JP2012512629A - 高トルク圧電モータ - Google Patents
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 41
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- FFQALBCXGPYQGT-UHFFFAOYSA-N 2,4-difluoro-5-(trifluoromethyl)aniline Chemical compound NC1=CC(C(F)(F)F)=C(F)C=C1F FFQALBCXGPYQGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 16
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 8
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 6
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 244000043261 Hevea brasiliensis Species 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229920003052 natural elastomer Polymers 0.000 description 2
- 229920001194 natural rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/002—Driving devices, e.g. vibrators using only longitudinal or radial modes
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- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
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- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract
圧電モータ(100)は固定子シャフト(9)を有する固定子(2)を含む。前記モータは、上面と下面と内周縁と外周縁とを有し、前記固定子の上に保持される環状圧電素子(4)をまた含む。前記モータは、前記圧電素子の外周縁に環状ウエーブシェル(6)と、前記固定子シャフトに回転子内周面を有する場所で連結される回転子と、をさらに含む。前記モータは、それぞれが前記ウエーブシェルに連結される端部と、前記回転子内周面にまでおよんで接触する別の端部と、をさらに含む。前記モータにおいて、前記外周縁の半径は前記内周縁の半径の少なくとも2倍で、前記圧電素子の環状幅はその厚さの少なくとも2倍である。
【選択図】図1
【選択図】図1
Description
本出願は、参照することによりここに組み込まれている、2008年12月17日に出願された米国特許出願第61/138,442号全体の優先権を主張する通常特許出願である。
本発明は、圧電モータ産業に関連し、様々な産業用始動―停止システムのアクチュエータとして使用するための高トルク回転式圧電モータの構造に関係する。
固定子と回転子が摩擦によって各プッシャーを通して相互に作用する、様々な圧電モータ構造が知られている。例えば、いくつかの従来型の圧電モータ構造においては、環状圧電素子を土台とする回転子と固定子を、1セットのプッシャーが取り付けられている筒状の外周がウエーブシェルに組み込まれるように備える。各前記プッシャーは比較的によりもろい環状圧電素子に直接に刻まれた溝に取り付けられるよりもむしろ、圧電素子に載せられる、独立した音波伝導シェル(ウエーブシェル)に組み込まれているので、そのようなモータの向上した信頼性が実現される。前記ウエーブシェルのラディアル共振周波数を前記環状圧電素子に適合させることによって、システムのエネルギー効率の向上が達成される。そのような装置は前記環状圧電素子の振動のゼロ次ラディアルモードで励起される。当該モードは振幅とシステム全体の線質係数(Q係数)に関して最も効果的であると考えられる。
本発明の実施例は回転式圧電モータに関係する。
本発明の一つの実施例では、圧電モータが提供される。
前記モータは、固定子シャフトを有し、当該固定子シャフトが回転軸を規定する固定子を備える。
前記モータはまた、相反する上面と下面と、内周縁と外周縁と、を有する環状圧電素子を備える。前記環状圧電素子は固定子の上に回転軸の周囲で保持され、そして、前記環状圧電素子は圧電材料を備える。
