JPS6356179A - 超音波モ−タ駆動方法 - Google Patents
超音波モ−タ駆動方法Info
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- JPS6356179A JPS6356179A JP61199634A JP19963486A JPS6356179A JP S6356179 A JPS6356179 A JP S6356179A JP 61199634 A JP61199634 A JP 61199634A JP 19963486 A JP19963486 A JP 19963486A JP S6356179 A JPS6356179 A JP S6356179A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は圧電体を用いて駆動力を発生する超音波モータ
の駆動方法に関する。
の駆動方法に関する。
従来の技術
近年圧電セラミック等の圧電体を用いた駆動体に弾性振
動を励振し、これを駆動力とした超音波モータが注目さ
れている。
動を励振し、これを駆動力とした超音波モータが注目さ
れている。
以下、図面を参照しながら超音波モータの従来技術につ
いて説明を行う。
いて説明を行う。
第４図は従来の超音波モータの斜視図であり、円環形の
弾性体１の円環面の一方に圧電体として円環形圧電セラ
ミック２を貼合せて圧電駆動体３を構成している。４は
耐磨耗性材料のスライダ、５は弾性体であり、互いに貼
合せられて移動体６を構成している。移動体６はスライ
ダ４を介して駆動体３と接触している。圧電体２に電界
を印加すると駆動体３の周方向に曲げ撮動の進行波が励
起され、移動体６を駆動する。尚、同図中の矢印は移動
体６の回転方向を示す。
弾性体１の円環面の一方に圧電体として円環形圧電セラ
ミック２を貼合せて圧電駆動体３を構成している。４は
耐磨耗性材料のスライダ、５は弾性体であり、互いに貼
合せられて移動体６を構成している。移動体６はスライ
ダ４を介して駆動体３と接触している。圧電体２に電界
を印加すると駆動体３の周方向に曲げ撮動の進行波が励
起され、移動体６を駆動する。尚、同図中の矢印は移動
体６の回転方向を示す。
第５図は第４図の超音波モータに使用した圧電セラミッ
ク２の電極構造の一例を示している。同図では円周方向
に９波長の弾性波がのるようにしである。同図において
、Ａ、Ｂはそれぞれ２分の１波長相当の小領域から成る
電極で、Ｃは４分の３波長、Ｄは４分の１波長の長さの
電極である。
ク２の電極構造の一例を示している。同図では円周方向
に９波長の弾性波がのるようにしである。同図において
、Ａ、Ｂはそれぞれ２分の１波長相当の小領域から成る
電極で、Ｃは４分の３波長、Ｄは４分の１波長の長さの
電極である。
従って、Ａの電極とＢの電極とは位置的に４分の１波長
（−９０度）の位相ずれがある。電極Ａ１Ｂ内の隣り合
う小電極部は互いに反対に厚み方向に分極されている。
（−９０度）の位相ずれがある。電極Ａ１Ｂ内の隣り合
う小電極部は互いに反対に厚み方向に分極されている。
圧電セラミック２の弾性体１との接着面は第５図に示め
された面と反対の面であり、電極はベタ電極である。使
用時には電極群Ａ、Ｂは第５図に斜線で示されたように
、それぞれ短絡して用いられる。
された面と反対の面であり、電極はベタ電極である。使
用時には電極群Ａ、Ｂは第５図に斜線で示されたように
、それぞれ短絡して用いられる。
以上のように構成された超音波モータについて、その動
作を以下に説明する。前記圧電体２の電極Ａに Ｖ−Ｖｌ ｘｓｉｎ（ωｔ） −−−
（１）で表される電圧を印加するとくただしｖｌは電圧
の瞬時値、ωは角周波数、ｔは時間）、駆動体３は円周
方向に曲げ振動をする。
作を以下に説明する。前記圧電体２の電極Ａに Ｖ−Ｖｌ ｘｓｉｎ（ωｔ） −−−
（１）で表される電圧を印加するとくただしｖｌは電圧
の瞬時値、ωは角周波数、ｔは時間）、駆動体３は円周
方向に曲げ振動をする。
第６図は第４図の超音波モータの駆動体を直線近似した
時の斜視図であり、同図（ａ）は圧電体２に電圧を印加
していない時、同図（ｂ）は圧電体２に電圧を印加した
時の様子を示す。
時の斜視図であり、同図（ａ）は圧電体２に電圧を印加
していない時、同図（ｂ）は圧電体２に電圧を印加した
時の様子を示す。
第７図は移動体６と駆動体３の接触状況を拡大して描い
