JPS63268477A - 振動波モ−タの駆動回路 - Google Patents
振動波モ−タの駆動回路Info
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
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- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
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- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の利用分野]
本発明は、振動体に生ぜしめた進行性振動波により、振
動体と接している移動体を摩擦駆動するいわゆる振動波
モータ、特にその駆動回路に関するものである。
動体と接している移動体を摩擦駆動するいわゆる振動波
モータ、特にその駆動回路に関するものである。
[発明の概要]
振動波モータの原理を概略第2図および第3図にて説明
すると、la、lbは電歪素子または磁歪素子など電気
機械エネルギー変換素子、例えばPZT (チタン酸
ジルコン鉛)である。2はリング状の板の形をした振動
体で弾性物質からなり、その片面に前記電歪素子1a、
Ibが接着されている。振動体2は電歪素子1a、1b
と共にステータ(不図示)側に保持されている。3は移
動体であり、振動体2の他面に対し押圧接触されたリン
グ板状のロータを形成している。電歪素子1は振動体2
の周方向に複数個配列されており、そのうち一群(これ
をA相という)の電歪素子1aに対して他の一群(これ
をB相という)の電歪素子1bは振動波の波長λの17
4だけずれたピッチで配置される。群内での各電歪素子
1a、la、1a・・・は1/2波長のピッチで、相隣
り合うものの極性が逆になるように配置されている。電
歪素子1b、lb。
すると、la、lbは電歪素子または磁歪素子など電気
機械エネルギー変換素子、例えばPZT (チタン酸
ジルコン鉛)である。2はリング状の板の形をした振動
体で弾性物質からなり、その片面に前記電歪素子1a、
Ibが接着されている。振動体2は電歪素子1a、1b
と共にステータ(不図示)側に保持されている。3は移
動体であり、振動体2の他面に対し押圧接触されたリン
グ板状のロータを形成している。電歪素子1は振動体2
の周方向に複数個配列されており、そのうち一群(これ
をA相という)の電歪素子1aに対して他の一群(これ
をB相という)の電歪素子1bは振動波の波長λの17
4だけずれたピッチで配置される。群内での各電歪素子
1a、la、1a・・・は1/2波長のピッチで、相隣
り合うものの極性が逆になるように配置されている。電
歪素子1b、lb。
1b・・・についても同様である。
二のような構成の振動波モータにおいて一つの群(A相
)の電歪素子1aにVo・sinωTの交流電圧を印加
し、もう一方の群(B相)の電歪素子1bにV o−c
osωTの交流電圧を印加すると、各電歪素子は相隣り
合うものどうし極性が逆向きで二つの群どうし90”位
相のずれた交流電圧が印加されて伸縮振動をする。この
振動が伝えられて振動体2は電歪素子1a、lbの配置
ピッチに従って曲げ振動をする。この曲げ振動は、振動
体2が一つおぎの電歪素子の位置で出っ張ると、他の一
つおきの電歪素子の位置が引っ込むという風になる。一
方、前記の如く電歪素子の一群1aは他の一群1bに対
し、174波長ずれた位置にあるため曲げ振動は電圧素
子の配列方向に進行する。交流電圧が印加されている間
、次々と振動が励起されて、進行性曲げ振動波となって
振動体2を周方向に伝わってゆく。
)の電歪素子1aにVo・sinωTの交流電圧を印加
し、もう一方の群(B相)の電歪素子1bにV o−c
osωTの交流電圧を印加すると、各電歪素子は相隣り
合うものどうし極性が逆向きで二つの群どうし90”位
相のずれた交流電圧が印加されて伸縮振動をする。この
振動が伝えられて振動体2は電歪素子1a、lbの配置
ピッチに従って曲げ振動をする。この曲げ振動は、振動
体2が一つおぎの電歪素子の位置で出っ張ると、他の一
つおきの電歪素子の位置が引っ込むという風になる。一
方、前記の如く電歪素子の一群1aは他の一群1bに対
し、174波長ずれた位置にあるため曲げ振動は電圧素
子の配列方向に進行する。交流電圧が印加されている間
、次々と振動が励起されて、進行性曲げ振動波となって
振動体2を周方向に伝わってゆく。
このときの波の進行状態が第3図(a) 、 (b)
。
。
(C) 、 (d)に示しである。いま、進行性曲げ振
動波が矢示X+力方向進むとする。0を静止状態に於け
る振動体2の中心面とするとこの中心面は振動状態では
鎖線で示す中立面6となり、こ・の中立面6では曲げに
よる応力が拮抗している。いま中立面6と直交する断面
を一般的に7で表わし、断面7と中立面6との交線を一
般的に5で表わし、断面7と振動体2の移動体3側の表
面との交線上の点を一般的にPで表わし、これらを特定
的に表わすときには、添数字を付して表わすことにする
。中立面6と直交する断面7についてみると、これら二
面の交線5では応力がかからず、交線Sは上下振動をす
るだけである。同時に断面7は交線5を中心として左右
の振り子振動をする。従って、点Pは上下運動と左右運
動を合成した運動をするが、これを次に詳説する。
動波が矢示X+力方向進むとする。0を静止状態に於け
る振動体2の中心面とするとこの中心面は振動状態では
鎖線で示す中立面6となり、こ・の中立面6では曲げに
よる応力が拮抗している。いま中立面6と直交する断面
を一般的に7で表わし、断面7と中立面6との交線を一
般的に5で表わし、断面7と振動体2の移動体3側の表
面との交線上の点を一般的にPで表わし、これらを特定
的に表わすときには、添数字を付して表わすことにする
。中立面6と直交する断面7についてみると、これら二
面の交線5では応力がかからず、交線Sは上下振動をす
るだけである。同時に断面7は交線5を中心として左右
の振り子振動をする。従って、点Pは上下運動と左右運
動を合成した運動をするが、これを次に詳説する。
第3図(a)は任意の一時点での状態を示しており、面
Oと中立面6との交線51を通る断面7□と振動体2の
移動体3側の表面との交線上の点P1は、左右振動の右
死点となっていて上方向運動だけしており、他方、波の
正側(面Oの上側)にある交線52に対応する点P、に
は左方向(波の進行方向X、と逆のX2方向)の運動成
分が加わり、また波の負側(面0の下側)にある交線5
3に対応する点P3には右方向の運動成分が加わる。
Oと中立面6との交線51を通る断面7□と振動体2の
移動体3側の表面との交線上の点P1は、左右振動の右
死点となっていて上方向運動だけしており、他方、波の
正側(面Oの上側)にある交線52に対応する点P、に
は左方向(波の進行方向X、と逆のX2方向)の運動成
分が加わり、また波の負側(面0の下側)にある交線5
3に対応する点P3には右方向の運動成分が加わる。
その後、波が進行して、第3図 (b)に示すように波
の正側に前記の交線5.が来ると、点P1は左方向の運
動をすると同時に上方向の運動をする。更に同図(C)
の時点では語意PIは上下振動の上死点に来て左方向の
運動だけをする。更に (d)の時点では語意P、は左
方向の運動と下方向運動をする。さらに波が進行し、右
方向と下方向の運動、右方向と上方向の運動を経て同図
(a)の状態に戻る。
の正側に前記の交線5.が来ると、点P1は左方向の運
動をすると同時に上方向の運動をする。更に同図(C)
の時点では語意PIは上下振動の上死点に来て左方向の
運動だけをする。更に (d)の時点では語意P、は左
方向の運動と下方向運動をする。さらに波が進行し、右
方向と下方向の運動、右方向と上方向の運動を経て同図
(a)の状態に戻る。
このような一連の運動過程により点Pは回転楕円運動を
し、その回転半径は、振動体2の中立面6から移動体側
表面まで(即ち点Pまで)の長さの関数となる。
し、その回転半径は、振動体2の中立面6から移動体側
表面まで(即ち点Pまで)の長さの関数となる。
一方、し動体3は振動体2に加圧接触しているので、例
えば第3図(C)に代表的に示すように、移動体2に対
して凸になった振動体2の部分の点PLの回転楕円運動
が移動体3をX、方向に摩擦駆動する。点P1だけでな
く、振動体2の前記移動体3側の表面上の全ての点が点
P。
えば第3図(C)に代表的に示すように、移動体2に対
して凸になった振動体2の部分の点PLの回転楕円運動
が移動体3をX、方向に摩擦駆動する。点P1だけでな
く、振動体2の前記移動体3側の表面上の全ての点が点
P。
と同じように移動体3を摩擦駆動する。以上が振動波モ
ータの原理である。
ータの原理である。
従来、振動波モータの振動体を振動させるために電歪素
子を付勢する回路は交流信号を用いる回路であり、熱な
どによる機械的共振周波数の変動に追従する回路及びス
タート時の立上げ用の回路などを備えているが、回路が
複雑になり、また、駆動周波数が本来の周波数範囲から
はずれると復帰が難しく、また低速時に回転が不安定に
なりやすいという欠点があった。
子を付勢する回路は交流信号を用いる回路であり、熱な
どによる機械的共振周波数の変動に追従する回路及びス
タート時の立上げ用の回路などを備えているが、回路が
複雑になり、また、駆動周波数が本来の周波数範囲から
はずれると復帰が難しく、また低速時に回転が不安定に
なりやすいという欠点があった。
[発明の目的]
本発明は上述従来の振動波モータ駆動回路の欠点を除去
すると同時に、5illI波モータの回転数を可変にで
きる振動波モータの駆動回路を提供するにある。
すると同時に、5illI波モータの回転数を可変にで
きる振動波モータの駆動回路を提供するにある。
[発明の概要]
本発明による振動波モータの駆動回路は、振動波モータ
の振動体に配列固定された電気−機械工ネルギ変換素子
(例えば電歪素子)を付勢する交流信号を周波数変調又
は振幅変調して該電気−機械エネルギ変換素子へ入力す
る手段を有することを特徴とするものである。
の振動体に配列固定された電気−機械工ネルギ変換素子
(例えば電歪素子)を付勢する交流信号を周波数変調又
は振幅変調して該電気−機械エネルギ変換素子へ入力す
る手段を有することを特徴とするものである。
[発明の実施例]
第1図に本発明の一実施例に係る振動波モータの駆動回
路のブロック図を示す。8は周波数コントロール信号出
力部、9は発振部、10は90°移相部、11は180
°移相部、12.13は電力増幅部、14は振動波モー
タ本体である。
路のブロック図を示す。8は周波数コントロール信号出
力部、9は発振部、10は90°移相部、11は180
°移相部、12.13は電力増幅部、14は振動波モー
タ本体である。
第4図に周波数コントロール信号出力部dと発振部9の
回路例を示す。VRI、VR2は可変抵抗器、R1,R
2は抵抗、C1はコンデンサ、ICI、IC2は電圧−
周波数変換素子である。
回路例を示す。VRI、VR2は可変抵抗器、R1,R
2は抵抗、C1はコンデンサ、ICI、IC2は電圧−
周波数変換素子である。
第1図において、周波数コントロール信号出力部8より
得られた信号により発振部9の発振周波数とその周波数
変化範囲が設定され、これに応じて発振部9は発振する
。発振部9からの信号は増幅部12と90°移相部10
へ伝わる。
得られた信号により発振部9の発振周波数とその周波数
変化範囲が設定され、これに応じて発振部9は発振する
。発振部9からの信号は増幅部12と90°移相部10
へ伝わる。
増幅部12はその信号を増幅し、撮動波モータ14の先
述の一群(A相)の電歪素子1aに位相0°の周波電圧
を印加する。90°杓相部10は発振部9からの信号を
90°移相する。又この信号は180°n相器11に伝
えられ、合わせて270°移相される。このようにして
発振部9の発生する周波電圧に対し各々90°又は27
0゜(−90°)の位相差を持つ2つの信号が作られ、
そのいずれかの信号が正転、逆転切換えスイッチSWに
より選択されて、増幅部13を介して振動波モータ14
の先述の他群(B相)の電歪素子1bに印加される。
述の一群(A相)の電歪素子1aに位相0°の周波電圧
を印加する。90°杓相部10は発振部9からの信号を
90°移相する。又この信号は180°n相器11に伝
えられ、合わせて270°移相される。このようにして
発振部9の発生する周波電圧に対し各々90°又は27
0゜(−90°)の位相差を持つ2つの信号が作られ、
そのいずれかの信号が正転、逆転切換えスイッチSWに
より選択されて、増幅部13を介して振動波モータ14
の先述の他群(B相)の電歪素子1bに印加される。
次に第4図に示した周波数コントロール信号出力部8と
発振部9の回路例を詳しく説明する。可変抵抗器VRI
によって電圧−周波数変換素子ICIへ人力する電圧を
決める。電圧−周波数変換素子ICIの出力する矩形波
は抵抗R2,コンデンサC1によるフィルタを通り三角
波になり、可能抵抗器VR2により分圧され、一定の電
圧V1に加えて電圧−周波数変換素子IC2に人力され
る。このとき、電圧■1は、設定された周波数範囲の下
限の周一波数を電圧−周波数変換素子IC2が出力する
様に、また可変抵抗器VR2により分圧された電圧の最
大値と電圧v1との和を電圧−周波数変換素子IC2に
入力したときに該素子IC2の出力が設定された周波数
範囲の上限を示す様に、定められる。
発振部9の回路例を詳しく説明する。可変抵抗器VRI
によって電圧−周波数変換素子ICIへ人力する電圧を
決める。電圧−周波数変換素子ICIの出力する矩形波
は抵抗R2,コンデンサC1によるフィルタを通り三角
波になり、可能抵抗器VR2により分圧され、一定の電
圧V1に加えて電圧−周波数変換素子IC2に人力され
る。このとき、電圧■1は、設定された周波数範囲の下
限の周一波数を電圧−周波数変換素子IC2が出力する
様に、また可変抵抗器VR2により分圧された電圧の最
大値と電圧v1との和を電圧−周波数変換素子IC2に
入力したときに該素子IC2の出力が設定された周波数
範囲の上限を示す様に、定められる。
第5図(a)に電圧−周波数変換素子IC2への入力波
形、(b)にその出力波形、(c)に振動波モータ本体
への入力波形を示し、又、同図(d)に比較のため、従
来の周波数一定のときの振動波モータ本体への入力波形
を示す。(c)に示すように、本実施例では振動波モー
タへの入力は周波数変調された交流となる。
形、(b)にその出力波形、(c)に振動波モータ本体
への入力波形を示し、又、同図(d)に比較のため、従
来の周波数一定のときの振動波モータ本体への入力波形
を示す。(c)に示すように、本実施例では振動波モー
タへの入力は周波数変調された交流となる。
第6図に振動波モータの周波数−インピーダンス特性を
示す。原理的に駆動周波数が図示の範囲fbのときモー
タは回り、また、駆動周波数が図示の範囲fa、fbの
ときにはモータは動かない。従来の駆動方式では何かの
拍子に駆動周波数が本来の周波数範囲fbからはずれて
しまうと、振動波モータは再び動き出さず、回転検知手
段を用いてモータが止ってしまったことを検知し、再び
スタート信号を与えモータを動かすという方法を用いな
ければならない。本発明実施例では絶えず駆動周波数を
変動させているため一度範囲fbからはずれても再びf
bの周波数範囲にもどるのでモータは回り続ける。又、
周波数範囲faとfbの境あるいはfbとfcの境の周
波数を含む範囲で駆動周波数を変動させれば低速回転が
可能である。又、駆動周波数を変動させる速さを変える
ことによってもモータのスピードを変化させることがで
きる。その上、A相とB相の周波数−インピーダンス曲
線のずれを平均化できるのでモータによるばらつきも少
なくなる。
示す。原理的に駆動周波数が図示の範囲fbのときモー
タは回り、また、駆動周波数が図示の範囲fa、fbの
ときにはモータは動かない。従来の駆動方式では何かの
拍子に駆動周波数が本来の周波数範囲fbからはずれて
しまうと、振動波モータは再び動き出さず、回転検知手
段を用いてモータが止ってしまったことを検知し、再び
スタート信号を与えモータを動かすという方法を用いな
ければならない。本発明実施例では絶えず駆動周波数を
変動させているため一度範囲fbからはずれても再びf
bの周波数範囲にもどるのでモータは回り続ける。又、
周波数範囲faとfbの境あるいはfbとfcの境の周
波数を含む範囲で駆動周波数を変動させれば低速回転が
可能である。又、駆動周波数を変動させる速さを変える
ことによってもモータのスピードを変化させることがで
きる。その上、A相とB相の周波数−インピーダンス曲
線のずれを平均化できるのでモータによるばらつきも少
なくなる。
第7図は本発明の他の実施例に係る振動波モータの駆動
回路のブロック線図であり、15は振幅コントロール信
号出力部である。第8図に第7図の振幅コントロール信
号出力部15と増幅部12.13の回路例を示す。発振
部9から増幅部12に位相差O°の交流信号、増幅部1
3には位相差90@(あるいは270°)の交流信号が
入力される。増幅部12.13の出力は振動波モータ1
4のA相電歪素子およびB相電歪素子に夫々印加される
。その信号の振幅は、振幅コントロール信号出力部15
からの振幅コントロール信号によって、決められた周期
で決められた電圧幅を変動する。第8図の回路の動作は
可変抵抗器VR2で電圧−周波数変換素子ICIの出力
を分圧して電圧■1に加えるまでは第4図と同じであり
、この出力を増幅部12゜13の振幅変調に用いる。
回路のブロック線図であり、15は振幅コントロール信
号出力部である。第8図に第7図の振幅コントロール信
号出力部15と増幅部12.13の回路例を示す。発振
部9から増幅部12に位相差O°の交流信号、増幅部1
3には位相差90@(あるいは270°)の交流信号が
入力される。増幅部12.13の出力は振動波モータ1
4のA相電歪素子およびB相電歪素子に夫々印加される
。その信号の振幅は、振幅コントロール信号出力部15
からの振幅コントロール信号によって、決められた周期
で決められた電圧幅を変動する。第8図の回路の動作は
可変抵抗器VR2で電圧−周波数変換素子ICIの出力
を分圧して電圧■1に加えるまでは第4図と同じであり
、この出力を増幅部12゜13の振幅変調に用いる。
第9図(a)に本実施例によって得られる波形、第9図
(b)に従来の波形を示す。第9図(a)の波形は、第
9図(b)の波形と比較すると、振動波モータの低速時
(振幅が小さいとき)に振幅の大きい場合を含んでいる
ため、振動波モータは止らないで安定に回る。又、駆動
周波が本来の駆動周波数範囲からはずれた場合にも、振
動にいろいろな要素が含まれており、復帰しやすいとい
う利点が得られる。
(b)に従来の波形を示す。第9図(a)の波形は、第
9図(b)の波形と比較すると、振動波モータの低速時
(振幅が小さいとき)に振幅の大きい場合を含んでいる
ため、振動波モータは止らないで安定に回る。又、駆動
周波が本来の駆動周波数範囲からはずれた場合にも、振
動にいろいろな要素が含まれており、復帰しやすいとい
う利点が得られる。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明においては振動波モータの
駆動交流電圧の周波数や振幅を絶えずスィーブさせるこ
とにより、低速時の安定駆動が可能で、又本来の駆動周
波数範囲からはずれても復帰し易いという利点がある。
駆動交流電圧の周波数や振幅を絶えずスィーブさせるこ
とにより、低速時の安定駆動が可能で、又本来の駆動周
波数範囲からはずれても復帰し易いという利点がある。
又、スィーブさせる時定数や範囲を変えることによって
振動波モータの速度を変化させることができる。
振動波モータの速度を変化させることができる。
第1図は本発明の一実施例に係る振動波モータ駆動回路
のブロック図、第2図は振動波モータの斜視図、第3図
(a) 、 (b) 、 (c) 、 (d)は振動波
モータの駆動原理を示す図、第4図は第1図における周
波数コントロール信号出力部と発振部の回路例を示す図
、第5図(a) 、 (b) 、 (c) 、 (d)
は上記実施例の回路各部の波形を示す図、第6図は振動
波モータの周波数−インピーダンス特性図、第7図は本
発明の振動波モータ駆動回路の他の実施例のブロック線
図、第8図は第7図の実施例の振幅コントロール信号出
力部と増幅部の回路例を示す図、第9図(a) (b)
は第7図の回路からの出力波形と従来波形を示す図であ
る。 la、lb・・・駆動用電歪素子、 2・・・振動体、 3・・・移動体、8・・・周
波数コントロール信号出力部、9・・・発振部、
10・・・90°穆相部、11・・・180°穆相部
、 12.13・・・増幅部、 14・・・振動波モータ本体、 15・・・振幅コントロール信号出力部。 第3図 第5図 第6図 第9図
のブロック図、第2図は振動波モータの斜視図、第3図
(a) 、 (b) 、 (c) 、 (d)は振動波
モータの駆動原理を示す図、第4図は第1図における周
波数コントロール信号出力部と発振部の回路例を示す図
、第5図(a) 、 (b) 、 (c) 、 (d)
は上記実施例の回路各部の波形を示す図、第6図は振動
波モータの周波数−インピーダンス特性図、第7図は本
発明の振動波モータ駆動回路の他の実施例のブロック線
図、第8図は第7図の実施例の振幅コントロール信号出
力部と増幅部の回路例を示す図、第9図(a) (b)
は第7図の回路からの出力波形と従来波形を示す図であ
る。 la、lb・・・駆動用電歪素子、 2・・・振動体、 3・・・移動体、8・・・周
波数コントロール信号出力部、9・・・発振部、
10・・・90°穆相部、11・・・180°穆相部
、 12.13・・・増幅部、 14・・・振動波モータ本体、 15・・・振幅コントロール信号出力部。 第3図 第5図 第6図 第9図
Claims (1)
- 振動体に配列固定された交流付勢される複数の電気−
機械エネルギー変換素子の伸縮振動に励起されて該振動
体に生ずる進行性振動波により、該振動体に接している
移動体を摩擦駆動する振動波モータの駆動回路であって
、上記電気−機械エネルギー変換素子を付勢する交流信
号を周波数変調又は振幅変調して電気−機械変換素子へ
入力する手段を有することを特徴とする振動波モータの
駆動回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62103497A JPS63268477A (ja) | 1987-04-27 | 1987-04-27 | 振動波モ−タの駆動回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62103497A JPS63268477A (ja) | 1987-04-27 | 1987-04-27 | 振動波モ−タの駆動回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63268477A true JPS63268477A (ja) | 1988-11-07 |
Family
ID=14355626
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62103497A Pending JPS63268477A (ja) | 1987-04-27 | 1987-04-27 | 振動波モ−タの駆動回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63268477A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1096655A2 (en) * | 1999-11-01 | 2001-05-02 | Seiko Instruments Inc. | Self-excited oscillation circuit for ultrasonic motors |
JP4520570B2 (ja) * | 1999-03-01 | 2010-08-04 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電アクチュエータ |
-
1987
- 1987-04-27 JP JP62103497A patent/JPS63268477A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4520570B2 (ja) * | 1999-03-01 | 2010-08-04 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電アクチュエータ |
EP1096655A2 (en) * | 1999-11-01 | 2001-05-02 | Seiko Instruments Inc. | Self-excited oscillation circuit for ultrasonic motors |
EP1096655A3 (en) * | 1999-11-01 | 2003-01-22 | Seiko Instruments Inc. | Self-excited oscillation circuit for ultrasonic motors |
US6586860B1 (en) | 1999-11-01 | 2003-07-01 | Seiko Instruments Inc. | Ultrasonic motor and electronic device with ultrasonic motor |
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