前記モータはさらに、前記環状圧電素子の外周縁に保持される環状ウエーブシェルと、前記固定子シャフトに回転可能に機械的に連結される回転子と、を備える。前記回転子は回転子内周面を有する。
前記モータは加えて、複数の弾力性を有するプッシャーを備える。前記複数のプッシャーはそれぞれ、前記環状ウエーブシェルに機械的に連結される第1の端部と、前記回転子内周面にまで及び、接触する第2の端部と、を有する。
前記モータでは、前記外周縁の半径(Rp)は前記内周縁の半径(rp)の少なくとも2倍であり、前記環状圧電素子の環状幅(Rp−rp)は前記環状圧電素子の厚さの少なくとも2倍であり、前記ウエーブシェルは、回転子の回転軸の周囲での回転動作を生じさせるために、前記複数のプッシャーに前記環状圧電素子の半径方向の振動を伝えるように機能する。
本発明の一つの実施例では、圧電モータが提供される。
前記モータは、固定子シャフトを有し、当該固定子シャフトが回転軸を規定する固定子を備える。
前記モータはまた、相反する上面と下面と、内周縁と外周縁と、を有する環状圧電素子を備える。前記環状圧電素子は固定子の上に回転軸の周囲で保持され、そして、前記環状圧電素子は圧電材料を備える。
前記モータはさらに、前記環状圧電素子の外周縁に保持される環状ウエーブシェルと、前記固定子シャフトに回転可能に機械的に連結される回転子と、を備える。前記回転子は回転子内周面を有する。
前記モータは加えて、複数の弾力性を有するプッシャーを備える。前記複数のプッシャーはそれぞれ、前記環状ウエーブシェルに機械的に連結される第1の端部と、前記回転子内周面にまで及び、接触する第2の端部と、を有する。
前記モータでは、前記外周縁の半径(Rp)は前記内周縁の半径(rp)の少なくとも2倍であり、前記環状圧電素子の環状幅(Rp−rp)は前記環状圧電素子の厚さの少なくとも2倍であり、前記ウエーブシェルは、回転子の回転軸の周囲での回転動作を生じさせるために、前記複数のプッシャーに前記環状圧電素子の半径方向の振動を伝えるように機能する。
本発明を添付図面に準拠して説明する。図中において、同種の引用符号は類似の或いは同等の要素を指定するために使用される。前記図面は実寸通りには描かれていない。そして、単に本発明を説明するために与えられるに過ぎない。本発明のいくつかの態様を図の実施例に準拠して以下に記載する。多くの具体的詳細、関連および方法が本発明への十分な理解を与えるために記載されていることを理解するべきである。一方で、関連技術の当業者は、本発明が一つ以上の具体的詳細が欠如しても、或いは、別の方法でも実施可能であることを容易に認知するだろう。他にも、本発明を曖昧にすることを避けるため、周知の構造や作用を詳細には示さない。ある動作が異なる順番で、及び/または、他の動作や事象と同時に起こってもよいように、本発明は図示された動作や事象の順序によっては限定されない。さらに、全ての図示された動作や事象が、本発明に従って手順を実行する必要があるわけではない。
本発明の実施例は、リング型或いは環状の圧電素子を有する回転式圧電モータの新しい構造を提供する。一般的に、リング型共振器のラディアルモードの周波数Fr Rは次の方程式によって表わされる。
dはリングの平均直径(具体的には圧電リングの直径)で、sjkは材質(具体的には圧電リングの材質)の弾性係数、aは実験的に決定されるリングの波形率(form factor)(具体的には圧電リングの波形率)で、ρは材質の密度(具体的には圧電リングの密度)で、そして、nは0以上の整数で、振動モードの次数を規定している。
ゼロ次のラディアル振動モードにおいては、数1は次の方程式に変形される。
cpは材質中での音波の伝播速度で、Rpは環状圧電素子の外周半径で、rpは環状圧電素子の内周半径である。
環状圧電素子を有する圧電モータの構造の一つの大きな不都合は、そのようなモータでは一般的に、一定の限界を越えたモータトルクの増大を許さないことにある。一般的に、モータトルクの増大は通常回転子の直径と結び付けられる。そして結果として、トルクは通常リング型共振器の直径の増大によって増大する。一方で、このやり方に伴う大きな不都合は、環状圧電素子の直径が増大するにつれて、ゼロ次のラディアル振動モードの周波数は可聴帯域の高周波端になることである。例えば、各パラメータがRp=35mmで、rp=20mmで、cp=3500m/sである環状圧電素子を有する圧電モータに関して、ゼロ次のラディアル振動の周波数はおおよそ20,000Hzである。この周波数は音と超音波の境界の周波数である。さらなる環状圧電素子の直径の増大は、励起周波数を可聴音の範囲にシフトし、当該可聴音は大抵は使用者が気にする分には不愉快な音響効果を引き起こすそのため、単に圧電素子の直径を増大させることによってトルクを増大させることは、大抵は好まれない。
