JP2950537B2

JP2950537B2 - 超音波モータ

Info

Publication number: JP2950537B2
Application number: JP10047958A
Authority: JP
Inventors: 晃正久保田
Original assignee: SUTAA SEIMITSU KK
Current assignee: SUTAA SEIMITSU KK
Priority date: 1998-02-27
Filing date: 1998-02-27
Publication date: 1999-09-20
Anticipated expiration: 2018-02-27
Also published as: JPH11252953A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波モータに関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来の一般的な超音波モータとしては、
金属より成る弾性体及びこの弾性体に設けた圧電素子
（振動子）より構成されるステータ（固定子）と、上記
弾性体に対向し緩衝摩擦部材を介して圧接する金属より
成るロータ（可動子）と、を備え、上記圧電素子に対し
て所定の周波数の信号を供給することによって、当該圧
電素子を振動させて上記ステータ弾性体の圧接面に進行
波を発生させ、この進行波による駆動力を緩衝摩擦部材
を介してロータに摩擦伝達することで、ロータを回転駆
動するものが知られている。

【０００３】また、例えば特開平２−１７９２８１号公
報には、上記超音波モータを発展させたものとして、上
記ロータを、金属弾性体及びこの金属弾性体に設けた圧
電素子より構成し、ステータ側圧電素子及びロータ側圧
電素子の双方に対して所定の周波数の信号を各々供給す
ることによって、当該両圧電素子を振動させてステータ
側弾性体及びロータ側弾性体の双方の圧接面に進行波を
発生させ、この両進行波によりロータを回転駆動する超
音波モータが開示されているが、緩衝摩擦部材に関する
記述はない。

【０００４】ここで、緩衝摩擦部材は、圧接面に正常な
進行波を発生させると共に、金属同士（ステータ及びロ
ータ）の直接接触を回避して異音（囓り音）の発生を防
止し、さらにステータ及びロータの圧接部の耐久性を向
上する目的で用いられている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記緩
衝摩擦部材が、ステータとロータとの間に唯単に介在し
ている構成では、ロータ回転時に連れ廻りする時と廻ら
ない時とがあると共に径方向にずれるため、ロータを正
確に回転制御するのは困難である。

【０００６】そこで、上記両圧接部のうちの一方の圧接
部の圧接面と緩衝摩擦部材との間に接着剤を設けて緩衝
摩擦部材を上記圧接面に貼着する構成が知られている
が、当該構成では、接着剤の厚みが不均一になる（厚み
ムラが発生する）のが避けられないため、当該厚みムラ
により圧接部の負荷が変動して複次の共振が生じ、これ
により異音（叩き音）が発生するといった問題がある。

【０００７】本発明は、このような課題を解決するため
になされたものであり、異音の発生を防止しつつ、可動
子を良好に移動制御できる超音波モータを提供すること
を目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の超音波モータ
は、互いに対向し緩衝摩擦部材を介して圧接する固定子
及び可動子を備え、固定子及び可動子の少なくとも一方
に設けた振動子に対して、所定の周波数の信号を供給す
ることにより当該振動子を振動させ、固定子及び可動子
のうちの振動子を有する側に発生する進行波により可動
子を駆動する超音波モータにおいて、固定子または可動
子の何れか一方の部材に設けられ、緩衝摩擦部材を介し
て他方の部材に圧接する凸部と、この凸部脇の隙間部に
介在して、緩衝摩擦部材を一方の部材に接着する接着剤
と、を具備した。

【０００９】超音波モータでは、固定子及び可動子が全
面接触していると、振動子を有する側の部材の進行波が
他方の部材に大部分伝わって進行波の変位量が減衰して
しまい、正常な進行波が形成されず、可動子が移動しな
い虞がある。

【００１０】ここで、本発明の超音波モータによれば、
固定子または可動子の何れか一方の部材に設けられた凸
部が、緩衝摩擦部材を介して他方の部材に圧接する構成
のため、圧接面が全面接触に比して狭小にされ、発生し
た進行波の減衰が抑えられる。この時、上記凸部脇の隙
間部が利用されて当該隙間部に接着剤が配置されて、緩
衝摩擦部材が一方の部材に接着固定される構成のため、
当該緩衝摩擦部材は、上記減衰の抑えられた進行波によ
り不安定に回転することはなく、可動子は良好に移動制
御される。また、負荷が作用する圧接面には接着剤が介
在していないため、異音の発生が防止される。