たものである。前記圧電体２の電極ＡにＶｌ ｘｓｉｎ
（ωｔ）、他の電極ＢにＶｌ ｘｃｏｓ（ωｔ）の互い
に位相がπ／２だけずれた電圧を印加すれば、駆動体３
の円周方向に曲げ振動の進行波を作ることができる。一
般に進行波は振幅をξとすればξ−ξ１ ｘｃｏｓ（ω
ｔ−ｋｘ） −−−（２）ただし ξ１
：波の大きさの瞬時値 ｋ ：波数（２π／λ） λ：波長 Ｘ ：位置 で表せる。（２）式は ξ−ξＩ Ｘ（ＣＯ５（ωｔ）ｘｃｏｓ（ｋｘ）＋５ｉ
ｎ（ωｔ）ｘｓｉｎ（ｋｘ）） −−−（３）と書
き直せ、（３）式は進行波が時間的にπ／２だけ位相の
ずれた波Ｃ０５（ωｔ）と５ｉｎ（ωｔ）、および位置
的にπ／２だけ位相のずれたｃｏｓ（ｋｘ）と５ｉｎ（
ｋＸ〉との、それぞれの積の和で得られることを示して
いる。前述の説明より、圧電体２は互いに位置的にπ／
２（−λ／４）だけ位相のずれた電極群Ａ、Ｂを持って
いるので、駆動体３の共振周波数に等しい周波数出力を
持つ発振器の出力から、それぞれに時間的に位相のπ／
２だけずれた交流電圧を作り、前記電極群に印加すれば
駆動体３に曲げ振動の進行波を作れる。
たものである。前記圧電体２の電極ＡにＶｌ ｘｓｉｎ
（ωｔ）、他の電極ＢにＶｌ ｘｃｏｓ（ωｔ）の互い
に位相がπ／２だけずれた電圧を印加すれば、駆動体３
の円周方向に曲げ振動の進行波を作ることができる。一
般に進行波は振幅をξとすればξ−ξ１ ｘｃｏｓ（ω
ｔ−ｋｘ） −−−（２）ただし ξ１
：波の大きさの瞬時値 ｋ ：波数（２π／λ） λ：波長 Ｘ ：位置 で表せる。（２）式は ξ−ξＩ Ｘ（ＣＯ５（ωｔ）ｘｃｏｓ（ｋｘ）＋５ｉ
ｎ（ωｔ）ｘｓｉｎ（ｋｘ）） −−−（３）と書
き直せ、（３）式は進行波が時間的にπ／２だけ位相の
ずれた波Ｃ０５（ωｔ）と５ｉｎ（ωｔ）、および位置
的にπ／２だけ位相のずれたｃｏｓ（ｋｘ）と５ｉｎ（
ｋＸ〉との、それぞれの積の和で得られることを示して
いる。前述の説明より、圧電体２は互いに位置的にπ／
２（−λ／４）だけ位相のずれた電極群Ａ、Ｂを持って
いるので、駆動体３の共振周波数に等しい周波数出力を
持つ発振器の出力から、それぞれに時間的に位相のπ／
２だけずれた交流電圧を作り、前記電極群に印加すれば
駆動体３に曲げ振動の進行波を作れる。
第７図は駆動体のＡ点が進行波の励起によって、長軸２
Ｗ ％短軸２ｕの楕円運動をしている様子を示し、駆
動体３上に置かれた移動体６が楕円の頂点で接触するこ
とにより、波の進行方向とは逆方向にＶ−ω×ｕの速度
で運動する様子を示している。即ち移動体６は任意の静
圧で駆動体３に押し付けられて、駆動体３の表面に接触
し、移動体６と駆動体３との摩擦力で波の進行方向と逆
方向に速度Ｖで駆動される。
Ｗ ％短軸２ｕの楕円運動をしている様子を示し、駆
動体３上に置かれた移動体６が楕円の頂点で接触するこ
とにより、波の進行方向とは逆方向にＶ−ω×ｕの速度
で運動する様子を示している。即ち移動体６は任意の静
圧で駆動体３に押し付けられて、駆動体３の表面に接触
し、移動体６と駆動体３との摩擦力で波の進行方向と逆
方向に速度Ｖで駆動される。
上記の楕円の短軸（進行方向）は、波の振幅に比例して
いるので、速度を太き（するためには波の振幅を太き（
しなければならない。また、波の振幅を低電圧で太き（
するためには駆動体の共振周波数近傍で駆動しなければ
ならない。ところが駆動体の共振周波数は温度や負荷の
変動によって変化するので、従来のように一定周波数で
駆動したのでは、駆動周波数と共振周波数の相対的関係
が変化して超音波モータの特性が変化してしまう。
いるので、速度を太き（するためには波の振幅を太き（
しなければならない。また、波の振幅を低電圧で太き（
するためには駆動体の共振周波数近傍で駆動しなければ
ならない。ところが駆動体の共振周波数は温度や負荷の
変動によって変化するので、従来のように一定周波数で
駆動したのでは、駆動周波数と共振周波数の相対的関係
が変化して超音波モータの特性が変化してしまう。
発明が解決しようとする問題点
以上、説明した様に従来の超音波モータは、時間的に位
相がπ／２だけ異なる一定周波数の２つの交流電圧を駆
動信号として用いていた。そのため温度や負荷が変動し
て駆動体の共振周波数が変化すると、共振周波数と駆動
周波数の関係が変化して、モータの特性が急激に変わっ
てしまうという問題点−があった。
相がπ／２だけ異なる一定周波数の２つの交流電圧を駆
