CN118201860A - 搬运路切换装置、搬运系统以及搬运路切换方法 - Google Patents

Abstract

X支撑机构(41)具有安装于可动线性输送机(3)的端部(32l)的输送机支撑部件(61)和安装于固定线性输送机(2a)并将输送机支撑部件(61)沿Y方向引导的单轴机器人(51)。通过这种具有输送机支撑部件(61)和单轴机器人(51)的支撑机构(41)，能够将可动线性输送机(3)的端部(32l)牢固地支撑于固定线性输送机(2a)。支撑机构(43)具有安装于可动线性输送机(3)的端部(32r)的输送机支撑部件(81)和安装于固定线性输送机(2b)并将输送机支撑部件(81)沿Y方向引导的Y轴输送机引导件(71)。通过这种具有输送机支撑部件(81)和Y轴输送机引导件(71)的支撑机构(43)，能够将可动线性输送机(3)的端部(32r)牢固地支撑于固定线性输送机(2b)。

Description

搬运路切换装置、搬运系统以及搬运路切换方法

技术领域

本发明涉及通过可动线性输送机来执行在可动线性输送机的两侧配置的两个固定线性输送机之间的台式输送机的搬运路的切换的技术。

背景技术

在专利文献1中，记载了一种使用在并排配置的两个固定线性输送机之间对台式输送机进行搬运的可动线性输送机来循环地搬运台式输送机的循环搬运装置。在所述循环搬运装置中，可动线性输送机能够在与两个固定线性输送机中的一个相对的位置和与另一个相对的位置之间移动。该可动线性输送机在与一个固定线性输送机相对的位置在与一个固定线性输送机之间交接台式输送机，在与另一个固定线性输送机相对的位置在与另一个固定线性输送机之间交接台式输送机。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：WO2021/229781

发明内容

发明要解决的课题

另外，在上述那样的循环搬运装置中，在与可动线性输送机之间移载输送机台的两个固定线性输送机均配置于可动线性输送机的单侧。因此，可动线性输送机只要能够在与配置于该可动线性输送机的单侧的固定线性输送机之间移载台式输送机即可。

相对于此，在可动线性输送机的两侧配置两个固定线性输送机的装置中，可动线性输送机需要执行与该可动线性输送机的一侧的固定线性输送机之间的台式输送机的移载和与该可动线性输送机的另一侧的固定线性输送机之间的台式输送机的移载这两者。因此，存在台式输送机位于可动线性输送机的一侧的端部而相对于可动线性输送机的载荷偏向一侧的场景和台式输送机位于可动线性输送机的另一侧的端部而相对于可动线性输送机的载荷偏向另一侧的场景。因此，在与一侧的固定线性输送机之间移载台式输送机时可动线性输送机的一侧的端部下沉，或者在与另一侧的固定线性输送机之间移载台式输送机时可动线性输送机的另一侧的端部下沉，因此存在无法适当地执行与固定线性输送机之间的台式输送机的移载这样的课题。

本发明鉴于上述课题，其目的在于能够克服相对于可动线性输送机的载荷的偏向并对可动线性输送机进行支撑，适当地执行在可动线性输送机的两侧配置的各固定线性输送机与可动线性输送机之间的输送机台的移载。

用于解决课题的手段

本发明的搬运路切换装置具备：可动线性输送机，沿预定的搬运方向搬运输送机台；第一支撑机构，对搬运方向上的作为可动线性输送机的一侧的端部的第一端部进行支撑；以及第二支撑机构，对搬运方向上的作为可动线性输送机的与一侧相反的另一侧的端部的第二端部进行支撑，第一支撑机构以及第二支撑机构对可动线性输送机进行支撑，可动线性输送机在包括相对于搬运方向而倾斜的切换方向上相互不同的第一位置和第二位置的可动范围内沿切换方向移动，第一固定线性输送机从搬运方向的一侧与第一位置相对，第二固定线性输送机从搬运方向的另一侧与第二位置相对，可动线性输送机停止于第一位置并且在与第一固定线性输送机之间移载输送机台，可动线性输送机停止于第二位置并且在与第二固定线性输送机之间移载输送机台，第一支撑机构具有安装于可动线性输送机的第一端部的第一可动部件和安装于第一固定线性输送机并将第一可动部件沿切换方向引导的第一引导部，第二支撑机构具有安装于可动线性输送机的第二端部的第二可动部件和安装于第二固定线性输送机并将第二可动部件沿切换方向引导的第二引导部。

