JPH11341845A - 超音波モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 固定子と可動子の圧接面に理論式と同様な進
行波を発生し、可動子を効率良く駆動する。 【解決手段】 振動体５を、電極群を複数有する振動子
５ｖと、この振動子５ｖが装着されると共に対向子６に
対する圧接面を有する装着部５ｏと、この装着部５ｏを
支持すると共に螺子穴若しくは螺子用貫通穴５ｂを複数
備えて螺子８により他の部材３に固定される支持部５ｉ
と、から構成し、当該螺子８の締め付けにより、各電極
群の各々に対応した振動体５の共振周波数が略一致する
ように調整されて、装着部５ｏの圧接面に理論式と同様
な進行波が発生するように構成してなるもの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波モータに関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来の超音波モータは、弾性体及び複数
の電極群を有し当該弾性体に例えば貼着により装着され
た圧電素子（振動子）より構成されるステータ（固定
子）と、上記ステータ弾性体に対向し圧接するロータ
（可動子）と、を備え、所定の周波数の信号として位相
の異なる多相のドライブ信号を、上記圧電素子の各電極
群に対して各々供給することによって、上記圧電素子を
振動させてステータ弾性体の圧接面に進行波を発生さ
せ、この進行波による駆動力をロータに摩擦伝達するこ
とで、ロータを回転駆動するように構成されている。

【０００３】例えば、上記圧電素子がＡ，Ｂ二つの電極
群に９０°空間的位相差を有して区分されている場合に
は、一方の電極群Ａに、例えば正弦波電圧信号（ｓｉｎ
波電圧信号；一方の電極群Ａに対するドライブ信号）が
供給されて、圧接面に所定の波数の定在波（ｓｉｎ側電
極群による定在波）が発生すると共に、他方の電極群Ｂ
に、上記ｓｉｎ波電圧信号に対して９０゜時間的位相差
を有する正弦波電圧信号（ｃｏｓ波電圧信号；他方の電
極群Ｂに対するドライブ信号）が供給されて、圧接面に
所定の波数の定在波（ｃｏｓ側電極群による定在波）が
発生し、これらの定在波が合成されることで、圧接面に
進行波が形成されて、ロータが回転駆動される。

【０００４】ここで、上記印加されるｓｉｎ波電圧信
号、ｃｏｓ波電圧信号は、以下の数１、数２で各々表さ
れる。

【０００５】

【数１】

【数２】 但し、Ｖ；電圧、Ｖ₀；電圧の瞬時値、ω；角周波数、
ｔ；時間。

【０００６】また、ｓｉｎ波電圧信号が印加された一方
の電極群Ａの定在波の振幅をξ_A、ｃｏｓ波電圧信号が
印加された他方の電極群Ｂの定在波の振幅をξ_Bとする
と、ξ_A，ξ_Bは、以下の数３、数４で各々表される。

【０００７】

【数３】

【数４】 但し、ξ₀；振幅の瞬時値、ｋ；波数、ｘ；位置。

【０００８】従って、上記定在波同士を合成した進行波
ξは以下の数５で表される。

【０００９】

【数５】 ここで、進行波ξを効率良く利用するには、上記数３、
数４の理論式のξ₀を共に最大振幅とする必要があり、
この振幅値を最大とするために、ステータの共振周波数
またはその近傍の周波数の信号を電極群Ａ，Ｂに各々印
可する。このため、上記数３、数４は、電極群Ａ，Ｂの
各々に対応したステータの共振周波数が同じであるとい
うのが前提となる。

【００１０】ここで、共振周波数とは、ｓｉｎ側または
ｃｏｓ側電極群に駆動信号を印可して振動体（振動子を
有するステータ）のインピーダンス測定を行い、駆動信
号の周波数を可変してインピーダンスが最小になった点
での駆動信号の周波数のことを指す。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実際に
は、電極群Ａ，Ｂの寸法精度、圧電素子のステータ弾性
体に対する貼着精度、ステータ弾性体の密度のバラツキ
等の影響により、電極群Ａにｓｉｎ波電圧信号を印加し
た時にステータ（圧電素子を含む）に発生する定在波の
共振周波数と、電極群Ｂにｃｏｓ波電圧信号を印加した
時にステータ（圧電素子を含む）に発生する定在波の共
振周波数とが一致せず、その結果、上記数５に示す完全
な進行波が発生せずに、ロータを効率良く駆動できない
という問題があった。

【００１２】本発明は、このような課題を解決するため
になされたものであり、振動子を構成する各電極群の各
々に対応した振動体（振動子を含む）の共振周波数を調
整により略一致でき、理論式と同様な進行波を生ぜしめ
て、可動子を効率良く駆動できる超音波モータを提供す
ることを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の超音波モータ
は、互いに対向して圧接する固定子及び可動子を備え、
固定子及び可動子の少なくとも一方が有する振動子の複
数の電極群の各々に対して、位相の異なる所定のドライ
ブ信号をそれぞれ供給することにより当該振動子を振動
させ、固定子及び可動子のうちの振動子を有する側を振
動体として当該振動体の圧接面に発生する進行波によ
り、可動子を駆動する超音波モータにおいて、振動体
は、振動子と、この振動子が装着されると共に対向子に
対する圧接面を有する装着部と、この装着部を支持する
と共に螺子穴若しくは螺子用貫通穴を複数備えて螺子に
より他の部材に固定される支持部と、から成り、螺子の
締め付けにより、各電極群の各々に対応した振動体の共
振周波数が略一致するように調整されたことを特徴とし
ている。

【００１４】このような本発明に係る超音波モータによ
れば、電極群を複数有する振動子が装着されると共に対
向子に対する圧接面を有する装着部は、支持部により支
持され、この支持部は、複数の螺子により他の部材に固
定される。この時、当該螺子の締め付けにより、各電極
群の各々に対応した振動体の共振周波数が略一致するよ
うに調整されているため、装着部の圧接面には理論式と
同様な進行波が発生し、可動子は効率良く駆動される。

【００１５】ここで、複数の電極群は２群に分割される
と共に電極群同士は９０°空間的位相がずれて配置さ
れ、各電極群に対して、位相の異なる所定のドライブ信
号として９０゜の時間的位相差を有する２相のドライブ
信号の各々が供給され、複数の螺子のうちの少なくとも
１個の螺子が、２相のドライブ信号のうちの一方の相の
ドライブ信号により圧接面に発生する定在波の節の位置
に対応した位置にあるのが好ましい。