従来型の圧電モータにおいては、周波数の低下は環状圧電素子の内周半径を縮小することで相殺され、それ故に、環状圧電素子の環の幅が増大している。ここで使用される「環の幅」という用語は、環状圧電素子の内周と外周の間の差を示す。これは方程式数2に照らして、励起周波数の上昇につながる。しかし、この場合前記システムは薄いリング型共振器(ここで言う薄いリング型は環状圧電素子の環の幅によって規定される)として機能し、前記Q係数は急速に増加する。高次ラディアル励起モードが使用されるとき、同じ様な状況が発生する。そのような場合、前記環状圧電素子の前記Q係数もまた急速に増加し、前記モータは効率が悪くなる。
本発明の実施例は高トルク回転式圧電モータの新しい構造を提供する。新しい圧電モータは、ほぼ瞬間的な始動(数ミリ秒以内に最大トルクに達する)、高い始動トルク(少なくとも5N・m)と、その特有の非電磁構造によるオーバードライブフリー構造と、高い減速トルクと、および、改良された操作能力と、を有する。そのような圧電モータは、環状圧電素子構造と、前記環状圧電素子の幅を横切る1次縦振動モードを励起する動作励起周波数に基づく点で、従来型の圧電モータと異なる。
新しい圧電モータの例となる実施例を図1と図2に準拠して記載する。図1は、本発明の実施例に従って構成される例となる圧電モータ100の垂直断面図である。図2は、図1の圧電素子4と、ウエーブシェル6と、プッシャー8と、を有する部分組み立て品16の平面図である。図1に示されるように、前記圧電モータ100は円筒形状の回転子1と、回転軸15を有するフランジすなわち固定子2と、を有する。前記モータ100は前記フランジ固定子2に機械的に連結される固定子ベース3を有してもよい。部分組み立て品16は、前記固定子2に取り付けられてもよい。前記回転子1と前記部分組み立て品16は、前記回転子1が前記回転軸15の周りを回転することができるように、前記回転軸15と垂直にその周りに取り付けられてもよい。
図2に示されるように、各平面電極5を有し、各電極の表面領域と垂直に分極される環状圧電素子4を、前記部分組み立て品16は有してもよい。各導体リード線13が前記環状圧電素子4に電気的に連結されてもよい。前記部分組み立て品16はさらにT型の断面を有するウエーブシェル6を備え、当該ウエーブシェル6は補強リブ7を含み、前記環状圧電素子4を取り囲んでいる。つまり、前記ウエーブシェル6は前記環状圧電素子の外周縁に取り付けられる。前記ウエーブシェル6は、例えば金属やプラスチック等の弾性或いは可塑性の材料であってもよい。前記部分組み立て品16は一続きの薄いプレートプッシャー8を、前記回転子1の前記内周面20に摩擦接触し、前記ウエーブシェル6に取り付けられた状態で備える。上記のように、各前記プッシャー8はグループ化されてもよい。例えば、それらは2,3,4等の集合体に組み立てられてもよい。
上記のように、前記環状型圧電素子4は、前記圧電素子4の筒状の外周面、すなわち外周縁Aが前記ウエーブシェル6の内周面に向かってしっかりと押し付けられるながら、リング型の音波伝導シェル(ウエーブシェル)の内側に取り付けられる。言い換えれば、前記ウエーブシェル6は、前記圧電素子4の外周縁Aへ取り付けられ、取り囲む。前記ウエーブシェル6の外周面に取り付けられる1セットのプッシャー8は、前記回転子1と摩擦接触する。前記環状圧電素子4は、励起時には、振動の縦モードがその幅(h)を横切るようにセットアップされた状態で、リング型共振器として機能する。前記環状圧電素子4の前記筒状の外周面が前記ウエーブシェル6の内側に、上記のようにぴったりと合わせられる。前記ウエーブシェル6は、前記圧電素子4の振動が前記ウエーブシェル6の外周面の各プッシャー8を経由して前記回転子1に伝わるように、その半径方向において弾力性を有する。前記圧電素子4は、通常その平らな端部の両面に分極される。当該両面には、励起電圧を印加する各電極13が取り付けられる
本発明の様々な実施例において、トルクを増大する圧電モータは、各モータ設計パラメータを改善することと、同時にQ係数の減少の好ましくない効果を排除することによって提供される。これは前記回転子1の直径と、リング型圧電共振器4と、を増大させることによって達成される。当該リング型圧電共振器4は、別の励起周波数への切り換えと同時に、前記圧電素子4の環状幅を半径方向に横切る1次振動縦モードを励起する。つまり、印加される電圧の動作周波数は、前記環状圧電素子4の環状幅を半径方向に横切る振動の1次縦モードを励起するために選択される。特に、本発明の発明者たちは励起電圧用の前記動作周波数Fr Rは次の方程式によって表わされることを発見した。
本発明の様々な実施例において、トルクを増大する圧電モータは、各モータ設計パラメータを改善することと、同時にQ係数の減少の好ましくない効果を排除することによって提供される。これは前記回転子1の直径と、リング型圧電共振器4と、を増大させることによって達成される。当該リング型圧電共振器4は、別の励起周波数への切り換えと同時に、前記圧電素子4の環状幅を半径方向に横切る1次振動縦モードを励起する。つまり、印加される電圧の動作周波数は、前記環状圧電素子4の環状幅を半径方向に横切る振動の1次縦モードを励起するために選択される。特に、本発明の発明者たちは励起電圧用の前記動作周波数Fr Rは次の方程式によって表わされることを発見した。
cpは環状圧電材料における音波の伝播の速度であり、そして、hは環状圧電素子の環状幅である(h=Rp−rp)。
新しい振動モードにおいて性能の効率の増大は、図1および2に示される2つの要素、すなわち(1)前記圧電素子4の励起のための1次振動モードの使用と、(2)リング型補強リブ7を与えるT形断面を有する薄肉円筒として形成されるウエーブシェル6の使用と、の組み合わせによって達成される。前記リブ7は音響エネルギーの機械的増幅器(集線装置)としての機能を果たす。つまり、前記リブ7の質量が、前記ウエーブシェル6の他の部分の質量と前記圧電素子4の質量と比べて比較的小さいので、前記圧電素子4と前記ウエーブシェルによって発生した音響エネルギーは前記リブ7に集中する。前記リブ7の音響エネルギーは、前記回転子1の前記内周面20に接触するように各前記プッシャー8に伝えられ、その次にモータ100の動作中に各前記プッシャー8と前記回転子1の前記内周面20の間の摩擦力によって、前記回転子1を運動させる。各前記プッシャーは、その外周に周期的に前記リブ7に刻まれた各溝14に取り付けられる。各前記プッシャー8はそれぞれの溝14に、単一プレートか或いはプレートの小さな集まりのどちらかとして形成されてもよい。それぞれのプレート或いはプレートの積み重ねは、前記回転子1の前記内周面20に接触して位置する。各前記プッシャー8が集まりにグループ化されている実施例においては、各前記プッシャー8と前記回転子1の前記内周面20の間の摩擦力は、前記モータ100のトルクを増大させながら増大する。
本発明の様々な実施例において、前記1次縦振動モードの励起は、少なくとも内周半径(rp)の2倍の外周半径(Rp)(すなわち、Rp>2rp)と、少なくとも前記圧電素子の厚さの2倍の環状幅(h)(すなわち、h>2H)とを有するように構成することによって達成され得る。
したがって、cp/2(Rp−rp)に等しい周波数(Fr R)の交流電圧を用いて励起される場合、前記ウエーブシェル6は環状圧電素子を有する従来型の圧電モータに見られるよりもかなり高トルクの、前記回転軸15の周りで前記回転子1の回転運動を起こすために、前記半径方向における前記圧電素子4の振動を各前記プッシャー8へ効率よく伝えるように機能する。さらに、前記圧電素子4がその平らな端部の両面に垂直に分極されてもよいし、各前記電極13がそれらの平らな端部の各面に取り付けられてもよい。例えば、図1に示されるように、各前記電極13は前記環状圧電素子4の平らな上表面18と下表面19とに連結される。
したがって、前記圧電素子4に対するRp>2rpとh>2Hの関係と、(cpを規定する)圧電材料に基づいて、特定の励起電圧周波数用の前記環状圧電素子4の寸法を選択することができる。例えば、前記圧電素子4が、圧電体チタン酸ジルコン酸鉛ストロンチウムセラミック(PZT)材料のグループから選択された圧電セラミックから構成される実施例において、前記リング型シェルの幅を横切る前記1次縦振動モードは、Rp>20mmで、rp>8mmで、厚さH=5〜10mmのとき、効果的に生じ始める。一方で、本発明はPZT材料の使用に限定されるものではない。本発明の他の実施例において、他のタイプの圧電材料を使用してもよい。
上記のように、前記ウエーブシェル6はT形断面を有する薄肉円筒と外周に沿って高い剛性を有するリング型補強リブ7として形成されてもよく、当該補強リブ7は、音響エネルギーの機械的増幅器として機能する。さらに、前記補強リブ7は、すでに述べたように、周期的に間隔を空けた溝14を有してもよい。各当該溝14には、薄板として形成された各プッシャー8が固定され、各プッシャー8の反対側の端部は、前記回転子1の前記内周面20に接触して押し付けられる。いくつかの実施例においては、前記溝14に固定される各前記プッシャー8は前記ウエーブシェル6の前記薄肉円筒と直接の音響的な接触(すなわち、前記ウエーブシェル6と各前記プッシャー8の間の固定した接続)を持たなくてもよい。
