JP2012005309A - 振動型駆動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】振動子の加圧方向の剛性は小さく維持しつつ、駆動によって振動子に作用する回転モーメントに対しては剛性の大きい振動子保持体を構成することができ、振動子と被駆動体との接触状態を安定に維持することが可能となる振動型駆動装置を提供する。
【解決手段】少なくとも電気−機械エネルギー変換素子と接触部が形成された弾性体とを有する振動子が、振動子保持部材に複数接合されて構成された振動子保持体を備え、
前記接触部に生成される楕円運動により、前記接触部と接触する被駆動体を前記振動子に対して相対移動するように構成された振動型駆動装置であって、
前記複数の振動子は、前記接触部が前記被駆動体と接触する側の前記保持部材の面に接合される一方、
前記接触部が前記被駆動体と接触する側とは反対側の前記振動子保持部材の面側に、前記接触部を前記被駆動体に加圧接触させるための加圧手段が設けられている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、振動型駆動装置に関し、特に振動子を被駆動体に加圧接触させる構造の振動型駆動装置に関するものである。

振動型駆動装置（振動波モータ）は、電気−機械エネルギー変換素子（たとえば圧電素子など）と、これを接合した弾性体（主に金属）とで構成される振動子に、複数の振動モードの振動を励振させるように構成されている。
そして、これら複数の振動モードの振動を合成することによりこの弾性体の表面に楕円運動を生ぜしめ、この弾性体に接触させた被駆動体を相対的に駆動する構造を備えている。
このような振動型駆動装置は、様々な形態のものが提案されており、特にカメラなどのレンズ鏡筒を回転駆動するアクチュエータに関して、多数のものが提案されている。

これらの中で、特に省スペース化とローコスト化を両立でき、更に鏡筒などの寸法、形状に対しても設計自由度が大きいタイプとして、振動部分が矩形形状をした板状振動子（チップ形振動子）を組み合わせた構造のアクチュエータが最近では多く提案されている。

このようなチップ形振動子を組み合わせた振動型駆動装置として、特許文献１では、つぎのような振動型駆動装置が提案されている。
この装置は、振動の節を少なくとも１つ有するチップ形状の振動子とそれを支持する支持部材と回転自在に設けられたロータ（被駆動体）とで構成され、該支持部材は該ロータと該振動子との間に加圧力を付勢する加圧バネも兼ねた構造を備えている。
この支持部材と加圧バネは、リング状のベースの一部を曲げ加工により回転軸方向（加圧方向）に折り曲げて片持ち梁状に形成し、その端部に前記振動子をそれぞれ独立して支持するように構成されている。
また、特許文献２では、振動子が加圧方向に厚みを持った形状（ブロック形状）を有し、この振動子を特許文献１と同様に、独立に支持、加圧するようにした構造の振動型駆動装置が提案されている。

特開平１１−２３５０６２号公報 特開２００６−１５８０５４号公報

上記した特許文献１及び特許文献２のものにおいては、振動子を支持する部材と加圧バネとを兼用させている。これにより支持剛性が小さくなるようにされているが、このような構造はつぎのような課題を有している。
すなわち、ロータが非駆動状態で振動子に駆動反力が作用していない場合は、振動子とロータとの接触状態は良好に保たれる。
しかし、振動子に駆動力が発生すると、振動子にはロータとの接触部と支持部との間で回転モーメントが発生するため、振動子の支持剛性（回転剛性）が小さいと、振動子はロータの摺動面に対し容易に傾いてしまう。
その結果、振動子の接触面圧が不均一になり、ロータとの接触状態が悪くなるため、出力の低下を招いたり、鳴きなどの異音を発生するという課題が生じる。

本発明は、上記課題に鑑み、振動子の加圧方向の剛性は小さく維持しつつ、駆動によって振動子に作用する回転モーメントに対しては剛性の大きい振動子保持体を構成することができ、
振動子と被駆動体との接触状態を安定に維持することが可能となる振動型駆動装置の提供を目的とする。

本発明の振動型駆動装置は、少なくとも電気−機械エネルギー変換素子と接触部が形成された弾性体とを有する振動子が、振動子保持部材に複数接合されて構成された振動子保持体を備え、
前記接触部に生成される楕円運動により、前記接触部と接触する被駆動体を前記振動子に対して相対移動するように構成された振動型駆動装置であって、
前記複数の振動子は、前記接触部が前記被駆動体と接触する側の前記保持部材の面に接合される一方、
前記接触部が前記被駆動体と接触する側とは反対側の前記振動子保持部材の面側に、前記接触部を前記被駆動体に加圧接触させるための加圧手段が設けられていることを特徴とする。

本発明によれば、振動子の加圧方向の剛性は小さく維持しつつ、駆動によって振動子に作用する回転モーメントに対しては剛性が大きくなる保持構造を構成することができ、
振動子と被駆動体との接触状態を安定に維持することが可能となる振動型駆動装置を実現することができる。

本発明の実施例１に係る振動型駆動装置の構成を示す斜視図である。 本発明の実施例１に係る振動型駆動装置の振動子の構成を示す図であり、（ａ）はその振動子の平面図、（ｂ）は側面図である。 本発明の実施例１に係る振動型駆動装置の振動子保持体の構成を示す断面図である。 本発明の実施例１に係る鏡筒実装状態の断面図である。 本発明の実施例２に係る振動型駆動装置の振動子保持体の斜視図である。 本発明の実施例３に係る振動型駆動装置の振動子保持体の斜視図である。 本発明の実施例４に係る振動型駆動装置の振動子保持体の断面図である。 本発明の実施例５に係る振動型駆動装置の振動子保持体の斜視図である。 本発明の実施例６に係る振動型駆動装置の振動子保持体の斜視図である。 本発明の実施例７に係る振動型駆動装置の振動子保持体の斜視図である。

本発明を実施するための形態を、以下の実施例により説明する。

［実施例１］
実施例１として、本発明を適用できる振動型駆動装置の構成例について、図１〜図４を用いて説明する。
本実施例の振動型駆動装置は、少なくとも電気−機械エネルギー変換素子と接触部が形成された弾性体とを有する振動子と、振動子が複数接合された振動子保持部材と、を備えている。振動子と振動子保持部材とで振動子保持体を構成する。そして、上記電気−機械エネルギー変換素子に対する駆動電圧の印加によって上記弾性体の接触部に楕円運動が生成され、該弾性体の接触部と接触する被駆動体を該楕円運動により振動子に対して相対移動するように構成されている。
上記振動子として、本実施例では弾性体が矩形形状をした板体で形成された板状振動子（チップ形振動子）が用いられる。以下では、このチップ形振動子を、振動子と記す。
図１に示すように、振動子１が振動子保持部材５に接合されて振動子保持体６が構成されている。
また、図１において、７はロータ（被駆動体）、８はロータゴム、１０は加圧バネ、１１は加圧リングである。
振動子１は、図２に示すように、弾性体２と圧電素子（電気−機械エネルギー変換素子）３およびこの圧電素子に電源を供給するフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）４とで構成されている。
この振動子１を構成する弾性体２は、前記圧電素子と共に振動する振動減衰が小さい部材で形成された振動部２−３を備えている。
また、この弾性体を他の部材に固定するための固定部２−５と、これらの振動部２−３と固定部２−５とを接続し、一方の端部は該振動部２−３の振動にならいつつ、他方の端部では固定部２−５に振動を伝搬しないように機能する支持部２−４を備えている。
このように構成された複数の振動子の固定部２−５は、振動子保持部材５において振動子１の接触部２−１、２−２がロータ７と接触する側の面（つまり振動子保持部材５のロータ側の面）の一部に一体的に接合される（図３）。
なお、振動子保持部材は、振動子の振動部および支持部の合計質量よりも大きい質量の部材で構成されると良い。

この振動子保持体６は、一方の面（図３における上面）側に振動子の接触部（図２における２−１、２−２の上面）が複数形成されており、これらの接触部は同一平面に配置されるよう構成されている。
図４に示すように、ロータ７は一方の面に耐摩耗処理が施された摺動部７−１を有しており、この摺動部７−１が前記振動子保持体の接触部と対向し接触するように配置されている。
このロータ７の摺動部側と反対側の面にはロータゴム（防振ゴム）８を挟んで出力伝達部材９が設置されている。
一方、振動子保持体６においてロータ７側と反対側には、図１及び図４に示すように、振動子保持体６をロータ７に対して加圧するための加圧手段として板バネ１０が設けられている。
また、この板バネ１０を圧縮し加圧力を生じさせるために、この板バネ１０のたわみ量を規制する加圧リング１１が設けられており、加圧リング１１と振動子保持体６とで、板バネ１０を挟持している。これらにより、振動子保持体６とロータ７の間に適切な加圧力が付与される。

つぎに、この振動型駆動装置を鏡筒の駆動ユニットとして構成したときの構造について、図４により説明する。
鏡筒ユニット本体１６には、光軸Ｌの方向に対し垂直に張り出したフランジ１６−１が形成されており、このフランジの一方の面にマニュアルリング１５が設置されている。
また、コロリング１２から半径方向に複数延出して形成されたコロ軸１３とこれに係合しコロ軸回りに回転自在に取り付けられたコロ１４とが設置されている。このコロ１４を挟んで前記出力伝達部材９とマニュアルリング１５が光軸Ｌ方向に積層されて構成されている。
加圧リング１１は内周側が鏡筒本体１６とネジまたはバイヨネット構造で係合している。
加圧リングを回転させ光軸Ｌ方向に移動することで加圧バネ１０を圧縮し、振動子保持体６からマニュアルリング１５を経て本体フランジ１６−１までを加圧挟持する構造になっている。

振動子１に不図示の電源から周波数ｆ０の交流電界を印加し、徐々に周波数を低い方へ掃引すると、振動子には振動が励振され、振動子の共振周波数に近づくにつれて振動振幅が徐々に大きくなる。
このとき、振動子１の接触部には楕円運動が形成され、この接触部と接触しているロータ７には摩擦駆動力が発生するため、ロータ７、ロータゴム８、出力伝達部材９とが光軸Ｌ周りに回転する。
出力伝達部材９と接触しているコロ１４はマニュアルリング１５の面上を転動しながらコロリング１２と共に光軸Ｌ回りに回転し、コロリング１２に設置された出力キー１７により不図示のカム環等を回転させ、オートフォーカス動作などを行う構造とされている。
このとき、ロータには不図示の回転数検出手段が設けられているため、ロータが目標の回転数に達したところで周波数の掃引を停止し、所望の出力を得るように設定されている。
仮に、周波数を下げていっても目標回転数まで達しなかった場合には、下記ｆｒ＿ｍａｘまで周波数を掃引して、ここで掃引を停止するように設定されている。つまり、駆動に使用する周波数範囲は、ｆｒ＿ｍａｘ以上、ｆ０以下の範囲である。
これは、ｆｒ＿ｍａｘ以下の周波数で駆動すると、このｆｒ＿ｍａｘを共振周波数とする振動モードの振動振幅が極端に小さくなり、ロータを正常に駆動できなくなるためである。
ここで、ｆｒ＿ｍａｘは、駆動に寄与する振動子の振動モードの中で最も高い共振周波数を示している。

つぎに、本発明の特徴的構成である振動子保持体の構成について説明する。
本実施例では、リング状（円環形状）に一体に形成されている振動子保持部材の円周面（ロータ側の面）上に、複数の振動子が配置され、該振動子と振動子保持部材とを直接、接着剤等で接合することによって、振動子保持体が構成されている。
このため、個々の振動子の支持剛性は非常に大きく、それぞれの振動子が独立してロータの摺動面（摺動部の面）にならうことはできない。
しかし、駆動によって発生する個々の振動子の摩擦反力によるモーメントは、振動子保持体全体として相殺されてしまう。そのため、この振動子保持体が摩擦反力によって傾いたり、片当たりしたりすることは無く、良好な接触状態を維持できるように構成することができる。
その一方で、振動子保持部材に接合されたそれぞれの振動子の接触部は同一平面上に形成されるように構成される。

また、この振動子保持体は、裏面（ロータ側とは反対側の面）からバネ定数の小さい加圧バネで全周均一に押される構造になっていることから、各振動子とロータとが加圧ムラなく加圧接触できるように構成することができる。
以上の本実施例の構成によれば、トルクが付加された状態において、振動子の加圧方向の剛性は小さく維持しつつ、駆動によって振動子に作用する回転モーメントに対しては剛性の大きい振動子保持体を構成することができる。
これにより、振動子と被駆動体との接触状態を安定に維持し、出力特性を安定させることができ、接触不安定な状態に起因する鳴きなどの異音の抑制が可能となる。

なお、本実施例では、ロータの摺動部との安定した接触を維持するために、振動子と振動子保持部材とを接着する際、複数の振動子の接触部を同一平面上に維持した状態で振動子保持部材を接着することができるように、治具等に工夫が施されている。
また、それと共に、接着後にラップ等の平滑処理を施し、各接触部（面）を含む仮想平面の平面度を１０μｍ以下になるように仕上げられている。
また、ロータ７についても摺動部となる面はラップ等の平滑加工を施しており、表面粗さがＲａ０．５μｍ以下、平面度も１０μｍ以下に仕上げられている。
また、リング状の振動子保持部材は、振動子と直接接合されているため、わずかに振動子から漏れる駆動振動が励振源となり、保持部材がもつ共振モードを励振する可能性がある。特に、振動子保持部材に接合される振動子の両接合部間の長さを波長とする振動モードの次数（波頭の数）の整数倍（１倍、２倍、３倍・・・）の次数の振動モードは励振されやすくなる。
また、本実施例の振動子保持体には複数の振動子の接触部からの加振力が入力されるため、これら入力点のピッチ、すなわち振動子間のピッチ（振動子同士の間隔の長さ）を波長とする振動モードの次数の整数倍の次数の振動モードも励振されやすくなる。本実施例では、振動子保持部材に振動子を等間隔に３個配置して振動子保持体を構成しているので、ロータを駆動した際には、１２０°間隔で振動子の接触部から加振力を受けることになる。そのため、振動子保持体は１周上に３つの波頭を持つ振動モード（３次の曲げ振動モード）が励振されやすくなり、これによる異音が発生する可能性がある。また、本実施例の場合、３の整数倍、すなわち３次、６次、９次、１２次・・・の振動モードも励振される可能性がある。
そのため、本実施例では、上記振動子保持体が有する上記振動モード（振動子の両接合部間の長さを波長とする振動モードの次数の整数倍の振動モードや、振動子間の長さを波長とする振動モードの次数の整数倍の振動モード）の共振周波数が、前述した駆動に使用する周波数範囲内に存在しないように、振動子保持体の設計がなされている。

［実施例２］
実施例２として、実施例１とは振動子保持部材の構成が異なる形態の振動型駆動装置の構成例について、図５を用いて説明する。
本実施例においては、振動子保持部材がリング状に一体に形成されている実施例１のものとは相違し、振動子保持部材５が３つの円弧状部材によってリング状に形成される。これらの複数の円弧状部材の間を振動子１で連結することによって振動子保持体６が構成されている。
これは、振動子保持部材５を実施例１のように、リング状に一体に加工するよりも、円弧状に分割した方が材料の有効利用ができ、加工コストを低減できるメリットがあるためである。
また、振動子保持部材５に振動子を接合する際、これら振動子の接触部を同一平面上に配置する加工がし易いというメリットもある。
例えば、実施例１においては、振動子１と振動子保持部材５との接合後に振動子の接触部の平面度を出すために、ラップ（ポリッシュ）または研削等の工程を入れて平面仕上げを行うことが求められる場合がある。
これは、振動子接合後の接触部の面度が、接合前の振動子保持部材の平面度に依存してしまうためである。

これに対して、本実施例のように、振動子保持部材５を分割された複数の部材で構成した場合、接合時は振動子の接触部を基準平面に揃え、振動子保持部材をこれら振動子に合わせるように接合することができる。
例えば、接合治具の基準面の平面度を０．１〜０．５μｍ程度に仕上げ、その面を基準にして振動子の接触部を当接してその位置で振動子を保持し、分割した振動子保持部材をそれに合わせるようにして接合する、などの手法で実現できる。こうすることで、振動子接合後に平面度を出すための加工を不要にすることが可能となる。
なお、振動型駆動装置の構成としては、本実施例においても実施例１と同様に、振動子保持部材の背面から加圧手段である板バネ等で加圧する構成が採られる。振動子も実施例１と同様の構成の振動子を用いることができる。また、振動子と振動子保持部材との接合にはレーザー溶接等を用い、強固に固定している。

［実施例３］
実施例３として、上記各実施例とは異なる形態の振動型駆動装置の構成例について、図６を用いて説明する。
本実施例においては、振動子の支持部２−４（図２参照）が、振動子が接合されている振動子保持部材の面の面外方向に曲げて形成された曲げ形状部を有し、振動子保持部材５と振動子１の固定部とをビス１８でビス止めすることで接合するように構成されている。
また、加圧バネ１０（波バネ）と振動子保持部材５との間には、振動伝播抑制部材としてゴムシート１９を挟んで振動子の下部構造が構成されている。
このような本実施例の構成によれば、振動子からの漏れ振動などにより、板バネと振動子保持部材の間でビビリ振動などを起こし、騒音の原因となることを抑制することが可能となる。
なお、本実施例では振動子保持部材と加圧バネの間にゴムシートを挟んだが、振動の伝播を抑制するものであればこれに限定するものではなく、例えばフェルトなどでも良い。

［実施例４］
実施例４として、上記各実施例とは振動子の構造が異なる形態の振動型駆動装置の構成例について、図７を用いて説明する。
本実施例においては、実施例１を一部改良し、振動子の漏れ振動低減機能を更に高めるように構成されている。
本実施例では、振動子の支持部２−４の板厚を他に比べて薄く形成する。
これにより、この支持部２−４の部分の曲げ剛性をさらに小さくすることで、支持部を大きくすることなく振動部２−３への振動追従性をさらに向上させ、支持損失の低減化を図ることが可能となる。
また、この本実施例の構成により、固定部２−５への漏れ振動伝達を低減させることができ、振動子保持体を励振する不要振動の原因を断ち切ることも同時に可能となる。
なお、本実施例では支持部の板厚を変えて剛性を下げたが、このような構成に限定されるものではない。
例えば、支持部の幅を狭くし、あるいは支持部長さを長くするなど、静的な曲げ剛性が振動部と比較して小さくなる形状であればよい。

［実施例５］
実施例５として、上記各実施例とは異なる形態の振動型駆動装置の構成例について、図８を用いて説明する。
本実施例においては、振動子保持部材が薄板で構成され、振動子が接合される該振動子保持部材の接合面は、振動子が接合されている振動子保持部材の面の面外方向に曲げ加工して形成された凸部となっている。
図８に示すように、板状の振動子保持部材２０の内、円周方向に６カ所の凸部（段部）２０−１が、振動子が接合されている振動子保持部材の一方の面の面外方向に曲げ加工して形成されている。そして、その凸部に振動子の固定部２−５をそれぞれ接合して振動子保持体が形成されている。
振動子１に接合している圧電素子３及びフレキシブルプリント基板４は、上記凸部間に形成された凹部２０−３に配置され、振動子保持部材２０とは適度な隙間を持って設置されている。
また、振動子保持部材２０の内周側には、回り止め用凸部２０−４が複数形成されており、本体部にこれらと対応して形成された複数の溝部（不図示）と係合してロータ駆動時に発生する回転力の反力を受け、振動子保持体の回転を防止する構造とされている。
加圧手段である加圧バネ２１には、リング形状の薄板の周上３箇所に折り曲げ部を有した片持ち梁構造の板バネが用いられる。
この板バネは、振動子のそれぞれの背面側（接触部とは反対側）に配置され、該板バネにおける弾性体の接触部を被駆動体に加圧接触させるための力点は片持ち梁の略中央に形成され、その力点の両側に変形部を有する構造を備える。
具体的には、この板バネはベース板２１−１の面外方向に２つの折り曲げ部２１−３を有し、中央部にベース部と平行な押し圧部２１−２が形成されている。
この押し圧部２１−２が、振動子の裏側に配置された前記振動子保持部材の折り曲げ部２０−２を加圧する構造とされている。
以上の構造により、振動子保持体全体の曲げ剛性が小さくなるため、振動子における弾性体の接触部の平面度が多少悪くても、振動子保持体が弾性変形し、摺動部の面にならって良好な接触状態が得られる。
一方で、駆動反力によるモーメントに対しては、振動子を挟む位置に設けられた回り止め用突起２０−４の間の領域での変形となるため、駆動力による摩擦面の傾斜を少なくすることが可能となる。

［実施例６］
実施例６として、上記各実施例とは保持部材の構造が異なる形態の振動型駆動装置の構成例について、図９を用いて説明する。
本実施例においては、振動子保持部材の曲げ剛性、ねじれ剛性が更に小さくなるように構成されている。
そのため、本実施例では、図８と同様に、薄板をプレス加工で６カ所曲げて振動子保持部材２３を形成するが、振動子１の接合部の中間部に切り欠き部を設け、その部分を幅の狭い梁２３−１で連結した形状とされている。
以上の本実施例の構成によれば、振動子保持体全体がロータの摺動面のうねり（円周方向の面外うねり成分、或いは円周に沿った軸回りのねじれ成分）に対し、ならい性を良くすることができる。

［実施例７］
実施例７として、上記各実施例とは異なる形態の振動型駆動装置の構成例について、図１０を用いて説明する。
これまでに説明した各実施例では、振動子の接触部への加圧力は振動子保持部材を介して付与される構造となっており、振動子１の支持部２−４がその加圧力を伝達する役割をしていた。
これに対し、本実施例では、振動子１の振動部（圧電素子の背面）に直接加圧力を付与するように構成される。
図１０に示すように、振動子保持部材２４は薄板状のリング部材で構成され、振動子の振動部と支持部とが緩衝する部分に穴２５を明け、振動子の圧電素子やフレキシブルプリント基板などがこの振動子保持部材２４と当たらないように構成される。
加圧バネは図８に示すような板バネとし、板バネの押し圧部２１−２と振動子の圧電素子との間に、振動絶縁部材２６（フェルトなど）を介して加圧力を振動子に付与するように構成される。
以上の本実施例の構成によれば、振動子の支持部２−４が直接加圧力を受けることが無くなることから、支持部の強度設計の自由度を大きくすることができる。

１：振動子
２：弾性体
３：圧電素子
４：フレキシブルプリント基板（給電部材）
５：振動子保持部材
６：振動子保持体
７：ロータ
８：ロータゴム
９：出力伝達部材
１０：加圧バネ
１１：加圧リング

Claims (12)

1. 少なくとも電気−機械エネルギー変換素子と接触部が形成された弾性体とを有する振動子が、振動子保持部材に複数接合されて構成された振動子保持体を備え、
   前記接触部に生成される楕円運動により、前記接触部と接触する被駆動体を前記振動子に対して相対移動するように構成された振動型駆動装置であって、
   前記複数の振動子は、前記接触部が前記被駆動体と接触する側の前記保持部材の面に接合される一方、
   前記接触部が前記被駆動体と接触する側とは反対側の前記振動子保持部材の面側に、前記接触部を前記被駆動体に加圧接触させるための加圧手段が設けられていることを特徴とする振動型駆動装置。
2. 前記振動子は、弾性体が板状であり、前記接触部が同一平面上に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の振動型駆動装置。
3. 前記振動子は、前記電気−機械エネルギー変換素子と共に振動する振動部と、前記振動子保持部材と接合される固定部と、前記振動部及び前記固定部とを接続する支持部と、を備え、
   前記支持部は、前記振動部と比較して曲げ剛性が小さくなる形状を有していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の振動型駆動装置。
4. 前記振動子保持部材は、前記振動部および支持部の合計質量よりも大きい質量の部材で構成されていることを特徴とする請求項３に記載の振動型駆動装置。
5. 前記振動子は、前記電気−機械エネルギー変換素子と共に振動する振動部と、前記振動子保持部材と接合される固定部と、前記振動部及び前記固定部とを接続する支持部と、を備え、
   前記支持部は、前記振動子保持部材の前記振動子が接合された面の面外方向に曲げて形成された曲げ形状部を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の振動型駆動装置。
6. 前記振動子保持部材は、円環形状に構成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
7. 前記円環形状の振動子保持部材は複数の部材で形成され、該複数の部材の間を前記振動子で連結することによって前記振動子保持体が構成されていることを特徴とする請求項６に記載の振動型駆動装置。
8. 前記振動子保持部材は薄板で構成され、前記振動子保持部材は、前記振動子が接合される前記振動子保持部材の面の面外方向に曲げ加工して形成された凸部を有し、該凸部に前記振動子が接合されることを特徴とする請求項６に記載の振動型駆動装置。
9. 前記加圧手段は板バネで構成され、該板バネは片持ち梁に形成されて前記振動子のそれぞれの前記接触部とは反対側に配置されると共に、
   該板バネにおける前記弾性体の接触部を前記被駆動体に加圧接触させるための力点は前記片持ち梁の略中央に形成されていることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
10. 前記板バネと振動子との間に、前記振動子の振動の伝播を抑制する振動伝播抑制部材が設けられていることを特徴とする請求項９に記載の振動型駆動装置。
11. 前記振動子保持体が有する、前記振動子の前記振動子保持部材との接合部の間隔の長さを波長とする振動モードの次数の整数倍の次数の振動モードの共振周波数が、前記被駆動体の駆動に使用する周波数範囲内に存在しないよう、
    前記振動子保持体が構成されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
12. 前記振動子保持体が有する、前記振動子同士の間隔の長さを波長とする振動モードの次数の整数倍の次数の振動モードの共振周波数が、前記被駆動体の駆動に使用する周波数範囲内に存在しないよう、
    前記振動子保持体が構成されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。

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