JPS63110971A - 超音波モ−タ駆動法 - Google Patents
超音波モ−タ駆動法Info
- Publication number
- JPS63110971A JPS63110971A JP61256042A JP25604286A JPS63110971A JP S63110971 A JPS63110971 A JP S63110971A JP 61256042 A JP61256042 A JP 61256042A JP 25604286 A JP25604286 A JP 25604286A JP S63110971 A JPS63110971 A JP S63110971A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- burst
- driving
- signal
- interval
- ultrasonic motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 4
- 210000005069 ears Anatomy 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は圧電体を用いて駆動力を発生する超音波モータ
の駆動法に関する。
の駆動法に関する。
従来の技術
近年圧電セラミック等の圧電体を用いた駆動体に弾性撮
動を励振し、これを駆動力とした超音波モータが注目さ
れている。
動を励振し、これを駆動力とした超音波モータが注目さ
れている。
以下、図面を参照しながら超音波モータの従来技術につ
いて説明を行う。
いて説明を行う。
第４図は従来の超音波モータの斜視図であり、円環形の
弾性体１の円環面の一方に圧電体として円環形圧電セラ
ミック２を貼合せて圧電駆動体３を構成している。４は
耐磨耗性材料のスライダ、５は弾性体であり、互いに貼
合せられて移動体６を構成している。移動体６はスライ
ダ４を介して駆動体３と加圧接触している。圧電体２に
電界を印加すると駆動体３の周方向に曲げ振動の進行波
が励起され、移動体６を駆動する。尚、同図中の矢印は
移動体６の回転方向を示す。
弾性体１の円環面の一方に圧電体として円環形圧電セラ
ミック２を貼合せて圧電駆動体３を構成している。４は
耐磨耗性材料のスライダ、５は弾性体であり、互いに貼
合せられて移動体６を構成している。移動体６はスライ
ダ４を介して駆動体３と加圧接触している。圧電体２に
電界を印加すると駆動体３の周方向に曲げ振動の進行波
が励起され、移動体６を駆動する。尚、同図中の矢印は
移動体６の回転方向を示す。
第５図は第４図の超音波モータに使用した圧電セラミッ
ク２の電極構造の一例を示している。同図では円周方向
に９波長の弾性波がのるようにしである。同図において
、Ａ％Ｂはそれぞれ２分の１波長相当の小領域から成る
電極群で、Ｃは４分の３波長、Ｄは４分の１波長の長さ
の電極である。従って、Ａの電極群とＢの電極群とは位
置的に４分の１波長（＝９０度）の位相ずれがある。
ク２の電極構造の一例を示している。同図では円周方向
に９波長の弾性波がのるようにしである。同図において
、Ａ％Ｂはそれぞれ２分の１波長相当の小領域から成る
電極群で、Ｃは４分の３波長、Ｄは４分の１波長の長さ
の電極である。従って、Ａの電極群とＢの電極群とは位
置的に４分の１波長（＝９０度）の位相ずれがある。
電極群Ａ、Ｂ内の隣り合う小電極部は互いに反対に厚み
方向に分極されている。圧電セラミック２の弾性体１と
の接着面は第５図に示めされた面と反対の面であり、電
極はベタ電極である。使用時には電極群Ａ、Ｂは第５図
に斜線で示されたように、それぞれ短絡して用いられる
。
方向に分極されている。圧電セラミック２の弾性体１と
の接着面は第５図に示めされた面と反対の面であり、電
極はベタ電極である。使用時には電極群Ａ、Ｂは第５図
に斜線で示されたように、それぞれ短絡して用いられる
。
以上のように構成された超音波モータについて、その動
作を以下に説明する。前記圧電体２の電極群Ａに Ｖ＝Ｖｔ ｘｓｉｎ（ωｔ） −−−
（１）で表される電圧を印加するとくただしｖｌは電圧
の瞬時値、ωは角周波数、ｔは時間）、駆動体３は円周
方向に曲げ振動をする。
作を以下に説明する。前記圧電体２の電極群Ａに Ｖ＝Ｖｔ ｘｓｉｎ（ωｔ） −−−
（１）で表される電圧を印加するとくただしｖｌは電圧
の瞬時値、ωは角周波数、ｔは時間）、駆動体３は円周
方向に曲げ振動をする。
第６図は第４図の超音波モータの駆動体を直線近似した
時の斜視図であり、同図（ａ）は圧電体２に電圧を印加
していない時、同図（ｂ）は圧電体２に電圧を印加した
時の様子を示す。
時の斜視図であり、同図（ａ）は圧電体２に電圧を印加
していない時、同図（ｂ）は圧電体２に電圧を印加した
時の様子を示す。
第７図は移動体６と駆動体３の接触状況を拡大して描い
たものである。前記圧電体２の電極群ＡにＶｌ ｘｓｉ
ｎ（ωｔ）、他の電極群Ｂにｖ１×ｃｏｓ（ωｔ）の互