【００１６】このような構成を採用した場合、電極群同
士は９０°空間的位相がずれて配置されているため、少
なくとも１個の螺子は、他方の相のドライブ信号により
圧接面に発生する定在波の腹の位置に対応した位置に当
たる。このため、当該螺子の締め付けを調整すれば、他
方の電極群（他方の相のドライブ信号を受ける電極群）
に対応した振動体の共振周波数が影響を受けてシフト
し、一方の電極群（一方の相のドライブ信号を受ける電
極群）に対応した振動体の共振周波数に容易に略一致さ
れる。

【００１７】また、複数の螺子のうちのさらに少なくと
も１個の螺子が、２相のドライブ信号のうちの他方の相
のドライブ信号により圧接面に発生する定在波の節の位
置に対応した位置にあるのが好ましい。

【００１８】このような構成を採用した場合、さらに少
なくとも１個の螺子は、一方の相のドライブ信号により
圧接面に発生する定在波の腹の位置に対応した位置に当
たるため、当該螺子の締め付けを調整すれば、一方の電
極群に対応した振動体の共振周波数が影響を受けてシフ
トする。従って、上述した２個の螺子の締め付けを調整
すれば、各電極群の各々に対応した振動体の共振周波数
が影響を受けてシフトし、当該振動体の共振周波数がよ
り容易に略一致される。また、両共振周波数をシフトし
て略一致させるため、当該共振周波数を所望の値とする
こともできる。

【００１９】また、支持部は、その厚みが装着部の厚み
に比して薄くされた薄肉部を有し、当該薄肉部が、他の
部材に対して上記螺子により固定される構成が好まし
い。

【００２０】このような構成を採用した場合、装着部と
略同様な厚みの厚肉部を螺子により締め付ける構成に比
して、螺子の締め付けによる影響が当該薄肉部を介して
装着部に良好に伝達されて、各電極群の各々に対応した
振動体の共振周波数が容易にシフトするため、当該振動
体の共振周波数をより容易に略一致することができる。
また、当該薄肉部により、装着部の振動が容易にされる
ようになる。

【００２１】また、支持部は、折曲部のない平板形状で
あるのが好ましい。このような構成を採用した場合、螺
子の締め付け位置より装着部側に折曲部を有する平板形
状を螺子により締め付ける構成に比して、螺子の締め付
けによる影響が当該折曲部のない平板形状を介して装着
部に良好に伝達されて、各電極群の各々に対応した振動
体の共振周波数が容易にシフトするため、当該振動体の
共振周波数をより容易に略一致することができる。

【００２２】さらにまた、支持部は、薄肉部を含めたそ
の厚みが略均一であるのが好ましい。このような構成を
採用した場合、厚みが不均一な場合に比して、螺子の締
め付けによる影響が装着部に良好に伝達されて、各電極
群の各々に対応した振動体の共振周波数が容易にシフト
するため、当該振動体の共振周波数をより容易に略一致
することができる。

【００２３】また、本発明の超音波モータは、互いに対
向して圧接する固定子及び可動子を備え、固定子及び可
動子の少なくとも一方が有する振動子の複数の電極群の
各々に対して、位相の異なる所定のドライブ信号をそれ
ぞれ供給することにより当該振動子を振動させ、固定子
及び可動子のうちの振動子を有する側を振動体として当
該振動体の圧接面に発生する進行波により、可動子を駆
動する超音波モータにおいて、振動体は、振動子と、こ
の振動子が装着されると共に対向子に対する圧接面を有
する装着部と、この装着部を支持すると共に螺子穴また
は螺子用貫通穴を複数備えて螺子により他の部材に固定
される支持部と、から成り、支持部は、螺子により他の
部材に固定される固定支持部と、この固定支持部と装着
部とを連結すると共に、その厚みが固定支持部及び装着
部の厚みに比して薄くされ、且つ螺子穴または螺子用貫
通穴を少なくとも１個以上備えて調整用螺子により他の
部材に固定される連結支持部と、から成り、調整用螺子
の締め付けにより、各電極群の各々に対応した振動体の
共振周波数が略一致するように調整されたことを特徴と
している。

【００２４】このような本発明に係る超音波モータによ
れば、電極群を複数有する振動子が装着されると共に対
向子に対する圧接面を有する装着部は、連結支持部を介
して固定支持部により支持され、この固定支持部は、複
数の螺子により他の部材に固定される。また、連結支持
部は、少なくとも１個以上の調整用螺子により他の部材
に固定される。この時、連結支持部は、その厚みが固定
支持部及び装着部の厚みに比して薄くされている（固定
支持部は厚肉にされている）ため、固定支持部を他の部
材に固定する螺子を締め付けても、当該螺子の締め付け
による影響は装着部には伝達され難く、各電極群の各々
に対応した振動体の共振周波数はシフトし難い。一方、
連結支持部を他の部材に固定する調整用螺子を締め付け
れば、当該調整用螺子の締め付けによる影響は当該薄肉
の連結支持部を介して装着部に良好に伝達されて、上記
振動体の共振周波数は容易にシフトする。そして、当該
調整用螺子の締め付けにより、上記振動体の共振周波数
が略一致するように調整されているため、装着部の圧接
面には理論式と同様な進行波が発生し、可動子は効率良
く駆動される。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る超音波モータ
の好適な実施形態について添付図面を参照しながら説明
する。なお、図面の説明において、同一要素または同一
機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明
は省略する。

【００２６】図１は、第１実施形態に係る超音波モータ
を示す断面図である。この超音波モータは、機械的駆動
機構から成る超音波モータ本体１及び超音波モータ本体
１の駆動を行う駆動回路２から構成される。

【００２７】超音波モータ本体１は、固定用ベース（他
の部材）３と、この固定用ベース３に重ねて固定された
外縁円形のステータ（振動体）５と、固定用ベース３及
びステータ５の中央部を貫挿し、当該固定用ベース３に
固定された軸受７により回転自在に支持された回転軸４
と、この回転軸４に圧入固定され、上記ステータ５に対
向する外縁円形のロータ６と、このロータ６をステータ
５に圧接させる圧縮バネ１１と、を概略備えている。当
該ロータ６は、ステータ５表面（図示上側）の円周方向
に進行する進行波により回転する（詳しくは後述）。

【００２８】上記固定用ベース３は、金属より成り、超
音波モータが適用される例えばカメラ等の本体機器の固
定側に固定される。この固定用ベース３の中央には、上
下方向に貫通穴が形成されており、当該貫通穴に上記軸
受７が嵌合固定されている。

【００２９】上記ステータ５は、セラミック圧電素子か
ら成る円環状の振動子５ｖと、振動子５ｖが裏面外周部
に貼着された金属から成る円環状の弾性体５ｅと、を備
えている。この弾性体５ｅの外周部（装着部）５ｏは厚
肉であり、この厚肉の外周部５ｏの裏面に上記振動子５
ｖが貼着され、表面がロータ６に圧接する圧接面として
機能する。ステータ５の上記外周部５ｏより内周側の内
周部（支持部）５ｉは、外周部５ｏに比して薄肉にされ
ており、この薄肉にされた内周部５ｉが、外周部５ｏの
振動を容易にさせると共に、外周部５ｏと内周部５ｉと
の間の振動伝達を抑制している。

【００３０】ステータ５の内周部５ｉには、円周方向に
機械角で９０°等配の所定位置（詳しくは後述）に螺子
用貫通穴５ｂが４個形成され、固定用ベース３の上記螺
子用貫通穴５ｂの各々に対応する位置には螺子穴３ｂが
形成されており、ステータ５の内周部５ｉは、４個の螺
子８を各々螺子用貫通穴５ｂに挿入して螺子穴３ｂに螺
合することにより固定用ベース３に固定される。この
時、螺子８の締め付け力を調整することで、各電極群の
各々に対応したステータ５の共振周波数が略一致するよ
うになされている（詳しくは後述）。

【００３１】なお、以降の説明では、各螺子穴を特定す
る場合には３ｂ１〜３ｂ４の何れかを用い、特定しない
場合またはこれら螺子穴を総称する場合には、単に３ｂ
と記す。

【００３２】上記ロータ６は、金属から成る円環状の弾
性体から構成される。このロータ６の内周部６ｉ及びス
テータ５の外周部５ｏに対向する外周部６ｏは厚肉であ
り、ロータ６の外周部６ｏと内周部６ｉとの間に円環状
の薄肉中間部６ｍを備え、内周部６ｉが上記回転軸４に
圧入固定される。

【００３３】この回転軸４は、上記軸受７に回転自在に
支持される。回転軸４の上部にはフランジ部４ｆが設け
られ、さらに下部には、例えばＣリング等のスナップリ
ング９が取り付けられており、このスナップリング９と
上記軸受７との間に、スペーサ１０を介して上記圧縮バ
ネ１１が介挿されている。この圧縮バネ１１とフランジ
部４ｆによって、回転軸４及びロータ６は常時下方に付
勢されている。

【００３４】ロータ６は、外周部６ｏにおける上記ステ
ータ５の外周部５ｏに対向する面に、幅狭円環状の凸部
６ｐを有する。ステータ弾性体５ｅ、ロータ６を全面接
触させると、励振側（ステータ弾性体）の振動が相手側
（ロータ）に大部分伝わって進行波の変位量が減衰して
しまうが、ロータ６は凸部６ｐを有しており、圧接面が
全面接触に比して狭小にされることから、ステータ弾性
体５ｅに正常な進行波を形成することができる。

【００３５】ロータ側凸部６ｐとステータ５の外周部５
ｏとの間には、例えば樹脂等より成る円環状の緩衝摩擦
部材１２が介在し、緩衝摩擦部材１２はこれらと圧接状
態にある。すなわち、ロータ側凸部６ｐは、圧縮バネ１
１の弾性力によって緩衝摩擦部材１２を介してステータ
５の外周部５ｏを押圧している。この緩衝摩擦部材１２
は、上記凸部６ｐまたはステータ側外周部５ｏの何れか
一方に、例えば接着剤等により固定されている。この緩
衝摩擦部材１２は、ステータ５の外周部５ｏに生じる進
行波をロータ６側に伝達し難く動作をする一種の振動の
ローパスフィルタの役目を果たしており、ステータ５の
外周部５ｏに正常な進行波を発生させると共に、金属同
士（外周部５ｏと凸部６ｐ）の直接接触を回避して異音
（囓り音）の発生を防止し、さらに圧接部の耐久性を向
上させる。なお、緩衝摩擦部材１２は、凸部６ｐ、ステ
ータ側外周部５ｏの何れにも固定されずに、凸部６ｐ、
ステータ側外周部５ｏ間に介在している構成でも良い。

【００３６】図２は、ステータ５の外周部５ｏの裏面に
貼着された圧電振動子５ｖの一方面側の平面図である。
振動子５ｖは、円環状の圧電セラミック板ＣＭと、この
圧電セラミック板ＣＭの一方面上に形成された第１電極
群Ｓ及び第２電極群Ｃと、を備えている。振動子５ｖが
周方向全体で５波の定在波を発生し得るように、第１電
極群Ｓは４個の第１電極部Ｓ１〜Ｓ４、第２電極群Ｃは
４個の第２電極部Ｃ１〜Ｃ４から各々構成されると共
に、第１電極部Ｓ１〜Ｓ４及び第２電極部Ｃ１〜Ｃ４
は、機械角で３６゜で等配されて、各々隣り合う領域で
厚み方向の分極方向が互いに逆向き（図示＋−参照）と
なるように予め分極処理が施されている。また、第１電
極群Ｓと第２電極群Ｃとは、円周方向に電気角で９０°
（λ／４）位相がずれて隣接配置されている。なお、各
電極部Ｓ１〜Ｓ４及びＣ１〜Ｃ４は、円環圧電セラミッ
ク板ＣＭの内縁及び外縁との間に隙間を空けることなく
設けられている。

【００３７】図３は、振動子５ｖの他方面側の平面図で
ある。円環状の圧電セラミック板ＣＭの他方面上には、
圧電セラミック板ＣＭの一方面上の第１電極部Ｓ１〜Ｓ
４（第１電極群Ｓ）の形成領域全体に対向する第１側電
極部ＳＳと、第２電極部Ｃ１〜Ｃ４（第２電極群Ｃ）の
形成領域全体に対向する第２側電極部ＣＣとが設けられ
ている。第１側電極部ＳＳと第２側電極部ＣＣとの間に
は、機械角で１８゜、電気角で９０゜を成して互いに対
向するフィードバック用電極部ＦＢ，ＦＢ’が設けられ
ている。

【００３８】図１を再び参照すると、振動子５ｖの上記
一方面は、その全面が金属弾性体５ｅの裏面側に接着剤
または導電性接着剤で接着されている。一般には非導電
性接着剤を用いても、接着剤厚が薄いため機械加工面の
荒小部分が接触し、電気的には導通する。金属弾性体５
ｅは、固定用ベース３に電気的に接続されており、従っ
て、振動子５ｖの一方面に形成された電極部Ｓ１〜Ｓ
４，ＦＢ，Ｃ１〜Ｃ４は、グランド（ＧＮＤ）に接続さ
れている。

【００３９】一方、振動子５ｖの第１側電極部ＳＳ及び
第２側電極部ＣＣは駆動回路２に接続されている。この
駆動回路２は、グランドと振動子５ｖの第１側電極部Ｓ
Ｓとの間に正弦波電圧信号（ｓｉｎ波電圧信号；第１電
極群Ｓに対するドライブ信号）を印加し、グランドと第
２側電極部ＣＣとの間にこれと９０°の時間的位相差を
有する正弦波電圧信号（ｃｏｓ波電圧信号；第２電極群
Ｃに対するドライブ信号）を印加する。この駆動回路２
には、振動子５ｖの変位量に応じてフィードバック用電
極部ＦＢ，ＦＢ’間に発生した変位検出信号としての圧
電電圧信号が入力され、入力された変位検出信号に基づ
いて振動子５ｖに供給される正弦波電圧信号の周波数及
び位相を一定に維持する。

【００４０】図４は、ステータ５及び固定用ベース３を
抽出して示す下面図である。図４に示すように、前述し
た４個の螺子穴３ｂ（この螺子穴３ｂに対応する螺子用
貫通穴５ｂも同様）は、図示左上側の螺子穴３ｂ１が、
第１電極群Ｓを構成する第１電極部Ｓ１，Ｓ２の境界部
に対応する位置（境界部とステータ５の中心とを結ぶ線
分上の位置）に設けられている。前述したように、４個
の螺子穴３ｂは、円周方向に機械角で９０°等配されて
いるため、螺子穴３ｂ１に対して図示時計方向に９０°
離間配置される図示右上側の螺子穴３ｂ３は、第２電極
群Ｃを構成する第２電極部Ｃ１，Ｃ２の境界部に対応す
る位置に設けられ、また螺子穴３ｂ３に対して図示時計
方向に９０°離間配置される図示右下側の螺子穴３ｂ４
は、第２電極群Ｃを構成する第２電極部Ｃ４の中央に対
応する位置に設けられ、さらに螺子穴３ｂ４に対して図
示時計方向に９０°離間配置される図示左下側の螺子穴
３ｂ２は、第１電極群Ｓを構成する第１電極部Ｓ４の中
央に対応する位置に設けられている。

【００４１】ここで、第１側電極部ＳＳとグランドとの
間にｓｉｎ波電圧信号が印加されると、振動子５ｖが振
動して、第１電極部Ｓ１，Ｓ２及びＳ２，Ｓ３及びＳ
３，Ｓ４の各境界部、第１電極部Ｓ１，Ｓ４の外側境界
部等を節とした５波の定在波がステータ５の表面に周方
向に沿って発生する。また、第２側電極部ＣＣとグラン
ドとの間にｃｏｓ波電圧信号が印加されると、振動子５
ｖが振動して、第２電極部Ｃ１，Ｃ２及びＣ２，Ｃ３及
びＣ３，Ｃ４の各境界部、第２電極部Ｃ１，Ｃ４の外側
境界部等を節とした５波の定在波がステータ５の表面に
周方向に沿って発生する。この時、ステータ５の薄肉内
周部５ｉにより、振動子５ｖが貼着された外周部５ｏが
振動するようにしているため、定在波は、ステータ５の
外周部５ｏの表面に発生する。

【００４２】すなわち、本実施形態においては、螺子穴
３ｂ１は、第１電極群Ｓによる定在波ＳＷの節の位置に
対応した位置（定在波の節とステータ５の中心とを結ぶ
線上の位置）にあり、螺子穴３ｂ２は、定在波ＳＷの腹
の位置に対応した位置にある。また、螺子穴３ｂ３は、
第２電極群Ｃによる定在波ＣＷの節の位置に対応した位
置にあり、螺子穴３ｂ４は、定在波ＣＷの腹の位置に対
応した位置にある。

【００４３】ここで、第１電極群Ｓと第２電極群Ｃと
は、前述したように、電気角で９０°ずれて配置されて
いるため、定在波ＳＷの節の位置は、定在波ＣＷの腹の
位置となる。同様に、定在波ＣＷの節の位置は、定在波
ＳＷの腹の位置となる。

【００４４】従って、螺子穴３ｂ１は、定在波ＳＷの節
の位置及び定在波ＣＷの腹の位置に対応した位置にあ
り、また螺子穴３ｂ３は、定在波ＣＷの節の位置及び定
在波ＳＷの腹の位置に対応した位置にあり、また螺子穴
３ｂ４は、定在波ＣＷの腹の位置及び定在波ＳＷの節の
位置に対応した位置にあり、また螺子穴３ｂ２は、定在
波ＳＷの腹の位置及び定在波ＣＷの節の位置に対応した
位置にある。

【００４５】特に、本実施形態では、上記位置に配置さ
れた螺子穴３ｂに対して螺合する螺子８の締め付け力を
調整する（締め付けトルクを個々の螺子８で変える）こ
とにより、第１電極群Ｓに供給される一方のドライブ信
号によりステータ５（弾性体５ｅ及び振動子５ｖ）に発
生する振動の共振周波数と、第２電極群Ｃに供給される
他方のドライブ信号によりステータ５に発生する振動の
共振周波数と、が略一致されている。なお、本実施形態
でいう共振周波数とは反共振周波数も含むものとする。
この反共振周波数は、インピーダンスが最大になる点で
ある。

【００４６】ここで、定在波の節の位置に対応する位置
の螺子８の締め付け力を調整しても、当該節の位置では
定在波の振幅が“０”で固定されているため、定在波に
よるステータ５の共振周波数に影響を与え難い（シフト
させ難い）が、定在波の特に腹の位置に対応する位置の
螺子８の締め付け力を調整すれば、定在波の振幅を特に
変えられるため、定在波によるステータ５の共振周波数
に影響を与え易い（シフトさせ易い）。

【００４７】従って、前述した図４における図示左上
側、図示右下側の螺子８の締め付け力を適宜調整すれ
ば、定在波ＣＷによるステータ５の共振周波数が影響を
受けて容易にシフトされ、図示右上側、図示左下側の螺
子８の締め付け力を適宜調整すれば、定在波ＳＷによる
ステータ５の共振周波数が影響を受けて容易にシフトさ
れる。

