JP2874765B2 - 振動型モーター装置 - Google Patents
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はOA機器や、カメラのAF機構等に用いられる振
動型（超音波）モータに関する。
動型（超音波）モータに関する。
振動型（超音波）モータによる位置制御、速度制御や
加速度制御等に用いられる制御手段は従来、該振動型
（超音波）モータの応答特性（ステップ応答，周波数応
答等）から制御手段のパラメータ（移送補償要素、比例
要素、積分要素、微分要素他）が制御理論に基づいて決
定される通常のDCモータの制御手段等と同様の機能構成
になっている。
加速度制御等に用いられる制御手段は従来、該振動型
（超音波）モータの応答特性（ステップ応答，周波数応
答等）から制御手段のパラメータ（移送補償要素、比例
要素、積分要素、微分要素他）が制御理論に基づいて決
定される通常のDCモータの制御手段等と同様の機能構成
になっている。
しかしながら、具体的な制御方法及びこれを実施する
制御回路は異なり、振動発生用の電気−機械エネルギー
変換素子に印加する交流電圧を変調（振幅，周波数，位
相，パルス幅変調等）することによって振動型（超音
波）モータの制御が行なわれる場合には、変調理論によ
り印加する該交流電圧の周波数（f0）の側波帯（変調周
波数の周波数帯域幅をf1としたときに、f0−f1からf0＋
f1の範囲、また場合によってはf0−mf1からf0＋mf1（ｍ
＝2.3.…）の範囲）に変調周波数成分及びその整数倍の
周波数成分が現われる。
制御回路は異なり、振動発生用の電気−機械エネルギー
変換素子に印加する交流電圧を変調（振幅，周波数，位
相，パルス幅変調等）することによって振動型（超音
波）モータの制御が行なわれる場合には、変調理論によ
り印加する該交流電圧の周波数（f0）の側波帯（変調周
波数の周波数帯域幅をf1としたときに、f0−f1からf0＋
f1の範囲、また場合によってはf0−mf1からf0＋mf1（ｍ
＝2.3.…）の範囲）に変調周波数成分及びその整数倍の
周波数成分が現われる。
超音波モータの制御に関する従来技術においては制御
ループ内に１次のローパスフィルタを設けるだけである
から高周波成分の減衰が不十分であり前述の該側波帯の
周波数成分の影響が制御量に現われ、このために以下に
述べる問題が生じていた。
ループ内に１次のローパスフィルタを設けるだけである
から高周波成分の減衰が不十分であり前述の該側波帯の
周波数成分の影響が制御量に現われ、このために以下に
述べる問題が生じていた。
本発明適用する振動型（超音波）モータの構成例を第
３図に示す。従来技術における上記問題点を第３図によ
って説明する。
３図に示す。従来技術における上記問題点を第３図によ
って説明する。
第３図において１は円環状振動体であり、金属材料な
どでできた、振動板１−ｂとPZTなどの電気−機械エネ
ルギー変換素子である１−ａとの接合によって構成され
ている。そして、円環状振動体１の、円環のｎ次面外固
有振動数に等しい交流電気信号を電気−機械エネルギー
変換素子１−ａに加え強制励振すると、この円環に共振
変位が発生し、この振動変位は振動体１に押圧されたロ
ータ２を摩擦駆動する。
どでできた、振動板１−ｂとPZTなどの電気−機械エネ
ルギー変換素子である１−ａとの接合によって構成され
ている。そして、円環状振動体１の、円環のｎ次面外固
有振動数に等しい交流電気信号を電気−機械エネルギー
変換素子１−ａに加え強制励振すると、この円環に共振
変位が発生し、この振動変位は振動体１に押圧されたロ
ータ２を摩擦駆動する。
電気−機械エネルギー変換素子１−ａに印刷された６
波駆動用の電極パターンを第４図に示す。このとき、交
流電圧を変調する従来方式ではこのパターン上に円環の
５次面外固有振動数に等しい周波数と前述の側波帯の周
波数成分を含む交流電気信号が加わるので、設計駆動波
（６波）の波の位置からわずかに位置のずれた５次（５
波）及び７次（７波）の面外振動が励起されることにな
る。
波駆動用の電極パターンを第４図に示す。このとき、交
流電圧を変調する従来方式ではこのパターン上に円環の
５次面外固有振動数に等しい周波数と前述の側波帯の周
波数成分を含む交流電気信号が加わるので、設計駆動波
（６波）の波の位置からわずかに位置のずれた５次（５
波）及び７次（７波）の面外振動が励起されることにな
る。
一般に、このような（ｎ−１）次、（ｎ＋１）次の振
動の励起により生ずる問題が騒音の発生である。
動の励起により生ずる問題が騒音の発生である。
すなわち、（ｎ−１）次，（ｎ＋１）次の機械的振動
変位が、0.01μｍ程度であっても、その周波数が可聴域
にあれば、十分音として聞こえるレベルであり、又、そ
の周波数が可聴域（20kHz以下）になくても、ｎ次駆動
周波数との差分周波数或いは加算周波数が可聴域にある
場合には、移動体２と振動体１とを接触させることによ
り鳴きと呼ばれる騒音が発生する。
変位が、0.01μｍ程度であっても、その周波数が可聴域
にあれば、十分音として聞こえるレベルであり、又、そ
の周波数が可聴域（20kHz以下）になくても、ｎ次駆動
周波数との差分周波数或いは加算周波数が可聴域にある
場合には、移動体２と振動体１とを接触させることによ
り鳴きと呼ばれる騒音が発生する。
したがって、強制振動により、ｎ−１次,n＋１次の面
外振動モードが発生した場合、人間の耳に鳴きとして聞
こえないためには、ｎ−1,n,n＋１次の各振動周波数
が、可聴域にないとともに、それら周波数の各差分
｛（ｎ次−ｎ−１次）周波数，（ｎ＋１次−ｎ次）周波
数等｝も、可聴域にないことが必要である。もちろん、
解決手段として振動子設計の段階で、n,n−1,n＋１次振
動数及び、その差分周波数を可聴域外にもっていくこと
は可能である。例えば３波駆動（f3＝60KHz）、２波
（ｎ−１次）27KHz,4波ｎ＋１次120KHzとすれば各振動
数及び、その差分周波数は可聴域外に出るので一応鳴き
は発生しない様に出来るが振動子径φ50mmでは、厚みが
数cmとなって、振動型（超音波）モータの特徴である薄
型のメリットがなくなってしまうことになる。
外振動モードが発生した場合、人間の耳に鳴きとして聞
こえないためには、ｎ−1,n,n＋１次の各振動周波数
が、可聴域にないとともに、それら周波数の各差分
｛（ｎ次−ｎ−１次）周波数，（ｎ＋１次−ｎ次）周波
数等｝も、可聴域にないことが必要である。もちろん、
解決手段として振動子設計の段階で、n,n−1,n＋１次振
動数及び、その差分周波数を可聴域外にもっていくこと
は可能である。例えば３波駆動（f3＝60KHz）、２波
（ｎ−１次）27KHz,4波ｎ＋１次120KHzとすれば各振動
数及び、その差分周波数は可聴域外に出るので一応鳴き
は発生しない様に出来るが振動子径φ50mmでは、厚みが
数cmとなって、振動型（超音波）モータの特徴である薄
型のメリットがなくなってしまうことになる。
本出願に係わる第１の発明の目的は、鳴き等の発生を
防止しできる振動がモータ装置を提供することにある。
防止しできる振動がモータ装置を提供することにある。
本出願に関わる第２の発明の目的は、第１の発明の目
的の実現を可能とするとともに、高精度の位置制御を可
能とする振動型モータ装置を提供することにある。
的の実現を可能とするとともに、高精度の位置制御を可
能とする振動型モータ装置を提供することにある。
本出願に係わる第１の発明の目的を実現する構成は、
振動体に電気−機械エネルギー変換素子部を配し、該変
換素子部に駆動用周波信号を印加して振動体を励振さ
せ、駆動力を得る振動型モータ装置において、前記駆動
用周波信号の特性値を変調信号に応答して変調する変調
回路と、制御信号に応答して前記変調回路に前記変調信
号を供給するフィルター手段を設けるとともに、該フィ
ルター手段の周波数特性としてｎ次のモードで駆動する
際に、（ｎ−１）次のモードにおける固有周波数とｎ次
のモードにおける固有周波数との差の絶対値と、（ｎ＋
１）次のモードにおける固有周波数とｎ次のモードにお
ける固有周波数との差の絶対値のうち、小さい方の値以
下の周波数を上限とするローパス特性に設定したことを
特徴とする振動型モーター装置にある。
振動体に電気−機械エネルギー変換素子部を配し、該変
換素子部に駆動用周波信号を印加して振動体を励振さ
せ、駆動力を得る振動型モータ装置において、前記駆動
用周波信号の特性値を変調信号に応答して変調する変調
回路と、制御信号に応答して前記変調回路に前記変調信
号を供給するフィルター手段を設けるとともに、該フィ
ルター手段の周波数特性としてｎ次のモードで駆動する
際に、（ｎ−１）次のモードにおける固有周波数とｎ次
のモードにおける固有周波数との差の絶対値と、（ｎ＋
１）次のモードにおける固有周波数とｎ次のモードにお
ける固有周波数との差の絶対値のうち、小さい方の値以
下の周波数を上限とするローパス特性に設定したことを
特徴とする振動型モーター装置にある。
本出願に係わる第２の発明の目的を実現する構成は、
上記した構成において、前記モーター装置の動作または
モーター装置により駆動される対象の動作状態を表すセ
ンシング信号と参照信号を検出し、該センシング信号と
参照信号の関係に応じて前記制御信号を形成する制御信
号形成手段が設けられていることを特徴とする振動型モ
ーター装置にある。
上記した構成において、前記モーター装置の動作または
モーター装置により駆動される対象の動作状態を表すセ
ンシング信号と参照信号を検出し、該センシング信号と
参照信号の関係に応じて前記制御信号を形成する制御信
号形成手段が設けられていることを特徴とする振動型モ
ーター装置にある。
本発明によれば、超音波モータを用いた各種制御手段
による位相制御、速度制御、加速度制御等の制御装置に
於いて、電気−機械エネルギー変換素子に印加する交流
電圧の周波数の側波帯に該各種制御手段による変調操作
によって発生する周波数成分を含むとき、これらをフィ
ルタ回路で直接減衰させるのではなく、駆動に用いる定
在波のモードをｎ次としたとき該交流電圧を変調する変
調信号の（ｎ−１）次又は（ｎ＋１）次のモードの周波
数とｎ次のモードの周波数とのそれぞれの周波数差のう
ち絶対値の小さな方の周波数（fd）以上の周波数成分を
フィルタによって減衰させたものとすることによって、
該側波帯の周波数成分が（ｎ−１）次から（ｎ＋１）次
のモードの周波数の範囲の内側で、急峻なカットオフ特
性をもつフィルタにより（ｎ−１）次及び（ｎ＋１）次
のモードの周波数成分をほとんど含まないようにするも
のである。
による位相制御、速度制御、加速度制御等の制御装置に
於いて、電気−機械エネルギー変換素子に印加する交流
電圧の周波数の側波帯に該各種制御手段による変調操作
によって発生する周波数成分を含むとき、これらをフィ
ルタ回路で直接減衰させるのではなく、駆動に用いる定
在波のモードをｎ次としたとき該交流電圧を変調する変
調信号の（ｎ−１）次又は（ｎ＋１）次のモードの周波
数とｎ次のモードの周波数とのそれぞれの周波数差のう
ち絶対値の小さな方の周波数（fd）以上の周波数成分を
フィルタによって減衰させたものとすることによって、
該側波帯の周波数成分が（ｎ−１）次から（ｎ＋１）次
のモードの周波数の範囲の内側で、急峻なカットオフ特
性をもつフィルタにより（ｎ−１）次及び（ｎ＋１）次
のモードの周波数成分をほとんど含まないようにするも
のである。
第１図は本発明の思想をブロック図に表わしたもので
