32a)の外周側には、前記複数の電極(28a,28b,28c)に接続される電極パターン(34a,34b)が設けられていてもよい。電極パターン(34a,34b)が複数の電極(28a,28b,28c)に接続され、この電極パターン(34a,34b)に電圧を印加することにより、電気機械変換素子(8)が励振する。
前記可撓性配線基板(10)の前記複数の電極パターン(34a,34b)は、円弧形状であってもよい。本発明に係るレンズ鏡筒および光学機器は、上記の振動アクチュエータを有する。
なお、上述の説明では、本発明をわかりやすく説明するために、実施形態を示す図面の符号に対応つけて説明したが、本発明は、これに限定されるものでない。後述の実施形態の構成を適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替させてもよい。更に、その配置について特に限定のない構成要件は、実施形態で開示した配置に限らず、その機能を達成できる位置に配置することができる。
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図1は本発明の一実施形態に係る振動アクチュエータの断面図、
図2は図1に示す振動アクチュエータの要部の構成を示す分解斜視図、
図3は図1に示す振動アクチュエータのフレキシブルプリント基板の平面図、
図4は図1に示す振動アクチュエータの要部側面図、
図5は図3のV−V断面図、
図6は図3のVI−VI断面図、
図7は図1に示す振動アクチュエータの圧電素子の下面側外観図、
図8は図1に示す振動アクチュエータの圧電素子の上面側外観図、
図9は図2に示す振動アクチュエータを上から見た透視図、
図10は図1に示す振動アクチュエータを用いたレンズ鏡筒およびカメラ本体の概略断面図である。
図1に基づき、本発明の一実施形態に係る振動アクチュエータ4を有する振動アクチュエータ装置2の全体構成について説明する。Z軸周りに回転する出力軸12はギア部材27と嵌合しており、ギア部材27が出力軸12の回転とともに回転することにより、不図示の被駆動部材に駆動力を伝達する。
ベアリング24は、スプリング20の加圧力を受ける軸受け部であり、固定部材18の内径側に配置されている。ベアリング24のZ軸下方には、ベアリング受け部材26が配置される。スプリング20は、ギア部材27とベアリング受け部材26との間に配置され、ギア部材27に対してベアリング受け部材26をベアリング24の方向に付勢している。
固定部材18に固定されている振動アクチュエータ4は、Z軸方向下側から順にフレキシブルプリント基板10、リング状の圧電素子8、リング状の弾性体6により構成される。フレキシブルプリント基板10は、圧電素子8のZ軸方向下側の面に接着される。フレキシブルプリント基板10に設けられた電極から圧電素子8に電圧を印加することにより、圧電素子8が励振し、振動波が生じる。
弾性体6は、圧電素子8のZ軸方向上側の面に接着される。弾性体6は、ベース部6a、櫛歯部6b、フランジ部6cから構成される。フランジ部6cは、弾性体6の内周側に突出し、固定部材18に固定されている。櫛歯部6bのZ軸方向上側の面は、回転子16と圧接されており、振動波が櫛歯部6bから回転子16に伝えられる。
回転子16の嵌合部16aは、出力軸12に嵌合されている。また回転子16は出力軸12のフランジ部に振動吸収部材14を介して接している。振動吸収部材14は、ゴムにより形成された略リング状の部材である。振動吸収部材14は、ゴムの粘着性により回転子16と出力軸12とを結合する機能と、回転子16からの振動を出力軸12へ伝えないように振動を吸収する機能とを有しており、たとえばブチルゴム等が用いられる。
弾性体6の櫛歯部6bと回転子16との圧接力は、スプリング20の加圧力によって高められ、圧電素子8に生じる振動波を、櫛歯部6bが確実に回転子16の回転運動に変換できるようにする。
図2に、図1に示した振動アクチュエータ4の要部の構成を示す。図2に示すように、圧電素子8の下面8aに、フレキシブルプリント基板10が接着される。これにより、後に詳細に述べるように、フレキシブルプリント基板10に設けられた電極34aおよび電極34bが、圧電素子の下面8aに設けられた複数の分割電極と接続されるようになっている。
フレキシブルプリント基板10には、弾性体6の外周部6aよりも突出するように、突起部10cが設けられる。また、弾性体6は圧電素子8の上面8bに接着される。圧電素子8の上面8bには電極30が設けられ、弾性体6に接着されるようになっている。
図3において、図1に示したフレキシブルプリント基板10の詳細構造について説明する。フレキシブルプリント基板10は、図2に示す圧電素子8と接するリング形状の素子装着部10aと、フレキシブルプリント基板10の素子装着部10aの外周側に設けられた突起10cと、突起10cと180度ずれた位置に延在して設けられるリード部10bとを有する。
リード部10bには、第2接地用電極パターン32bが設けられている。第2接地用電極パターン32bは、素子装着部10aにおいて分割され、素子装着部10aの内周側に沿ってリング形状に配置され、突起10cに形成してある接地用電極32cに接続してある。第1接地用電極パターン32aは、素子装着部10aの内周側において第1カバーレイ33aによって被覆され(図5参照)、図2に示す圧電素子の下面8aに設けられた電極に対して絶縁される。突起10cに設けられる接地用電極32cは、第1カバーレイ33aによって被覆されない。第2接地用電極パターン32bは、リード部10bにおいては、第2カバーレイ33bによって被覆されている。カバーレイ33aと33bは一体化してあり、ポリイミド樹脂等の絶縁性樹脂によって構成される。一体化することによって、カバーレイを容易に形成することができる。