いに時間的に位相がπ／２だけずれた電圧を印加すれば
、駆動体３の円周方向に曲げ撮動の進行波を作ることが
できる。一般に進行波は振幅をξとすれば ξ−ξｓ ｘｃｏｓ（ωｔ−ｋｘ） −−
−（２）ただし ξ１ ：波の大きさの瞬時値 ｋ ：波数（２π／λ） λ：波長 Ｘ ：位置 で表せる。（２）式は ξ−ξ１ ×（ｃｏｓ（ωｔ）ｘｃｏｓ（ｋｘ）＋５ｉ
ｎ（ωｔ）ｘｓｉｎ（ｋｘ）） −−−（３）と書
き直せ、（３）式は進行波が時間的にπ／２だけ位相の
ずれた波ｃｏｓ（ωｔ）と５ｉｎ（ωｔ）、および位置
的にπ／２だけ位相のずれたｃｏｓ（ｋｘ）と５ｉｎ（
ｋｘ）との、それぞれの積の和で得られることを示して
いる。前述の説明より、圧電体２は互いに位置的にπ／
２（＝λ／４）だけ位相のずれた電極群Ａ、Ｂを持って
いるので、駆動体３の共振周波数に近傍の周波数出力を
持つ発撮器の出力から、それぞれに時間的に位相のπ／
２だけずれた交流電圧を作り、前記電極群に印加すれば
駆動体３に曲げ撮動の進行波を作れる。
たものである。前記圧電体２の電極群ＡにＶｌ ｘｓｉ
ｎ（ωｔ）、他の電極群Ｂにｖ１×ｃｏｓ（ωｔ）の互
いに時間的に位相がπ／２だけずれた電圧を印加すれば
、駆動体３の円周方向に曲げ撮動の進行波を作ることが
できる。一般に進行波は振幅をξとすれば ξ−ξｓ ｘｃｏｓ（ωｔ−ｋｘ） −−
−（２）ただし ξ１ ：波の大きさの瞬時値 ｋ ：波数（２π／λ） λ：波長 Ｘ ：位置 で表せる。（２）式は ξ−ξ１ ×（ｃｏｓ（ωｔ）ｘｃｏｓ（ｋｘ）＋５ｉ
ｎ（ωｔ）ｘｓｉｎ（ｋｘ）） −−−（３）と書
き直せ、（３）式は進行波が時間的にπ／２だけ位相の
ずれた波ｃｏｓ（ωｔ）と５ｉｎ（ωｔ）、および位置
的にπ／２だけ位相のずれたｃｏｓ（ｋｘ）と５ｉｎ（
ｋｘ）との、それぞれの積の和で得られることを示して
いる。前述の説明より、圧電体２は互いに位置的にπ／
２（＝λ／４）だけ位相のずれた電極群Ａ、Ｂを持って
いるので、駆動体３の共振周波数に近傍の周波数出力を
持つ発撮器の出力から、それぞれに時間的に位相のπ／
２だけずれた交流電圧を作り、前記電極群に印加すれば
駆動体３に曲げ撮動の進行波を作れる。
第７図は進行波の励起によって、駆動体の表面の質点が
長軸２ Ｗ 、短軸２ｕの楕円運動をしている様子を示
し、駆動体３上に置かれた移動体６が楕円の頂点で接触
することにより、波の進行方向とは逆方向にＶ−ω×ｕ
の速度で運動する様子を示している。即ち移動体６は任
意の静圧で駆動体３に押し付けられて、駆動体３の表面
に接触し、移動体６と駆動体３との摩擦力で波の進行方
向と逆方向に速度Ｖで駆動される。両者の間にすべりが
ある時は、速度が上記のりよりも小さくなる。
長軸２ Ｗ 、短軸２ｕの楕円運動をしている様子を示
し、駆動体３上に置かれた移動体６が楕円の頂点で接触
することにより、波の進行方向とは逆方向にＶ−ω×ｕ
の速度で運動する様子を示している。即ち移動体６は任
意の静圧で駆動体３に押し付けられて、駆動体３の表面
に接触し、移動体６と駆動体３との摩擦力で波の進行方
向と逆方向に速度Ｖで駆動される。両者の間にすべりが
ある時は、速度が上記のりよりも小さくなる。
以上説明したように、超音波モータは曲げ振動の進行波
を利用しているので、移動体６の速度を遅くしようとす
れば、駆動電圧を小さくして駆動体３の振動の振幅を小
さくし、上記の短軸Ｕを小さくすればよい。しかし、振
動の振幅があまり小さくなると、駆動体３あるいは移動
体６の接触面の凹凸により、上記楕円の頂点が移動体６
の接触面に安定に接触できな（なり、移動体６の速度が
不安定になる。第８図にこの様子を示す。
を利用しているので、移動体６の速度を遅くしようとす
れば、駆動電圧を小さくして駆動体３の振動の振幅を小
さくし、上記の短軸Ｕを小さくすればよい。しかし、振
動の振幅があまり小さくなると、駆動体３あるいは移動
体６の接触面の凹凸により、上記楕円の頂点が移動体６
の接触面に安定に接触できな（なり、移動体６の速度が
不安定になる。第８図にこの様子を示す。
従って、第８図に示した速度Ｖよりも低速で移動体６を
移動させる時には、第９図に示すようにバースト信号で
駆動体３を駆動して、移動体の平均速度を目的の低速に
する。
移動させる時には、第９図に示すようにバースト信号で
駆動体３を駆動して、移動体の平均速度を目的の低速に
する。
発明が解決しようとする問題点
ところが、超音波モータは共振周波数近傍の駆動周波数
より低い周波数帯域に、無数の機械共振を有するので、
駆動バースト信号の間隔Ｔ１およびバースト信号の幅Ｔ
２の両方とも一定にすると、バースト信号の強勢な周波
数成分が一定になり、その周波数に対応した耳障りな雑
音が発生する。
より低い周波数帯域に、無数の機械共振を有するので、
駆動バースト信号の間隔Ｔ１およびバースト信号の幅Ｔ
２の両方とも一定にすると、バースト信号の強勢な周波
数成分が一定になり、その周波数に対応した耳障りな雑
音が発生する。
すなわち、従来は超音波モータを低速で動作させる時、
駆動信号として間隔および幅の両方とも一定にしたバー
スト信号を採用したため、そのバースト信号の強勢な周
波数成分が一定になり、その周波数に対応した耳障りな
雑音が発生するという欠点がある。
駆動信号として間隔および幅の両方とも一定にしたバー
スト信号を採用したため、そのバースト信号の強勢な周
波数成分が一定になり、その周波数に対応した耳障りな
雑音が発生するという欠点がある。
本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、耳障りな雑
音を軽減した、しかも安定した低速駆動の可能な超音波
モータを提供することを目的としている。
音を軽減した、しかも安定した低速駆動の可能な超音波
モータを提供することを目的としている。
問題点を解決するための手段
間隔および幅の少な（とも一方は変化するバースト信号
で、駆動体を駆動することにより、耳障りな雑音を軽減
し、しかも安定した低速駆動を実現する。
で、駆動体を駆動することにより、耳障りな雑音を軽減
し、しかも安定した低速駆動を実現する。
作 用
間隔および幅の少なくとも一方は変化するバースト信号
で、駆動体を駆動することにより、駆動バースト信号の
強勢な周波数成分を分散することより、発生雑音の周波
数成分を分散することにより、耳障りな雑音を軽減し、
しかも安定した低速駆動を実現する。
で、駆動体を駆動することにより、駆動バースト信号の
強勢な周波数成分を分散することより、発生雑音の周波
数成分を分散することにより、耳障りな雑音を軽減し、
しかも安定した低速駆動を実現する。
実施例
以下、図面に従って本発明の一実施例について詳細な説
明を行う。
明を行う。
第１図は本発明の１実施例の超音波モータ駆動回路のブ
ロック図である。同図において、７は発振回路であり、
超音波モータの駆動信号を発生している。発振回路７の
出力は２分割され、一方は９０度移相器８に入力されて
バースト変調回路９に入力される。他方はそのままバー
スト変調回路１０に入力される。バースト変調回路つと
ｌＯは、それぞれバースト間隔設定器１１およびバース
ト幅設定器１２により決められたバースト間隔と幅に、
入力信号を変調する。バースト信号に変調された駆動信
号は、増幅器１３および１４で駆動体を駆動するに必要
な振幅値にまで増幅される。増幅後の駆動信号は、駆動
体３を構成する圧電体２０２つの電極群に印加される。
ロック図である。同図において、７は発振回路であり、
超音波モータの駆動信号を発生している。発振回路７の
出力は２分割され、一方は９０度移相器８に入力されて
バースト変調回路９に入力される。他方はそのままバー
スト変調回路１０に入力される。バースト変調回路つと
ｌＯは、それぞれバースト間隔設定器１１およびバース
ト幅設定器１２により決められたバースト間隔と幅に、
入力信号を変調する。バースト信号に変調された駆動信
号は、増幅器１３および１４で駆動体を駆動するに必要
な振幅値にまで増幅される。増幅後の駆動信号は、駆動
体３を構成する圧電体２０２つの電極群に印加される。
駆動体３は駆動信号に対応した弾性振動をする。ここで
、バースト間隔設定器１１およびバースト幅設定器１２
は、駆動バースト信号の周波数成分が一定値のみ強勢に
ならないように、移動体のバースト間隔よりも長時間に
おける平均速度がほぼ一定になるように、バースト間隔
およびバースト幅を変化させている。
、バースト間隔設定器１１およびバースト幅設定器１２
は、駆動バースト信号の周波数成分が一定値のみ強勢に
ならないように、移動体のバースト間隔よりも長時間に
おける平均速度がほぼ一定になるように、バースト間隔
およびバースト幅を変化させている。
第２図は第１図の実施例の駆動回路における駆動バース
ト信号波形と、その信号で駆動したときの移動体の実際
の移動速度と、バースト間隔の間の移動体の平均速度、
およびバースト間隔よりも長時間での移動体の平均速度
を示している。バースト間隔程度の時間での平均速度は
変化しているが、もっと長時間での平均速度は一定とみ
なせる。例えば、人間の目程度では一定速度と見える。
ト信号波形と、その信号で駆動したときの移動体の実際
の移動速度と、バースト間隔の間の移動体の平均速度、
およびバースト間隔よりも長時間での移動体の平均速度
を示している。バースト間隔程度の時間での平均速度は
変化しているが、もっと長時間での平均速度は一定とみ
なせる。例えば、人間の目程度では一定速度と見える。
第３図は、従来のようにバースト間隔および）く−スト
幅一定にしたバースト信号で駆動した時の超音波モータ
が発生する雑音の周波数特性と、第１図の実施例におけ
るバースト信号で駆動した時の雑音の周波数特性である
。同図より、雑音のある周波数でのピーク値が減り、雑
音が耳障りでなくなっているのがわかる。
幅一定にしたバースト信号で駆動した時の超音波モータ
が発生する雑音の周波数特性と、第１図の実施例におけ
るバースト信号で駆動した時の雑音の周波数特性である
。同図より、雑音のある周波数でのピーク値が減り、雑
音が耳障りでなくなっているのがわかる。
以上では、バースト間隔およびバースト幅の両方とも変
化させているが、少なくとも一方を変化させても、効果
がある。
化させているが、少なくとも一方を変化させても、効果
がある。
発明の効果
本発明によれば、耳障りな雑音を減らした、しかも安定
な低速動作をする超音波モータを提供できる。
な低速動作をする超音波モータを提供できる。
第１図は本発明の一実施例の超音波モータ駆動法を用い
た超音波モータ駆動回路のブロック図、第２図はバース
ト駆動信号と移動体の速度のタイミングを示す波形図、
第３図はバースト駆動時の超音波モータの雑音の周波数
特性図、第４図は従来の超音波モータの斜視図、第５図
は第４図に用いられている圧電体の形状と電極構造を示
す平面図、第６図は超音波モータの駆動体部の振動状態
を示すモデル図、第７図は超音波モータの原理の説明図
、第８図は駆動体の曲げ振動と移動体の速度の関係を示
すグラフ、第９図は従来のバースト駆動信号と移動体の
速度のタイミングを示す波形図である。 ７・・・発振回路、８・・・９０度移相器、９．１０・
・・バースト変調回路、１１・・・バースト間隔設定器
、１２・・・バースト幅設定器、１３．１４・・・増幅
器。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ほか１名第２図 吟間 第３図 ！＋ ｙＰＩ涙畝 第４図 第５図 ハ 第６図 第７図
た超音波モータ駆動回路のブロック図、第２図はバース
ト駆動信号と移動体の速度のタイミングを示す波形図、
第３図はバースト駆動時の超音波モータの雑音の周波数
特性図、第４図は従来の超音波モータの斜視図、第５図
は第４図に用いられている圧電体の形状と電極構造を示
す平面図、第６図は超音波モータの駆動体部の振動状態
を示すモデル図、第７図は超音波モータの原理の説明図
、第８図は駆動体の曲げ振動と移動体の速度の関係を示
すグラフ、第９図は従来のバースト駆動信号と移動体の
速度のタイミングを示す波形図である。 ７・・・発振回路、８・・・９０度移相器、９．１０・
・・バースト変調回路、１１・・・バースト間隔設定器
、１２・・・バースト幅設定器、１３．１４・・・増幅
器。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ほか１名第２図 吟間 第３図 ！＋ ｙＰＩ涙畝 第４図 第５図 ハ 第６図 第７図
Claims (1)
- 弾性体と圧電体とから成る駆動体に弾性進行波を励振
することにより、上記駆動体上に接触して設置された移
動体を移動させる超音波モータにおいて、上記圧電体に
、移動体の平均速度がほぼ一定になるようにして、バー
ストの幅あるいはバーストの間隔の、少なくとも一方は
変化するバースト信号を駆動信号として印加することを
特徴とする超音波モータ駆動法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61256042A JPH0789748B2 (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 超音波モ−タ駆動法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61256042A JPH0789748B2 (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 超音波モ−タ駆動法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63110971A true JPS63110971A (ja) | 1988-05-16 |
| JPH0789748B2 JPH0789748B2 (ja) | 1995-09-27 |
Family
ID=17287101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61256042A Expired - Fee Related JPH0789748B2 (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 超音波モ−タ駆動法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0789748B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0404023A2 (en) * | 1989-06-19 | 1990-12-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus for vibration driven motor |
| US6433461B1 (en) | 2000-09-29 | 2002-08-13 | Minolta Co., Ltd. | Driving apparatus and method using electromechanical conversion elements |
| JP2017200274A (ja) * | 2016-04-26 | 2017-11-02 | 株式会社トプコン | 超音波モータの制御方法及びそのための測量機 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61139278A (ja) * | 1984-12-10 | 1986-06-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モ−タ装置 |
-
1986
- 1986-10-28 JP JP61256042A patent/JPH0789748B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61139278A (ja) * | 1984-12-10 | 1986-06-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モ−タ装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0404023A2 (en) * | 1989-06-19 | 1990-12-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus for vibration driven motor |
| US6433461B1 (en) | 2000-09-29 | 2002-08-13 | Minolta Co., Ltd. | Driving apparatus and method using electromechanical conversion elements |
| JP2017200274A (ja) * | 2016-04-26 | 2017-11-02 | 株式会社トプコン | 超音波モータの制御方法及びそのための測量機 |
| US10211387B2 (en) | 2016-04-26 | 2019-02-19 | Topcon Corporation | Method for controlling ultrasonic motor and surveying instrument for the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0789748B2 (ja) | 1995-09-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR940017084A (ko) | 초음파모터의 속도제어방법 | |
| JPH0528072B2 (ja) | ||
| JPS63110971A (ja) | 超音波モ−タ駆動法 | |
| JPS63174581A (ja) | 振動波モ−タ | |
| JPS63299788A (ja) | 超音波モ−タ駆動装置 | |
| JP4253866B2 (ja) | 振動アクチュエータの駆動装置及び振動アクチュエータの駆動方法 | |
| JPS62193571A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPH05336762A (ja) | 超音波モータの駆動制御回路 | |
| JPS6292782A (ja) | 超音波モ−タ装置 | |
| JP2574293B2 (ja) | 超音波モ−タの駆動方法 | |
| JPS627379A (ja) | 超音波モ−タ装置 | |
| JPS62193569A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JP2665253B2 (ja) | 超音波リニアアクチュエータの駆動回路 | |
| JP2746578B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JP2636280B2 (ja) | 超音波モータの駆動法 | |
| JPS63117672A (ja) | 超音波モ−タ駆動法 | |
| JPS63110970A (ja) | 超音波モ−タ駆動法 | |
| JPS6356177A (ja) | 超音波モ−タ駆動方法 | |
| JPS63249477A (ja) | 超音波モ−タ駆動装置 | |
| JPS62196085A (ja) | 超音波モ−タ | |
| KR100248018B1 (ko) | 초음파 모터의 속도 제어 회로 | |
| JPS6356179A (ja) | 超音波モ−タ駆動方法 | |
| JPH07231685A (ja) | 弾性表面波リニアモータ | |
| JPS61139278A (ja) | 超音波モ−タ装置 | |
| JPH0744855B2 (ja) | 超音波モ−タ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |