JPH0789748B2 - 超音波モ−タ駆動法 - Google Patents
超音波モ−タ駆動法Info
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- JPH0789748B2 JPH0789748B2 JP61256042A JP25604286A JPH0789748B2 JP H0789748 B2 JPH0789748 B2 JP H0789748B2 JP 61256042 A JP61256042 A JP 61256042A JP 25604286 A JP25604286 A JP 25604286A JP H0789748 B2 JPH0789748 B2 JP H0789748B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は圧電体を用いて駆動力を発生する超音波モータ
の駆動法に関する。
の駆動法に関する。
従来の技術 近年圧電セラミック等の圧電体を用いた駆動体に弾性振
動を励振し、これを駆動力とした超音波モータが注目さ
れている。
動を励振し、これを駆動力とした超音波モータが注目さ
れている。
以下、図面を参照しながら超音波モータの従来技術につ
いて説明を行う。
いて説明を行う。
第４図は従来の超音波モータの斜視図であり、円環形の
弾性体１の円環面の一方に圧電体として円環形圧電セラ
ミック２を貼合せて圧電駆動体３を構成している。４は
耐磨耗性材料のスライダ、５は弾性体であり、互いに貼
合せられて移動体６を構成している。移動体６はスライ
ダ４を介して駆動体３と加圧接触している。圧電体２に
電界を印加すると駆動体３の周方向に曲げ振動の進行波
が励起され、移動体６を駆動する。尚、同図中の矢印は
移動体６の回転方向を示す。
弾性体１の円環面の一方に圧電体として円環形圧電セラ
ミック２を貼合せて圧電駆動体３を構成している。４は
耐磨耗性材料のスライダ、５は弾性体であり、互いに貼
合せられて移動体６を構成している。移動体６はスライ
ダ４を介して駆動体３と加圧接触している。圧電体２に
電界を印加すると駆動体３の周方向に曲げ振動の進行波
が励起され、移動体６を駆動する。尚、同図中の矢印は
移動体６の回転方向を示す。
第５図は第４図の超音波モータに使用した圧電セラミッ
ク２の電極構造の一例を示している。同図では円周方向
に９波長の弾性波がのるようにしてある。同図におい
て、Ａ、Ｂはそれぞれ２分の１波長相当の小領域から成
る電極群で、Ｃは４分の３波長、Ｄは４分の１波長の長
さの電極である。従って、Ａの電極群とＢの電極群とは
位置的に４分の１波長（＝90度）の位相ずれがある。電
極群Ａ、Ｂ内の隣り合う小電極部は互いに反対に厚み方
向に分極されている。圧電セラミック２の弾性体１との
接着面は第５図に示めされた面と反対の面であり、電極
はベタ電極である。使用時には電極群Ａ、Ｂは第５図に
斜線で示されたように、それぞれ短絡して用いられる。
ク２の電極構造の一例を示している。同図では円周方向
に９波長の弾性波がのるようにしてある。同図におい
て、Ａ、Ｂはそれぞれ２分の１波長相当の小領域から成
る電極群で、Ｃは４分の３波長、Ｄは４分の１波長の長
さの電極である。従って、Ａの電極群とＢの電極群とは
位置的に４分の１波長（＝90度）の位相ずれがある。電
極群Ａ、Ｂ内の隣り合う小電極部は互いに反対に厚み方
向に分極されている。圧電セラミック２の弾性体１との
接着面は第５図に示めされた面と反対の面であり、電極
はベタ電極である。使用時には電極群Ａ、Ｂは第５図に
斜線で示されたように、それぞれ短絡して用いられる。
以上のように構成された超音波モータについて、その動
作を以下に説明する。前記圧電体２の電極群Ａに Ｖ＝V1×sin（ωｔ） ……（１） で表される電圧を印加すると（ただしV1は電圧の瞬時
値、ωは角周波数、ｔは時間）、駆動体３は円周方向に
曲げ振動をする。
作を以下に説明する。前記圧電体２の電極群Ａに Ｖ＝V1×sin（ωｔ） ……（１） で表される電圧を印加すると（ただしV1は電圧の瞬時
値、ωは角周波数、ｔは時間）、駆動体３は円周方向に
曲げ振動をする。
第６図は第４図の超音波モータの駆動体を直線近似した
時の斜視図であり、同図（ａ）は圧電体２に電圧を印加
していない時、同図（ｂ）は圧電体２に電圧を印加した
