JPH01303072A - 超音波モータ - Google Patents

超音波モータ

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JPH01303072A
JPH01303072A JP63131285A JP13128588A JPH01303072A JP H01303072 A JPH01303072 A JP H01303072A JP 63131285 A JP63131285 A JP 63131285A JP 13128588 A JP13128588 A JP 13128588A JP H01303072 A JPH01303072 A JP H01303072A
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JP
Japan
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stator
rotor
support member
annular
piezoelectric element
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JP63131285A
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Tadao Takagi
忠雄 高木
Daisuke Satani
大助 佐谷
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 A、産業上の利用分野 本発明は、圧電素子によりステータの駆動面に形成した
進行波によってロータを駆動する超音波モータに関する
B、従来の技術 この種の回転型超音波モータは、第3図(a)。
(b)に示すように環状のステータ71に円環状のロー
タ72をばね部材等(図示せず)により所定の押圧力で
押圧して構成されている。ステータ71の裏面には圧電
素子73が貼着され、その圧電素子73の表面にはセグ
メント電極74a〜74dが形成されている。セグメン
ト電極741)と74dの下の圧電素子73は交互に互
い違いに分極されている。セフメン[・電極7 /I−
aを接地し、セグメント電極74bと74. dに互い
に90度位相のずれた高周波信号を供給すると、圧電素
子73が振動しこれによりステータ7]−に進行波が形
成されてロータ72か回転駆動される。
ところで、ロータやステータの支持方式として、■日経
メカニカル、1985年7月15日号。
P67、同1987年6月1日号、P5]に開示されて
いるように圧電沿素子面をフェルトて支持する方式、 ■特開昭59−213286号公報や特開昭62−77
068号公報に開示されているように、棒状支持部材や
薄板円板状支持部材で支持する方式、 か知られている。
C0発明が解決しようとする問題点 しかし、」−述のフェルl−支持方式■においては、イ
)支持損失か大きく効率が悪い。
口)柔軟なフェルトを介してステータを固定部に支持す
ると、ロータ起動停止時の慣性によってステータの絶対
位置かずれてしまい、ステータの正確な位置決めができ
ない。
ハ)フェル1〜は耐候的安定性か低い。
などの問題がある。
一方、弾性体支持方式■においては、 イ)棒状の支持部材にあっては44′の取(・1精度か
悪いと支持損失が極端に大きくなり、効率か落ちる。
口)薄板円板状の支持部材にあっては、その構造上、支
持損失が大きく効率か悪い。特に低人力の超音波モータ
には適当てない。また、ステータとこの支持部材とを削
り出しにより一体に作製する場合、素A、Iを有効利用
できない。)φに別々に作製する場合は、両者の結合部
の面積度か要求されるからコス1−高となる。
本発明の目的は、支持損失が小さく、ステータの正確な
位置決めか可能で、耐候的安定性か高く、さらに高い加
工精度を必要とせずに実現できて廉価な支持機構を備え
た超音波モータを提供するこ=3− とにある。
D8問題点を解決するための手段 一実施例を示す第1図により説明すると、請求項]に係
る超音波モータは、圧電素子32、およびこの圧電素子
32の励振によって駆動面に進行波が発生する弾性体3
1を有するステータ30と;ステータ30の、駆動面に
押圧されてこの、駆動面に生する進行波によって駆動さ
れるロータ40と;円環状本体11、および該円環状本
体11からその径方向にJi持ちしこ張り出した複数個
のはり状突片12から成り、このはり状突片12でステ
ータ30および/またはロータ40を支持する支持部材
10とを具備することにより」二連した問題点を特徴す
る 請求偵2に係る超音波モータは、」二連したと同様のス
テータ30と、ロータ/]、Oとに備え、円環状本体]
」、および該円環状本体11からその径方向に片持ちに
張り出した複数個のはり状突片]2から成る2枚の支持
部材]、OA、]、、OBとを備え、ステータ30およ
び/またはロータ40にその径方向にフランジ部31 
aを突設し、このフランジ部31aを2枚の支持部制御
、OA、」OBのはり状突片て挟持することによりステ
ータr30および/またはロータ40を支持することに
より」二連の問題点を解決する。
81作用 ステータ30および/またはロータ40は、径方向に突
設する複数個のはり状突片]2」二で支持される。また
、ステータ30および/またはロータ40の側壁にフラ
ンジ3 ]、 aを突設せしめ、2枚の支持部材10A
、IOBの複数個のはり状突片」2の間でフランジ部3
 ]、 aを挟持して、ステータ30および/またはロ
ータ40を支持する。
なお、本発明の詳細な説明する」1記1つ項およびE項
では、本発明を分かり易くするために実施例の図を用い
たが、これにより本発明か実施例に限定されるものでは
ない。
F、実施例 一第1の実施例− 第1図(a)は本発明の第1の実施例に係る超音波モー
タの断面図である。支持部材10を介して固定部材20
に保持されるステータ30の駆動面にはロータ40が不
図示のばね部材で抑圧されている。ロータ40はロータ
支持部材50を介して不図示の被駆動部材に取付けられ
る。
第1図(b)は支持部材10の平面図であり、支持部材
10は、円環状本体11と、その円環状本体11の内側
から経中心に向かつて片持状態で突設される複数のはり
状突片12とから成り、ステンレスやりん青銅等の1枚
の板材からエツチングなどにより作製するのが好ましい
。この支持部材10は、固定部材20を構成する環状基
部21とナツト22との間に円環状本体1]−の周縁部
分を挟持して支持される。一方、ステータ30は、上述
したと同様に、環状弾性体3↓と、その裏面に貼着され
た圧電素子32とを有し、弾性体31の外周面に外方に
突設させたフランジ部31aを、支持部材10のはり状
突片12上に載置して支持部材10に支持される。はり
状突片12の内径とステータ30の弾性体31の外径と
はほぼ等しい。ここで、ステータ30とロータ40との
間の摩擦力が大きい場合、あるいは、クラッチ機構によ
りステータ30をロータ40と離接するタイプの場合に
は、両者(はり状突片12と弾(1,体31と)を接着
剤やスポッI−溶接で接続するのか好ましい。
ロータ40は、ロータ母材41とスライタ月42とを有
し、スライダ材42を介し、てステータ30上に設置さ
れ、不図示のはね部側てステータ30に押圧される。そ
して、ロータ母材41の外周面から外方に突設される円
板状支持部材43て環状支持部材44と接続され、さら
に図示しない被−動部材に環状支持部材44か接続され
る。
このような構成の超音波モータにおいては、圧電素子3
2に高周波信号を印加すると弾性体31の駆動面に進行
波が生し、ロータ40が回転する。ステータ30は、複
数に分割されたはり状突片12上に載置支持されており
、支持損失が小さい。また、支持部材10はフェル1〜
材のように柔軟ではないから、ロータ40の起動、停止
の慣性によってステータ30が位置づれすることもない
さらに、1枚の板材からエツチングなどにより支持部材
10を作製すれば、特に高精度加工することなく、所望
の面積度が得られ、コスト低減にも寄与する。
一第2の実施例− 第2図は第1図(b)に示した支持部材10を2枚用い
てステータ30を挟持した第2の実施例を示す。第1図
(a) 、(b、)と同一の箇所には同一の符号を付し
て説明する。
ステータ30の弾性体31から側方へ突設されるフラ“
ンジ部31aを、2枚の支持部tJ’ 10のはり状突
片12で挟み込み、その2枚の支持部材の間挟持で固定
する。これにより、ステータ30がはり状突片12て挟
持された状態で固定部材20に支持される。
ステータ30が2枚の支持部材10て挟持されているか
ら、クラッチ機構などを設けてロータ40をステータ3
0に対して離接する構成でも、ステータ30が支持部材
]0から外れることがなく、落下防止のためにはり状突
片12とステータ30の弾性体31とを接着したり、ス
ポラl−溶接する必要がない。もっとも、」二連したよ
うに、ロータ40とステータ30間の摩擦1ヘルクより
もステータ30と支持部材10との間の摩擦トルクが小
さければ、弾性体31と支持部材10とを1X着あるい
は溶着する必要−が、ある。この場合も、支持部材10
の挟持力である程度の摩擦力が得られているから全周に
わたり固着する必要がなく、コストの上昇を抑制できる
以上説明した第2の実施例においても第1の実施例と同
様の作用効果が得られる。
なお、以」二の2実施例では、ステータ30をその外周
側で支持する場合について説明したが、内周側で支持す
るようにしてもよい。
G0発明の効果 本発明によれ品、支持部材を円環状本体と複数のはり状
突片とから構成し、その複数のはり状突片上でステータ
を支持するようにし、あるいは、その支持部材を2枚用
い2枚の支持部材のはり状突片間てステータを挟持して
支持するようにしたので、支持損失が小さく、ステータ
の正確な位置決めが可能な超音波モータを提供できる。
さらに、支持部材をステンレスやりん青銅等の1枚の弾
性板材から加工すれば、高い加工精度を必要とせずに所
望の面積度が得られ、コストの」−昇も抑制できる。さ
らにまた、特に請求項2の超音波モータでは、ロータや
ステータのフランジ部分を挟持するようにしたので、落
下防止のために支持部材とロータあるいはステータとを
固着する必要はなく、回り止めのためにかかる固着が必
要な場合でも、ロータあるいはステータを挟持している
から最小限の固着てよくコス1〜の」二昇髪抑制できる
【図面の簡単な説明】
第1図(a)、(b)は第1の実施例を説明するもので
、(a)が超音波モータの縦断面図、(b)が支持部材
の平面図である。 第2図は第2の実施例を示す超音波モータの縦断面図で
ある。 第3図(a)、(b)は超音波モータを説明するもので
(a)が(b)の平面図、(b)か(a)のb−b線断
面図である。 1.0.IOA、IOB:支持部林 ]z:円環状本体  ]2:はり状突片20:固定部材
   2」:支持基台 22:ナソl−30:ステータ 31;弾性体   31a:フランジ部32:圧電素子
   40:ロータ 4]:ロータ母材  42ニスライダ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1) 圧電素子、およびこの圧電素子の励振によって駆
    動面に進行波が発生する弾性体を有するステータと; 前記ステータの駆動面に押圧されてこの駆動面に生ずる
    進行波によって駆動されるロータと;円環状本体、およ
    び該円環状本体からその径方向に片持ちに張り出した複
    数個のはり状突片から成り、このはり状突片で前記ステ
    ータおよび/または前記ロータを支持する支持部材とを
    具備することを特徴とする超音波モータ。 2) 圧電素子、およびこの圧電素子の励振によって駆
    動面に進行波が発生する弾性体を有するステータと; 前記ステータの駆動面に押圧されてこの駆動面に生ずる
    進行波によって駆動されるロータと;円環状本体、およ
    び該円環状本体からその径方向に片持ちに張り出した複
    数個のはり状突片から成る2枚の支持部材とを備え、前
    記ステータおよび/または前記ロータにその径方向にフ
    ランジ部を突設し、このフランジ部を前記2枚の支持部
    材のはり状突片で挟持することにより前記ステータおよ
    び/またはロータを支持することを特徴とする超音波モ
    ータ。
JP63131285A 1988-05-27 1988-05-27 超音波モータ Expired - Lifetime JP2555690B2 (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0410594U (ja) * 1990-05-11 1992-01-29
US5313132A (en) * 1991-05-20 1994-05-17 Canon Kabushiki Kaisha Elastic supporting member for a vibration driven motor
JP2001057787A (ja) * 1999-06-11 2001-02-27 Nikon Corp 振動アクチュエータ装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62147974A (ja) * 1985-12-20 1987-07-01 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 超音波モ−タ−

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62147974A (ja) * 1985-12-20 1987-07-01 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 超音波モ−タ−

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0410594U (ja) * 1990-05-11 1992-01-29
US5313132A (en) * 1991-05-20 1994-05-17 Canon Kabushiki Kaisha Elastic supporting member for a vibration driven motor
JP2001057787A (ja) * 1999-06-11 2001-02-27 Nikon Corp 振動アクチュエータ装置
JP4736161B2 (ja) * 1999-06-11 2011-07-27 株式会社ニコン 振動アクチュエータ装置

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