本发明的搬运系统具备：第一固定线性输送机，将输送机台沿搬运方向驱动；第二固定线性输送机，将输送机台沿搬运方向驱动；以及上述的搬运路切换装置，在搬运方向上配置于第一固定线性输送机与第二固定线性输送机之间。

本发明的搬运路切换方法具备使沿预定的搬运方向搬运输送机台的可动线性输送机在包括相对于搬运方向而倾斜的切换方向上相互不同的第一位置和第二位置的可动范围内沿切换方向移动的工序，搬运方向上的作为可动线性输送机的一侧的端部的第一端部由第一支撑机构支撑，搬运方向上的作为可动线性输送机的与一侧相反的另一侧的端部的第二端部由第二支撑机构支撑，第一固定线性输送机从搬运方向的一侧与第一位置相对，第二固定线性输送机从搬运方向的另一侧与第二位置相对，可动线性输送机停止于第一位置并且在与第一固定线性输送机之间移载输送机台，可动线性输送机停止于第二位置并且在与第二固定线性输送机之间移载输送机台，第一支撑机构具有安装于可动线性输送机的第一端部的第一可动部件和安装于第一固定线性输送机并将第一可动部件沿切换方向引导的第一引导部，第二支撑机构具有安装于可动线性输送机的第二端部的第二可动部件和安装于第二固定线性输送机并将第二可动部件沿切换方向引导的第二引导部。

在如此构成的本发明(搬运路切换装置、搬运系统以及搬运路切换方法)中，设有对搬运方向上的作为可动线性输送机的一侧的端部的第一端部进行支撑的第一支撑机构和对搬运方向上的作为可动线性输送机的与一侧相反的另一侧的端部的第二端部进行支撑的第二支撑机构。尤其，第一支撑机构具有安装于可动线性输送机的第一端部的第一可动部件和安装于第一固定线性输送机并将第一可动部件沿切换方向引导的第一引导部。通过这种具有第一可动部件和第一引导部的第一支撑机构，能够将可动线性输送机的第一端部牢固地支撑于第一固定线性输送机。因此，即便在相对于可动线性输送机的载荷偏向第一端部的情况下，也能够抑制与第一固定线性输送机相对的该第一端部的下沉，适当地执行第一固定线性输送机与该第一端部之间的输送机台的移载。而且，第二支撑机构具有安装于可动线性输送机的第二端部的第二可动部件和安装于第二固定线性输送机并将第二可动部件沿切换方向引导的第二引导部。通过这种具有第二可动部件和第二引导部的第二支撑机构，能够将可动线性输送机的第二端部牢固地支撑于第二固定线性输送机。因此，即便在相对于可动线性输送机的载荷偏向第二端部的情况下，也能够抑制与第二固定线性输送机相对的该第二端部的下沉，适当地执行第二固定线性输送机与该第二端部之间的输送机台的移载。其结果是，能够克服相对于可动线性输送机的载荷的偏向并对可动线性输送机进行支撑，适当地执行在可动线性输送机的两侧配置的各固定线性输送机与可动线性输送机之间的输送机台的移载。

并且，也可以以如下方式构成搬运路切换装置：第一引导部具有驱动源，驱动源通过将第一可动部件沿切换方向驱动而使可动线性输送机沿切换方向移动。在所述结构下，通过第一引导部的驱动源，能够在第一位置与第二位置之间使可动线性输送机沿切换方向移动。尤其，通过使第一引导部具备驱动源，能够利用第一引导部这样单一的功能部来紧凑地实现第一可动部件的驱动以及引导这两功能，能够实现搬运路切换装置的小型化。

并且，也可以以如下方式构成搬运路切换装置：第一引导部具有与切换方向平行地配置的滚珠丝杠，第一可动部件与滚珠丝杠的螺母连接，驱动源使滚珠丝杠的丝杠轴旋转而将第一可动部件沿切换方向驱动。在所述结构下，通过在可动线性输送机的一侧配置的滚珠丝杠式的单轴机器人，能够使可动线性输送机沿切换方向移动。