【００１１】また、本発明の超音波モータは、互いに対
向し緩衝摩擦部材を介して圧接する固定子及び可動子を
備え、固定子及び可動子の少なくとも一方に設けた振動
子に対して、所定の周波数の信号を供給することにより
当該振動子を振動させ、固定子及び可動子のうちの振動
子を有する側に発生する進行波により可動子を駆動する
超音波モータにおいて、固定子または可動子の何れか一
方の部材に設けられ、緩衝摩擦部材を介して他方の部材
に圧接する凸部と、他方の部材における凸部の凸面に対
向する面を除いた位置に設けられ、緩衝摩擦部材との間
に形成される隙間部と、当該隙間部に介在して、緩衝摩
擦部材を他方の部材に接着する接着剤と、を具備した。

【００１２】本発明の超音波モータによれば、固定子ま
たは可動子の何れか一方の部材に設けられた凸部が、緩
衝摩擦部材を介して他方の部材に圧接する構成のため、
上記発明と同様に、圧接面が全面接触に比して狭小にさ
れ、発生した進行波の減衰が抑えられる。この時、他方
の部材における上記凸部の凸面に対向する面を除いた位
置に設けられ、緩衝摩擦部材との間に形成された隙間部
に、接着剤が配置されて、緩衝摩擦部材が他方の部材に
接着固定される構成のため、当該緩衝摩擦部材は、上記
減衰の抑えられた進行波により不安定に回転することは
なく、可動子は良好に移動制御される。また、負荷が作
用する圧接面には接着剤が介在していないため、異音の
発生が防止される。

【００１３】

【００１４】

【００１５】

【００１６】

【００１７】

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る超音波モータ
の好適な実施形態について添付図面を参照しながら説明
する。なお、図面の説明において、同一要素または同一
機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明
は省略する。

【００１９】図１は、第１実施形態に係る超音波モータ
を示す横断面図である。この超音波モータは、機械的駆
動機構から成る超音波モータ本体１及び超音波モータ本
体１の駆動を行う駆動回路２から構成される。

【００２０】超音波モータ本体１は、超音波モータが適
用される例えばカメラ等の本体機器の固定側に固定され
る固定用ベース３と、この固定用ベース３に重ねて固定
された外縁円形のステータ５と、固定用ベース３及びス
テータ５の中央部を貫通し、当該ステータ５に固定され
た軸受７により回転自在に支持された回転軸４と、この
回転軸４に圧入固定され、上記ステータ５に対向する外
縁円形のロータ６と、を備えている。ロータ６は、ステ
ータ５の表面（図示上側）の円周方向に進行する進行波
により回転する（詳しくは後述）。

【００２１】上記ステータ５は、セラミック圧電素子か
ら成る円環状の振動子５ｖと、振動子５ｖが裏面外周部
に貼着された金属から成る円環状の弾性体５ｅと、を備
えている。この弾性体５ｅの外周部５ｏ及び内周部５ｉ
は厚肉であり、外周部５ｏの裏面に上記振動子５ｖが貼
着され、内周部５ｉが、例えばネジ留め等により固定用
ベース３に固定される。弾性体５ｅの外周部５ｏと内周
部５ｉとの間の円環状の中間部５ｍは薄肉であり、この
中間部５ｍが外周部５ｏの振動を容易にさせると共に、
外周部５ｏと内周部５ｉとの間の振動伝達を抑制してい
る。

【００２２】上記圧電振動子５ｖは、円周方向に多数に
分割された領域を有すると共に、各々隣り合う領域で厚
み方向の分極方向が互いに逆向きとなるように予め分極
処理が施されている。これらの領域は、ｓｉｎ側電極部
及びｃｏｓ側電極部の２つに区分されており、これら
のｓｉｎ側電極部とｃｏｓ側電極部とは、電気角で９０
°円周方向に離間するように配置されている。

【００２３】上記ロータ６は、金属から成る円環状の弾
性体から構成される。このロータ６の内周部６ｉ及びス
テータ５の外周部５ｏに対向する外周部６ｏは厚肉であ
り、ロータ６の外周部６ｏと内周部６ｉとの間に、円環
状の薄肉中間部６ｍを備え、内周部６ｉが上記回転軸４
に圧入固定される。この回転軸４の上部には、フランジ
部４ｆが設けられ、さらに下部には、例えばＣリング等
のスナップリング９が取り付けられており、このスナッ
プリング９と上記軸受７との間に、スペーサ１０を介し
て圧縮バネ１１が介挿されている。この圧縮バネ１１と
フランジ部４ｆによって、回転軸４及びロータ６は常時
下方に付勢されている。

【００２４】ロータ６は、外周部６ｏにおける上記ステ
ータ５の外周部５ｏに対向する面の略中央部に、幅狭円
環状の凸部６ｐを有する。ステータ側弾性体５ｅ、ロー
タ６を全面接触させると、励振側（ステータ側弾性体）
の振動が相手側（ロータ）に大部分伝わって進行波の変
位量が減衰してしまうが、ロータ６は凸部６ｐを有して
おり、圧接面が全面接触に比して狭小にされることか
ら、ステータ側弾性体５ｅに正常な進行波を形成するこ
とができる。

【００２５】ロータ側凸部６ｐとステータ５の外周部５
ｏとの間には、例えば樹脂等より成る環状の緩衝摩擦部
材１２が介在し、緩衝摩擦部材１２はこれらと圧接状態
にある。すなわち、ロータ側凸部６ｐは、圧縮バネ１１
の弾性力によって緩衝摩擦部材１２を介してステータ５
の外周部５ｏを押圧している。

【００２６】この緩衝摩擦部材１２は、ステータ５の外
周部５ｏに生じる進行波をロータ６側に伝達し難く動作
をする一種の振動のローパスフィルタの役目を果たして
おり、ステータ５の外周部５ｏに正常な進行波を発生さ
せると共に、金属同士（外周部５ｏと凸部６ｐ）の直接
接触を回避して異音（囓り音）の発生を防止し、さらに
圧接部の耐久性を向上させる。

【００２７】上記ロータ側凸部６ｐの両脇には、当該凸
部６ｐと緩衝摩擦部材１２により円環状の隙間部８ａ，
８ｂが各々画成されている。

【００２８】本実施形態では、これらの隙間部８ａ，８
ｂのうちの一方の隙間部（本実施形態では外側の隙間
部）８ａが利用されて当該隙間部８ａに接着剤１３が充
填されており、この接着剤１３により上記緩衝摩擦部材
１２がロータ６側に接着固定されている。

【００２９】以上が超音波モータ本体１の構成であり、
当該超音波モータ本体１の駆動を行う駆動回路２に対し
て前述した圧電振動子５ｖのｓｉｎ側電極部及びｃｏｓ
側電極部が接続されている。この駆動回路２は、グラン
ド（ＧＮＤ）と圧電振動子５ｖのｓｉｎ側電極部との間
に正弦波電圧信号（ｓｉｎ波電圧信号）を印加し、グラ
ンドとｃｏｓ側電極部との間にこれと電気角で９０°の
位相差を有する正弦波電圧信号（ｃｏｓ波電圧信号）を
同時に印加する。この時、印加される電圧信号の周波数
は、ステータ５自身が最も共振する周波数（共振周波
数）若しくはその近傍の周波数である。

【００３０】このような周波数の信号が圧電振動子５ｖ
に印加されると、圧電振動子５ｖが振動して、ステータ
５の外周部５ｏの表面に、定在波の合成による円周方向
に進む進行波が発生する。この時、圧接面を全面接触に
比して狭小とするロータ側凸部６ｐにより、発生した進
行波の変位量の減衰が抑止されると共に、緩衝摩擦部材
１２が振動のローパスフィルタの役目を果たすため、ス
テータ５の外周部５ｏには正常な進行波が形成される。
この進行波が発生すると、ステータ５の外周部５ｏの表
面上の微小領域各点は、進行波の進行方向及びステータ
側弾性体５ｅの厚み方向で規定される平面内で、上記進
行波の進行方向とは逆回りの楕円運動を行う。この楕円
運動による駆動力は、当該ステータ５の外周部５ｏに圧
接する緩衝摩擦部材１２を介して、正確にロータ側凸部
６ｐに摩擦伝達される。これにより、ロータ６は、進行
波の進行方向とは逆方向に回転する。この時、緩衝摩擦
部材１２により、異音（囓り音）の発生が防止されると
共に圧接部の耐久性が向上される。また、印加電圧の位
相を逆にすれば、進行波の進行方向が逆となり、ロータ
６も上記回転方向とは逆方向に回転する。