本発明の様々な実施例において、前記モータ100における前記環状圧電素子4の組み込み或いは保持は、弾力性を有するリンググロメット或いはガスケット12を通じて作用する圧力フランジ11を使用することによって達成され得る。一般に、機械部品が圧電素子と物理的に接触して設置されるとき、前記Q係数は、前記圧電素子の振動の鈍化によって減少する。したがって、本発明の様々な実施例において、Q係数の大幅な劣化を制限するように、前記ガスケット12の構造が選択されてもよい。特に、前記ガスケット12が前記圧電素子4に最小振動速度の領域で接触するために構成されてもよい。例えば、図1に示されるように、前記環状圧電素子4は、圧力によって前記圧力フランジ11と前記ガスケット12に前記環状圧電素子4の内縁と外縁の間の中間で接触する。さらに、最大の機械的張力は通常リング型共振器の中央領域に生じる
(すなわち、そこでは振動速度の最小値が表れる)ので、前記環状圧電素子4に音響的に連結される前記ガスケット12は、この機械的張力にもまた耐えるように構成されてもよい。一般に、天然ゴム或いは他の弾性ワッシャが選択されてもよい、なぜなら、通常前記圧電素子の厚さの初期変形に関連するいかなるパラメータにも影響を及ぼさないからである。
(すなわち、そこでは振動速度の最小値が表れる)ので、前記環状圧電素子4に音響的に連結される前記ガスケット12は、この機械的張力にもまた耐えるように構成されてもよい。一般に、天然ゴム或いは他の弾性ワッシャが選択されてもよい、なぜなら、通常前記圧電素子の厚さの初期変形に関連するいかなるパラメータにも影響を及ぼさないからである。
前記固定子2は、前記部分組み立て品16を支持するための組み込み機構14(図2のみに図示)を備えてもよい。上記のそして下記のように、前記環状圧電素子4の拡大および縮小において接合部分を最小化するために、前記組み込み機構17は前記環状圧電素子4に前記環状圧電素子4の内周と外周の半径(或いは縁)の中間の点において接触してもよい。前記固定子2は、前記固定子2へ前記回転子1を機械的に回転可能に連結するための固定子シャフト9を有してもよい。圧力フランジ11を、上記のように、モータ100の内側の位置に保持するために、前記環状圧電素子4に機械的圧力を与えるために備えてもよい。いくつかの実施例においては、前記圧力フランジ11を取り付けるためのスレッディドクリップ(threaded clip)10を備えてもよい。さらに、上記のように、例えば天然ゴム或いは他の弾性リング等の、リンググロメット或いはガスケット12を前記フランジ11と前記圧電素子4の間に備えてもよい。
図3A〜3Cに示されるように、前記モータ100の動作は前記圧電素子4の励起について述べられている。図3Aは、非励起状態における、図1の前記圧電素子4の垂直断面図である。図3Bは、半径方向に拡大する励起状態における、図1の圧電素子の垂直断面図である。図3Cは、半径方向に縮小する励起状態における、図1の圧電素子の垂直断面図である。
図3A〜3Cにおいて、前記圧電素子4は、周波数Fr Rでの励起電圧が前記環状圧電素子4の環状幅(h)を横切る前記第1縦モードの周波数に対応するように、寸法Rpとrpを有する。図3Aに示されるように、前記励起電圧を印加するより前には、前記圧電素子4の環状幅hは変化しない。ひとたび励起電圧が各接点13に印加されれば変形が始まる。図3Bに示されるように、横変形(−ΔH)が前記環状圧電素子4の厚さ(H)に
沿って生じてもよい。この初期横変形の結果として、そして、弾性力によって、少なくとも前記環状圧電素子4の幅に沿ったある程度の第2の変形が形成される。これは、振動の最大振幅が前記環状圧電素子4の外周縁Aおよび内周縁Bの各位置に、振動の最小振幅がAとBの間の中点である点Cにくる縦定常波の半径方向変形に変換される。(上記のように、点Cは前記圧電素子4の前記固定子2に対する装着点を、リングの中位径において規定し、決定する。)前記圧電素子の半径拡大は環状幅hの増大を引き起こし、そして、図3Bに示されるように、縁AとBの、相対する半径方向のそれぞれに、Δh1とΔh2ず
つの量の移動をもたらす。結果として、各前記プッシャー8は前記回転子1の前記内周面20に向けて押し付けられる。多くの場合、縁AとBは対称に動く。つまり、Δh1=Δ
h2である。一方で、一部の場合は、前記モータ100の振動によって、Δh1≠Δh2
となる。しかしながら、通常Δh1とΔh2は互いの5%〜10%以内に収まる。
沿って生じてもよい。この初期横変形の結果として、そして、弾性力によって、少なくとも前記環状圧電素子4の幅に沿ったある程度の第2の変形が形成される。これは、振動の最大振幅が前記環状圧電素子4の外周縁Aおよび内周縁Bの各位置に、振動の最小振幅がAとBの間の中点である点Cにくる縦定常波の半径方向変形に変換される。(上記のように、点Cは前記圧電素子4の前記固定子2に対する装着点を、リングの中位径において規定し、決定する。)前記圧電素子の半径拡大は環状幅hの増大を引き起こし、そして、図3Bに示されるように、縁AとBの、相対する半径方向のそれぞれに、Δh1とΔh2ず
つの量の移動をもたらす。結果として、各前記プッシャー8は前記回転子1の前記内周面20に向けて押し付けられる。多くの場合、縁AとBは対称に動く。つまり、Δh1=Δ
h2である。一方で、一部の場合は、前記モータ100の振動によって、Δh1≠Δh2
となる。しかしながら、通常Δh1とΔh2は互いの5%〜10%以内に収まる。
交流励起電圧がさらに前記圧電素子4に印加されるので、前記環状圧電素子4の幅の縮小がそれに続いて、図3Bに示されるように生じる。図3Bと対照的に、前記中位径点Cに関して対称な前記半径方向の縮小は環状幅hを減少させる。前記圧電素子の前記半径方向の縮小は、環状幅hを減少させ、そして、図3Cに示されるように、縁AとBの、相対する半径方向のそれぞれに、−Δh3と−Δh4ずつの量の移動をもたらす。結果として
、各前記プッシャー8は前記回転子1の前記内周面20から引き離される。多くの場合、縁AとBは対称に動く。つまり、−Δh3=−Δh4である。一方で、一部の場合は、前
記モータ100の振動によって、−Δh3≠−Δh4となる。しかしながら、通常−Δh
3と−Δh4は互いの5%〜10%以内に収まる。
、各前記プッシャー8は前記回転子1の前記内周面20から引き離される。多くの場合、縁AとBは対称に動く。つまり、−Δh3=−Δh4である。一方で、一部の場合は、前
記モータ100の振動によって、−Δh3≠−Δh4となる。しかしながら、通常−Δh
3と−Δh4は互いの5%〜10%以内に収まる。
さらに、多くの場合、対称移動は|−Δh3|=|−Δh4|=Δh1=Δh2となる
。一方で、前記モータ100の振動によって、|−Δh3|と、|−Δh4|と、Δh1
と、Δh2と、のうち少なくとも一つが異なることもあり得る。
。一方で、前記モータ100の振動によって、|−Δh3|と、|−Δh4|と、Δh1
と、Δh2と、のうち少なくとも一つが異なることもあり得る。
結果として、各前記プッシャー8は前記回転子の前記内周面20から引き離される。
運転中、モータ100は下記のように動作する。最初に、前記圧電素子4の幅(h)を横切る1次縦モードの周波数に相当する周波数Fr Rの交流電圧が各接点13に印加される。この電圧に応えて、図3に関して上記したように、リングの厚さ(H)に沿った横変形が最初に形成される。この最初の横変形の結果として、そして、弾性力によって、前記圧電素子4の環状幅(h)に沿った第2の変形が生じ、当該変形は、振動の最大振幅が前記圧電素子4の外周縁Aおよび内周縁Bの位置に、振動の最小振幅が半径中点Cにくる縦定常波の変形に変形される。図3に関して上記したように、前記振動は、その環状幅(h)に沿った前記圧電素子5伸張と縮小を引き起こし、少なくとも前記外周縁Aの転移をもたらす。前記環状圧電素子4の前記外周縁Aは前記ウエーブシェル6の内側に密接に固定されているので、上述のように、前記外周縁Aの転移(すなわち、振動)は前記ウエーブシェル6に伝えられ、その振動は、質量差のため前記補強リブ7によって増幅される。増幅された振動はその次に各前記プッシャー8を経由して回転子に伝えられ、当該回転子はその結果回転する。振動時に、各前記プッシャー8は前記ウエーブシェル6の円筒部分と音響的に連結されていない。これは、前記ウエーブシェル6の円筒部分と前記補強リブ7の質量の違いのためである。当該質量の違いは前記補強リブ7における、ひいては各前記プッシャー8におけるより大きな振動速度につながる。
さらに、各前記プッシャー8の前記回転子と接触する端部は、微小な楕円を構成して二つの動きをもたらす。前記プッシャーの長さに沿った第1の動きは励起された縦定常波によるものである。前記プッシャーに垂直な第2の動きは前記プッシャーの弾性変形によるものである。各前記プッシャーは回転子と接触し、微小な楕円サイクルの半分の間のみ摩擦によって回転子を動かす。楕円サイクルの第2の半分の間、それらは、回転子と摩擦することなく、弾性力によって後退して初期位置へ動く。これらの微小な楕円の振幅は一般的に数十〜数百ナノメートルである。
出願人は上記で、間違いないと信じ、本発明の各実施例に関してなされる見解を説明すると思われる、明白で理論的な見地を提示している。しかしながら、本発明の各実施例は提示された理論的な態様抜きで実施されるかもしれない。加えて、出願人が提示された理論によって制約しようとはしていないことを理解した上で、理論的な態様は提示されている。
本発明の様々な実施例が上記されている一方で、それらは単なる実例として示されているもので、制限ではないということを理解するべきである。ここでの開示に従って、本発明の精神と範囲から逸脱することなく、開示されている実施例へ幾多の変更を加えてもよい。したがって、本発明の広さと範囲は上記のどの実施例にも限定されるべきではない。むしろ、本発明の範囲は次の請求項および同等なものにしたがって定義されるべきである。
本発明は一つ以上の実施例に関して図示され記述されているけれども、同等の修正および改良は、他の当業者が本明細書と添付図面の解釈し理解した上で思いつくだろう。さらに、本発明の特定の特徴はいくつかの実施例のうちの一つのみに関して記載されているのかもしれない一方で、そのような特徴は、既定の或いは特定の応用にとって望ましく好都合になるように、それ以外の実施例の他の一つ以上の特徴と組み合わせられるかもしれない。
ここにおいて使用されている専門用語は特定の実施例のみを表すためのものであり、本発明の制限を意図してはいない。ここにおいて使用されているように、単数形"a"、"an"、および"the"は、文脈が別段明瞭に表示しない限り、複数形も同様に含む。さらに、用語"including"、"includes"、"having"、"has"、"with"、或いはそれに関する変化形が明細書および/又は請求項のみで使用される範囲では、そのような用語は用語"comprising"と同様の使われ方を含む。
別段規定されない限り、ここで使用される全ての用語(技術用語と化学用語を含む)は本発明が属する技術の当業者によって普通に理解されるものと同じ意味を有する。例えば一般に使用される辞書において定義される用語等の用語は、関連技術の文脈における意味と一致する意味を持つものとして解釈されるべきであり、ここにおいて明確にそのように定義されていない限りは、理想的な或いは過度に形式的な判断で解釈されないであろうことは一層理解されるだろう。
Claims (12)
- 固定子シャフトを有し、当該固定子シャフトが回転軸を規定する固定子と、
相反する上面と下面および内周縁と外周縁を有し、前記回転軸の周囲にあって前記固定子に保持され、圧電材料から成る環状圧電素子と、
前記環状圧電素子の外周縁に保持される環状ウエーブシェルと、
回転子内周面を有し、前記固定子シャフトに回転可能に機械的に連結される回転子と、
前記環状ウエーブシェルに機械的に連結される第1の端部、および前記固定子内周面に伸びて接触する第2の端部をそれぞれ備える、複数の弾性を有するプッシャーと、
を備え、
前記外周縁の半径(Rp)が前記内周縁の半径(rp)の少なくとも2倍であり、
前記環状圧電素子の環状幅(Rp−rp)が前記環状圧電素子の厚さの少なくとも2倍であり、
前記ウエーブシェルは、前記回転軸の周囲で前記回転子の回転動作を生じさせるために、前記複数のプッシャーに前記環状圧電素子の半径方向の振動を伝えるように機能することを特徴とする圧電モータ。 - 前記環状圧電素子の前記上面と下面に連結され、前記環状幅を横切って1次縦振動モードを誘起するための交流電圧を印加する、電源をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の圧電モータ。
- 前記圧電材料中での音波の伝播速度をcpとすると、前記交流電圧は、cp/2(Rp−rp)に等しい周波数(Fr R)を有することを特徴とする請求項2に記載の圧電モータ。
- 前記ウエーブシェルはリブ部を有する円筒を備え、
前記リブ部は前記ウエーブシェルの外周に沿って高い剛性を有することを特徴とする請求項1に記載の圧電モータ。 - 前記複数のプッシャーは前記ウエーブシェルの前記リブ部に機械的に連結されることを特徴とする請求項4に記載の圧電モータ。
- 前記リブ部は前記複数のプッシャーを機械的に保持するための複数の溝を備えることを特徴とする請求項5に記載の圧電モータ。
- 前記複数のプッシャーのうちの少なくとも一つが前記複数の溝のそれぞれに保持されることを特徴とする請求項6に記載の圧電モータ。
- 前記環状圧電素子を前記固定子に保持するための少なくとも一つのフランジをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の圧電モータ。
- 前記フランジと前記環状圧電素子の間に配置される少なくとも一つの弾性を有するガスケットをさらに備えることを特徴とする請求項7に記載の圧電モータ。
- 前記環状圧電素子の前記上面が前記フランジに、前記下面が前記固定子に、(Rp−rp)/2に等しい半径の位置で接触することを特徴とする請求項1に記載の圧電モータ。
- 前記環状圧電素子中の前記圧電材料は半径方向に垂直に、前記上面と下面に分極されることを特徴とする請求項1に記載の圧電モータ。
- 前記圧電材料はチタン酸ジルコン酸鉛ストロンチウムセラミック(PZT)材料から成ることを特徴とする請求項1に記載の圧電モータ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13844208P | 2008-12-17 | 2008-12-17 | |
US61/138,442 | 2008-12-17 | ||