并且，也可以以如下方式构成搬运路切换装置：第一引导部具有第一驱动源，第二引导部具有第二驱动源，第一驱动源通过将第一可动部件沿切换方向驱动而使可动线性输送机沿切换方向移动，第二驱动源通过将第二可动部件沿切换方向驱动而使可动线性输送机沿切换方向移动。在所述结构下，通过第一引导部的第一驱动源和第二引导部的第二驱动源，能够在第一位置与第二位置之间使可动线性输送机沿切换方向移动。尤其，通过使第一引导部具备第一驱动源，能够利用第一引导部这样单一的功能部来紧凑地实现第一可动部件的驱动以及引导这两功能，并且通过使第二引导部具备第二驱动源，能够利用第二引导部这样单一的功能部来紧凑地实现第二可动部件的驱动以及引导这两功能，能够实现搬运路切换装置的小型化。

并且，也可以以如下方式构成搬运路切换装置：第一引导部具有与切换方向平行地配置的第一滚珠丝杠，第一可动部件与第一滚珠丝杠的螺母连接，第一驱动源使第一滚珠丝杠的丝杠轴旋转而将第一可动部件沿切换方向驱动，第二引导部具有与切换方向平行地配置的第二滚珠丝杠，第二可动部件与第二滚珠丝杠的螺母连接，第二驱动源使第二滚珠丝杠的丝杠轴旋转而将第二可动部件沿切换方向驱动。在所述结构下，通过在可动线性输送机的一侧配置的滚珠丝杠式的单轴机器人和在可动线性输送机的另一侧配置的滚珠丝杠式的单轴机器人，能够使可动线性输送机沿切换方向移动。

并且，也可以以如下方式构成搬运路切换装置：搬运路切换装置还具备对第一驱动源的动作以及第二驱动源的动作进行控制的控制部，控制部在使可动线性输送机和第一固定线性输送机在搬运方向上相对时，使第二驱动源的动作停止并且通过第一驱动源的动作来将可动线性输送机的位置控制为第一位置，在使可动线性输送机和第二固定线性输送机在搬运方向上相对时，使第一驱动源的动作停止并且通过第二驱动源的动作来将可动线性输送机的位置控制为第二位置。在所述结构下，在使第一固定线性输送机和可动线性输送机在搬运方向上相对时，能够防止第二驱动源的动作的干涉，并且通过第一驱动源来相对于第一固定线性输送机而准确地定位可动线性输送机，实现台式输送机的顺利的移载。并且，在使第二固定线性输送机和可动线性输送机在搬运方向上相对时，能够防止第一驱动源的动作的干涉，并且通过第二驱动源来相对于第二固定线性输送机而准确地定位可动线性输送机，实现台式输送机的顺利的移载。需要说明的是，使固定线性输送机和可动线性输送机在搬运方向上相对的场景代表性地可列举在固定线性输送机与可动线性输送机之间移载台式输送机的场景。不过，在不以台式输送机的移载为目的而使固定线性输送机和可动线性输送机相互定位的场景下，上述的控制也是有效的。

并且，也可以以如下方式构成搬运路切换装置：搬运路切换装置还具备：连杆机构，在搬运方向上在第一端部与第二端部之间的安装位置处安装于可动线性输送机；以及单轴机器人，通过将连杆机构沿切换方向驱动而使可动线性输送机沿切换方向移动，连杆机构具有安装于可动线性输送机的第一球面轴承、安装于单轴机器人的滑动件的第二球面轴承以及将第一球面轴承与第二球面轴承连接的杆，杆的一端由第一球面轴承承受，杆的与一端相反的另一端由第二球面轴承承受。在所述结构下，能够通过连杆机构的自由度来吸收第一、第二引导部与单轴机器人之间的平行度的误差。因此，能够使可动线性输送机沿切换方向顺利地移动。

并且，也可以以如下方式构成搬运路切换装置：第一可动部件具有从下侧与第一端部的底面相对的第一支撑面，通过第一支撑面与第一端部的底面相碰而将第一可动部件和第一端部定位，第一引导部具有从下侧与第一固定线性输送机的底面相碰的第一安装面，通过第一安装面与第一固定线性输送机的底面相碰而将第一引导部和第一固定线性输送机定位，第二可动部件具有从下侧与第二端部的底面相对的第二支撑面，通过第二支撑面与第二端部的底面相碰而将第二可动部件和第二端部定位，第二引导部具有从下侧与第二固定线性输送机的底面相碰的第二安装面，通过第二安装面与第二固定线性输送机的底面相碰而将第二引导部和第二固定线性输送机定位。在所述结构下，通过使搬运路切换装置的第一安装面与第一固定线性输送机的底面相碰，并且使搬运路切换装置的第二安装面与第二固定线性输送机的底面相碰，能够简便地将第一、第二固定线性输送机和可动线性输送机定位。因此，能够减轻与第一、第二固定线性输送机相对的搬运路切换装置的安装作业所需要的作业人员的负担。

并且，也可以以如下方式构成搬运路切换装置：可动范围包括与第一位置以及第二位置中的至少第二位置不同的第三位置，第三固定线性输送机从搬运方向的另一侧与第三位置相对，可动线性输送机停止于第三位置并且在与第三固定线性输送机之间移载输送机台，第二支撑机构的第二引导部安装于第三固定线性输送机。在所述结构下，第二支撑机构的第二引导部安装于第三固定线性输送机。通过这种第二支撑机构，能够将可动线性输送机的第二端部牢固地支撑于第三固定线性输送机。因此，即便在相对于可动线性输送机的载荷偏向第二端部的情况下，也能够抑制与第三固定线性输送机相对的该第二端部的下沉，适当地执行第三固定线性输送机与该第二端部之间的输送机台的移载。

并且，也可以以如下方式构成搬运路切换装置：可动范围包括与第一位置以及第二位置中的至少第一位置不同的第四位置，第四固定线性输送机从搬运方向的一侧与第四位置相对，可动线性输送机停止于第四位置并且在与第四固定线性输送机之间移载输送机台，第一支撑机构的第一引导部安装于第四固定线性输送机。在所述结构下，第一支撑机构的第一引导部安装于第四固定线性输送机。通过这种第一支撑机构，能够将可动线性输送机的第一端部牢固地支撑于第四固定线性输送机。因此，即便在相对于可动线性输送机的载荷偏向第一端部的情况下，也能够抑制与第四固定线性输送机相对的该第一端部的下沉，适当地执行第四固定线性输送机与该第一端部之间的输送机台的移载。

并且，也可以以如下方式构成搬运路切换装置：搬运路切换装置还具备：第一安装部件，将第一支撑机构安装于供第一固定线性输送机安装的第一安装基座；以及第二安装部件，将第二支撑机构安装于供第二固定线性输送机安装的第二安装基座。在所述结构下，通过第一、第二安装部件来对第一、第二支撑机构进行支撑，由此能够减轻向第一、第二固定线性输送机施加的负荷。

发明效果

根据本发明，能够克服相对于可动线性输送机的载荷的偏向并对可动线性输送机进行支撑，适当地执行在可动线性输送机的两侧配置的各固定线性输送机与可动线性输送机之间的输送机台的移载。

附图说明

图1A是示意性地示出发明的搬运系统的结构以及动作的俯视图。

图1B是示意性地示出发明的搬运系统的结构以及动作的俯视图。

图1C是示意性地示出发明的搬运系统的结构以及动作的俯视图。

图1D是示意性地示出发明的搬运系统的结构以及动作的俯视图。

图1E是示意性地示出发明的搬运系统的结构以及动作的俯视图。

图2是示出图1A～图1E所示的基板搬运系统具备的电气性结构的框图。

图3是示意性地示出基板搬运系统具备的分支搬运装置的第一例的主视图。

图4是示意性地示出通过单轴机器人来对可动线性输送机进行支撑的支撑机构的侧视图。

图5是示意性地示出通过滑动引导件来对可动线性输送机进行支撑的支撑机构的侧视图。

图6是示意性地示出基板搬运系统具备的分支搬运装置的第二例的主视图。

图7是示出具备两台单轴机器人的分支搬运装置中的移载控制的一例的流程图。

图8是示意性地示出基板搬运系统具备的分支搬运装置的第三例的主视图。

图9是示意性地示出图8的分支搬运装置具有的连杆机构的一例的侧视图。

具体实施方式

图1A～图1E是示意性地示出本发明的搬运系统的结构以及动作的俯视图，图2是示出图1A～图1E所示的基板搬运系统具备的电气性结构的框图。在本说明书的图中，适当示出作为水平方向的X方向、与X方向正交的作为水平方向的Y方向以及作为铅垂方向的Z方向，并且适当示出X方向上相互朝向反方向的Xl侧(图1～图1E的纸面左侧)以及Xr侧(图1～图1E的纸面右侧)。

如图1A～图1E所示，搬运系统1具备两台安装基座11和四台固定线性输送机2。需要说明的是，在区别两台安装基座11的情况下，适当称为安装基座11l、11r，在区别四台固定线性输送机2的情况下，适当称为固定线性输送机2a、2b、2c、2d。并且，在图2中，示出了一台固定线性输送机2来代表四台固定线性输送机2。

两台安装基座11l、11r在X方向上隔开间隔12配置，俯视下具有由与X方向平行的两个边和与Y方向平行的两个边构成的矩形。四台固定线性输送机2中的两台固定线性输送机2a、2d配置于Xl侧的安装基座11l的上表面111，两台固定线性输送机2b、2c配置于Xr侧的安装基座11r的上表面111。各安装基座11l、11r的上表面111是与Z方向正交的水平的平面。

四台固定线性输送机2均与X方向平行地配置。尤其，安装基座11l上的两台固定线性输送机2a、2d在X方向上相互并排配置，安装基座11r上的两台固定线性输送机2b、2c在X方向上相互并排配置。并且，安装基座11l上的固定线性输送机2a和安装基座11r上的固定线性输送机2c在X方向上直列配置，安装基座11l上的固定线性输送机2d和安装基座11r上的固定线性输送机2b在X方向上直列配置。并且，搬运系统1能够在这些固定线性输送机2a、2b、2c、2d之间搬运台式输送机T。

固定线性输送机2具备沿X方向延伸设置的线性壳体21，线性壳体21俯视下具有由与X方向平行的两个边和与Y方向平行的两个边构成的矩形。该线性壳体21具有向Y方向的两侧突出的凸缘23，凸缘23通过螺钉而紧固于安装基座11的上表面111，由此将固定线性输送机2固定于安装基座11的上表面111。并且，线性壳体21的Xl侧的端面21l以及Xr侧的端面21r与X方向垂直地竖立设置。

相对于所述线性壳体21，台式输送机T能够从X方向进行卡合、脱离。即，台式输送机T通过从线性壳体21的Xl侧向端面21l进入而能够与线性壳体21的上部卡合，通过从线性壳体21的Xr侧向端面21r进入而与线性壳体21的上部卡合。如此与线性壳体21卡合的台式输送机T由线性壳体21沿X方向引导。并且，与线性壳体21卡合的台式输送机T通过从端面21l向Xl侧退出而从线性壳体21的上部脱离，通过从端面21r向Xr侧退出而从线性壳体21的上部脱离。

而且，固定线性输送机2具有在线性壳体21内配置的线性电动机定子25和线性尺27(图2)。线性电动机定子25具有产生与施加的电流对应的磁场的线圈。相对于此，台式输送机T具有作为可动元件的永磁铁，线性电动机定子25通过在与卡合于线性壳体21的台式输送机T的可动元件之间产生的磁力而将台式输送机T沿X方向驱动。并且，线性尺27对X方向上的台式输送机T的位置(X坐标)进行检测。

可动线性输送机3在俯视下配置于X方向上的安装基座11l与安装基座11r之间的间隔12。可动线性输送机3具备沿X方向延伸设置的线性壳体31，线性壳体31在俯视下具有由与X方向平行的两个边和与Y方向平行的两个边构成的矩形。该线性壳体31具有向Y方向的两侧突出的凸缘33。并且，线性壳体31的Xl侧的端面31l以及Xr侧的端面31r与X方向垂直地竖立设置。