【００４８】すなわち、本実施形態では、図示左上側且
つ／または図示右下側の螺子８の締め付け力を適宜調整
することにより、定在波ＣＷによるステータ５の共振周
波数をシフトさせ、図示右上側且つ／または図示左下側
の螺子８の締め付け力を適宜調整することにより、定在
波ＳＷによるステータ５の共振周波数をシフトさせ、こ
れらのシフトにより共振周波数の一致が図られている。

【００４９】図５は、上記螺子８による締め付け調整を
施した場合のステータ５のインピーダンス特性を示す
図、図６は、上記螺子８による締め付け調整を施さない
場合のステータ５のインピーダンス特性を示す図であ
り、これらは、本発明者の実験により得られた結果であ
る。なお、図５及び図６においては、インピーダンスの
最小となる点が共振周波数、最大となる点が反共振周波
数である。また、具体的な数値を、以下の表１に示す。

【００５０】

【表１】 螺子８による締め付け調整を施さない場合（単に固定用
ベース３にステータ５が載置されている時）には、図６
に示すように、各電極群の各々に対応したステータ５の
共振周波数の間には明らかな差があり、その差は、表１
に示すように、２５．５０Ｈｚの差があって、これらの
定在波の合成により発生する進行波は完全なもの（理論
式（数５）通りのもの）とはならない。

【００５１】一方、前述した螺子８による締め付け調整
を施した場合には、図５に示すように、各電極群の各々
に対応したステータ５の共振周波数が両者シフトされ、
共振周波数を略一致することができる。その差は、表１
に示すように、０．５Ｈｚだけである。

【００５２】なお、本実施形態においては、両共振周波
数をシフトさせることにより共振周波数の略一致が図ら
れているが、例えば一方の共振周波数を固定し他方の共
振周波数をシフトさせることにより共振周波数の略一致
を図ることも可能である。この場合は、他方の共振周波
数に影響を与える螺子のみの締め付け力を調整すること
になる。

【００５３】さて、このような調整が施されたステータ
５における振動子５ｖの電極群Ｓ，Ｃに対して、２相の
ドライブ信号（その周波数は上記略一致された共振周波
数またはその近傍の周波数）が各々同時に印加される
と、振動子５ｖが励振して、ステータ５の外周部５ｏの
表面には、定在波の合成による円周方向に進む理論式
（数５）通りの進行波が発生する。

【００５４】この時、圧接面を全面接触に比して狭小と
するロータ側凸部６ｐにより、発生した進行波の変位量
の減衰が抑止されると共に、緩衝摩擦部材１２が振動の
ローパスフィルタの役目を果たすため、ステータ５の外
周部５ｏには正常な進行波が形成される。この進行波が
発生すると、ステータ５の外周部５ｏの表面上の微小領
域各点は、進行波の進行方向及びステータ弾性体５ｅの
厚み方向で規定される平面内で、上記進行波の進行方向
とは逆回りの楕円運動を行う。この楕円運動による駆動
力は、当該ステータ５の外周部５ｏに圧接する緩衝摩擦
部材１２を介して、正確にロータ側凸部６ｐに摩擦伝達
される。

【００５５】これにより、ロータ６は、進行波の進行方
向とは逆方向に回転する。この時、圧接面に発生する進
行波は理論式と同様なため、ロータ６は効率良く駆動さ
れる。またこの時、緩衝摩擦部材１２により、異音（囓
り音）の発生が防止されると共に圧接部の耐久性が向上
される。また、印加電圧の位相を逆にすれば、進行波の
進行方向が逆となり、ロータ６も上記回転方向とは逆方
向に回転する。

【００５６】このように、本実施形態においては、螺子
８の締め付けにより、各電極群Ｓ，Ｃの各々に対応した
ステータ５の共振周波数が略一致するように調整されて
いるため、ステータ５の外周部５ｏの圧接面には理論式
と同様な進行波が発生し、ロータ６を効率良く駆動でき
るようになっている。

【００５７】また、図４における図示左上側且つ／また
は図示右下側の螺子８の締め付けを調整して、定在波Ｃ
Ｗによるステータ５の共振周波数をシフトさせ、図示右
上側且つ／または図示左下側の螺子８の締め付けを調整
して、定在波ＳＷによるステータ５の共振周波数をシフ
トさせ、これらのシフトにより共振周波数の一致が図ら
れている、すなわち両共振周波数をシフトさせているた
め、当該共振周波数を所望の値とすることができるよう
になっている。また、このように両共振周波数をシフト
させているため、一方の共振周波数を固定し他方の共振
周波数をシフトさせて共振周波数の一致を図る場合に比
して、より容易に共振周波数の一致を図り得るようにな
っている。

【００５８】なお、螺子８の個数及び配置は、図４に示
したものに限定されるものではなく、その個数は２個以
上であれば良く、また、その配置は、両共振周波数をシ
フトさせる場合には、少なくとも１個の螺子８が一方の
定在波の腹の位置（他方の定在波の節の位置）に対応し
た位置にあると共に、少なくとも１個の螺子８が他方の
定在波の腹の位置（一方の定在波の節の位置）に対応し
た位置にあれば良く、一方の共振周波数を固定し他方の
共振周波数をシフトさせる場合には、少なくとも１個の
螺子８が他方の定在波の腹の位置（一方の定在波の節の
位置）に対応した位置にあれば良い。因みに、この螺子
８の配置は、共振周波数を容易にシフトさせ得る特に好
ましいものであるが、特にこれに限定されるものではな
い。

【００５９】また、ステータ５の内周部５ｉを薄肉とし
て、当該薄肉部５ｉを螺子８により締め付けるようにし
ているため、外周部５ｏと略同様な厚みの厚肉部を螺子
８により締め付ける構成に比して、螺子８の締め付けに
よる影響が当該薄肉部５ｉを介して外周部５ｏに良好に
伝達されて、各電極群Ｓ，Ｃの各々に対応したステータ
５の共振周波数が容易にシフトされ、ステータ５の共振
周波数をより容易に略一致することができるようになっ
ている。また、当該薄肉部５ｉにより、外周部５ｏの振
動が容易にされるようにもなっている。

【００６０】また、ステータ５の内周部５ｉは、折曲部
のない平板形状であるため、螺子８の締め付け位置より
外周部５ｏ側に折曲部を有する平板形状を螺子８により
締め付ける構成に比して、螺子８の締め付けによる影響
が当該折曲部のない平板形状を介して外周部５ｏに良好
に伝達されて、各電極群Ｓ，Ｃの各々に対応したステー
タ５の共振周波数が容易にシフトされ、ステータ５の共
振周波数をより容易に略一致することができるようにな
っている。

【００６１】さらにまた、ステータ５の内周部５ｉは、
その厚みが均一であるため、厚みが不均一な場合に比し
て、螺子８の締め付けによる影響が外周部５ｏに良好に
伝達されて、各電極群Ｓ，Ｃの各々に対応したステータ
５の共振周波数が容易にシフトされ、ステータ５の共振
周波数をより容易に略一致することができるようになっ
ている。

【００６２】図７は、第２実施形態に係る超音波モータ
のステータ及び固定用ベースの要部を示す断面図であ
る。なお、第２実施形態以降の実施形態においては、螺
子８は、ステータ５の円周方向に少なくとも２個以上配
置されており、第１実施形態で述べたと同様に、共振周
波数を調整するにあたってより好ましいとされる位置に
配置されている。

【００６３】この第２実施形態の超音波モータが第１実
施形態のそれと違う点は、ステータ５の内周部５ｉにお
ける螺子８の締め付け位置より外周部５ｏ側に、円環状
の折曲部５ｉｃを設けた点である。

【００６４】すなわち、内周部５ｉは、螺子８が挿入さ
れる螺子用貫通穴５ｂを有し当該螺子８により締め付け
力が調整されて固定用ベース３に固定される第１支持部
５ｉａと、この第１支持部５ｉａと同一厚みを有して当
該第１支持部５ｉａと外周部５ｏとを連結する第２支持
部５ｉｂと、から構成されており、この第２支持部５ｉ
ｂの半径方向の所定位置に、円環状の折曲部５ｉｃが形
成されている。この折曲部５ｉｃは、図７に示すよう
に、急峻な傾斜を有すると共にその折曲長さが短くされ
ている。

【００６５】図８は、第３実施形態に係る超音波モータ
のステータ及び固定用ベースの要部を示す断面図であ
る。

【００６６】この第３実施形態の超音波モータが第２実
施形態のそれと違う点は、急峻な傾斜を有すると共にそ
の折曲長さが短くされた折曲部５ｉｃを、当該折曲部５
ｉｃに比して、緩やかな傾斜を有すると共にその折曲長
さが長くされた折曲部５ｉｄに代えた点である。

【００６７】さらに、図９は、第４実施形態に係る超音
波モータのステータ及び固定用ベースの要部を示す断面
図である。

【００６８】この第４実施形態の超音波モータが第２実
施形態のそれと違う点は、急峻な傾斜を有すると共にそ
の折曲長さが短くされた折曲部５ｉｃを、傾斜角が９０
°にされると共に、当該折曲部５ｉｃに比してその折曲
長さが長くされた折曲部５ｉｅに代えた点である。

【００６９】これら第２〜第４実施形態においては、折
曲部５ｉｃ〜５ｉｅの形状が各々異なるが、周波数の調
整機能においては大差なく、要は第２支持部５ｉｂが薄
肉形状になっていれば良い。第２〜第４実施形態のよう
に構成しても、螺子８の締め付けにより、各電極群Ｓ，
Ｃの各々に対応したステータ５の共振周波数を調整する
ことができる。

【００７０】図１０は、第５実施形態に係る超音波モー
タのステータ及び固定用ベースの要部を示す断面図であ
る。

【００７１】この第５実施形態の超音波モータが第１実
施形態のそれと違う点は、ステータ５の内周部５ｉにお
ける螺子８の締め付け位置を含む近傍部分を、円環状に
厚肉（外周部５ｏよりは薄肉）とした点である。

【００７２】すなわち、内周部５ｉは、外周部５ｏを支
持する薄肉（第１実施形態の内周部５ｉと略同一厚み）
の第２支持部５ｉｇと、この第２支持部５ｉｇを支持す
ると共に、当該第２支持部５ｉｇに比して厚肉且つ外周
部５ｏに比して薄肉であり、螺子８が挿入される螺子用
貫通穴５ｂを有し当該螺子８により締め付け力が調整さ
れて固定用ベース３に固定される第１支持部５ｉｆと、
から構成される。

【００７３】ここで、螺子８により締め付けられる第１
支持部５ｉｆの厚みを外周部５ｏと略同一程度まで厚く
すると、螺子８の締め付けによる影響が殆ど外周部５ｏ
に伝達されない。しかしながら、本実施形態では、第１
支持部５ｉｆの厚みを、図１０に示すように、外周部５
ｏの半分程度の厚みとしているため、螺子８の締め付け
による影響は、多少抑えられるが外周部５ｏに伝達され
ることになる。

【００７４】このため、本実施形態によれば、第２〜第
４実施形態とほぼ同様な効果を期待することができる。

【００７５】図１１は、第６実施形態に係る超音波モー
タのステータ及び固定用ベースの要部を示す断面図であ
る。

【００７６】この第６実施形態の超音波モータが第１実
施形態のそれと違う第１の点は、ステータ５の内周部５
ｉを、外周部５ｏと略同一の厚みを有すると共に、螺子
８が挿入される螺子用貫通穴５ｂを有して当該螺子８に
より固定用ベース３に固定される固定支持部５ｉｉと、
この固定支持部５ｉｉ及び外周部５ｏに比して薄肉にさ
れると共に、固定支持部５ｉｉと外周部５ｏとを連結す
る連結支持部５ｍと、から構成した点である。

【００７７】また、第２の点は、連結支持部５ｍの所定
位置に少なくとも１個以上の調整用の螺子用貫通穴５ｃ
を設ける一方で、固定用ベース３を上記連結支持部５ｍ
下まで円環状に延在させると共に、この延在した延在部
３ａの上記調整用の螺子用貫通穴５ｃに対応する位置に
調整用の螺子穴３ｃを設け、調整用螺子１８を螺子用貫
通穴５ｃに挿入し螺子穴３ｃに螺合して締め付け力を調
整することで、連結支持部５ｍを固定用ベース３の延在
部３ａに固定すると共に、ステータ５の共振周波数の一
致を図るようにした点である。

【００７８】ここで、第５実施形態で説明したように、
螺子８により締め付けられる固定支持部５ｉｉの厚みを
外周部５ｏと略同一程度まで厚くすると、螺子８の締め
付けによる影響が殆ど外周部５ｏに伝達されないため、
螺子８の締め付けにより、上記ステータ５の共振周波数
をシフトすることは殆どできない。