時の様子を示す。
時の斜視図であり、同図（ａ）は圧電体２に電圧を印加
していない時、同図（ｂ）は圧電体２に電圧を印加した
時の様子を示す。
第７図は移動体６と駆動体３の接触状況を拡大して描い
たものである。前記圧電体２の電極群ＡにV1×sin（ω
ｔ）、他の電極群ＢにV1×cos（ωｔ）の互いに時間的
に位相がπ/2だけずれた電圧を印加すれば、駆動体３の
円周方向に曲げ振動の進行波を作ることができる。一般
に進行波は振幅をξとすれば ξ＝ξ１×cos（ωｔ−kx） ……（２） ただし ξ1:波の大きさの瞬時値 k:波数（２π／λ） λ：波長 x:位置 で表せる。（２）式は ξ＝ξ１×（cos（ωｔ）×cos（kx） ＋sin（ωｔ）×sin（kx）） ……（３） と書き直せ、（３）式は進行波が時間的にπ/2だけ位相
のずれた波cos（ωｔ）とsin（ωｔ）、および位置的に
π/2だけ位相のずれたcos（kx）とsin（kx）との、それ
ぞれの積の和で得られることを示している。前述の説明
より、圧電体２は互いに位置的にπ/2（＝λ/4）だけ位
相のずれた電極群Ａ、Ｂを持っているので、駆動体３の
共振周波数に近傍の周波数出力を持つ発振器の出力か
ら、それぞれに時間的に位相のπ/2だけずれた交流電圧
を作り、前記電極群に印加すれば駆動体３に曲げ振動の
進行波を作れる。
たものである。前記圧電体２の電極群ＡにV1×sin（ω
ｔ）、他の電極群ＢにV1×cos（ωｔ）の互いに時間的
に位相がπ/2だけずれた電圧を印加すれば、駆動体３の
円周方向に曲げ振動の進行波を作ることができる。一般
に進行波は振幅をξとすれば ξ＝ξ１×cos（ωｔ−kx） ……（２） ただし ξ1:波の大きさの瞬時値 k:波数（２π／λ） λ：波長 x:位置 で表せる。（２）式は ξ＝ξ１×（cos（ωｔ）×cos（kx） ＋sin（ωｔ）×sin（kx）） ……（３） と書き直せ、（３）式は進行波が時間的にπ/2だけ位相
のずれた波cos（ωｔ）とsin（ωｔ）、および位置的に
π/2だけ位相のずれたcos（kx）とsin（kx）との、それ
ぞれの積の和で得られることを示している。前述の説明
より、圧電体２は互いに位置的にπ/2（＝λ/4）だけ位
相のずれた電極群Ａ、Ｂを持っているので、駆動体３の
共振周波数に近傍の周波数出力を持つ発振器の出力か
ら、それぞれに時間的に位相のπ/2だけずれた交流電圧
を作り、前記電極群に印加すれば駆動体３に曲げ振動の
進行波を作れる。
第７図は進行波の励起によって、駆動体の表面の質点が
長軸2w、短軸2uの楕円運動をしている様子を示し、駆動
体３上に置かれた移動体６が楕円の頂点で接触すること
により、波の信号方向とは逆方向にｖ＝ω×ｕの速度で
運動する様子を示している。即ち移動体６は任意の静圧
で駆動体３に押し付けられて、駆動体３の表面に接触
し、移動体６と駆動体３との摩擦力で波の進行方向と逆
方向に速度ｖで駆動される。両者の間にすべりがある時
は、速度が上記のｖよりも小さくなる。
長軸2w、短軸2uの楕円運動をしている様子を示し、駆動
体３上に置かれた移動体６が楕円の頂点で接触すること
により、波の信号方向とは逆方向にｖ＝ω×ｕの速度で
運動する様子を示している。即ち移動体６は任意の静圧
で駆動体３に押し付けられて、駆動体３の表面に接触
し、移動体６と駆動体３との摩擦力で波の進行方向と逆
方向に速度ｖで駆動される。両者の間にすべりがある時
は、速度が上記のｖよりも小さくなる。
以上説明したように、超音波モータは曲げ振動の進行波
を利用しているので、移動体６の速度を遅くしようとす
れば、駆動電圧を小さくして駆動体３の振動の振幅を小
さくし、上記の短軸ｕを小さくすればよい。しかし、振
動の振幅があまり小さくなると、駆動体３あるいは移動
体６の接触面の凹凸により、上記楕円の頂点が移動体６
の接触面に安定に接触できなくなり、移動体６の速度が
不安定になる。第８図にこの様子を示す。
を利用しているので、移動体６の速度を遅くしようとす
れば、駆動電圧を小さくして駆動体３の振動の振幅を小
さくし、上記の短軸ｕを小さくすればよい。しかし、振
動の振幅があまり小さくなると、駆動体３あるいは移動
体６の接触面の凹凸により、上記楕円の頂点が移動体６
の接触面に安定に接触できなくなり、移動体６の速度が
不安定になる。第８図にこの様子を示す。
従って、第８図に示した速度Ｖよりも低速で移動体６を
移動させる時には、第９図に示すようにバースト信号で
駆動体３を駆動して、移動体の平均速度を目的の低速に
する。
移動させる時には、第９図に示すようにバースト信号で
駆動体３を駆動して、移動体の平均速度を目的の低速に
する。
発明が解決しようとする問題点 ところが、超音波モータは共振周波数近傍の駆動周波数
より低い周波数帯域に、無数の機械共振を有するので、
駆動バースト信号の間隔T1およびバースト信号の幅T2の
両方とも一定にすると、バースト信号の強勢な周波数成
分が一定になり、その周波数に対応した耳障りな雑音が
発生する。
より低い周波数帯域に、無数の機械共振を有するので、
駆動バースト信号の間隔T1およびバースト信号の幅T2の
両方とも一定にすると、バースト信号の強勢な周波数成
分が一定になり、その周波数に対応した耳障りな雑音が
発生する。
すなわち、従来は超音波モータを低速で動作させる時、
駆動信号として間隔および幅の両方とも一定にしたバー
スト信号を採用したため、そのバースト信号の強勢な周
波数成分が一定になり、その周波数に対応した耳障りな
雑音が発生するという欠点がある。
駆動信号として間隔および幅の両方とも一定にしたバー
スト信号を採用したため、そのバースト信号の強勢な周
波数成分が一定になり、その周波数に対応した耳障りな
雑音が発生するという欠点がある。
本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、耳障りな雑
音を軽減した、しかも安定した低速駆動の可能な超音波
モータを提供することを目的としている。
音を軽減した、しかも安定した低速駆動の可能な超音波
モータを提供することを目的としている。
問題点を解決するための手段 超音波モータの駆動体をバースト信号で駆動し、駆動バ
ースト信号の間隔および幅の少なくとも一方は変化させ
ることにより、耳障りな雑音を低減し、しかも安定した
低速駆動を実現する。
ースト信号の間隔および幅の少なくとも一方は変化させ
ることにより、耳障りな雑音を低減し、しかも安定した
低速駆動を実現する。
作 用 超音波モータの駆動体をバースト信号で駆動し、駆動バ
ースト信号の間隔および幅の少なくとも一方は変化させ
ることにより、駆動バースト信号の強勢な周波数成分を
分散することにより、発生する雑音の周波数を分散する
ことにより、外部に発生する耳障りな雑音を低減し、し
かも安定した低速駆動を実現する。
ースト信号の間隔および幅の少なくとも一方は変化させ
ることにより、駆動バースト信号の強勢な周波数成分を
分散することにより、発生する雑音の周波数を分散する
ことにより、外部に発生する耳障りな雑音を低減し、し
かも安定した低速駆動を実現する。
実施例 以下、図面に従って本発明の一実施例について詳細な説
明を行う。
明を行う。
第１図は本発明の１実施例の超音波モータ駆動回路のブ
ロック図である。同図において、７は発振回路であり、
超音波モータの駆動信号を発生している。発振回路７の
出力は２分割され、一方は90度移相器８に入力されてバ
ースト変調回路９に入力される。他方はそのままバース
ト変調回路10に入力される。バースト変調回路９と10
は、それぞれバースト間隔設定器11およびバースト幅設
定器12により決められたバースト間隔と幅に、入力信号
を変調する。バースト信号に変調された駆動信号は、増
幅器13および14で駆動体を駆動するに必要な振幅値にま
で増幅される。増幅後の駆動信号は、駆動体３を構成す
る圧電体２の２つの電極群に印加される。駆動体３は駆
動信号に対応した弾性振動をする。ここで、バースト間
隔設定器11およびバースト幅設定器12は、駆動バースト
信号の周波数成分が一定値のみ強勢にならないように、
移動体のバースト間隔よりも長時間における平均速度が
ほぼ一定になるように、バースト間隔およびバースト幅
を変化させている。
ロック図である。同図において、７は発振回路であり、
超音波モータの駆動信号を発生している。発振回路７の
出力は２分割され、一方は90度移相器８に入力されてバ
ースト変調回路９に入力される。他方はそのままバース
ト変調回路10に入力される。バースト変調回路９と10
は、それぞれバースト間隔設定器11およびバースト幅設
定器12により決められたバースト間隔と幅に、入力信号
を変調する。バースト信号に変調された駆動信号は、増
幅器13および14で駆動体を駆動するに必要な振幅値にま
で増幅される。増幅後の駆動信号は、駆動体３を構成す
る圧電体２の２つの電極群に印加される。駆動体３は駆
動信号に対応した弾性振動をする。ここで、バースト間
隔設定器11およびバースト幅設定器12は、駆動バースト
信号の周波数成分が一定値のみ強勢にならないように、
移動体のバースト間隔よりも長時間における平均速度が
ほぼ一定になるように、バースト間隔およびバースト幅
を変化させている。
第２図は第１図の実施例の駆動回路における駆動バース
ト信号波形と、その信号で駆動したときの移動体の実際
の移動速度と、バースト間隔の間の移動体の平均速度、
およびバースト間隔よりも長時間での移動体の平均速度
を示している。バースト間隔程度の時間での平均速度は
変化しているが、もっと長時間での平均速度は一定とみ
なせる。例えば、人間の目程度では一定速度と見える。
ト信号波形と、その信号で駆動したときの移動体の実際
の移動速度と、バースト間隔の間の移動体の平均速度、
およびバースト間隔よりも長時間での移動体の平均速度
を示している。バースト間隔程度の時間での平均速度は
変化しているが、もっと長時間での平均速度は一定とみ
なせる。例えば、人間の目程度では一定速度と見える。
第３図は、従来のようにバースト間隔およびバースト幅
一定にしたバースト信号で駆動した時の超音波モータが
発生する雑音の周波数特性と、第１図の実施例における
バースト信号で駆動した時の雑音の周波数特性である。
同図より、雑音のある周波数でのピーク値が減り、雑音
が耳障りでなくなっているのがわかる。
一定にしたバースト信号で駆動した時の超音波モータが
発生する雑音の周波数特性と、第１図の実施例における
バースト信号で駆動した時の雑音の周波数特性である。
同図より、雑音のある周波数でのピーク値が減り、雑音
が耳障りでなくなっているのがわかる。
以上では、超音波モータの駆動体を駆動するバースト信
号のバースト間隔およびバースト幅の両方とも変化させ
ているが、駆動バースト信号のバースト間隔およびバー
スト幅の少なくとも一方を変化させても、駆動バースト
信号の強勢な周波数成分を分散することができ、発生す
る雑音の周波数を分散することができるので、外部に発
生する耳障りな雑音を低減し、しかも安定した低速駆動
を実現するという同様の効果があることは言うまでもな
い。
号のバースト間隔およびバースト幅の両方とも変化させ
ているが、駆動バースト信号のバースト間隔およびバー
スト幅の少なくとも一方を変化させても、駆動バースト
信号の強勢な周波数成分を分散することができ、発生す
る雑音の周波数を分散することができるので、外部に発
生する耳障りな雑音を低減し、しかも安定した低速駆動
を実現するという同様の効果があることは言うまでもな
い。
発明の効果 本発明によれば、耳障りな雑音を減らした、しかも安定
な低速動作をする超音波モータを提供できる。
な低速動作をする超音波モータを提供できる。
第１図は本発明の一実施例の超音波モータ駆動法を用い
た超音波モータ駆動回路のブロック図、第２図はバース
ト駆動信号と移動体の速度のタイミングを示す波形図、
第３図はバースト駆動時の超音波モータの雑音の周波数
特性図、第４図は従来の超音波モータの斜視図、第５図
は第４図に用いられている圧電体の形状と電極構造を示
す平面図、第６図は超音波モータの駆動体部の振動状態
を示すモデル図、第７図は超音波モータの原理の説明
図、第８図は駆動体の曲げ振動と移動体の速度の関係を
示すグラフ、第９図は従来のバースト駆動信号と移動体
の速度のタイミングを示す波形図である。 ７……発振回路、８……90度移相器、９、10……バース
ト変調回路、11……バースト間隔設定器、12……バース
ト幅設定器、13、14……増幅器。
た超音波モータ駆動回路のブロック図、第２図はバース
ト駆動信号と移動体の速度のタイミングを示す波形図、
第３図はバースト駆動時の超音波モータの雑音の周波数
特性図、第４図は従来の超音波モータの斜視図、第５図
は第４図に用いられている圧電体の形状と電極構造を示
す平面図、第６図は超音波モータの駆動体部の振動状態
を示すモデル図、第７図は超音波モータの原理の説明
図、第８図は駆動体の曲げ振動と移動体の速度の関係を
示すグラフ、第９図は従来のバースト駆動信号と移動体
の速度のタイミングを示す波形図である。 ７……発振回路、８……90度移相器、９、10……バース
ト変調回路、11……バースト間隔設定器、12……バース
ト幅設定器、13、14……増幅器。
Claims (1)
- 【請求項１】弾性体と圧電体とから成る駆動体に駆動信
号として交流電圧を印加して弾性進行波を励振すること
により、上記駆動体上に接触して設置された移動体を移
動させる超音波モータにおいて、上記圧電体に駆動信号
として、上記移動体の平均速度がほぼ一定になるように
して、バースト信号の幅あるいはバースト信号の間隔
の、少なくとも一方を変化させたバースト信号を駆動信
号として印加することを特徴とする超音波モータ駆動方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61256042A JPH0789748B2 (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 超音波モ−タ駆動法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61256042A JPH0789748B2 (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 超音波モ−タ駆動法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63110971A JPS63110971A (ja) | 1988-05-16 |
| JPH0789748B2 true JPH0789748B2 (ja) | 1995-09-27 |
Family
ID=17287101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61256042A Expired - Fee Related JPH0789748B2 (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 超音波モ−タ駆動法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0789748B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3240181A1 (en) * | 2016-04-26 | 2017-11-01 | Topcon Corporation | Control of ultrasonic motor in surveying instrument |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2874765B2 (ja) * | 1989-06-19 | 1999-03-24 | キヤノン株式会社 | 振動型モーター装置 |
| JP2002112564A (ja) | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Minolta Co Ltd | アクチュエータの駆動装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61139278A (ja) * | 1984-12-10 | 1986-06-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モ−タ装置 |
-
1986
- 1986-10-28 JP JP61256042A patent/JPH0789748B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3240181A1 (en) * | 2016-04-26 | 2017-11-01 | Topcon Corporation | Control of ultrasonic motor in surveying instrument |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63110971A (ja) | 1988-05-16 |
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