電極34a,34bは、素子装着部10aにおいて、素子装着部10aの外周側に沿って配置される。電極34a,34bは、リード部10bにおいては第2カバーレイ33bによって被覆されているが、素子装着部10aにおいては、被覆されない。したがって、圧電素子の下面8aに設けられた複数の電極に対して導通される。図6に示すように、接地用電極32bおよび、電極34a,34bは、リード部においては、第1カバーレイ33bによって被覆される。
図4は、図2に示した振動アクチュエータ4の要部の各要素を接着した状態を示す。圧電素子8とフレキシブルプリント基板の素子装着部10aとの間は、異方性導電材料によって接着され、しかも、圧電素子8と弾性体6との間は、同様に異方性導電材料によって接着され、これらの電極間で導通される。
異方性導電材料は、接着、導電、そして絶縁という3つの機能を同時に有する接続材料であるが、とくに、ACP(異方性導電ペースト)が好ましい。ACPは、熱や圧力を加えた方向(縦方向)に導電し、横方向に絶縁するという異方性を有する。したがって、図7に示す複数の電極28aと電極34aとの間は導通されるとともに、電極28bと電極34bとの間も導通される。ただし、圧電素子の下面8aに設けた複数の電極28a同士または電極28b同士では絶縁される。電極34aに接続される電極28a同士は同一電位に設定され、電極34bに接続される電極28b同士は同一電位に設定される。ただし、隣り合う電極28a同士、または隣り合う電極28b同士は、逆方向に分極されているので、同一電位でも歪み方向は逆になる。
接地用電極32cは、弾性体の外周部6aから張出すように、素子装着部10aの外周側の突起10cに設けられる。接地用電極32cと弾性体6との間には、導電性ペースト9が塗布される。外周への突起10cの張出し長さDは、とくに限定されないが、0.5〜2mmが好ましい。弾性体6は導電性部材で構成されることから、弾性体6の外周部6aと接地用電極32cとが導電性ペースト9により短絡されることにより、接地用電極32cが導電性ペースト9および弾性体の外周部6aを介して、電極30に電気的に接続される。
図7に示すように、圧電素子8の下面8aには、周方向に沿って略円弧形状の複数の電極28a,28bが設けられる。複数の電極28a,28bは、λ/2毎に分極方向が反転したA相、B相のグループと、A相、B相の間に介在するλ/4分極領域28cとからなる。通常では利用されない3λ/4の波長域は、本発明においては、小型化した圧電素子8の出力を増強するために、2分割して電極が形成され、それぞれA相、B相に組み込まれる。一方で、図8に示すように、圧電素子8の上面8bには、円周状に電極30が形成され、図2に示すように、弾性体6に電気的に接続される。
図2に示すように、フレキシブルプリント基板10に、ちょうど図7に示す圧電素子8を裏返して接着する。電極34aは、圧電素子に設けられた複数の電極28aと電気的に接続し、電極34bは、圧電素子に設けられた複数の電極28bと電気的に接続する。このように、フレキシブルプリント基板10に、圧電素子8の下面8aを接着し、図2に示した振動アクチュエータ4を上から透視した状態を、図9に示す。
ここで、図9に示すように、フレキシブルプリント基板10に設けた電極34a,34bから、圧電素子8に設けた電極28a,28bに、互いに位相が90度ずれた交流駆動波形を、振動の位相を周方向に沿って変化させるように印加することにより、圧電素子8に進行波が発生する。
図7に示すように、リング状の圧電素子8は、駆動電界が厚さ方向に印加されることによって、圧電素子8が厚さ方向および周方向に伸縮する。この伸縮運動によって、圧電素子8に接するリング状の弾性体6を励振させることにより、回転子16が回転する。
本実施形態における振動アクチュエータ4では、リング状の弾性体6が接触する可撓性配線基板10の素子装着部10aに対して、外周方向に突出した部分10cを設け、そこに導電用の電極32cを設けてある。それにより、内周方向に電極を設けて導電した場合に比べて、振動体6の内周側に部品設置の余裕が生じ、振動アクチュエータおよびレンズ鏡筒を容易に小型化することができる。導電性ペーストが弾性体6の内周側に塗布された従来の場合のように、導電性ペーストと弾性体6の内周側に配置される部品とが干渉してしまうことを避けることができる。
なお、図3に示すように、接地用電極32をフレキシブルプリント基板10の素子装着部10aの内周側に、素子装着部10aの全周にわたって形成することに加え、接地用電極32を被覆するカバーレイ33aも同様に全周にわたって形成する。これにより、フレキシブルプリント基板10の素子装着部10aの円周方向の剛性が均一になる。それにより、前述したような進行波も円周方向に均質化して安定し、超音波モータの特性を安定させることができる。
また、図3に示すように、フレキシブルプリント基板の素子装着部10aに形成された突起10cと、リード部10bとは位置関係が180度異なる。したがって、図9に示すように、圧電素子の下面8aに形成された複数の電極28aと複数の電極28bとの位置関係が180度ずれるようになるので、より進行波を発生させやすい。
さらに、本実施形態では、図2に示すように、圧電素子8と弾性体6との間が異方性導電材料によって接着される場合について述べたが、圧電素子8と弾性体6との間は必ずしも異方性導電材料である必要はなく、導電性の接着材料であればよい。