【００７９】しかしながら、本実施形態では、外周部５
ｏを支持する薄肉の連結支持部５ｍを、調整用螺子１８
により締め付け力を調整して延在部３ａに固定するよう
にしているため、第１実施形態と同様に、上記共振周波
数をシフトでき、ステータ５の両共振周波数を一致させ
ることができる。

【００８０】なお、ステータ５は複数の螺子８により固
定用ベース３に固定されているため、調整用螺子１８の
個数は１個以上であれば良い。また、調整用螺子１８の
配置は、第１実施形態と同様に、両共振周波数をシフト
させる場合には、少なくとも１個の調整用螺子１８が一
方の定在波の腹の位置（他方の定在波の節の位置）に対
応した位置にあると共に、少なくとも１個の調整用螺子
１８が他方の定在波の腹の位置（一方の定在波の節の位
置）に対応した位置にあれば良く、一方の共振周波数を
固定し他方の共振周波数をシフトさせる場合には、少な
くとも１個の調整用螺子１８が他方の定在波の腹の位置
（一方の定在波の節の位置）に対応した位置にあれば良
い。因みに、この調整用螺子１８の配置は、共振周波数
を容易にシフトさせ得る特に好ましいものであるが、特
にこれに限定されるものではない。

【００８１】図１２は、第７実施形態に係る超音波モー
タのステータ及び固定用ベースを抽出して示す断面図で
ある。

【００８２】この第７実施形態の超音波モータが第１実
施形態のそれと違う点は、固定用ベース３に設けた螺子
穴を螺子用貫通穴３ｄに代えると共に、ステータ５の内
周部５ｉに設けた螺子用貫通穴を螺子穴５ｄに代えた点
であり、螺子８を螺子用貫通穴３ｄに挿入し螺子穴５ｄ
に螺合して締め付け力を調整することで、ステータ５を
固定用ベース３に固定すると共に、ステータ５の共振周
波数の一致を図るようにしている。

【００８３】このように構成しても、第１実施形態と同
様な効果を得ることができるというのはいうまでもな
い。

【００８４】なお、本実施形態の構成を、第２〜第６実
施形態に対しても同様に適用でき、特に第６実施形態に
関しては、調整用螺子１８が挿入される螺子用貫通穴、
螺合される螺子穴に対しても同様に適用できる。

【００８５】図１３は、第８実施形態に係る超音波モー
タのステータ及び固定用ベースを抽出して示す分解断面
図である。この第８実施形態の超音波モータが第１実施
形態のそれと違う点は、ステータを固定用ベースに対し
て内周側ではなく外周側で螺子固定すると共に当該外周
側の螺子の締め付け調整によりステータの共振周波数の
一致を図る構成とし、この構成の変更に伴って、ステー
タ５及び固定用ベース３の形状を各々変更して、ステー
タ１５及び固定用ベース１３とした点である。

【００８６】ステータ１５は、円環状の振動子５ｖと、
この振動子５ｖが裏面に貼着された円環状の弾性体１５
ｅと、から成る。この弾性体１５ｅの内周部（装着部）
１５ｉは厚肉であり、この厚肉の内周部１５ｉの裏面に
上記振動子５ｖが貼着され、表面がロータ６に圧接する
圧接面として機能する。ステータ１５の内周部１５ｉを
支持する外周部（支持部）１５ｏは、内周部１５ｉに比
して薄肉にされており、円周方向の所定位置に複数の螺
子用貫通穴１５ｂが形成されている。

【００８７】固定用ベース１３は、円環状を成すと共
に、その外周部に上記ステータ１５の外周部１５ｏに対
向する円環状の凸部１３ｏを有し、上記螺子用貫通穴１
５ｂの各々に対応する位置に螺子穴１３ｂを有してい
る。

【００８８】上記ステータ１５の外周部１５ｏは、複数
の螺子８を各々螺子用貫通穴１５ｂに挿入して螺子穴１
３ｂに螺合することにより固定用ベース１３に固定され
る。この時、第１実施形態で説明したのと同様に、螺子
８の締め付け力を調整することで、各電極群の各々に対
応したステータ１５の共振周波数が略一致するようにな
されている。

【００８９】このように構成しても、第１実施形態と同
様な効果を得ることができるというのはいうまでもな
い。なお、本実施形態の構成を、第２〜第７実施形態に
対しても同様に適用できる。

【００９０】以上、本発明者によってなされた発明を実
施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施
形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であるというのはいうまでもなく、
例えば、上記実施形態においては、２相のドライブ信号
を印可することにより進行波を発生させる超音波モータ
に対する適用例が述べられているが、３相以上のドライ
ブ信号を印可することにより進行波を発生させる超音波
モータに対しても同様に適用できる。

【００９１】また、本発明は、例えば特開平２−１７９
２８１号公報に記載されているような、ロータを弾性体
より構成すると共に当該ロータの裏面に圧電振動子を固
定し、この圧電振動子に、上記実施形態で説明したのと
同様な位相の異なる２相のドライブ信号を印加すること
により、ロータ表面にも円周方向に進む進行波を発生さ
せ、このロータ表面に発生した進行波と前述したステー
タ表面に発生した進行波を利用して、ロータを回転駆動
するタイプの超音波モータに対しても適用可能である。
すなわち、ステータ側だけではなく、圧電振動子を有す
るロータ側に対しても本発明を適用できる。

【００９２】さらにまた、可動子の形状を長板状とし当
該可動子をスライダとして駆動するリニヤ型の超音波モ
ータに対しても同様に適用可能であるというのはいうま
でもない。

【００９３】

【発明の効果】本発明による超音波モータは、振動体
を、電極群を複数有する振動子と、この振動子が装着さ
れると共に対向子に対する圧接面を有する装着部と、こ
の装着部を支持すると共に螺子穴若しくは螺子用貫通穴
を複数備えて螺子により他の部材に固定される支持部
と、から構成し、当該螺子の締め付けにより、各電極群
の各々に対応した振動体の共振周波数が略一致するよう
に調整されているため、装着部の圧接面には理論式と同
様な進行波が発生し、可動子を効率良く駆動することが
可能となる。

【００９４】また、本発明による超音波モータは、振動
体を、電極群を複数有する振動子と、この振動子が装着
されると共に対向子に対する圧接面を有する装着部と、
この装着部を支持すると共に螺子穴若しくは螺子用貫通
穴を複数備えて螺子により他の部材に固定される支持部
と、から構成し、当該支持部を、上記螺子により他の部
材に固定される固定支持部と、この固定支持部と装着部
とを連結すると共にその厚みが固定支持部及び装着部の
厚みに比して薄くされ且つ螺子穴または螺子用貫通穴を
少なくとも１個以上備えて調整用螺子により他の部材に
固定される連結支持部と、から構成し、調整用螺子の締
め付けにより、各電極群の各々に対応した振動体の共振
周波数が略一致するように調整されているため、装着部
の圧接面には理論式と同様な進行波が発生し、可動子を
効率良く駆動することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態に係る超音波モータを示す断面図
である。

【図２】振動子の一方面側の平面図である。

【図３】振動子の他方面側の平面図である。

【図４】ステータ及び固定用ベースを抽出して示す下面
図である。

【図５】螺子による締め付け調整を施した場合のステー
タのインピーダンス特性を示す図である。

【図６】螺子による締め付け調整を施さない場合のステ
ータのインピーダンス特性を示す図である。

【図７】第２実施形態に係る超音波モータのステータ及
び固定用ベースの要部を示す断面図である。

【図８】第３実施形態に係る超音波モータのステータ及
び固定用ベースの要部を示す断面図である。

【図９】第４実施形態に係る超音波モータのステータ及
び固定用ベースの要部を示す断面図である。

【図１０】第５実施形態に係る超音波モータのステータ
及び固定用ベースの要部を示す断面図である。

【図１１】第６実施形態に係る超音波モータのステータ
及び固定用ベースの要部を示す断面図である。

【図１２】第７実施形態に係る超音波モータのステータ
及び固定用ベースを抽出して示す断面図である。

【図１３】第８実施形態に係る超音波モータのステータ
及び固定用ベースを抽出して示す分解断面図である。

【符号の説明】

１…超音波モータ本体、２…駆動回路、３，１３…固定
用ベース（他の部材）、３ａ…固定用ベースの延在部
（他の部材）、３ｂ，３ｂ１〜３ｂ４，３ｃ…螺子穴、
５，１５…ステータ（振動体；固定子）、５ｂ，１５ｂ
…螺子用貫通穴、５ｃ…調整用の螺子用貫通穴、５ｄ…
螺子穴、５ｅ，１５ｅ…弾性体、５ｉ…内周部（支持
部）、５ｉｉ…固定支持部、５ｍ…連結支持部、５ｏ…
外周部（装着部）、５ｖ…振動子、６…ロータ（可動
子；対向子）、８…螺子、１３ｏ…固定用ベースの外周
部（他の部材）、１５ｉ…内周部（装着部）、１５ｏ…
外周部（支持部）、１８…調整用螺子、Ｃ，Ｓ…電極
群、Ｃ１〜Ｃ４，Ｓ１〜Ｓ４…電極部。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに対向して圧接する固定子及び可動
   子を備え、前記固定子及び前記可動子の少なくとも一方
   が有する振動子の複数の電極群の各々に対して、位相の
   異なる所定のドライブ信号をそれぞれ供給することによ
   り当該振動子を振動させ、前記固定子及び前記可動子の
   うちの前記振動子を有する側を振動体として当該振動体
   の圧接面に発生する進行波により、前記可動子を駆動す
   る超音波モータにおいて、 前記振動体は、前記振動子と、この振動子が装着される
   と共に対向子に対する圧接面を有する装着部と、この装
   着部を支持すると共に螺子穴若しくは螺子用貫通穴を複
   数備えて螺子により他の部材に固定される支持部と、か
   ら成り、 前記螺子の締め付けにより、前記各電極群の各々に対応
   した前記振動体の共振周波数が略一致するように調整さ
   れた超音波モータ。
2. 【請求項２】 前記複数の電極群は２群に分割されると
   共に電極群同士は９０°空間的位相がずれて配置され、 各電極群に対して、前記位相の異なる所定のドライブ信
   号として９０゜の時間的位相差を有する２相のドライブ
   信号の各々が供給され、 前記複数の螺子のうちの少なくとも１個の螺子が、前記
   ２相のドライブ信号のうちの一方の相のドライブ信号に
   より前記圧接面に発生する定在波の節の位置に対応した
   位置にあることを特徴とする請求項１記載の超音波モー
   タ。
3. 【請求項３】 前記複数の螺子のうちのさらに少なくと
   も１個の螺子が、前記２相のドライブ信号のうちの他方
   の相のドライブ信号により前記圧接面に発生する定在波
   の節の位置に対応した位置にあることを特徴とする請求
   項２記載の超音波モータ。
4. 【請求項４】 前記支持部は、その厚みが前記装着部の
   厚みに比して薄くされた薄肉部を有し、 当該薄肉部が、前記他の部材に対して前記螺子により固
   定されることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に
   記載の超音波モータ。
5. 【請求項５】 前記支持部は、折曲部のない平板形状で
   あることを特徴とする請求項４記載の超音波モータ。
6. 【請求項６】 前記支持部は、前記薄肉部を含めたその
   厚みが略均一であることを特徴とする請求項４または５
   記載の超音波モータ。
7. 【請求項７】 互いに対向して圧接する固定子及び可動
   子を備え、前記固定子及び前記可動子の少なくとも一方
   が有する振動子の複数の電極群の各々に対して、位相の
   異なる所定のドライブ信号をそれぞれ供給することによ
   り当該振動子を振動させ、前記固定子及び前記可動子の
   うちの前記振動子を有する側を振動体として当該振動体
   の圧接面に発生する進行波により、前記可動子を駆動す
   る超音波モータにおいて、 前記振動体は、前記振動子と、この振動子が装着される
   と共に対向子に対する圧接面を有する装着部と、この装
   着部を支持すると共に螺子穴または螺子用貫通穴を複数
   備えて螺子により他の部材に固定される支持部と、から
   成り、 前記支持部は、前記螺子により前記他の部材に固定され
   る固定支持部と、この固定支持部と前記装着部とを連結
   すると共にその厚みが前記固定支持部及び前記装着部の
   厚みに比して薄くされ、且つ螺子穴または螺子用貫通穴
   を少なくとも１個以上備えて調整用螺子により前記他の
   部材に固定される連結支持部と、から成り、 前記調整用螺子の締め付けにより、前記各電極群の各々
   に対応した前記振動体の共振周波数が略一致するように
   調整された超音波モータ。