【００３１】ここで、特に、本実施形態においては、ロ
ータ側凸部６ｐ脇の隙間部８ａが利用されて当該隙間部
８ａに接着剤１３が充填され、緩衝摩擦部材１２がロー
タ６側に接着固定される構成のため、当該緩衝摩擦部材
１２は、上記正常な進行波により回転するロータ６と共
に回転し、従来技術のように不安定に回転することはな
い。その結果、ロータ６を良好に回転制御できるように
なる。また、負荷が作用する圧接面、すなわちロータ側
凸部６ｐの凸面６ｑの対向位置に接着剤１３が介在しな
い構成のため、ロータ６の回転時の異音（叩き音）の発
生を防止できるようになる。

【００３２】なお、本実施形態においては、ロータ側凸
部６ｐ脇の隙間部８ａ，８ｂのうちの外側の隙間部８ａ
に、緩衝摩擦部材１２を接着固定する接着剤１３を充填
するようにしているが、内側の隙間部８ｂに充填するよ
うにしても良く、両隙間部８ａ，８ｂに充填するように
しても良い。

【００３３】図２は、第２実施形態に係る超音波モータ
のステータ、ロータ及び緩衝摩擦部材を抽出して示す横
断面図である。この第２実施形態の超音波モータが第１
実施形態のそれと違う点は、ロータ側凸部６ｐに代え
て、その外周面がロータ６の外周面と面一となると共に
その内側に隙間部１８ｂを画成する円環状の凸部１６ｐ
を設け、隙間部１８ｂに接着剤１３を充填して、緩衝摩
擦部材１２をロータ６側に接着固定するようにした点で
ある。

【００３４】このように構成しても、第１実施形態と同
様な効果を得ることができる。すなわち、緩衝摩擦部材
１２がロータ６と共に回転するため、ロータ６を良好に
回転制御できると共に、負荷が作用する圧接面、すなわ
ちロータ側凸部１６ｐの凸面１６ｑの対向位置に接着剤
１３が介在しないため、ロータ６の回転時の異音（叩き
音）の発生を防止できる。

【００３５】なお、ロータ側凸部１６ｐを、ロータ６の
外周部６ｏの内周側に設け、当該凸部１６ｐの外側に画
成された隙間部に接着剤１３を充填して、緩衝摩擦部材
１２をロータ６側に接着固定するようにしても良い。

【００３６】図３は、第３実施形態に係る超音波モータ
のステータ、ロータ及び緩衝摩擦部材を抽出して示す横
断面図である。この第３実施形態の超音波モータが第１
実施形態のそれと違う点は、ロータ側凸部６ｐを無くし
て外周部６ｏを緩衝摩擦部材１２に全面接触させる一方
で、ステータ５の外周部５ｏの表面の略中央部に、幅狭
円環状の凸部５ｐを設け、この凸部５ｐの内側に画成さ
れる隙間部２８ｂを利用して当該隙間部２８ｂに接着剤
１３を充填し、緩衝摩擦部材１２をステータ５側に接着
固定するようにした点である。

【００３７】このように構成された超音波モータによれ
ば、圧接面を全面接触に比して狭小とするステータ側凸
部５ｐにより、発生した進行波の変位量の減衰が抑止さ
れて、当該凸部５ｐに正常な進行波を形成できる。

【００３８】また、特に、緩衝摩擦部材１２がステータ
５と共に不動にされるため、従来技術のように不安定に
回転することはなく、その結果、ロータ６を良好に回転
制御できる。また、負荷が作用する圧接面、すなわちス
テータ側凸部５ｐの凸面５ｑの対向位置に接着剤１３が
介在しないため、ロータ６の回転時の異音（叩き音）の
発生を防止できる。

【００３９】なお、第１実施形態で説明したのと同様
に、接着剤１３を、ステータ側凸部５ｐの外側の隙間部
２８ａに充填するようにしても良く、また両隙間部２８
ａ，２８ｂに充填するようにしても良い。

【００４０】さらにまた、第２実施形態で説明したのと
同様に、ステータ側凸部５ｐを、ステータ５の外周部５
ｏの外周側または内周側の何れか一方に設け、当該凸部
５ｐの内側または外側に画成された隙間部に接着剤１３
を充填して、緩衝摩擦部材１２をステータ５側に接着固
定するようにしても良い。

【００４１】図４は、第４実施形態に係る超音波モータ
のステータ、ロータ及び緩衝摩擦部材を抽出して示す横
断面図である。この第４実施形態の超音波モータが第１
実施形態のそれと違う点は、ステータ５の外周部５ｏに
おけるロータ側凸部６ｐの凸面６ｑに対向する位置より
外周側の部分に、テーパ状に切り欠かれた円環状の隙間
部３８ａを設け、当該隙間部３８ａに接着剤１３を充填
し、緩衝摩擦部材１２をステータ５側に接着固定するよ
うにした点である。

【００４２】このように構成しても、負荷が作用する圧
接面、すなわちロータ側凸部６ｐの凸面６ｑの対向位置
に、緩衝摩擦部材固定用の接着剤１３が介在しないとい
う構成には変わりがないため、第１実施形態と同様な効
果を得ることができる。

【００４３】なお、ステータ５の外周部５ｏにおけるロ
ータ側凸部６ｐの凸面６ｑに対向する位置より内周側の
部分に、テーパ状に切り欠かれた円環状の隙間部を設
け、当該隙間部に接着剤１３を充填して、緩衝摩擦部材
１２をステータ５側に接着固定するようにしても良い。
また、外周側及び内周側に隙間部を設けて、両隙間部に
接着剤１３を充填するようにしても良い。

【００４４】図５は、第５実施形態に係る超音波モータ
のステータ、ロータ及び緩衝摩擦部材を抽出して示す横
断面図である。この第５実施形態の超音波モータが第３
実施形態のそれと違う点は、ロータ６の外周部６ｏにお
けるステータ側凸部５ｐの凸面５ｑに対向する位置より
内周側の部分に、テーパ状に切り欠かれた円環状の隙間
部４８ｂを設け、当該隙間部４８ｂに接着剤１３を充填
し、緩衝摩擦部材１２をロータ６側に接着固定するよう
にした点である。

【００４５】このように構成しても、負荷が作用する圧
接面、すなわちステータ側凸部５ｐの凸面５ｑの対向位
置に、緩衝摩擦部材固定用の接着剤１３が介在しないと
いう構成には変わりがないため、第３実施形態と同様な
効果を得ることができる。

【００４６】なお、ロータ６の外周部６ｏにおけるステ
ータ側凸部５ｐの凸面５ｑに対向する位置より外周側の
部分に、テーパ状に切り欠かれた円環状の隙間部を設
け、当該隙間部に接着剤１３を充填して、緩衝摩擦部材
１２をロータ６側に接着固定するようにしても良い。ま
た、外周側及び内周側に隙間部を設けて、両隙間部に接
着剤１３を充填するようにしても良い。

【００４７】さらにまた、第４及び第５実施形態では、
隙間部３８ａ，４８ｂを、テーパ状に切り欠かれた円環
状の隙間部としているが、隙間間隔が一定のフラットな
円環状の隙間部としても良く、要は、負荷が作用する圧
接面を除いた位置に接着剤１３が介在する構成であれば
良い。

【００４８】

【００４９】

【００５０】

【００５１】

【００５２】

【００５３】

【００５４】

【００５５】

【００５６】

【００５７】

【００５８】

【００５９】

【００６０】

【００６１】以上、本発明者によってなされた発明を実
施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施
形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であるというのはいうまでもなく、
例えば特開平２−１７９２８１号公報に記載されている
ような、ロータを弾性体より構成すると共に当該ロータ
の裏面に圧電振動子を固定し、この圧電振動子に、上記
実施形態で説明したのと同様な位相の異なる２相のドラ
イブ信号を印加することにより、ロータ表面にも円周方
向に進む進行波を発生させ、このロータ表面に発生した
進行波と前述したステータ表面に発生した進行波を利用
して、ロータを回転駆動するタイプの超音波モータに対
しても、上記実施形態で説明した緩衝摩擦部材１２を、
ロータとステータとの間に介在させることにより、本発
明を適用できるというのはいうまでもない。

【００６２】さらにまた、第１〜第５実施形態で説明し
た構成（接着剤固定のもの）は、可動子の形状を長板状
とし当該可動子をスライダとして駆動するリニヤ型の超
音波モータに対しても同様に適用可能である。

【００６３】

【発明の効果】本発明による超音波モータは、固定子ま
たは可動子の何れか一方の部材に設けられ、緩衝摩擦部
材を介して他方の部材に圧接する凸部と、この凸部脇の
隙間部に介在して、緩衝摩擦部材を一方の部材に接着す
る接着剤と、を具備し、圧接面を全面接触に比して狭小
にして発生した進行波の減衰を抑え、この時、上記凸部
脇の隙間部を利用して当該隙間部に配置された接着剤に
より、緩衝摩擦部材を一方の部材に接着固定して、当該
緩衝摩擦部材が、減衰の抑止された上記進行波により不
安定に回転しないようにすると共に、負荷が作用する圧
接面に接着剤が介在しないように構成したものであるか
ら、可動子を良好に移動制御できると共に異音の発生を
防止できる。

【００６４】また、本発明による超音波モータは、固定
子または可動子の何れか一方の部材に設けられ、緩衝摩
擦部材を介して他方の部材に圧接する凸部と、他方の部
材における上記凸部の凸面に対向する面を除いた位置に
設けられ、緩衝摩擦部材との間に形成される隙間部と、
当該隙間部に介在して、緩衝摩擦部材を他方の部材に接
着する接着剤と、を具備し、圧接面を全面接触に比して
狭小にして発生した進行波の減衰を抑え、この時、上記
隙間部に配置された接着剤により、緩衝摩擦部材を他方
の部材に接着固定して、当該緩衝摩擦部材が、減衰の抑
止された上記進行波により不安定に回転しないようにす
ると共に、負荷が作用する圧接面に接着剤が介在しない
ように構成したものであるから、可動子を良好に移動制
御できると共に異音の発生を防止できる。

【００６５】

【００６６】

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態に係る超音波モータを示す横断面
図である。

【図２】第２実施形態に係る超音波モータのステータ、
ロータ及び緩衝摩擦部材を抽出して示す横断面図であ
る。

【図３】第３実施形態に係る超音波モータのステータ、
ロータ及び緩衝摩擦部材を抽出して示す横断面図であ
る。

【図４】第４実施形態に係る超音波モータのステータ、
ロータ及び緩衝摩擦部材を抽出して示す横断面図であ
る。

【図５】第５実施形態に係る超音波モータのステータ、
ロータ及び緩衝摩擦部材を抽出して示す横断面図であ
る。

【符号の説明】

１…超音波モータ本体、２…駆動回路、４…回転軸、５
…ステータ（固定子）、５ｐ，６ｐ，１６ｐ…凸部、５
ｑ，６ｑ，１６ｑ…凸面、５ｖ…振動子、６…ロータ
（可動子）、８ａ，８ｂ，１８ｂ、２８ａ，２８ｂ，３
８ａ，４８ｂ…隙間部、１２…緩衝摩擦部材、１３…接
着剤。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】互いに対向し緩衝摩擦部材を介して圧接
する固定子及び可動子を備え、前記固定子及び前記可動
子の少なくとも一方に設けた振動子に対して、所定の周
波数の信号を供給することにより当該振動子を振動さ
せ、前記固定子及び前記可動子のうちの前記振動子を有
する側に発生する進行波により前記可動子を駆動する超
音波モータにおいて、前記固定子または前記可動子の何れか一方の部材に設け
られ、前記緩衝摩擦部材を介して他方の部材に圧接する
凸部と、この凸部脇の隙間部に介在して、前記緩衝摩擦部材を前
記一方の部材に接着する接着剤と、を具備した超音波モータ。
【請求項２】互いに対向し緩衝摩擦部材を介して圧接
する固定子及び可動子を備え、前記固定子及び前記可動
子の少なくとも一方に設けた振動子に対して、所定の周
波数の信号を供給することにより当該振動子を振動さ
せ、前記固定子及び前記可動子のうちの前記振動子を有
する側に発生する進行波により前記可動子を駆動する超
音波モータにおいて、前記固定子または前記可動子の何れか一方の部材に設け
られ、前記緩衝摩擦部材を介して他方の部材に圧接する
凸部と、前記他方の部材における前記凸部の凸面に対向する面を
除いた位置に設けられ、前記緩衝摩擦部材との間に形成
される隙間部と、当該隙間部に介在して、前記緩衝摩擦部材を前記他方の
部材に接着する接着剤と、を具備した超音波モータ。