あり、25は振動型（超音波）モータの振動体を駆動する
ために該振動体の固有モード周波数の交流電圧を発生す
る発振器、26は変調信号によって搬送波の振幅、位相、
周波数、パルス幅等の各種パラメータを、一般に変調と
言われる操作によって変化させるための変調器、27は振
動型（超音波）モータ本体で、第３図及び第４図に示す
振動体１、移動体としてのロータ２、電気−機械エネル
ギー変換素子１−ａ中に設けられる振動検出素子等の公
知の部材を含み、28は制御信号の高周波成分をカットす
るためのローパスフィルタ（L.P.F.）、29はコンピュー
タ（図示せず）等の指令装置からの例えば回転速度信号
等の指令信号と、振動型（超音波）モータ本体27からの
例えば回転速度信号等のセンシング信号とを比較し、そ
の結果に応じて変調器26にローパスフィルタ28を通して
制御信号を与えるためのコントローラである。
あり、25は振動型（超音波）モータの振動体を駆動する
ために該振動体の固有モード周波数の交流電圧を発生す
る発振器、26は変調信号によって搬送波の振幅、位相、
周波数、パルス幅等の各種パラメータを、一般に変調と
言われる操作によって変化させるための変調器、27は振
動型（超音波）モータ本体で、第３図及び第４図に示す
振動体１、移動体としてのロータ２、電気−機械エネル
ギー変換素子１−ａ中に設けられる振動検出素子等の公
知の部材を含み、28は制御信号の高周波成分をカットす
るためのローパスフィルタ（L.P.F.）、29はコンピュー
タ（図示せず）等の指令装置からの例えば回転速度信号
等の指令信号と、振動型（超音波）モータ本体27からの
例えば回転速度信号等のセンシング信号とを比較し、そ
の結果に応じて変調器26にローパスフィルタ28を通して
制御信号を与えるためのコントローラである。
第13図（Ａ）は振動型（超音波）モータの駆動信号周
波数に対する振動体の振動振幅の特性例であり、同図
（ｂ）は、ローパスフィルタ28によって周波数帯域を制
限した変調信号の周波数帯域及び搬送波の周波数、及び
該変調信号を変調器26に入力し、搬送波を振幅変調した
場合の駆動信号の周波数帯域と、これらに対する各信号
の電圧特性をあらわしている。この様に急峻なカットオ
フ特性を持つローパスフィルタ28によって変調信号の周
波数帯域（第13図（ｂ）の左部分の特性参照）を制限す
れば、駆動信号は（ｎ−１）次及び（ｎ＋１）次の固有
周波数を含まなくなる。その結果、振動体１に（ｎ−
１）次及び（ｎ＋１）次の振動を励起しないで振動型
（超音波）モータを駆動することが可能となる。また、
振幅制御時には、駆動信号は搬送波の周波数を中心とす
る変調信号の周波数帯域の倍の周波数帯域を持つが、周
波数、位相、パルス幅等の変調時には無限の周波数成分
を含んでしまう。しかし、周波数、位相、パルス幅等の
変動幅が十分小さくても該振動型（超音波）モータが制
御可能な場合には、駆動信号は、搬送波の周波数を中心
とする変調信号の周波数帯域の倍の周波数帯域以上で
は、振幅が非常に小さくなるため、振幅変調の場合と同
様のことが言える。
波数に対する振動体の振動振幅の特性例であり、同図
（ｂ）は、ローパスフィルタ28によって周波数帯域を制
限した変調信号の周波数帯域及び搬送波の周波数、及び
該変調信号を変調器26に入力し、搬送波を振幅変調した
場合の駆動信号の周波数帯域と、これらに対する各信号
の電圧特性をあらわしている。この様に急峻なカットオ
フ特性を持つローパスフィルタ28によって変調信号の周
波数帯域（第13図（ｂ）の左部分の特性参照）を制限す
れば、駆動信号は（ｎ−１）次及び（ｎ＋１）次の固有
周波数を含まなくなる。その結果、振動体１に（ｎ−
１）次及び（ｎ＋１）次の振動を励起しないで振動型
（超音波）モータを駆動することが可能となる。また、
振幅制御時には、駆動信号は搬送波の周波数を中心とす
る変調信号の周波数帯域の倍の周波数帯域を持つが、周
波数、位相、パルス幅等の変調時には無限の周波数成分
を含んでしまう。しかし、周波数、位相、パルス幅等の
変動幅が十分小さくても該振動型（超音波）モータが制
御可能な場合には、駆動信号は、搬送波の周波数を中心
とする変調信号の周波数帯域の倍の周波数帯域以上で
は、振幅が非常に小さくなるため、振幅変調の場合と同
様のことが言える。
〔実施例１〕 前記第１図は、本発明の思想を表わすブロック図であ
り、これを具体化した振動型（超音波）モータに対する
速度制御回路のブロック図を第２図に示す。
り、これを具体化した振動型（超音波）モータに対する
速度制御回路のブロック図を第２図に示す。
１は公知の振動体で、金属材料等でできた振動板１−
ｂにPZT等の電気−機械エネルギー変換素子１−ａが接
合されて構成されている。２はロータであって、振動体
１に適度な圧力で押圧され、振動体に励起される進行性
振動波によって摩擦駆動される移動体である。３はプリ
ンタのプラテンローラであり、振動体１及びロータ２に
よって構成された振動型（超音波）モータに連結され本
制御回路によって速度が制御される制御対象である。４
は振動型（超音波）モータ本体に接続された回転軸3Aの
反対側でローラ３に接続された速度検出用のロータリー
エンコーダである。５は振動型（超音波）モータの駆動
用交流電圧を発生するための公知の発振器、６は発振器
５の出力信号の位相を90゜シフトするための公知の90゜
移相器、７は発振器５の出力信号の振幅を後述の振幅制
御信号に応じて変化させ上記電気−機械エネルギー変換
素子１−ａのＡ相に印加する交流電圧を生成するための
公知の電圧制御増幅器（V.C.A）,8は90゜位相器６の出
力信号の振幅を振幅制御信号に応じて変化させて上記電
気−機械エネルギー変換素子１−ａのＢ相に印加する交
流電圧を生成するための公知の電圧制御増幅器（V.C.
