JP4535989B2 - 振動ジャイロ - Google Patents
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Description
振動子10はこの例では簡略化して示しているが、音叉形状をなすものとされており、このような振動子10は例えばエリンバなどの恒弾性材料によって作製される。振動子10上には図示を省略しているが、駆動用の圧電素子と検出用の圧電素子とが貼り付けられている。
この振動状態で振動子10の長手方向中心軸回りに角速度が入力すると、コリオリ力の作用によって2本の脚は互いに逆相で紙面垂直方向に振動し、この振動が圧電素子の圧電効果によって電気的に取り出される。
同期検波回路32の検波出力は低域通過フィルタ35を介してこの例では直流増幅器36に入力され、直流増幅器36でさらに増幅されて角速度出力とされる。なお、低域通過フィルタ35は振動ジャイロの検出特性(検出周波数帯域:例えばDC〜数10Hz)を決定するものとなっている。
図7に例示したように、自励発振信号の検出回路側への電気的結合がある場合には、例えば角速度出力にオフセットAが生じることになり、その分検出精度が損なわれるものとなる。
特許文献1では振動子の共振周波数(駆動周波数)よりも高い周波数を有する搬送波を、振動子の略共振周波数を有する変調波でもって振幅変調し、この振幅変調された信号を駆動信号として振動子に供給するものであって、これにより駆動信号の電気的結合によって検出信号に混入するノイズ成分の周波数を検出信号の周波数よりも高くし、低域通過フィルタで検出信号からノイズ成分を除去するようにしている。
この発明の目的はこのような問題に鑑み、従来のように振動子の共振周波数より高い周波数の信号を用いることなく、つまり振動子に高次共振を誘起することのないようにして、角速度検出信号への駆動信号の電気的結合に起因する性能低下を解消できるようにした振動ジャイロを提供することにある。
なお、振動子の駆動信号に振幅変調をかけるものの、変調信号は振動子の共振周波数より低い周波数であるため、従来のように変調信号によって振動子に高次共振を誘起するといった虞れもない。
図1はこの発明による振動ジャイロの第1の実施例の構成を示したものであり、図5と対応する部分には同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。
この例では駆動部20に変調回路22が設けられる。変調回路22は自励発振回路21からの自励発振信号を変調信号生成回路15で生成された変調信号によって振幅変調し、この振幅変調された自励発振信号が駆動信号として振動子10に供給されるものとなっている。
振動子10の機械的共振は一種の安定化機構であって、機械的共振特性は言わば狭帯域のフィルタであり、変調信号に対しては応答しない。従って、自励発振信号に重畳した変調信号は振動子10の脚の機械的振動に影響せず、機械的な振動伝播に対しては変調信号は現れない。
この例ではこのような同期検波回路32の出力から電気的漏れ信号を検出して、その電気的漏れ信号を同期検波回路32の出力から差し引くものとなっており、電気的漏れ信号を検出するための電気的漏れ信号検出部40が検出部30に設けられている。電気的漏れ信号検出部40は第2の同期検波回路41と波形整形回路42と移相回路43と振幅調整回路44とによって構成されている。
この同期検波回路41の出力は電気的漏れ信号量に比例しており、振幅調整回路44に入力されて振幅調整される。図2(c)は振幅調整回路44の出力を示す。振幅調整回路44の出力は電気的漏れ信号に対応するものであり、減算器37でこの電気的漏れ信号を同期検波回路32の出力から差し引くことによって、検出信号から電気的漏れ信号を除去することができる。なお、減算器37の出力には変調信号周波数成分が残っているが、低域通過フィルタ35を通過させることによって、その成分は除去され、図2(d)に示したような角速度出力が得られるものとなる。
この例では振幅調整回路44の出力に振幅変調をかけるものとなっており、変調回路45は移相回路46によって位相調整された変調信号によって振幅調整回路44の出力を振幅変調する。振幅変調された信号は電気的漏れ信号とされて減算器37に入力される。よって、この例では同期検波回路32の出力に電気的結合によって重畳する変調信号を直接除去することができるものとなっている。
なお、上述した実施例では振動子の形状を音叉形状としているが、振動子には音片形、4脚形、6脚形など各種形状があり、いずれの形状の振動子を用いる場合であってもこの発明を適用することができる。さらに、振動子及びその駆動/検出系としては、エリンバなどの恒弾性材料やシリコン単結晶上に圧電素子を貼り付けた構造に限らず、例えば水晶や、タンタル酸リチウムなどの圧電性単結晶上に駆動/検出用の電極を蒸着した構造のものであってもよい。
Claims (2)
- 振動子と、その振動子を共振駆動する駆動部と、コリオリ力による上記振動子の振動を検出する検出部とよりなる振動ジャイロであって、
上記駆動部は自励発振回路を具備して上記振動子を自励振動させるものとされ、上記検出部は上記振動子からの検出信号を上記自励発振回路の自励発振信号を用いて同期検波する同期検波回路を具備する振動ジャイロにおいて、
上記振動子の共振周波数より低く、かつ角速度の検出周波数帯域より高い周波数の変調信号を生成する変調信号生成回路と、
上記自励発振信号を上記変調信号で振幅変調して上記振動子の駆動信号とする変調回路と、
上記同期検波回路の出力から電気的漏れ信号を差し引く減算器と、
その減算器の出力が入力され、減算器出力を上記検出周波数帯域の角速度出力とする低域通過フィルタと、
上記同期検波回路の出力を上記変調信号を用いて同期検波する第2の同期検波回路と、
その第2の同期検波回路の出力を振幅調整して上記電気的漏れ信号とする振幅調整回路とが設けられていることを特徴とする振動ジャイロ。 - 振動子と、その振動子を共振駆動する駆動部と、コリオリ力による上記振動子の振動を検出する検出部とよりなる振動ジャイロであって、
上記駆動部は自励発振回路を具備して上記振動子を自励振動させるものとされ、上記検出部は上記振動子からの検出信号を上記自励発振回路の自励発振信号を用いて同期検波する同期検波回路を具備する振動ジャイロにおいて、
上記振動子の共振周波数より低く、かつ角速度の検出周波数帯域より高い周波数の変調信号を生成する変調信号生成回路と、
上記自励発振信号を上記変調信号で振幅変調して上記振動子の駆動信号とする変調回路と、
上記同期検波回路の出力から電気的漏れ信号を差し引く減算器と、
その減算器の出力が入力され、減算器出力を上記検出周波数帯域の角速度出力とする低域通過フィルタと、
上記同期検波回路の出力を上記変調信号を用いて同期検波する第2の同期検波回路と、
その第2の同期検波回路の出力を振幅調整する振幅調整回路と、
その振幅調整回路の出力を、位相調整した上記変調信号で振幅変調して上記電気的漏れ信号とする第2の変調回路とが設けられていることを特徴とする振動ジャイロ。
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