動信号として用いていた。そのため温度や負荷が変動し
て駆動体の共振周波数が変化すると、共振周波数と駆動
周波数の関係が変化して、モータの特性が急激に変わっ
てしまうという問題点−があった。
本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、温度や負荷
が変化しても、常に安定な動作をする超音波モータを提
供することを目的としている。
が変化しても、常に安定な動作をする超音波モータを提
供することを目的としている。
問題点を解決するための手段
駆動体の共振周波数がその範囲内に含まれるように設定
された周波数可変範囲内を、交流駆動電圧の周波数を低
いほうから高いほうへ掃引して、該駆動体の共振周波数
を検知し、駆動体を構成する圧電体に印加する交流駆動
電圧の駆動周波数が、駆動体の反共振周波数より低（共
振周波数より高くなるように設定する。
された周波数可変範囲内を、交流駆動電圧の周波数を低
いほうから高いほうへ掃引して、該駆動体の共振周波数
を検知し、駆動体を構成する圧電体に印加する交流駆動
電圧の駆動周波数が、駆動体の反共振周波数より低（共
振周波数より高くなるように設定する。
作用
交流駆動電圧の周波数を低いほうから高いほうへ掃引し
て、駆動体の共振周波数を検知することにより、駆動体
の非線形性による共振周波数のヒステリシスの最大値を
求め、駆動体を構成する圧電体に印加する交流駆動電圧
の駆動周波数が、駆動体の反共振周波数より低（共振周
波数より高くなるように設定することにより、温度や負
荷が変動して駆動体の共振周波数が変化しても、その変
化に対応して駆動周波数を適切な周波数に変えられるの
で、常に安定な動作をする超音波モータを提供すること
ができる。
て、駆動体の共振周波数を検知することにより、駆動体
の非線形性による共振周波数のヒステリシスの最大値を
求め、駆動体を構成する圧電体に印加する交流駆動電圧
の駆動周波数が、駆動体の反共振周波数より低（共振周
波数より高くなるように設定することにより、温度や負
荷が変動して駆動体の共振周波数が変化しても、その変
化に対応して駆動周波数を適切な周波数に変えられるの
で、常に安定な動作をする超音波モータを提供すること
ができる。
実施例
以下、図面に従って本発明の一実施例について詳細な説
明を行う。
明を行う。
第１図は本発明の超音波モータの駆動方法を実現する具
体回路のブロック図である。この回路が動作を開始する
と、掃引制御器１２が制御電圧発生器１３に電圧を掃引
させる。この掃引電圧は、電圧制御発振器７の制御端子
Ｔに入力される。すると、電圧制御発振器７の出力周波
数は福引電圧に従って掃引される。ここで掃引電圧は駆
動体の共振周波数が必ず掃引範囲内に入るように設定す
る。電圧制御発振器７の出力は２つに分けられ、一方は
９０度位相器８を通して電力増幅器９に、他方はそのま
ま電力増幅器１０にそれぞれ入力されて、駆動体３を駆
動するのに必要な値にまで増幅される。電力増幅器９．
１０の出力は、超音波モータの駆動体３を構成する圧電
体２にそれぞれ印加されて、駆動体３を駆動する。
体回路のブロック図である。この回路が動作を開始する
と、掃引制御器１２が制御電圧発生器１３に電圧を掃引
させる。この掃引電圧は、電圧制御発振器７の制御端子
Ｔに入力される。すると、電圧制御発振器７の出力周波
数は福引電圧に従って掃引される。ここで掃引電圧は駆
動体の共振周波数が必ず掃引範囲内に入るように設定す
る。電圧制御発振器７の出力は２つに分けられ、一方は
９０度位相器８を通して電力増幅器９に、他方はそのま
ま電力増幅器１０にそれぞれ入力されて、駆動体３を駆
動するのに必要な値にまで増幅される。電力増幅器９．
１０の出力は、超音波モータの駆動体３を構成する圧電
体２にそれぞれ印加されて、駆動体３を駆動する。
駆動体３の入力端子には抵抗１１が接続されており、駆
動体３に流れる電流を抵抗１１の両端電圧により、電流
検出器１４で検出する。また、電圧検出器１５は駆動体
３に印加される駆動電圧を検出する。位相差検出器１６
は電流検出器１４と電圧検出器１５の出力から、電流電
圧の位相差に比例した電圧を発生する。位相差検出器１
６の出力は、位相範囲比較器１７の１人力と記憶器１８
にそれぞれ入力される。記憶器１８には最小値判別器１
９が接続され、電流電圧の位相差の最小値を判別して、
その時の駆動周波数を駆動周波数制御器２０に記憶させ
る。共振周波数の検知が終わると駆動周波数制御器２０
は既に記憶した共振周波数より、駆動周波数を共振周波
数と反共振周波数の間の値になるように駆動周波数を設
定し、その周波数に対応する電圧を制御電圧発生器１３
に発生させる。
動体３に流れる電流を抵抗１１の両端電圧により、電流
検出器１４で検出する。また、電圧検出器１５は駆動体
３に印加される駆動電圧を検出する。位相差検出器１６
は電流検出器１４と電圧検出器１５の出力から、電流電
圧の位相差に比例した電圧を発生する。位相差検出器１
６の出力は、位相範囲比較器１７の１人力と記憶器１８
にそれぞれ入力される。記憶器１８には最小値判別器１
９が接続され、電流電圧の位相差の最小値を判別して、
その時の駆動周波数を駆動周波数制御器２０に記憶させ
る。共振周波数の検知が終わると駆動周波数制御器２０
は既に記憶した共振周波数より、駆動周波数を共振周波
数と反共振周波数の間の値になるように駆動周波数を設
定し、その周波数に対応する電圧を制御電圧発生器１３
に発生させる。
位相範囲比較器１７の残りの１入力端子には、位相差の
許容範囲に相当する設定電圧Ｐが入力される。温度や負
荷の変動により駆動体の共振周波数が変化して、上記に
より設定した駆動周波数での位相差に対応する電圧が設
定電圧Ｐの分よりもはずれれば、つまり電流電圧の位相
差が設定された位相差からずれて位相差の許容範囲外に
なれば、論理的Ｈを出力する。この出力は掃引制御器１
２の制御端子Ｃに入力され、再び駆動周波数の掃引を開
始して、上記に述べた駆動周波数の設定をする。
許容範囲に相当する設定電圧Ｐが入力される。温度や負
荷の変動により駆動体の共振周波数が変化して、上記に
より設定した駆動周波数での位相差に対応する電圧が設
定電圧Ｐの分よりもはずれれば、つまり電流電圧の位相
差が設定された位相差からずれて位相差の許容範囲外に
なれば、論理的Ｈを出力する。この出力は掃引制御器１
２の制御端子Ｃに入力され、再び駆動周波数の掃引を開
始して、上記に述べた駆動周波数の設定をする。
第２図は駆動体を一定電圧で駆動したときの電流値、電
圧電流の位相差および移動体の回転数の周波数特性図で
ある。また、第３図は駆動周波数を下から掃引したとき
、および上から掃引したときに示す駆動体の非線形性に
起因するアドミッタンスのヒステリシス曲線である。
圧電流の位相差および移動体の回転数の周波数特性図で
ある。また、第３図は駆動周波数を下から掃引したとき
、および上から掃引したときに示す駆動体の非線形性に
起因するアドミッタンスのヒステリシス曲線である。
第２図より、移動体の回転数は駆動体の共振周波数ｆ１
近傍で大きくなるので、超音波モータはこの共振周波数
近傍で駆動するのがよい。しかし、第３図における駆動
周波数を下から掃引したときの共振周波数ｆ１と、上か
ら掃引したときの共振周波数ｆ２の間の周波数領域、お
よびそれらの周波数の極近傍では、駆動体のアドミッタ
ンスが急激に変化するジャンプ現象により動作が非常に
不安定になるので、駆動周波数はこの領域外でなれけば
ならない。この領域より低い周波数では回転数が急に低
下するので、駆動体の駆動周波数はこの領域より高い周
波数で、反共振周波数ｆｓより低い周波数領域を使用す
る。
近傍で大きくなるので、超音波モータはこの共振周波数
近傍で駆動するのがよい。しかし、第３図における駆動
周波数を下から掃引したときの共振周波数ｆ１と、上か
ら掃引したときの共振周波数ｆ２の間の周波数領域、お
よびそれらの周波数の極近傍では、駆動体のアドミッタ
ンスが急激に変化するジャンプ現象により動作が非常に
不安定になるので、駆動周波数はこの領域外でなれけば
ならない。この領域より低い周波数では回転数が急に低
下するので、駆動体の駆動周波数はこの領域より高い周
波数で、反共振周波数ｆｓより低い周波数領域を使用す
る。
第２図の周波数ｆ３からｆ４の範囲で、駆動周波数を上
から掃引し、電圧電流の位相差の設定値を同図のＰｔに
し、許容位相差範囲の設定値をＰｔにすれば、移動体の
回転数が同図中のＮ！の回転数になったときの周波数に
駆動周波数が設定される。ここで電圧電流の位相差の設
定値Ｐｌおよび許容位相差範囲の設定値Ｐ２は設定後の
駆動周波数が駆動体の共振周波数ｆ１より高いように決
めている。また、温度あるいは負荷が変動して、駆動体
の共振周波数が変化し、その結果、位相差が設定値Ｐ１
からずれて許容範囲Ｐ２から飛び出たら、再び駆動周波