図10は、図1の振動アクチュエータ装置2を用いたカメラシステムの実施形態を示す図である。図10において、カメラシステム101は、撮像素子108を有するカメラボディ102と、撮像素子108の撮像面に被写体像を結像させるための不図示の撮影レンズ群、撮影レンズ群による焦点位置を調節するために光軸方向に移動可能なレンズ107を有するレンズ鏡筒103とを備えている。レンズ鏡筒103は、カメラボディ102に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態では、レンズ鏡筒103は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。レンズ鏡筒103は、レンズ107、カム筒106、ギア105、振動アクチュエータ装置2を備えている。本実施形態では、振動アクチュエータ装置2は、カメラシステム101の焦点調節動作時にレンズ107を駆動する駆動源として用いられている。振動アクチュエータ装置2のギア部材27の回転により得られた駆動力は、ギア105を介してカム筒106に伝えられる。レンズ107は、カム筒106に保持されており、振動アクチュエータ装置2の駆動力により、光軸方向へ移動して、焦点調節が行われる。
図10において、レンズ鏡筒103内に設けられた不図示の撮影レンズ群(レンズ107を含む)によって、撮像素子108の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子108によって、結像された被写体像が電気信号に変換され、その信号をA/D変換することによって、画像データが得られる。
また、本実施形態では、カメラのレンズ鏡筒に用いられる超音波モータについて述べたが、腕時計、ロボットのアクチュエータ等、小型化が可能な様々な超音波モータに適用することが可能である。
図1は本発明の一実施形態に係る振動アクチュエータの断面図である。 図2は図1に示す振動アクチュエータの要部の構成を示す分解斜視図である。 図3は図1に示す振動アクチュエータのフレキシブルプリント基板の平面図である。 図4は図1に示す振動アクチュエータの要部側面図である。 図5は図3のV−V断面図である。 図6は図3のVI−VI断面図である。 図7は図1に示す振動アクチュエータの圧電素子の下面側外観図である。 図8は図1に示す振動アクチュエータの圧電素子の上面側外観図である。 図9は図2に示す振動アクチュエータを上から見た透視図である。 図10は図1に示す振動アクチュエータを用いたレンズ鏡筒およびカメラ本体の概略断面図である。
符号の説明
6…弾性体
8…圧電素子
9…導電性ペースト
10…フレキシブルプリント基板
10c…突出した部分
32c…接地用電極

Claims (9)

  1. リング形状の面を有する電気機械変換素子と、
    前記リング形状の面に設けられ、前記リング形状に沿った形状の外周部を有する振動体と、
    前記電気機械変換素子の前記振動体が設けられる面と反対側の面に沿って設けられる第1の部分と、前記振動体の前記外周部から突出した第2の部分とを有し、前記第2の部分に電極が設けられた可撓性配線基板と
    を備えたことを特徴とする振動アクチュエータ。
  2. 前記電極と前記振動体は、導電性材料によって導通されていることを特徴とする請求項1に記載の振動アクチュエータ。
  3. 前記電気機械変換素子の前記振動体が設置される側の面には、前記振動体に接続される電極が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の振動アクチュエータ。
  4. 前記可撓性配線基板は、前記第2の部分に設けられた前記電極に接続された接地用電極パターンを有し、前記接地用電極パターンは、前記第1の部分の内周側に設けられることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の振動アクチュエータ。
  5. 前記可撓性配線基板は、前記第1の部分から延在して設けられる第3の部分を有し、前記第3の部分には、前記接地用電極パターンに接続された接地用配線パターンが設けられ、
    前記第3の部分は、前記第1の部分に対して、前記第2の部分と反対側に設けられていることを特徴とする請求項4に記載の振動アクチュエータ。
  6. 前記電気機械変換素子の前記可撓性配線基板が設けられる側の面には、分離された複数の電極が設けられ、
    前記可撓性配線基板の前記第1の部分の前記接地用電極パターンの外周側には、前記複数の電極に接続される電極パターンが設けられていることを特徴とする請求項4または5に記載の振動アクチュエータ。
  7. 前記可撓性配線基板の前記複数の電極パターンは、円弧形状であることを特徴とする請求項6に記載の振動アクチュエータ。
  8. 請求項1〜7のいずれかに記載の振動アクチュエータを有するレンズ鏡筒。
  9. 請求項1〜7のいずれかに記載の振動アクチュエータを有する光学機器。
JP2008298141A 2008-11-21 2008-11-21 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒および光学機器 Pending JP2010124649A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008298141A JP2010124649A (ja) 2008-11-21 2008-11-21 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒および光学機器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008298141A JP2010124649A (ja) 2008-11-21 2008-11-21 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒および光学機器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010124649A true JP2010124649A (ja) 2010-06-03

Family

ID=42325478

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008298141A Pending JP2010124649A (ja) 2008-11-21 2008-11-21 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒および光学機器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010124649A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013201887A (ja) * 2012-02-23 2013-10-03 Canon Inc 振動型駆動装置及び撮像装置
JP2014003733A (ja) * 2012-06-15 2014-01-09 Canon Inc 振動波駆動装置
JP2015208216A (ja) * 2014-04-11 2015-11-19 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ及びその振動型アクチュエータを搭載する画像形成装置
JP2017158429A (ja) * 2012-02-23 2017-09-07 キヤノン株式会社 振動型駆動装置及び撮像装置
JP2020127348A (ja) * 2019-02-06 2020-08-20 Njコンポーネント株式会社 ステーター、モーター、およびステーターの製造方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013201887A (ja) * 2012-02-23 2013-10-03 Canon Inc 振動型駆動装置及び撮像装置
JP2017158429A (ja) * 2012-02-23 2017-09-07 キヤノン株式会社 振動型駆動装置及び撮像装置
JP2014003733A (ja) * 2012-06-15 2014-01-09 Canon Inc 振動波駆動装置
JP2015208216A (ja) * 2014-04-11 2015-11-19 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ及びその振動型アクチュエータを搭載する画像形成装置
JP2020127348A (ja) * 2019-02-06 2020-08-20 Njコンポーネント株式会社 ステーター、モーター、およびステーターの製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5343322B2 (ja) 振動アクチュエータの駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
US8274198B2 (en) Ultrasonic motor and conveying apparatus having the same
JP6056224B2 (ja) 振動波モータ
JP2010124649A (ja) 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒および光学機器
US8035276B2 (en) Vibration actuator, lens barrel and camera
JP5433991B2 (ja) 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ
KR20130094123A (ko) 진동 액추에이터 조립체 및 이를 구비한 디지털 영상 처리 장치
WO2021079799A1 (ja) 振動波モータ、光学機器及び電子機器
US11454869B2 (en) Vibration actuator, camera platform, and electronic apparatus
JP2009201322A (ja) 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ、振動アクチュエータの製造方法
JP5326325B2 (ja) 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、光学機器
JP5381241B2 (ja) 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ
JP5521401B2 (ja) 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ及び振動アクチュエータの製造方法
US8908301B2 (en) Vibration actuator, lens barrel, and camera
JP4865272B2 (ja) 制御装置及びそれを用いた光学機器
JP2003322787A (ja) 電気部品実装基板を有するレンズ鏡筒
US20190386583A1 (en) Vibration wave motor and apparatus incorporating same
WO2013129573A1 (ja) 振動アクチュエータ及びレンズ鏡筒
JP2012034485A (ja) 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ
JP5292954B2 (ja) 振動アクチュエータ及びレンズ鏡筒
JP2021141758A (ja) 振動型駆動装置及びフレキシブル基板
JP2019191526A (ja) 撮像装置、固定筐体、および、撮像システム
JP2008259325A (ja) 振動アクチュエータ装置、レンズ鏡筒、カメラ
JP2011010485A (ja) 超音波モーターユニット
JP2009207254A (ja) 振動アクチュエータ、レンズユニット、及び撮像装置