JPH0583962A

JPH0583962A - 振動波モータ装置

Info

Publication number: JPH0583962A
Application number: JP3236713A
Authority: JP
Inventors: 哲 ▲瀬▼川; Satoru Segawa
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1991-09-18
Filing date: 1991-09-18
Publication date: 1993-04-02

Abstract

(57)【要約】【目的】振動波モータに内蔵する圧電体を用いた回転
角検出において、位相混合の不具合が原因で生じる進行
波の歪を補正し、周期的な回転角検出誤差の発生を低減
し検出の精度を向上させる。【構成】発振回路１４と昇圧回路１６の間に位相調整
回路１５を設け、ステータ３を駆動する信号群ａの位相
を独立に調整する駆動回路１７と、ロータ５に内蔵した
圧電体６にステータ３の進行性振動をロータ側で電気信
号ｂとして検出する電極１０を設け、電極１０からの信
号ｂを受けてデジタル信号ｃに変換する比較回路１１
と、信号ｃとステータ駆動信号群ａと同期した信号ｄと
の位相差を検出する位相差検出回路１２とから構成され
る回転角検出回路１３を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波領域の振動を駆
動源とする振動波モータ、特に回転角を検出する回転角
検出機構を備える駆動波モータに関する。

【０００２】

【従来の技術】弾性体に伝搬する進行波を動作原理とす
る振動波モータが、特願昭５７−２９４００号明細書、
および日経メカニカル１９８９８−２１（ｎｏ．３０
４）１１４頁に紹介されている。振動子である圧電素子
と弾性体とを一体化したステータに位相が異なる２相以
上の電気信号を入力し、ステータに波の腹と節が移動す
る屈曲進行波を発生させる。屈曲進行波が励振されてい
るステータ上のある一点に着目すると、進行波の凹凸に
よる上下運動と部材の伸縮による水平方向（ロータの移
動方向）との運動とが重なり、一点は楕円軌道を描く。
この楕円軌道の頂点付近をロータと加圧接触させること
により、ステータに励振されている進行波の進む向きと
は逆方向にロータが駆動される。以上が一般に用いられ
ている進行波を動作原理とする振動波モータの動作原理
である。

【０００３】また、回転角検出機能を備え、進行波を用
いた振動波モータは、本出願人から既に出願された特許
出願明細書（特願昭６３−１８４１６４号明細書，特願
昭６３−１５７２８９号明細書（特開平２−７８７６号
公報））に開示されている。この振動波モータの動作原
理について、図６および図７を用いて説明する。

【０００４】図６は従来の回転角検出機能を備えた振動
波モータ装置の構成を説明した分解斜視図を含むブロッ
ク図であるが、図６の上部に示すように、弾性の共振子
１の裏面に、この共振子１と同様な形状の振動子２であ
る圧電素子を接合して一体化したステータ３を構成して
いる。ステータ３の図面上右方には、ロータ５が設けて
あり、ばね８等の加圧手段によって所定の圧力に押圧さ
れている。ロータ５は、ステータ３との圧力を部分的に
検出する圧電体６を有し、この圧電体６のステータ３と
接触する表面には、耐摩耗性に優れたエンジニアリング
プラスチクスを用いたライニング４が接合されている。
圧電体６にある電極１０は、ステータ３に励振されてい
る屈曲進行波の凹凸に対応する接触圧力を検出して電気
信号ｂに変換して出力する。

【０００５】図６の駆動回路２３においては発振回路１
４より振動性を有する信号を発生させ、分周回路２４に
てステータ３の共振周波数に対応し位相が異なる２つ以
上の振動性の信号群ｇを出力させる。この信号群ｇを受
けて電圧を昇圧する昇圧回路１６は駆動信号群ａを出力
する。駆動信号群ａは位相が異なり、周波数は同一であ
る。駆動信号群ａは、一般的には進行波をステータ３に
励振するために、π／２［ｒａｄ］だけ位相が異なる２
つの信号を与える。

【０００６】ロータ５の回転角を検出するためには、ロ
ータ５に内蔵された圧電体６に設けられた電極１０から
の振動性の電気信号ｂを比較回路１１によりデジタル信
号ｃに変換した後、このデジタル信号ｃとステータ３を
駆動している信号群ａと同期した信号ｄとの位相差を位
相差検出回路１２により検出し、ロータ５の回転角度に
対応した信号ｅを得る。

【０００７】図６の従来例のステータとロータの関係を
図７（ａ），（ｂ）に模式的に示してあり、ステータに
あるきざみやばね等は省略してある。ステータ３の基準
位置２５はステータ３に設定された極座標でθ＝０の位
置とした。

【０００８】図７において、ステータ３の中心を原点
に、ステータ３の円周上の一部をステータの基準位置２
５とし、半径方向に原点と基準位置とを結ぶ半直線を基
準に、円周方向に反時計回りの向きにステータ３の回転
位置θ［ｒａｄ］を、半径方向に長さｒ［ｍ］とする極
座標を設定する。

【０００９】Ａ［Ｖ］：入力電圧振幅ｄ［μｍ／ｖ］：電気振動−機械振動の変換率ｔ［ｓｅｃ］：時刻ｆ［Ｈｚ］：ステータ３に供給される信号の周波数（周
期） θ［ｒａｄ］：ステータ３上の位置ｎ：ステータ３に励振された進行波の波数とする。ここでは一般的に採用されている方法として、
位相の異なる２相の電気信号により進行波を励振するも
のとする。振動子２に入力する電気信号を、

【００１０】

【数１】

【００１１】とする。φ₁，φ₂の信号が加えられる圧
電素子の電極位置が互いにπ／２［ｒａｄ］位相ずれて
いることを考慮すると、ステータに励振される振動は

【００１２】

【数２】

【００１３】で表される。δ₁とδ₂とがステータで合
成されて進行波が励振される。進行波の振幅を表す式は

【００１４】

【数３】

【００１５】となる。さらに、図６のロータ５に内蔵さ
れた圧電体６の圧電効果による機械振動−電気振動の変
換率をｇ［Ｖ／μｍ］とし、圧電体６に設けられた電極
１０の位置をθとすると、ロータの電極１０から出力さ
れる電気信号を表す式は、

【００１６】

【数４】

【００１７】となる。

【００１８】ステータの基準位置２５での振動は（５）
式でθ＝０として、

【００１９】

【数５】

【００２０】で得られる。

【００２１】ロータに内蔵された圧電体の電極の位置が
θ＝０の位置、すなわち図７においてステータの基準位
置２５と同じ回転角の位置にある場合については、ロー
タの電極１０から出力される振動性の信号ｂは（６）式
でθ＝０として

【００２２】

【数６】

【００２３】となる。従って、ロータ５の電極１０がス
テータ３の基準位置２５と同じ回転角にある場合には、
（７）式と（８）式との間に回転角θに伴う位相差は生
じない。同様に、駆動回路２３からの分岐した信号ｇは
（１）式に示す信号φ₁と同期した信号でありこの
（１）式と（８）式との間にも回転角θに伴う位相差は
生じない。

【００２４】さて、ロータ５が回転してロータ５の電極
１０の位置が図７（ｂ）に図示したようにθ＝ｍ［ｒａ
ｄ］の場合には、ロータ５の電極１０から出力される信
号ｂは、（６）式においてθ＝ｍとして、

【００２５】

【数７】

【００２６】と表される。一方、ステータの基準位置で
の振動は（７）式と変わらず、あるいは、駆動回路２３
からの分岐した信号ｇも（１）式と変わらない。すなわ
ちロータの電極１０の位置がステータの基準位置と回転
角ｍ隔たった位置にある場合には、（９）式と（７）式
あるいは（９）式と（１）式で示されるように位相差は
ｍ・ｎとなる。ｎはステータに励振される進行波の波数
であり一定値であるから回転角ｍが増大すると位相差ｍ
・ｎも増大する。ｎはステータに励振される振動の波数
であり、ステータの設計により既知である。従って、ロ
ータの回転角に応じた位相差信号ｅを得ることにより、
ロータの回転角ｍ［ｒａｄ］を知ることができる。

【００２７】

【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の振
動波モータ装置では、ステータを構成する振動子（圧電
素子）には振幅は同じで位相の異なる電気信号φ₁，φ
₂を入力し、これら電気信号φ₁，φ₂が変換された振
動δ₁，δ₂が合成されて進行波がステータに励振され
る。しかし、実際には入力される（３）式，（４）式で
示される電気信号の振幅が同じで、位相差がπ／２［ｒ
ａｄ］であっても、実際に励振される機械振動の位相差
がπ／２［ｒａｄ］でない場合が生じる。この理由とし
ては、２つの信号に対して、圧電素子上に印刷された電極面積と電極位置の偏り、圧電素子の特性である電気信号から機械振動への変換
効率の偏り圧電素子と共振子との接合強度が異なることが原因として考えられる。そして、実際にステータ
に励振される振動の位相差に誤差が生じている場合に
は、ステータの振動とロータに内蔵された圧電体からの
信号との位相差が、ロータの回転角度に正しく対応しな
くなる。このことについて数式を用いて更に説明する。
電気信号φ₁，φ₂に対する電気−機械変換率をｄとす
ると、ステータ３に励振される振動は

【００２８】

【数８】

【００２９】となるが、さらに、φ₁，φ₂の信号が加
えられる圧電素子のうち、一方の電極位置が設計値の位
相差π／２［ｒａｄ］から誤差角ε［ｒａｄ］だけずれ
ている場合、すなわち位置位相誤差角εを持つ場合につ
いて考慮すると、ステータに励振される振動は

【００３０】

【数９】

【００３１】で示される。

【００３２】ｄ₂／ｄ₁＝αとおくと、ステータに励振
される波を表す式は

【００３３】

【数１０】

【００３４】で示される。

【００３５】但し、（１３）式は周期関数の逆関数であ
り、無限多価関数である。以降、特に注意しない限り−
π／２〜＋π／２の主値を対象とする。

【００３６】第１の電気信号による振動と第２の電気信
号による振動との位相差π／２に誤差εがある場合に、
ロータ５が回転してロータ５の電極１０の位置がθ＝ｍ
［ｒａｄ］の場合には、ロータ５の電極１０から出力さ
れる信号ｂは、（１２），（１３）式においてθ＝ｍと
して、

【００３７】

【数１１】

【００３８】となる。このとき、

【００３９】

【数１２】

【００４０】で示される回転角度の検出誤差が生じるこ
とになり問題である。

【００４１】本発明の目的は、このような問題を解決し
た振動波モータ装置を提供することにある。

【００４２】

【課題を解決するための手段】（１６）式で示される回
転角検出誤差は複数の駆動信号に対応したステータの振
動特性が位相的に同じでないこと、すなわち位置位相誤
差が生じていることが原因であるが、本発明においては
この均一性に欠けるステータの特性を駆動回路の方で駆
動信号の位相を調整してステータの不均一な特性を補正
することにより、（１６）式で示される周期的な回転角
検出誤差を低減するものである。

【００４３】すなわち、ステータの共振周波数に対応す
る周波数をもつ振動性の信号を発生する発振回路と、こ
の発振回路の出力信号を受けて位相を調整して出力する
信号のうち少なくとも一つの信号の位相を他の信号の位
相とは独立に変化させることができる位相調整回路と、
前記位相調整回路の出力を受けて電圧を増幅する昇圧回
路とを有する駆動回路とを備え、前記駆動回路の出力信
号を前記の振動子の入力信号として励振された前記ステ
ータの振動を圧力変動として検出する圧電体を前記ロー
タに備え、前記圧電体は少なくとも一部に周囲を絶縁し
て設けた電極と、この電極から出力される振動性の信号
を受けてこの信号と同期したデジタル信号に変換する比
較回路と、前記比較回路の出力信号と駆動回路から出力
され前記の共振子に入力する信号と同期した信号とを入
力して前記ロータの回転角に対応した位相差を検出する
位相差検出回路を備えることを特徴とする振動波モータ
装置を用いる。

【００４４】あるいは、前記の振動波モータ装置におい
て、振動子の一部に振動検出用の電極を設け、この電極
より出力される信号をデジタル信号に変換する比較回路
を設け、前記比較回路から出力される信号を、振動回路
から出力され前記の共振子に入力する信号と同期した信
号に代えて位相差検出回路に入力することを特徴とする
振動波モータ装置を用いることにより回転角検出の誤差
を低減できる。

【００４５】

【実施例】本発明の振動波モータ装置はステータを駆動
する信号群の位相を調整できる手段を備えることによ
り、駆動信号がステータ内で進行波に合成される際にお
いて、位相混合の不具合すなわち位置位相誤差が原因で
生じる進行波の歪を補正し、周期的に発生する不要な位
相遅れと進みを低減するように作用させる点が従来のも
のと異なる点である。

【００４６】次に本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００４７】図１において共振子１は、燐青銅やアルミ
青銅および黄銅などの弾性を有する材料で形成される。
共振子１の下面には振動子（圧電素子）２を接合してス
テータを構成する。振動子には、電気信号を入力してス
テータ３の屈曲進行波を励振する。振動子２は、ステー
タ３に屈曲進行波が生じることによって、楕円軌跡をも
つ振動を生ずる。この振動をライニング４に皿ばね８に
よって加圧して接触させることによって、ロータ５に回
転運動が生じる。

【００４８】ロータ５に設けた圧電体６は、圧力によっ
て生じる歪みに対して電圧が変化する圧力検出器であ
り、直径３０ｍｍ，厚さ０．５ｍｍの圧電素子を用いて
いる。

【００４９】圧電体６がステータ３と接触する表面に
は、耐摩耗性に優れたエンジニアリングプラスチクスを
用いたライニング４が接合されている。圧電体６の他方
の面は、ロータ５に接合されている。

【００５０】ロータ５に設けた圧電体６には、ステータ
３を励振される屈曲進行波の山と谷とに対応する位置に
電極１０を少なくとも一つ設けて、部分的な接触圧力を
検出し、電気信号ｂに変換して出力する。さらに感度を
増すために２系統それぞれについて位相角でπ［ｒａ
ｄ］隔てた位置にも電極１０を設ける。このπ［ｒａ
ｄ］の位相角を隔てた位置にある圧力検出用電極は互い
に逆方向に分極を施すことにより、位相角でπ［ｒａ
ｄ］の位置においてステータ３に励振されている振動の
凹凸に対応させる。そして最大でステータ３に励振され
る波数の２倍の数の電極１０を設け圧力検出群を構成す
る。

【００５１】回転角検出用電極１０からの出力は並列に
一つに接続され圧力検出信号ｂとなる。検出信号ｂは比
較回路１１によりゼロクロス点において信号のデジタル
化が行われる。このデジタル信号ｃは、図７のステータ
の基準位置２５に相当する振動と同期したパルス信号ｄ
ともに位相差検出回路１２に入力する。位相差検出回路
１２では、圧力検出信号とステータの基準位置２５の振
動に相当する信号ｄとを入力としてその位相差を検出す
る。この位相差が回転角に対応する。

【００５２】本発明による振動回路は位相調整回路を有
することを特徴とする。駆動回路１７は、発振回路１４
からの出力信号ｆを位相調整回路１５に入力し複数の異
なる位相差を持つ信号ｇを出力する。昇圧回路１６はこ
の信号群ｇを受けてステータ３の共振周波数に対応し、
振動子２を駆動するのに必要な電圧（５０ｖから１８０
ｖ）を持つ位相の異なる２つ以上の駆動信号群ａを出力
する。ここで駆動信号群ａの各信号の手段は同一であ
る。本発明では位相調整回路１５により、駆動信号群ａ
の各信号のうち少なくとも一つの信号の位相を他の信号
の位相とは独立に調整できるようにしている。

【００５３】以下、本発明の動作についてπ／２［ｒａ
ｄ］位相が異なる２つの駆動信号群ｇを与えてステータ
に進行波を励振する場合について数式を用いて説明す
る。

【００５４】位相調整回路１５を用いて信号を調整する
ことにより駆動側で操作できる変数として、ζ［ｒａ
ｄ］：駆動信号の設定値π／２［ｒａｄ］からの時間位
相補正量を設定する。ここで記述する時間位相補正量と
は駆動信号側で発生している信号の位相をずらす量のこ
とで、時間軸に対して波形をずらすことになるのでζを
時間位相補正と呼ぶことにする。

【００５５】ところで、ステータの進行波は２つの定在
波が合成されて励振されるが、駆動信号に施す位相補正
の量すなわち時間位相補正量を位相的なずれ、すなわち
位置位相誤差εが発生していない定在波に与える場合を
述べる。

【００５６】従って、ステータに励振される一方の定在
波は（１０）式にζを考慮し、

【００５７】

【数１３】

【００５８】とし、もう一方は（１１）式、

【００５９】

【数１４】

【００６０】である。これら２つの定在波がステータに
て混合されて歪のある進行波、

【００６１】

【数１５】

【００６２】が励振される。回転角θ＝ｍ［ｒａｄ］の
とき、回転角検出の誤差は

【００６３】

【数１６】

【００６４】である。

【００６５】さて、位相調整回路において一方の駆動信
号に位相差補正量ζ［ｒａｄ］を

【００６６】

【数１７】

【００６７】と設定した場合には、（２０）式に（２
１）式を代入して、

【００６８】

【数１８】

【００６９】となる。すなわち、ζを調整することによ
り、ε位置位相誤差が原因で発生する周期的な回転角検
出誤差を低減することができる。

【００７０】次に図１の駆動回路１７にある位相調整回
路１５についての構成例を、図２，図３を用いて示す。

【００７１】図２に示した位相調整回路１５は、位相の
シフトをデジタル論理を用いて行うものである。この例
では、発振回路１４からの出力信号ｆの周波数を分周し
て進行波の駆動信号の周波数とするほか、位相シフトの
最小シフト時間に用いる。このため発振器で発生させる
周波数としてはステータを駆動する周波数の１００倍か
ら１００００倍である。発振回路１４からの出力信号ｆ
を分岐させ、一方は位相をシフトさせるための位相シフ
タ回路１９ａのシフト量操作端子に入力する。また一方
は分周回路１８に入力しステータを駆動する周波数の４
倍にあたる周波数を持つデジタル信号ｈに分周する。分
周回路１８からの出力信号ｈも分岐させて一方は前記の
ものとは別の機能を持つ位相シフタ回路１９ｂに入力
し、他方は位相シフタ回路１９ａの被シフト入力端子に
入力する。位相シフタ回路１９ａの出力端子からは、発
振器の出力信号ｆが持つ周期の整数倍にあたる時間だけ
被シフト入力端子に加えられた入力信号ｈの位相を遅延
した信号群ｉが出力され、この信号群ｉは独立に設けた
位相シフタ回路１９ｂに入力する。２つの位相シフタ回
路１９ｂは、ステータ３を駆動する周波数の４倍の信号
ｊを受けて連続する２周期を“１”、これに続く連続す
る２周期を“０”とする信号を４つある出力端子ごとに
１周期ずつシフトさせて出力する。この結果、ステータ
を駆動する周波数を持ちπ／２［ｒａｄ］位相がずれた
４つの信号群を得ることができる。そして、２つの位相
シフタ回路１９ｂの出力をπ／２［ｒａｄ］ずれた出力
端子から取り出すように設定しておいたうえで、位相シ
フタ回路１９ａからの出力端子を切替器２０により順次
切り替えると、π／２［ｒａｄ］位相が異なるステータ
を駆動する２組の信号群ｇは、発振器の出力信号が持つ
周期だけ位相がπ／２［ｒａｄ］からずらすことができ
る。

【００７２】図３に示した位相調整回路１５は、位相の
シフトをアナログ的に行う回路の一例である。この実施
例においては、位相調整回路１５は、波形成形回路２１
により発振回路１４の出力信号ｆは必要ならば分周して
進行波の駆動周波数を持つ正弦波形の信号ｋとする。こ
の信号ｋを分岐して、一方は電圧を増幅する昇圧回路１
６に入力する。もう一方の信号は位相進み回路と差動増
幅回路とからなる位相シフト回路２２に入力する。位相
シフト回路２２の出力は昇圧回路１６に入力する。ステ
ータ３を駆動する２つの信号をπ／２［ｒａｄ］からず
らすためには、位相シフト回路２２の可変抵抗を変化さ
せることにより行う。

【００７３】以上が位相調整回路１５の一例の一部であ
るが、次に回転角検出誤差の低減を実験結果により紹介
する。

【００７４】図４（ａ）は本発明による振動波モータ装
置の回転角検出処理方法を用いて測定を行った回転角検
出における誤差の実測例を示すグラフである。本発明に
よるステータ駆動信号の位相調整をせずに回転角検出の
測定を行った実測例を、図４（ｂ）に示す。図４
（ａ），（ｂ）において、横軸はステータの基準位置に
対するロータの回転角度を、ステータに励振された進行
波の一波長を２π［ｒａｄ］とする位相角で示した軸で
あり、ロータ１回転では１０π（波数×２π）［ｒａ
ｄ］である。縦軸には検出された回転角の位相角を回転
角に換算（波数で割る）した角度から、実際の回転角度
を差し引いた回転角度検出誤差を［ｄｅｇ］で示してい
る。図４（ａ）に示した本発明による振動波モータ装置
を用いて検出した回転角検出誤差は、従来例を示す図４
（ｂ）にみられる回転角検出誤差の内、進行波の波長の
１／２、すなわち位相角π［ｒａｄ］を一波長に持つ周
期的な誤差が低減されて従来例に比べて小さい。

【００７５】ところで、ステータの基準位置２５に相当
する振動を電気信号ｄとして取り出す方法には２つあ
る。一つは図１に示したようにステータ３に供給される
モータ駆動回路１７から分岐した信号ｄを使用する方法
である。圧電素子駆動用の信号群ａに変換する昇圧回路
１６の手前からデジタル信号の状態で分岐させることが
できるため特別な回路が不要な点が長所である。また別
の方法は本発明の第２の実施例を示す図５にあるよう
に、ステータ３の機械振動を振動検出器を用いて取り出
す方法で、ステータ３を駆動している圧電素子上にセン
サ用電極７を作り、そこから電気信号を取り出し、比較
回路１１′によりデジタル信号１３に変換して位相差検
出回路１２に入力する方法である。共振状態の圧電素子
に流入する電圧と電流とは、共振状態の変化により両者
の位相関係が外部負荷や環境温度により変動する。図１
の方法では共振状態の変化を検出することは不可能なの
に対して、図５の方法はステータ３の振動を直接検出し
ているので共振状態の変化に対して誤差が発生するおそ
れがないのが長所である。

【００７６】また、実際の圧力検出信号ｂには不要な機
械振動や、圧電体上に設けた電極の容量に起因する共振
等がノイズとし混在することを防止するため、ステータ
３の駆動振動の周波数を中心周波数とする信号成分だけ
を取り出す帯域通過フィルタを圧力検出用圧電体６と比
較回路１１の間に設けることにより、検出信号ｂの安定
化を図り回転角検出に対して信頼性が向上する。

【００７７】

【発明の効果】駆動用の振動子である圧電素子上に設け
られた電極の形状、圧電素子の特性である電気信号から
機械振動への変換効率、及び振動子と共振子との接合強
度などにばらつきが生じることによって発生する回転角
検出特性の周期的な誤差に対して、本発明の振動波モー
タ装置は、ステータを駆動する信号群の位相を調整でき
るために位相混合の不具合すなわち位置位相誤差が原因
で生じる進行波の歪を補正し、周期的に発生する不要な
位相遅れと進みを低減することができ、回転角検出精度
の向上に効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示した分解斜視図を含
むブロック図である。

【図２】図１の位相調整回路の一例を示したブロック図
である。

【図３】図１の位相調整回路の他の例を示したブロック
図である。

【図４】図１に示す実施例における回転角検出誤差、お
よび従来の回転角検出誤差の実施例を示すグラフであ
る。

【図５】本発明の第２の実施例を示す分解斜視図を含む
ブロック図である。

【図６】従来の振動波モータ装置を示す分解斜視図を含
むブロック図である。

【図７】図６に示す従来例および図１に示す本発明を示
す実施例に共通な回転角検出の動作原理を説明するため
の図である。

【符号の説明】

１共振子２振動子３ステータ４ライニング５ロータ６圧電体７センサ電極８ばね９ロータ基板１０電極１１比較回路１２位相差検出回路１３回転角検出回路１４発振回路１５位相調整回路１６昇圧回路１７，２３駆動回路１８，２４分周回路１９ａ，１９ｂ，２２位相シフタ回路２０切替器２１波形成形回路２５基準位置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】振動波形を有する電気信号を入力して機械
振動に変換する振動子と、前記振動子と結合した共振子
とを有するステータと、前記ステータに加圧されて接触
するロータとを備える振動波モータにおいて、前記ステータの共振周波数に対応する周波数を持つ振動
性の信号を発生する発振回路、この発振回路の出力信号
を受けて位相を調整して出力する信号のうち少なくとも
一つの信号の位相を他の信号の位相とは独立に変化させ
ることができる位相調整回路、前記位相調整回路の出力
を受けて電圧を増幅する昇圧回路とを有する駆動回路を
備え、前記駆動回路の出力信号を前記の振動子の入力信
号として励振された前記ステータの振動を圧力変動とし
て検出する圧電体を前記ロータに備え、前記圧電体は少
なくとも一部に周囲を絶縁して設けた電極と、この電極
から出力される振動性の信号を受けてこの信号と同期し
たデジタル信号に変換する比較回路と、前記比較回路の
出力信号と駆動回路から出力され前記の共振子に入力す
る信号と同期した信号とを入力して前記ロータの回転角
に対応した位相差を検出する位相差検出回路を備えるこ
とを特徴とする振動波モータ装置。
【請求項２】請求項１記載の振動波モータ装置におい
て、振動子の一部に振動検出用の電極を設け、この電極より
出力される信号をデジタル信号に変換する比較回路を設
け、前記比較回路から出力される信号を、請求項１に記
載した駆動回路から出力され前記の共振子に入力する信
号と同期した信号に代えて位相差検出回路に入力するこ
とを特徴とする振動波モータ装置。