PCT/US2009/068294 WO2010071791A2 (en) | 2008-12-17 | 2009-12-16 | Piezoelectric motor with high torque |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012512629A true JP2012512629A (ja) | 2012-05-31 |
Family
ID=42239651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011542407A Withdrawn JP2012512629A (ja) | 2008-12-17 | 2009-12-16 | 高トルク圧電モータ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US8183740B2 (ja) |
EP (1) | EP2371053A4 (ja) |
JP (1) | JP2012512629A (ja) |
CN (1) | CN102292908A (ja) |
WO (1) | WO2010071791A2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012512629A (ja) | 2008-12-17 | 2012-05-31 | ディスカバリー テクノロジー インターナショナル,インク. | 高トルク圧電モータ |
WO2010080432A1 (en) | 2008-12-19 | 2010-07-15 | Discovery Technology International, Lllp | Piezoelectric motor |
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CN105391338B (zh) * | 2015-12-14 | 2017-10-31 | 南京航空航天大学 | 四足非共振式压电旋转电机 |
US11396928B2 (en) | 2018-07-15 | 2022-07-26 | Delbert Tesar | Actuator with a parallel eccentric gear train driven by a mechanically amplified piezoelectric assembly |
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-
2009
- 2009-12-16 JP JP2011542407A patent/JP2012512629A/ja not_active Withdrawn
- 2009-12-16 WO PCT/US2009/068294 patent/WO2010071791A2/en active Application Filing
- 2009-12-16 US US12/639,232 patent/US8183740B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-12-16 EP EP09833826.2A patent/EP2371053A4/en not_active Withdrawn
- 2009-12-16 CN CN2009801549297A patent/CN102292908A/zh active Pending
-
2010
- 2010-02-04 US US12/700,319 patent/US20100150754A1/en not_active Abandoned
- 2010-02-08 US US12/701,704 patent/US8183741B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8183740B2 (en) | 2012-05-22 |
US8183741B2 (en) | 2012-05-22 |
CN102292908A (zh) | 2011-12-21 |
WO2010071791A3 (en) | 2010-10-14 |
EP2371053A2 (en) | 2011-10-05 |
US20100148630A1 (en) | 2010-06-17 |
US20100150754A1 (en) | 2010-06-17 |
WO2010071791A2 (en) | 2010-06-24 |
US20100148102A1 (en) | 2010-06-17 |
EP2371053A4 (en) | 2013-07-17 |
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