A）、９は速度制御のための基準周期パルスを発生する
水晶発振器、10は公知のP.L.L（フェーズ・ロックド・
ループ）を構成するためにロータリーエンコーダ４の出
力と、水晶発振器９の出力の位相を比較する位相比較
器、11は位相比較器10の出力ノイズを減衰させ、且つPL
Lの同期特性や応答特性を決定するための公知のループ
フィルタであり、回路10、11によりP.L.Lが構成され
る。12はループフィルタ11の出力信号の周波数成分のう
ち前述した小さい方の周波数差（fd）以上の周波数成分
を急峻な特性で除去して振動制御信号を出力するための
ローパスフィルタ（L.P.F）である。第５図（ａ）にル
ープフィルタ11のゲインの周波数特性例を、同図（ｂ）
にローパスフィルタ12のゲインの周波数特性例を、第６
図（ａ）に振動板１−ｂの振動変位振幅の周波数特性例
を、同図（ｂ）に振動体１に印加する交流電圧に含まれ
る周波数成分例を示す。
ｂにPZT等の電気−機械エネルギー変換素子１−ａが接
合されて構成されている。２はロータであって、振動体
１に適度な圧力で押圧され、振動体に励起される進行性
振動波によって摩擦駆動される移動体である。３はプリ
ンタのプラテンローラであり、振動体１及びロータ２に
よって構成された振動型（超音波）モータに連結され本
制御回路によって速度が制御される制御対象である。４
は振動型（超音波）モータ本体に接続された回転軸3Aの
反対側でローラ３に接続された速度検出用のロータリー
エンコーダである。５は振動型（超音波）モータの駆動
用交流電圧を発生するための公知の発振器、６は発振器
５の出力信号の位相を90゜シフトするための公知の90゜
移相器、７は発振器５の出力信号の振幅を後述の振幅制
御信号に応じて変化させ上記電気−機械エネルギー変換
素子１−ａのＡ相に印加する交流電圧を生成するための
公知の電圧制御増幅器（V.C.A）,8は90゜位相器６の出
力信号の振幅を振幅制御信号に応じて変化させて上記電
気−機械エネルギー変換素子１−ａのＢ相に印加する交
流電圧を生成するための公知の電圧制御増幅器（V.C.
A）、９は速度制御のための基準周期パルスを発生する
水晶発振器、10は公知のP.L.L（フェーズ・ロックド・
ループ）を構成するためにロータリーエンコーダ４の出
力と、水晶発振器９の出力の位相を比較する位相比較
器、11は位相比較器10の出力ノイズを減衰させ、且つPL
Lの同期特性や応答特性を決定するための公知のループ
フィルタであり、回路10、11によりP.L.Lが構成され
る。12はループフィルタ11の出力信号の周波数成分のう
ち前述した小さい方の周波数差（fd）以上の周波数成分
を急峻な特性で除去して振動制御信号を出力するための
ローパスフィルタ（L.P.F）である。第５図（ａ）にル
ープフィルタ11のゲインの周波数特性例を、同図（ｂ）
にローパスフィルタ12のゲインの周波数特性例を、第６
図（ａ）に振動板１−ｂの振動変位振幅の周波数特性例
を、同図（ｂ）に振動体１に印加する交流電圧に含まれ
る周波数成分例を示す。
以下に第２図、第５図及び第６図を用いて本発明の速
度制御の制御動作を説明する。まず、動作中にもしプラ
テンローラ３の回転速度が低くなると、水晶発振器９の
出力である速度制御用の速度基準パルス信号の位相に対
してロータリーエンコーダ４の出力パルスの位相が遅れ
てゆき、このため、位相比較器10の出力の平均値が大き
くなり、ループフィルタ11及びローパスフィルタ12を通
過して得られる振幅制御信号も大きくなる。したがって
電圧制御増幅器（V.C.A）７及び８によって電気−機械
エネルギー変換素子１−ａのＡ相及びＢ相に印加される
交流電圧の振幅が増大してゆき、振動体１の振動変位振
幅も増大し、超音波モータの回転速度が増加してゆき、
ローラ３の回転速度が該基準パルス信号に対応する回転
速度となる様に自動的に制御される。この様な速度制御
回路における、本発明の要旨を以下に、更に詳細に述べ
る。
度制御の制御動作を説明する。まず、動作中にもしプラ
テンローラ３の回転速度が低くなると、水晶発振器９の
出力である速度制御用の速度基準パルス信号の位相に対
してロータリーエンコーダ４の出力パルスの位相が遅れ
てゆき、このため、位相比較器10の出力の平均値が大き
くなり、ループフィルタ11及びローパスフィルタ12を通
過して得られる振幅制御信号も大きくなる。したがって
電圧制御増幅器（V.C.A）７及び８によって電気−機械
エネルギー変換素子１−ａのＡ相及びＢ相に印加される
交流電圧の振幅が増大してゆき、振動体１の振動変位振
幅も増大し、超音波モータの回転速度が増加してゆき、
ローラ３の回転速度が該基準パルス信号に対応する回転
速度となる様に自動的に制御される。この様な速度制御
回路における、本発明の要旨を以下に、更に詳細に述べ
る。
一般に振動型（超音波）モータに対する高精度の速度
制御系を設計する場合には速度検出用ロータリーエンコ
ーダの一回転当りのパルス数が多くなるようにするため
にエンコーダからの出力パルスの周波数は数KHz以上に
設定されるが、この様なロータリーエンコーダを第２図
のロータリーエンコーダ４に用いた場合、位相比較器10
の出力信号の周波数成分には、位相比較器10の動作原理
に基づいて発生する高周波成分やローラ３の回転変動の
周波数成分も考慮すると、数10KHz以上の周波数成分を
含むことになる。このような場合、第５図（ａ）の特性
から明らかなように、P.L.Lで通常使用されるループフ
ィルタだけでは、前述の小さい方の周波数差fdにおける
ループゲインを下げようとすれば全周波域のゲインを下
げ、従って速度制御特性（例えば応答特性）を悪化させ
る等の犠牲をともなわない限り高周波成分の十分な減衰
が得られない。
制御系を設計する場合には速度検出用ロータリーエンコ
ーダの一回転当りのパルス数が多くなるようにするため
にエンコーダからの出力パルスの周波数は数KHz以上に
設定されるが、この様なロータリーエンコーダを第２図
のロータリーエンコーダ４に用いた場合、位相比較器10
の出力信号の周波数成分には、位相比較器10の動作原理
に基づいて発生する高周波成分やローラ３の回転変動の
周波数成分も考慮すると、数10KHz以上の周波数成分を
含むことになる。このような場合、第５図（ａ）の特性
から明らかなように、P.L.Lで通常使用されるループフ
ィルタだけでは、前述の小さい方の周波数差fdにおける
ループゲインを下げようとすれば全周波域のゲインを下
げ、従って速度制御特性（例えば応答特性）を悪化させ
る等の犠牲をともなわない限り高周波成分の十分な減衰
が得られない。
本発明の特徴は、ローパスフィルタ12の急峻な高域減
衰特性によって低周波に於ける制御特性を犠牲にするこ
となく高周波成分の十分な減衰が得られることにある。
すなわち、AM変調の原理によって搬送波の周波数をf0と
し、変調波の周波数をf1としたときに（f0＋f1）及び
（f0−f1）の側波帯の信号が発生するためf1の周波数帯
域すなわち第１図の振幅制御信号の同波数帯域をフィル
タ12のゲインの周波数特性によって第５図（ｂ）に示し
た様に周波数差fdを境として制限すれば、電気−機械エ
ネルギー変換素子１−ａのＡ相及びＢ相にそれぞれ印加
される交流電圧の周波数成分は第６図（ｂ）中の斜線で
示す特性の様になり、（ｎ−１）次及び（ｎ＋１）次の
モードの周波数成分Fn-1,Fn+1（第６図参照）が非常に
小さくなり（ｎ−１）次及び（ｎ＋１）次のモードの振
動が発生しないため速度制御特性が悪化することなく、
騒音の発生しない振動型（超音波）モータ制御を行なう
ことが可能となる。
衰特性によって低周波に於ける制御特性を犠牲にするこ
となく高周波成分の十分な減衰が得られることにある。
すなわち、AM変調の原理によって搬送波の周波数をf0と
し、変調波の周波数をf1としたときに（f0＋f1）及び
（f0−f1）の側波帯の信号が発生するためf1の周波数帯
域すなわち第１図の振幅制御信号の同波数帯域をフィル
タ12のゲインの周波数特性によって第５図（ｂ）に示し
た様に周波数差fdを境として制限すれば、電気−機械エ
ネルギー変換素子１−ａのＡ相及びＢ相にそれぞれ印加
される交流電圧の周波数成分は第６図（ｂ）中の斜線で
示す特性の様になり、（ｎ−１）次及び（ｎ＋１）次の
モードの周波数成分Fn-1,Fn+1（第６図参照）が非常に
小さくなり（ｎ−１）次及び（ｎ＋１）次のモードの振
動が発生しないため速度制御特性が悪化することなく、
騒音の発生しない振動型（超音波）モータ制御を行なう
ことが可能となる。
なお、ローパスフィルタ12の特性は、第５図（ｂ）の
様に、周波数差fdを境として高周波成分を急峻に減衰さ
せることが望ましいが、約fd/50の周波数を境として急
峻に減衰させることも可能である。
様に、周波数差fdを境として高周波成分を急峻に減衰さ
せることが望ましいが、約fd/50の周波数を境として急
峻に減衰させることも可能である。
この場合、振動体１に印加される交流電圧の周波数成
分は第６図（ｂ）の点線で示される特性のように、より
狭い通過帯域となり、騒音の発生の可能性はより少なく
なる。しかし勿論、この場合には速度制御特性（例えば
速度応答特性）は周波数差が小さくなったために低下す
るが実用上問題にならない。
分は第６図（ｂ）の点線で示される特性のように、より
狭い通過帯域となり、騒音の発生の可能性はより少なく
なる。しかし勿論、この場合には速度制御特性（例えば
速度応答特性）は周波数差が小さくなったために低下す
るが実用上問題にならない。
又、説明の都合でループフィルタ11とローパスフィル
タ（L.P.F）12を分割して示したが１つのフィルタ回路
で第５図（ｂ）の特性を持つ様にすることも可能であ
る。
タ（L.P.F）12を分割して示したが１つのフィルタ回路
で第５図（ｂ）の特性を持つ様にすることも可能であ
る。
更に又、電圧制御増幅器（V.C.A）7,8の振幅制御信号
に対応する応答特性をローパスフィルタ（L.P.F）12を
入れた場合と同様な周波数特性としてローパスフィルタ
（L.P.F）12を省くことも可能なことは明らかである。
に対応する応答特性をローパスフィルタ（L.P.F）12を
入れた場合と同様な周波数特性としてローパスフィルタ
（L.P.F）12を省くことも可能なことは明らかである。
〔実施例２〕 第１実施例に於いては電気−機械エネルギー変換素子
１−ａに印加する交流電圧の振幅を変化させて速度を制
御する制御回路に本発明を適用したものであるが、該交
流電圧の周波数を変化させて速度を制御する制御回路に
本発明を適用することが可能であり、以下にこれを説明
する。第７図に実施例２の制御方式をブロック図で示
す。13は、周波数制御信号に対応した周波数の交流電圧
を発生する電圧制御発振器（V.C.O）,14,15は適当な増
幅率で電圧制御発信器（V.C.O）13及び90゜移送器６の
出力信号を増幅して電気−機械エネルギー変換素子１−
ａのＡ相及びＢ相に交流電圧を印加するための増幅器で
ある。簡単に制御動作を説明すると、実施例１が電気−
機械エネルギー変換素子に印加する交流電圧の振幅を大
きくすると速度が増大するのに対し本実施例では、該交
流電圧の周波数を振動体１の振動モードより上側の周波
数範囲で共振周波数に近付けると速度が増大する。すな
わち該周波数範囲に於いて該交流電圧の周波数を低くす
ると速度が増大するため、位相比較器10の入力の符号を
逆にしてあるので第１実施例と同様な動作で速度が制御
される。
１−ａに印加する交流電圧の振幅を変化させて速度を制
御する制御回路に本発明を適用したものであるが、該交
流電圧の周波数を変化させて速度を制御する制御回路に
本発明を適用することが可能であり、以下にこれを説明
する。第７図に実施例２の制御方式をブロック図で示
す。13は、周波数制御信号に対応した周波数の交流電圧
を発生する電圧制御発振器（V.C.O）,14,15は適当な増
幅率で電圧制御発信器（V.C.O）13及び90゜移送器６の
出力信号を増幅して電気−機械エネルギー変換素子１−
ａのＡ相及びＢ相に交流電圧を印加するための増幅器で
ある。簡単に制御動作を説明すると、実施例１が電気−
機械エネルギー変換素子に印加する交流電圧の振幅を大
きくすると速度が増大するのに対し本実施例では、該交
流電圧の周波数を振動体１の振動モードより上側の周波
数範囲で共振周波数に近付けると速度が増大する。すな
わち該周波数範囲に於いて該交流電圧の周波数を低くす
ると速度が増大するため、位相比較器10の入力の符号を
逆にしてあるので第１実施例と同様な動作で速度が制御
される。
この様な周波数の操作を行なう場合の該交流電圧の周
波数成分は周波数変調（以下FM変調とよぶ）の理論によ
っては無限の周波数成分を含むことになる。しかし、速
度を一定に保つ制御の様に周波数の変化の幅が小さい場
合の該交流電圧の周波数帯域は、前述の第１実施例と同
様な帯域、すなわち第６図で示すFn-1〜Fn+1nの帯域と
なる。そこで前述の場合と同様に、ローパスフィルタ
（L.F.P）12により前述の小さい方の周波数差（fd）以
上の周波数成分を急峻な遮断特性によって除去して周波
数制御信号をV.C.O.13に与えればV.C.O.13から出力され
る交流電圧の周波数成分はほぼ第６図（ｂ）中の斜線で
示す周波数特性の様になり、該交流電圧中の（ｎ−１）
次及び（ｎ＋１）次のモードに応じた周波数成分が非常
に小さくなり、これらのモードの振動が発生しないため
第１実施例と同等の効果が得らえる。
波数成分は周波数変調（以下FM変調とよぶ）の理論によ
っては無限の周波数成分を含むことになる。しかし、速
度を一定に保つ制御の様に周波数の変化の幅が小さい場
合の該交流電圧の周波数帯域は、前述の第１実施例と同
様な帯域、すなわち第６図で示すFn-1〜Fn+1nの帯域と
なる。そこで前述の場合と同様に、ローパスフィルタ
（L.F.P）12により前述の小さい方の周波数差（fd）以
上の周波数成分を急峻な遮断特性によって除去して周波
数制御信号をV.C.O.13に与えればV.C.O.13から出力され
る交流電圧の周波数成分はほぼ第６図（ｂ）中の斜線で
示す周波数特性の様になり、該交流電圧中の（ｎ−１）
次及び（ｎ＋１）次のモードに応じた周波数成分が非常
に小さくなり、これらのモードの振動が発生しないため
第１実施例と同等の効果が得らえる。
〔実施例３〕 本実施例は第１実施例の方式に対して、振動体１に印
加する交流電圧の周波数を振動体の固有振動数とするた
めの周波数制御回路を付加したもので第８図にそのブロ
ック図を示す。以下に簡単に該周波数制御回路の動作に
ついて述べる。振動体１には圧電素子等の電気−機械エ
ネルギー変換素子１−ａが接合されており、さらに電気
−機械エネルギー変換素子１−ａには第４図に示した様
に、Ａ相,B相の２相からなる駆動用電極と、振動体１の
振動状態を実時間で検出するためのＳ相電極がある。こ
こで、振動体１を前記固有振動数近傍の交流電圧を印加
して振動させているときに、該交流電圧の周波数を上昇
させてゆくと、Ａ相あるいはＢ相に印加する交流電圧の
時間的位相に対するＳ相電極の出力信号の時間的位相が
遅れてゆくことに着目し、Ａ相に印加する交流電圧とＳ
相から検出される交流信号との間の時間的位相差を位相
差検出器30で検出し電池或いはその他の基準電位設定器
20で設定される位相差指令との差を差動増幅器19で求
め、アンプ21で増幅し、ローパスフィルタ（L.P.F）22
を通して電圧制御発振器（V.C.O）13に入力することに
より周波数を制御しており、もしここで、位相差検出器
30の出力が該位相差指令より大きくなると、差動増幅器
19の出力電圧は負の値となり、ローパスフィルタ（L.P.
F）22の出力電圧は減少してゆくため、電圧制御発振器
（V.C.O）13の出力信号の周波数は下がってゆき、Ａ相
に印加される交流電圧の時間的位相に対しＳ相で検出さ
れる信号の時間的位相差が少なくなってゆく。従ってこ
のループによって位相差検出器30の出力が位相差指令と
等しくなるように該周波数が制御される。このとき実施
例１における、ローパスフィルタ（L.P.F）12と同等の
効果を得ることができる。
加する交流電圧の周波数を振動体の固有振動数とするた
めの周波数制御回路を付加したもので第８図にそのブロ
ック図を示す。以下に簡単に該周波数制御回路の動作に
ついて述べる。振動体１には圧電素子等の電気−機械エ
ネルギー変換素子１−ａが接合されており、さらに電気
−機械エネルギー変換素子１−ａには第４図に示した様
に、Ａ相,B相の２相からなる駆動用電極と、振動体１の
振動状態を実時間で検出するためのＳ相電極がある。こ
こで、振動体１を前記固有振動数近傍の交流電圧を印加
して振動させているときに、該交流電圧の周波数を上昇
させてゆくと、Ａ相あるいはＢ相に印加する交流電圧の
時間的位相に対するＳ相電極の出力信号の時間的位相が
遅れてゆくことに着目し、Ａ相に印加する交流電圧とＳ
相から検出される交流信号との間の時間的位相差を位相
差検出器30で検出し電池或いはその他の基準電位設定器
20で設定される位相差指令との差を差動増幅器19で求
め、アンプ21で増幅し、ローパスフィルタ（L.P.F）22
を通して電圧制御発振器（V.C.O）13に入力することに
より周波数を制御しており、もしここで、位相差検出器
30の出力が該位相差指令より大きくなると、差動増幅器
19の出力電圧は負の値となり、ローパスフィルタ（L.P.
F）22の出力電圧は減少してゆくため、電圧制御発振器
（V.C.O）13の出力信号の周波数は下がってゆき、Ａ相
に印加される交流電圧の時間的位相に対しＳ相で検出さ
れる信号の時間的位相差が少なくなってゆく。従ってこ
のループによって位相差検出器30の出力が位相差指令と
等しくなるように該周波数が制御される。このとき実施
例１における、ローパスフィルタ（L.P.F）12と同等の
効果を得ることができる。
〔実施例４〕 第９図は速度制御における周波数応答特性を改善する
ために実施例１に変形を施した実施例４のブロック図で
ある。同図においてＳ相（振動検出用電極）で検出され
る振動体１の振動に対応する信号の振幅を、AC−DC変換
器16によって直流信号に変換してフィードバックするマ
イナーループ制御によって、振動体１の振動変位振幅が
ループフィルタ11の出力信号に対応する振幅となる様に
制御する回路を設けている。実施例１では、速度差に応
じて直接Ａ相,B相に印加する交流電圧の振幅を制御して
いたが、本実施例４では、速度差に応じて、振動体１の
振動振幅に関する指定信号をマイナーループ中の振動体
１の振動変位振幅制御回路に与え、該マイナーループに
よって該振動変位振幅を高速に制御するものである。
ために実施例１に変形を施した実施例４のブロック図で
ある。同図においてＳ相（振動検出用電極）で検出され
る振動体１の振動に対応する信号の振幅を、AC−DC変換
器16によって直流信号に変換してフィードバックするマ
イナーループ制御によって、振動体１の振動変位振幅が
ループフィルタ11の出力信号に対応する振幅となる様に
制御する回路を設けている。実施例１では、速度差に応
じて直接Ａ相,B相に印加する交流電圧の振幅を制御して
いたが、本実施例４では、速度差に応じて、振動体１の
振動振幅に関する指定信号をマイナーループ中の振動体
１の振動変位振幅制御回路に与え、該マイナーループに
よって該振動変位振幅を高速に制御するものである。
以下にこの方式の動作を簡単に説明する。もし、振動
型（超音波）モータの速度が遅くなると、振動変位振幅
指令に相当するループフィルタ11の出力電圧が上昇す
る。すると、差動増幅器17の出力が増加するため、この
出力電圧をアンプ18で増幅した後で更にローパスフィル
タ（L.P.F）12で高周波成分を除去した信号が電圧制御
型増幅器（V.C.A）7,8に入力され、Ａ相,B相に印加され
る交流電圧の振幅が増加し、振動体１の振動変位振幅が
増加し、Ｓ相（振動検出用電極）の出力信号振幅が増加
し、AC−DC変換器16によって直流信号に変換された振動
体１の振動変位振幅に対応する信号が増加し、差動増幅
器17の正、負の入力信号が等しくなる様に高速に制御さ
れる。この様なマイナーループを含む回路でも、Ａ相,B
相に印加する交流電圧の振幅を制御する電圧制御型増幅
器（V.C.A）7,8に入力される振幅指令信号をローパスフ
ィルタ（L.P.F）12に通すことによって、実施例１と同
等の効果が得られる。
型（超音波）モータの速度が遅くなると、振動変位振幅
指令に相当するループフィルタ11の出力電圧が上昇す
る。すると、差動増幅器17の出力が増加するため、この
出力電圧をアンプ18で増幅した後で更にローパスフィル
タ（L.P.F）12で高周波成分を除去した信号が電圧制御
型増幅器（V.C.A）7,8に入力され、Ａ相,B相に印加され
る交流電圧の振幅が増加し、振動体１の振動変位振幅が
増加し、Ｓ相（振動検出用電極）の出力信号振幅が増加
し、AC−DC変換器16によって直流信号に変換された振動
体１の振動変位振幅に対応する信号が増加し、差動増幅
器17の正、負の入力信号が等しくなる様に高速に制御さ
れる。この様なマイナーループを含む回路でも、Ａ相,B
相に印加する交流電圧の振幅を制御する電圧制御型増幅
器（V.C.A）7,8に入力される振幅指令信号をローパスフ
ィルタ（L.P.F）12に通すことによって、実施例１と同
等の効果が得られる。
〔実施例５〕 第１から第４実施例までは、環状の振動体を用いた例
であるが、第10図の様な棒状の振動体を利用した超音波
モータについても同様の効果を有することを以下に述べ
る。第11図は回転型モータに該棒状振動体を応用した場
合の構成例である。以下に第10図、第11図を用いてこの
構成例の動作原理について説明する。棒状振動体23は、
ｘ軸方向の振動用に用いる電気−機械エネルギー変換素
子23−ａ、Ｚ軸方向の振動用に用いる電気−機械エネル
ギー変換素子23−ｂと金属性の角棒23−ｃとからなって
いる。ここで、電気−機械エネルギー変換素子23−ａに
角棒23の３次の固有モードの周波数の交流電圧を印加す
ると、第10図（ｂ）のようにｘ軸方向に棒状振動体23が
振動し、さらに電気−機械エネルギー変換素子23−ｂに
該３次の固有モードの周波数で且つ電気−機械エネルギ
ー変換素子23−ａに印加する交流電圧と時間的に90゜位
相をずらした交流電圧を印加すると、棒状振動体23は第
10図（ｂ）の矢印の方向に円運動をする。そこで第11図
の様に棒状振動体23を、ローラ24に加圧接触させれば、
両者間に生ずる摩擦力によって、ローラ24は図中の矢印
の様に、棒状振動体の振動の回転方向と反対方向に回転
する。第12図は棒状振動体によるモータの速度制御系を
示す。制御動作の原理は実施例１と同じであり、ローパ
スフィルタ（L.P.F）12が、棒状振動体の３次の固有モ
ードの周波数と、２次及び４次の固有モードの周波数と
の差の絶対値の小さい方の周波数差以下のカットオフ周
波数を持ち、急峻な遮断特性で該小さい方の周波数差以
上の周波数成分を除去すれば実施例１と同等の効果が得
られる。
であるが、第10図の様な棒状の振動体を利用した超音波
モータについても同様の効果を有することを以下に述べ
る。第11図は回転型モータに該棒状振動体を応用した場
合の構成例である。以下に第10図、第11図を用いてこの
構成例の動作原理について説明する。棒状振動体23は、
ｘ軸方向の振動用に用いる電気−機械エネルギー変換素
子23−ａ、Ｚ軸方向の振動用に用いる電気−機械エネル
ギー変換素子23−ｂと金属性の角棒23−ｃとからなって
いる。ここで、電気−機械エネルギー変換素子23−ａに
角棒23の３次の固有モードの周波数の交流電圧を印加す
ると、第10図（ｂ）のようにｘ軸方向に棒状振動体23が
振動し、さらに電気−機械エネルギー変換素子23−ｂに
該３次の固有モードの周波数で且つ電気−機械エネルギ
ー変換素子23−ａに印加する交流電圧と時間的に90゜位
相をずらした交流電圧を印加すると、棒状振動体23は第
10図（ｂ）の矢印の方向に円運動をする。そこで第11図
の様に棒状振動体23を、ローラ24に加圧接触させれば、
両者間に生ずる摩擦力によって、ローラ24は図中の矢印
の様に、棒状振動体の振動の回転方向と反対方向に回転
する。第12図は棒状振動体によるモータの速度制御系を
示す。制御動作の原理は実施例１と同じであり、ローパ
スフィルタ（L.P.F）12が、棒状振動体の３次の固有モ
ードの周波数と、２次及び４次の固有モードの周波数と
の差の絶対値の小さい方の周波数差以下のカットオフ周
波数を持ち、急峻な遮断特性で該小さい方の周波数差以
上の周波数成分を除去すれば実施例１と同等の効果が得
られる。
〔実施例６〕 第１〜第５実施例に於いて、ローパスフィルタ（L.P.
F）12の動作をディジタル的な手法で置き換えることも
できる。例えば、（1/2fd）（fdは第13図に図示）より
長い時間の間隔で出力のタイミングを行なえば、fd以上
の周波数成分が減衰し、実施例１と同等の効果を得るこ
とができる。
F）12の動作をディジタル的な手法で置き換えることも
できる。例えば、（1/2fd）（fdは第13図に図示）より
長い時間の間隔で出力のタイミングを行なえば、fd以上
の周波数成分が減衰し、実施例１と同等の効果を得るこ
とができる。
請求項１に係わる発明によれば、駆動用周波信号以外
の振動が振動体に発生することを無くし、鳴き等の可聴
音の発生を減少させることができる。
の振動が振動体に発生することを無くし、鳴き等の可聴
音の発生を減少させることができる。
請求項２に係わる発明によれば、鳴き等の可聴音の発
生を生じることなく、速度、位置等の各種制御が安定
し、ワウフラッタの減少が図れ、高精度の位置制御が可
能となる。
生を生じることなく、速度、位置等の各種制御が安定
し、ワウフラッタの減少が図れ、高精度の位置制御が可
能となる。
第１図は本発明の思想を示すブロック図，第２図は振動
体に印加する交流電圧の振幅により速度を制御する回路
のブロック図、第３図は本発明を適用する振動型（超音
波）モータの構成例、第４図は振動モードの説明図、第
５図（ａ），（ｂ）はループフィルタとローパスフィル
タの特性例、第６図（ａ），（ｂ）は振動体の振動特性
と振動体に印加する交流電圧の周波数成分の例、第７図
は振動体に印加する交流電圧の周波数で速度を制御する
本発明実施例２のブロック図、第８図は第２図の回路
に、振動体の安定制御用に振動体の固有周波数で駆動出
来る様に、周波数制御回路を付加した本発明実施例３の
ブロック図、第９図は第２図の回路に振動体の振幅制御
用のマイナーループ制御の回路を付加した本発明実施例
４を示すブロック図、第10図（ａ），（ｂ）は棒状振動
体動体の構成例、第11図は棒状振動体によるモータ構成
例、第12図は棒状振動体によるモータの速度制御系であ
る本発明実施例５を示すブロック図、第13図（ａ），
（ｂ）は振動体の振動特性と、変調信号、搬送波、駆動
信号の周波数帯域例を示す図である。 １……振動体、２……ロータ ３……ローラ、４……エンコーダ 5,25……発振器、６……90゜移相器 7,8……電圧制御型増幅器（V.C.A） ９……水晶発振器、10……位相比較器 11……ループフィルタ 12,22,28……ローパスフィルタ（L.P.F） 13……電圧制御発振器（V.C.O） 30……位相差検出器、23……棒状振動体 24……ローラ、26……変調器 27……振動型（超音波）モータ、29……コントローラ
体に印加する交流電圧の振幅により速度を制御する回路
のブロック図、第３図は本発明を適用する振動型（超音
波）モータの構成例、第４図は振動モードの説明図、第
５図（ａ），（ｂ）はループフィルタとローパスフィル
タの特性例、第６図（ａ），（ｂ）は振動体の振動特性
と振動体に印加する交流電圧の周波数成分の例、第７図
は振動体に印加する交流電圧の周波数で速度を制御する
本発明実施例２のブロック図、第８図は第２図の回路
に、振動体の安定制御用に振動体の固有周波数で駆動出
来る様に、周波数制御回路を付加した本発明実施例３の
ブロック図、第９図は第２図の回路に振動体の振幅制御
用のマイナーループ制御の回路を付加した本発明実施例
４を示すブロック図、第10図（ａ），（ｂ）は棒状振動
体動体の構成例、第11図は棒状振動体によるモータ構成
例、第12図は棒状振動体によるモータの速度制御系であ
る本発明実施例５を示すブロック図、第13図（ａ），
（ｂ）は振動体の振動特性と、変調信号、搬送波、駆動
信号の周波数帯域例を示す図である。 １……振動体、２……ロータ ３……ローラ、４……エンコーダ 5,25……発振器、６……90゜移相器 7,8……電圧制御型増幅器（V.C.A） ９……水晶発振器、10……位相比較器 11……ループフィルタ 12,22,28……ローパスフィルタ（L.P.F） 13……電圧制御発振器（V.C.O） 30……位相差検出器、23……棒状振動体 24……ローラ、26……変調器 27……振動型（超音波）モータ、29……コントローラ
Claims (2)
- 【請求項１】振動体に電気−機械エネルギー変換素子部
を配し、該変換素子部に駆動用周波信号を印加して振動
体を励振させ、駆動力を得る振動型モータ装置におい
て、前記駆動用周波信号の特性値を変調信号に応答して
変調する変調回路と、制御信号に応答して前記変調回路
に前記変調信号を供給するフィルター手段を設けるとと
もに、該フィルター手段の周波数特性としてｎ次のモー
ドで駆動する際に、（ｎ−１）次のモードにおける固有
周波数とｎ次のモードにおける固有周波数との差の絶対
値と、（ｎ＋１）次のモードにおける固有周波数とｎ次
のモードにおける固有周波数との差の絶対値のうち、小
さい方の値以下の周波数を上限とするローパス特性に設
定したことを特徴とする振動型モーター装置。 - 【請求項２】前記モーター装置の動作またはモーター装
置により駆動される対象の動作状態を表すセンシング信
号と参照信号を検出し、該センシング信号と参照信号の
関係に応じて前記制御信号を形成する制御信号形成手段
が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の振
動型モーター装置。
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