数の掃引を開始する。従って、移動体の回転数は図中の
Ｎ１を中心にＮ２の範囲に制御される。
から掃引し、電圧電流の位相差の設定値を同図のＰｔに
し、許容位相差範囲の設定値をＰｔにすれば、移動体の
回転数が同図中のＮ！の回転数になったときの周波数に
駆動周波数が設定される。ここで電圧電流の位相差の設
定値Ｐｌおよび許容位相差範囲の設定値Ｐ２は設定後の
駆動周波数が駆動体の共振周波数ｆ１より高いように決
めている。また、温度あるいは負荷が変動して、駆動体
の共振周波数が変化し、その結果、位相差が設定値Ｐ１
からずれて許容範囲Ｐ２から飛び出たら、再び駆動周波
数の掃引を開始する。従って、移動体の回転数は図中の
Ｎ１を中心にＮ２の範囲に制御される。
尚、本実施例では電圧電流の位相差の検知で制御を行っ
ているが、回転数ＮｌおよびＮ２に対応した電流値、ま
たは回転数自身を採用しても同様である。しかし、回転
数の採用時には、回転数を検出するセンサが必要になる
。
ているが、回転数ＮｌおよびＮ２に対応した電流値、ま
たは回転数自身を採用しても同様である。しかし、回転
数の採用時には、回転数を検出するセンサが必要になる
。
本実施例の駆動回路によれば、温度や負荷が変動しても
常に超音波モータをあらかじめ設定した範囲の回転数で
安定に駆動できる。
常に超音波モータをあらかじめ設定した範囲の回転数で
安定に駆動できる。
発明の効果
以上述べたように、本発明では温度や負荷が変動しても
、安定な動作をする超音波モータを提供できる。
、安定な動作をする超音波モータを提供できる。
第１図は本発明の超音波モータの駆動方法を実現する具
体回路のブロック図、第２図は駆動体を一定電圧で駆動
した時の、駆動電流、電圧電流の位相差および移動体の
回転数の周波数特性図、第３図は駆動体のアドミッタン
スの非線形特性図、第４図は従来の超音波モータの斜視
図、第５図は第４図に用いられている圧電体の形状と電
極構造を示す平面図、第６図は超音波モータの駆動体部
の振動状態を示すモデル図、第７図は超音波モータの原
理の説明図である。 ７・・・・・・電圧制御発振器、８・・・・・・９０度
位相器、９．１０・・・・・・電力増幅器、１１・・・
・・・抵抗、１２・・・・・・掃引制御器、１３・・・
・・・制御電圧発生器、１４・・・・・・電流検出器、
１５・・・・・・電圧検出器、１６−・・・・・位相差
検出器、１７・・・・・・位相範囲比較器、１８・・・
・・・記憶器、１９・・・・・・最小値判別器、２０・
・・・・・駆動周波数制御器。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ほか１名菓 １ 図 ｑ ｔ７７櫓幅器 第 ２ 図 第３図 周 ンＩ１． 舷 第 ４ 図 第５図
体回路のブロック図、第２図は駆動体を一定電圧で駆動
した時の、駆動電流、電圧電流の位相差および移動体の
回転数の周波数特性図、第３図は駆動体のアドミッタン
スの非線形特性図、第４図は従来の超音波モータの斜視
図、第５図は第４図に用いられている圧電体の形状と電
極構造を示す平面図、第６図は超音波モータの駆動体部
の振動状態を示すモデル図、第７図は超音波モータの原
理の説明図である。 ７・・・・・・電圧制御発振器、８・・・・・・９０度
位相器、９．１０・・・・・・電力増幅器、１１・・・
・・・抵抗、１２・・・・・・掃引制御器、１３・・・
・・・制御電圧発生器、１４・・・・・・電流検出器、
１５・・・・・・電圧検出器、１６−・・・・・位相差
検出器、１７・・・・・・位相範囲比較器、１８・・・
・・・記憶器、１９・・・・・・最小値判別器、２０・
・・・・・駆動周波数制御器。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ほか１名菓 １ 図 ｑ ｔ７７櫓幅器 第 ２ 図 第３図 周 ンＩ１． 舷 第 ４ 図 第５図
Claims (1)
- 圧電体を交流電圧で駆動して、該圧電体と弾性体とか
ら構成される駆動体に弾性進行波を励振することにより
、該駆動体上に接触して設置された移動体を移動させる
超音波モータにおいて、少なくても前記駆動体の共振周
波数がその範囲内に含まれるように設定された周波数可
変範囲内を、前記交流駆動電圧の周波数を低いほうから
高いほうへ掃引して、該駆動体の共振周波数を検知し、
前記圧電体に印加する交流駆動電圧の駆動周波数が、該
駆動体の反共振周波数より低く該共振周波数より高くな
るように設定することを特徴とする超音波モータ駆動方
法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61199634A JPH0710187B2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 超音波モ−タ駆動方法 |
| KR1019870009216A KR900007413B1 (ko) | 1986-08-26 | 1987-08-24 | 초음파 모우터구동 방법 |
| US07/089,334 US4853579A (en) | 1986-08-26 | 1987-08-25 | Drive method for ultrasonic motor providing enhanced stability of rotation |
| DE3751767T DE3751767T2 (de) | 1986-08-26 | 1987-08-26 | Antriebsverfahren eines Ultraschallmotors, das zu einer verbesserten Rotationsstabilität führt |
| EP87307559A EP0261810B1 (en) | 1986-08-26 | 1987-08-26 | Drive method for ultrasonic motor providing enhanced stability of rotation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61199634A JPH0710187B2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 超音波モ−タ駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6356179A true JPS6356179A (ja) | 1988-03-10 |
| JPH0710187B2 JPH0710187B2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=16411109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61199634A Expired - Lifetime JPH0710187B2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 | 超音波モ−タ駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0710187B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01291678A (ja) * | 1988-05-17 | 1989-11-24 | Olympus Optical Co Ltd | 振動波モータ駆動回路 |
| US6288473B1 (en) * | 2000-03-31 | 2001-09-11 | Sandia Corporation | Frequency modulation drive for a piezoelectric motor |
-
1986
- 1986-08-26 JP JP61199634A patent/JPH0710187B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01291678A (ja) * | 1988-05-17 | 1989-11-24 | Olympus Optical Co Ltd | 振動波モータ駆動回路 |
| US6288473B1 (en) * | 2000-03-31 | 2001-09-11 | Sandia Corporation | Frequency modulation drive for a piezoelectric motor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0710187B2 (ja) | 1995-02-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |