JPS59185178A - 振動型モ−タ及びその駆動方法 - Google Patents
振動型モ−タ及びその駆動方法Info
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- JPS59185178A JPS59185178A JP58059603A JP5960383A JPS59185178A JP S59185178 A JPS59185178 A JP S59185178A JP 58059603 A JP58059603 A JP 58059603A JP 5960383 A JP5960383 A JP 5960383A JP S59185178 A JPS59185178 A JP S59185178A
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- Japan
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- vibration
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- vibration type
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 12
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 abstract 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明はモータ、特に個体を振動させて表面波をつくシ
これによシ他の個体を駆動する、振動型モータ及びその
駆動方法に関するものである。
これによシ他の個体を駆動する、振動型モータ及びその
駆動方法に関するものである。
（従来技術）
従来の振動型モータに関して図面により説明する。第１
図は従来知られている振動型モータの構成を示す斜視図
である。１は振動して駆動源となるリング板であ）、複
数個の加振用電気機械変換ツク） ２＆、 ２ｂ、 ２
Ｑ、 ２ａが貼υ付けられている。このＥＥｔセ２ミッ
ク２ａ〜２ｄに対してリング板１が共振するような周波
数ｆＯで加振してやるが、このとき、圧電セラミック２
ＩＬ、２Ｃと圧電上２ミック２ｂ、 ２ａで振動の位相
をずらすことによυリング板１に共振した進行波の表面
波を形成してやる。４は被駆動体であυ、リング板１と
摩擦する面に摩擦体６を貼カ付けである。５はホルダー
６に対して振動が伝搬しないようにするための吸振体で
ある。ホルされて、摩擦体６とリング板１が圧着する。
図は従来知られている振動型モータの構成を示す斜視図
である。１は振動して駆動源となるリング板であ）、複
数個の加振用電気機械変換ツク） ２＆、 ２ｂ、 ２
Ｑ、 ２ａが貼υ付けられている。このＥＥｔセ２ミッ
ク２ａ〜２ｄに対してリング板１が共振するような周波
数ｆＯで加振してやるが、このとき、圧電セラミック２
ＩＬ、２Ｃと圧電上２ミック２ｂ、 ２ａで振動の位相
をずらすことによυリング板１に共振した進行波の表面
波を形成してやる。４は被駆動体であυ、リング板１と
摩擦する面に摩擦体６を貼カ付けである。５はホルダー
６に対して振動が伝搬しないようにするための吸振体で
ある。ホルされて、摩擦体６とリング板１が圧着する。
このような状態で第２図に示すようにリング板１の表面
に表面波１ａが発生し点線で示した表面波１ｂのように
矢印Ｘ方向へ進行すると、表面でのリング板１の質点の
運動によシ摩擦体６および被駆動体４が矢印Ｙ方向へ移
動する。
に表面波１ａが発生し点線で示した表面波１ｂのように
矢印Ｘ方向へ進行すると、表面でのリング板１の質点の
運動によシ摩擦体６および被駆動体４が矢印Ｙ方向へ移
動する。
振動の振巾Ａは一般に第６図に示すように共振状態のと
き最も大きくなるので、実際に加振するときの周波数で
１は、振動系の共振周波数ｆ０と一致させている。また
共振点ｆＯをずれるとほとんど振動しないことがわかる
。ところが使用する温度により機械的な共振点ｆｏが変
化してしまうため、実際には温度によシ駆動する周波数
で１を変化させなければならない。
き最も大きくなるので、実際に加振するときの周波数で
１は、振動系の共振周波数ｆ０と一致させている。また
共振点ｆＯをずれるとほとんど振動しないことがわかる
。ところが使用する温度により機械的な共振点ｆｏが変
化してしまうため、実際には温度によシ駆動する周波数
で１を変化させなければならない。
第４図は別のタイプの振動型モーフの例を示すものであ
シ、軸９に対して圧電セラミック１０゜１１が貼シ付け
られている。１２．１５は共に支持体である。この軸９
に対して共振周波数ｆＯに等しい加振周波数で１で圧電
セラミック１０．１１を駆動し、更に、圧電セラミック
１０と１１の位相を、一方を振動発生、他方を振動吸収
と云う具合いにする。これによシ軸９に進行する表面波
が発生し、摩擦体１４を第２図と同様の原理により移動
させ被駆動体１５が駆動される。
シ、軸９に対して圧電セラミック１０゜１１が貼シ付け
られている。１２．１５は共に支持体である。この軸９
に対して共振周波数ｆＯに等しい加振周波数で１で圧電
セラミック１０．１１を駆動し、更に、圧電セラミック
１０と１１の位相を、一方を振動発生、他方を振動吸収
と云う具合いにする。これによシ軸９に進行する表面波
が発生し、摩擦体１４を第２図と同様の原理により移動
させ被駆動体１５が駆動される。
共振点ｆ、に対しての振巾の変化は第５図と同様な傾向
を示す。この場合も温度によυ共振点がずれるとともに
被駆動体１５の位置によっても共振点が移動する。
を示す。この場合も温度によυ共振点がずれるとともに
被駆動体１５の位置によっても共振点が移動する。
（目 的）
本発明は上述したような欠点に鑑み振動型モータにおけ
る、温度変化等による共振点ｆｏの変化に対して加振周
波数で１を追従させることによシ常に良好な駆動を保証
し得る該−動型七−タ及びその駆動方法を提供せんとす
るものである。
る、温度変化等による共振点ｆｏの変化に対して加振周
波数で１を追従させることによシ常に良好な駆動を保証
し得る該−動型七−タ及びその駆動方法を提供せんとす
るものである。
（実施例）
第５図は本発明の振動型モータの一実施例を示すもので
、これは、第１図のものに対して振動検出用の機械電気
変換素子ＳＡを円筒板１に貼シ付けた構成を有している
。この素子ＳＡによυ円筒ｒｉ、１の振動状態、例えば
、振巾を検出することができる。
、これは、第１図のものに対して振動検出用の機械電気
変換素子ＳＡを円筒板１に貼シ付けた構成を有している
。この素子ＳＡによυ円筒ｒｉ、１の振動状態、例えば
、振巾を検出することができる。
第６図は第４図に示した別のタイプの振動型モータに対
する本発明の一実施例であり、第４図のものに対して機
械電気変換素子ＳＢを軸９に貼シ付けた構成を有してい
る。これによシ軸９の振動状態、例えば、振巾を検出す
ることができる。
する本発明の一実施例であり、第４図のものに対して機
械電気変換素子ＳＢを軸９に貼シ付けた構成を有してい
る。これによシ軸９の振動状態、例えば、振巾を検出す
ることができる。
第７図は素子ＳＡ或いはＳＢを使用した本発明の駆動方
法に従う駆動回路の一例のブロック図を示す。１６は電
圧制御発振器（以下ＶＣＯ）であシ、１７は周波数変調
器、１Ｂは増ｒＩＪ器、１９は移相器、２０はピーク周
波数検出器、２１はスイッチである。
法に従う駆動回路の一例のブロック図を示す。１６は電
圧制御発振器（以下ＶＣＯ）であシ、１７は周波数変調
器、１Ｂは増ｒＩＪ器、１９は移相器、２０はピーク周
波数検出器、２１はスイッチである。
次に動作を説明する。初めＫＶＣＯｌ ６より所定の周
波数で１の信号色が出力される。これに対してスイッチ
２１は２１ｂ側になっており、周波数変調器１７によυ
ｆ１に対して所定の周波数偏差△ｆをもった、ｆｌ±△
ｆの間で掃引された信号すが出力される。この信号すを
増巾器１８により増巾して信号Ｃとして圧電セラミック
２．．２Ｑへ、又、移相器１９を介して信号Ｃに対して
位相を所定量（例えば９０度）ずらした信号ｄを圧電セ
ラミック２ｂ、 ２ａに附与され、信号Ｃとｄによυ所
定の進行波が形成される。この様にすることによシ、温
度変化により共振点ｆ０が変化しても駆動周波数に於て
この変化した共振点ｆＯを捉えることが出来る。勿論、
この時の△ｆは予想される温度変化に因る共振点ｆ、の
変動中をカバーし得る様に選ばれるものである。この時
の振動の振巾な検出素子ＳＡで検出する。この検出信号
ｅと駆動信号すとをピーク周波数検出器２０に入力し、
この時のピーク周波数に対応する電圧ｇをｖｃｏｌ ６
に入力して共振周波数ｆＯに対応した周波数ｉ−１／で
駆動する。ピーク周波数が検知された後は、スイッチ２
１を２１＆側に切換えて共振周波数ｔｏに対応した１
１／で駆動する。
波数で１の信号色が出力される。これに対してスイッチ
２１は２１ｂ側になっており、周波数変調器１７によυ
ｆ１に対して所定の周波数偏差△ｆをもった、ｆｌ±△
ｆの間で掃引された信号すが出力される。この信号すを
増巾器１８により増巾して信号Ｃとして圧電セラミック
２．．２Ｑへ、又、移相器１９を介して信号Ｃに対して
位相を所定量（例えば９０度）ずらした信号ｄを圧電セ
ラミック２ｂ、 ２ａに附与され、信号Ｃとｄによυ所
定の進行波が形成される。この様にすることによシ、温
度変化により共振点ｆ０が変化しても駆動周波数に於て
この変化した共振点ｆＯを捉えることが出来る。勿論、
この時の△ｆは予想される温度変化に因る共振点ｆ、の
変動中をカバーし得る様に選ばれるものである。この時
の振動の振巾な検出素子ＳＡで検出する。この検出信号
ｅと駆動信号すとをピーク周波数検出器２０に入力し、
この時のピーク周波数に対応する電圧ｇをｖｃｏｌ ６
に入力して共振周波数ｆＯに対応した周波数ｉ−１／で
駆動する。ピーク周波数が検知された後は、スイッチ２
１を２１＆側に切換えて共振周波数ｔｏに対応した１
１／で駆動する。
斯くして、振動系の共振周波数が変化しても常にそれに
追従することが可能であシ、温度や振動系の変化があっ
ても、モータを良好に駆動することが可能となる。
追従することが可能であシ、温度や振動系の変化があっ
ても、モータを良好に駆動することが可能となる。
第８図は第７図で説明した回路系に於て共振周波数を検
出している状態、即ち、第７図でスイッチ２１が２１１
＋にある時のピーク周波数検出器２０の動作を更に詳細
に説明するためのプ田ツク図である。図において、ピー
ク周波数検出を開始する状態においてはカウンタ２４は
リセツ）されている。ピーク検出開始とともにカウンタ
２４が動作し、その出力に応じた制御電圧ｇが制御電圧
発生器２５よ、！１ｌｌｖＣＯ１６に出力される。尚、
図中、２２は振巾検出回路、２５は比較及び記憶回路で
ある。
出している状態、即ち、第７図でスイッチ２１が２１１
＋にある時のピーク周波数検出器２０の動作を更に詳細
に説明するためのプ田ツク図である。図において、ピー
ク周波数検出を開始する状態においてはカウンタ２４は
リセツ）されている。ピーク検出開始とともにカウンタ
２４が動作し、その出力に応じた制御電圧ｇが制御電圧
発生器２５よ、！１ｌｌｖＣＯ１６に出力される。尚、
図中、２２は振巾検出回路、２５は比較及び記憶回路で
ある。
第９図はｖｃｏｌ ６の公知の回路例を示すもので、カ
ウンタ２４の出力値と対応した制御電圧ｇによって圧電
セラミック２ａ〜２ｄには前述の如＜ｆｌ−Ｎ１からｆ
１＋Ｎ１の間の周波数を持つ電圧が附与される。図中、
Ｒ１−Ｒ４は抵抗、Ｄｌ、Ｄ＝はダイオード、ＣＯはコ
ンデンサ、ＱＩＮＱ４はトランジスタである。カウンタ
２４のカウント値がルの時の制御電圧いに対する駆動周
波数をｉｎ （ｆ、−△ｆ≦ｆｎ≦ｆ１＋Δｆｚ）とす
ると、この時の振巾は、検出素子ＳＡに接続された振巾
検出回路２２によって知ることができる。第１０図及び
第１１図は、この振巾検出回路２２０２′：）の例を示
すもので、第１０図の例では、検出素子ＳＡとしてはひ
ずみゲージ２６を用い、又第１１図に示した例では、圧
電素子２７を用いてその出力からそのまま検出するもの
である。尚、第１０．１１図中、Ｒ１１−Ｒｌｓは抵抗
、Ｅは’ａ源、ＡＭＰは増巾器である。
ウンタ２４の出力値と対応した制御電圧ｇによって圧電
セラミック２ａ〜２ｄには前述の如＜ｆｌ−Ｎ１からｆ
１＋Ｎ１の間の周波数を持つ電圧が附与される。図中、
Ｒ１−Ｒ４は抵抗、Ｄｌ、Ｄ＝はダイオード、ＣＯはコ
ンデンサ、ＱＩＮＱ４はトランジスタである。カウンタ
２４のカウント値がルの時の制御電圧いに対する駆動周
波数をｉｎ （ｆ、−△ｆ≦ｆｎ≦ｆ１＋Δｆｚ）とす
ると、この時の振巾は、検出素子ＳＡに接続された振巾
検出回路２２によって知ることができる。第１０図及び
第１１図は、この振巾検出回路２２０２′：）の例を示
すもので、第１０図の例では、検出素子ＳＡとしてはひ
ずみゲージ２６を用い、又第１１図に示した例では、圧
電素子２７を用いてその出力からそのまま検出するもの
である。尚、第１０．１１図中、Ｒ１１−Ｒｌｓは抵抗
、Ｅは’ａ源、ＡＭＰは増巾器である。
この様にして知った、カウンタ２４のカウント値がかの
時の振巾は比較及び記憶回路２ろに送られ記憶され石と
ともにルー１の時の振巾値Ａ３−１と比較される。又、
カウンタ２４のカウント値がル＋１の時の振巾値ＡＴＬ
−１−ｚがルの時の振巾値Ａｓと比較される。この様に
カウンタ２４の分解能に応じたΔｔごとの振巾を比較し
ていくが、この時振巾傭人の変化は、第６図で示した共
振周波数の左側の状態から走査していくためピーク検出
開始時点では共振周波数がｆｌ±△ｆ１の間にある。即
ち本実施例で共振周波数の検出が可能な範囲においては
共振周波数ｆ（１−ｆｌ−Ｎｚの時を除き、必ず３ ｍ
１の時の振巾値よシル−２の時の振巾値の方が大であ
る。
時の振巾は比較及び記憶回路２ろに送られ記憶され石と
ともにルー１の時の振巾値Ａ３−１と比較される。又、
カウンタ２４のカウント値がル＋１の時の振巾値ＡＴＬ
−１−ｚがルの時の振巾値Ａｓと比較される。この様に
カウンタ２４の分解能に応じたΔｔごとの振巾を比較し
ていくが、この時振巾傭人の変化は、第６図で示した共
振周波数の左側の状態から走査していくためピーク検出
開始時点では共振周波数がｆｌ±△ｆ１の間にある。即
ち本実施例で共振周波数の検出が可能な範囲においては
共振周波数ｆ（１−ｆｌ−Ｎｚの時を除き、必ず３ ｍ
１の時の振巾値よシル−２の時の振巾値の方が大であ
る。
この様にして、カウンタ２４の出力値に対応して前回と
今回の振巾値を順次比較していき、振巾値がピークを越
えて初めてかの時の振巾値紅とル＋１の時の振巾値Ａル
＋１の大小関係がＡ３＋ｚ＜Ａルとなる。よって、この
振巾値の大小関係が反転した時のカウンタ出カルを記憶
しておき、その値の制御電圧ｇｎでＶＣＯｌ ６を駆動
することによυ共振点ｆ、を維持する。
今回の振巾値を順次比較していき、振巾値がピークを越
えて初めてかの時の振巾値紅とル＋１の時の振巾値Ａル
＋１の大小関係がＡ３＋ｚ＜Ａルとなる。よって、この
振巾値の大小関係が反転した時のカウンタ出カルを記憶
しておき、その値の制御電圧ｇｎでＶＣＯｌ ６を駆動
することによυ共振点ｆ、を維持する。
第７図の回路系では、最初にでよ±Ｎの範囲で掃引した
後、切換えているが例えば、この切換えを行わずに常に
共振点ｆ、をサーチしながら駆動することも可能であυ
、これは、特に被駆動体が移動する第４図の様なタイプ
では有効である。又、温度変化のはげしい条件下の使用
の場合にもこの様な方法が有効である。更に時系列的に
スイッチ２１を切換えて一定時間サーチして、所定時間
駆動し、又、サーチしてという様な方法も持って良いも
のである。
後、切換えているが例えば、この切換えを行わずに常に
共振点ｆ、をサーチしながら駆動することも可能であυ
、これは、特に被駆動体が移動する第４図の様なタイプ
では有効である。又、温度変化のはげしい条件下の使用
の場合にもこの様な方法が有効である。更に時系列的に
スイッチ２１を切換えて一定時間サーチして、所定時間
駆動し、又、サーチしてという様な方法も持って良いも
のである。
（効 呆ン
以上説明した様に、本発明によれば、環境温度変化等に
対しても常に良好な且つ効率の良い振動型モータの駆動
状態を保証出来る様になるものである。
対しても常に良好な且つ効率の良い振動型モータの駆動
状態を保証出来る様になるものである。
第１図は振動用モータの構成を示す斜視図である。
第２図は振動型モータの駆動原理を説明するための図で
ある。 第６図は共振特性を示す図である。 第４図は別の型の振動型モータの構成を示す図である。 第５図は本発明を第１図に示した如き構成のモータに適
用した場合の一実施例を示す斜視図である０ 第６図は本発明を第４図に示した如き構成のモータに適
用した場合の一実施例を示す図である。 第７図は本発明の方法に従った駆動回路の一例を示すブ
ロック図である。 第８図は第７図示回路中の要部の詳細を説明するための
ブロック図である。 第９図、第１０図、及び第１１図は第８図示回路中の要
部回路の具体的構成を示す部分回路図である。 １１１５・・・第１の個体、４Ｉ９・・・第２の個体、
２Ｐ−２４＋ １４・・・加振用電気・機械変換素子（
圧電セラミック）、５ＡＩＳＢＩＩａ１１振動状態（振
巾）検出用素子、２６・・・ひずみゲージ、２７・０圧
電素子、１６・・・電圧制御発振器、１７・・φ周波数
変調器、１９・・・移相器、２０・・−ビーク周波数検
出器。
ある。 第６図は共振特性を示す図である。 第４図は別の型の振動型モータの構成を示す図である。 第５図は本発明を第１図に示した如き構成のモータに適
用した場合の一実施例を示す斜視図である０ 第６図は本発明を第４図に示した如き構成のモータに適
用した場合の一実施例を示す図である。 第７図は本発明の方法に従った駆動回路の一例を示すブ
ロック図である。 第８図は第７図示回路中の要部の詳細を説明するための
ブロック図である。 第９図、第１０図、及び第１１図は第８図示回路中の要
部回路の具体的構成を示す部分回路図である。 １１１５・・・第１の個体、４Ｉ９・・・第２の個体、
２Ｐ−２４＋ １４・・・加振用電気・機械変換素子（
圧電セラミック）、５ＡＩＳＢＩＩａ１１振動状態（振
巾）検出用素子、２６・・・ひずみゲージ、２７・０圧
電素子、１６・・・電圧制御発振器、１７・・φ周波数
変調器、１９・・・移相器、２０・・−ビーク周波数検
出器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）第１の個体の複数の場所に加振用電気−機械変換
素子を設け、上記複数個の加振用電気・機械変換素子を
互に興なる位相をもって共通の周波数で振動させ、上記
第１の個体に進行する表面波を形成し、該表面に第２の
個体を接し摩擦により表面波で上記第１及び第２の個体
間に相対移動を生ぜしめる振動型上−夕の駆動方法に於
て、加振振動周波数ｆ′を所定の周波数ｆに対して、ｆ
を中心に周波数偏差△ｆ内で変化さ含、ｆ’−ｆ±△ｆ
として振動させることを特徴とする振動型モータの駆動
方法。 （′２Ｊ上記加振振動周波数ｆ′をｆ−ｆ±△ｆの範囲
で変化させる際に上記第１の個体の振動状態を検出し、
それをもとに上記周波数ｆ′を制御する様にした特許請
求の範囲第（１）項記載の振動型モータの駆動方法。 （３）第１の個体の複数の場所に加振用電気ψ機械変換
素子を設け、上記複数個の加振用電気＃機械変換素子を
互に異なる位相をもって共通の周波数で振動させ、上記
第１の個体に進行する表面波を形成し、該表面に第２の
個体を接し摩擦によシ表百波で上記に１及び第２の個体
間に相対移動を生ぜしめる振動型モータに於て、上記第
１の個体に該第１の個体の振動状態を検出するための機
械−電気変換素子を設けたことを特徴とする振動型モー
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58059603A JPS59185178A (ja) | 1983-04-04 | 1983-04-04 | 振動型モ−タ及びその駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58059603A JPS59185178A (ja) | 1983-04-04 | 1983-04-04 | 振動型モ−タ及びその駆動方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5159061A Division JPH0662588A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 振動波モーター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59185178A true JPS59185178A (ja) | 1984-10-20 |
| JPH0461593B2 JPH0461593B2 (ja) | 1992-10-01 |
Family
ID=13117992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58059603A Granted JPS59185178A (ja) | 1983-04-04 | 1983-04-04 | 振動型モ−タ及びその駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59185178A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61124276A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-12 | Marcon Electronics Co Ltd | 圧電型超音波リニアモ−タ |
| JPS645378A (en) * | 1987-06-26 | 1989-01-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic motor driving gear |
| US5159253A (en) * | 1987-02-24 | 1992-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Control device for a vibration wave motor |
| JPH07123756A (ja) * | 1994-04-22 | 1995-05-12 | Nikon Corp | 超音波モータ |
| JPH07123755A (ja) * | 1994-04-22 | 1995-05-12 | Nikon Corp | 超音波モータ |
| JPH07123757A (ja) * | 1994-04-22 | 1995-05-12 | Nikon Corp | 超音波モータ |
| JPH07143773A (ja) * | 1985-11-20 | 1995-06-02 | Nikon Corp | 超音波振動を利用した超音波モーター |
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-
1983
- 1983-04-04 JP JP58059603A patent/JPS59185178A/ja active Granted
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| US5159253A (en) * | 1987-02-24 | 1992-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Control device for a vibration wave motor |
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| JPH07123757A (ja) * | 1994-04-22 | 1995-05-12 | Nikon Corp | 超音波モータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0461593B2 (ja) | 1992-10-01 |
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