相对于所述线性壳体31，台式输送机T能够从X方向进行卡合、脱离。即，台式输送机T通过从线性壳体31的Xl侧向端面31l进入而能够与线性壳体31的上部卡合，通过从线性壳体31的Xr侧向端面31r进入而与线性壳体31的上部卡合。如此与线性壳体31卡合的台式输送机T由线性壳体31沿X方向引导。并且，与线性壳体31卡合的台式输送机T通过从端面31l向Xl侧退出而从线性壳体31的上部脱离，通过从端面31r向Xr侧退出而从线性壳体31的上部脱离。

而且，可动线性输送机3具有在线性壳体31内配置的线性电动机定子35和线性尺37(图2)。线性电动机定子35具有产生与施加的电流对应的磁场的线圈。该线性电动机定子35通过在与卡合于线性壳体31的台式输送机T的可动元件之间产生的磁力而将台式输送机T沿X方向驱动。并且，线性尺37对X方向上的台式输送机T的位置(X坐标)进行检测。

在供可动线性输送机3配置的间隔12内，可动线性输送机3的可动范围Ym与Y方向平行地延伸设置。搬运系统1具备设于该可动范围Ym的输送机移动单元4，输送机移动单元4使可动线性输送机3在可动范围Ym内沿Y方向移动。该输送机移动单元4具有配置于可动范围Ym的Xl侧的支撑机构41和配置于可动范围Ym的Xr侧的支撑机构43。

支撑机构41具有与Y方向平行地配置的单轴机器人51。单轴机器人51具有沿Y方向延伸设置的机器人主体52。机器人主体52具有沿Y方向延伸设置的机器人壳体521和在机器人壳体521内与Y方向平行地配置的滚珠丝杠523。该机器人壳体521经由固定板13而固定于安装基座11l的上表面111。具体而言，以在X方向上跨越安装基座11的上表面111和单轴机器人51的机器人壳体521的上表面521t的方式从上侧配置固定板13。并且，利用螺钉(紧固部件)将固定板13的Xl侧的端部紧固、固定于安装基座11的上表面111，并且利用螺钉(紧固部件)将固定板13的Xr侧的端部紧固、固定于单轴机器人51的机器人壳体521的上表面521t。尤其，以一对固定板13从Y方向夹着固定线性输送机2的方式相对于固定线性输送机2a、2d来分别配置各固定板13。而且，机器人壳体521如后述那样分别固定于固定线性输送机2a、2d。并且，单轴机器人51具有Y方向上安装于机器人主体52的一端的驱动电动机531和对驱动电动机531的旋转位置进行检测的编码器532(图2)，驱动电动机531与滚珠丝杠523连接。单轴机器人51的滚珠丝杠523的螺母与可动线性输送机3的Xl侧的端部连接，在驱动电动机531使滚珠丝杠523的丝杠轴旋转时，可动线性输送机3沿Y方向移动。

并且，支撑机构43具有与Y方向平行地延伸设置的Y轴输送机引导件71。Y轴输送机引导件71经由固定板13而固定于安装基座11r的上表面111。具体而言，以在X方向上跨越安装基座11的上表面111和Y轴输送机引导件71的上表面722t的方式从上侧配置固定板13。并且，利用螺钉(紧固部件)将固定板13的Xr侧的端部紧固、固定于安装基座11的上表面111，并且利用螺钉(紧固部件)将固定板13的Xl侧的端部紧固、固定于Y轴输送机引导件71的上表面722t。尤其，以一对固定板13从Y方向夹着固定线性输送机2的方式相对于固定线性输送机2b、2c来分别配置各固定板13。而且，Y轴输送机引导件71如后述那样分别固定于固定线性输送机2b、2c。Y轴输送机引导件71与可动线性输送机3的Xr侧的端部连接，将通过驱动电动机531的驱动力进行移动的可动线性输送机3沿Y方向引导。

而且，搬运系统1具有对四台固定线性输送机2、可动线性输送机3以及单轴机器人51进行控制的控制部100(图2)。该控制部100由CPU(Central Processing Unit：中央处理器)这样的处理器或FPGA(Field Programmable Gate Array：现场可编程门阵列)等构成。控制部100基于由线性尺27检测出的台式输送机T的位置来对施加于线性电动机定子25的电流进行调整，由此相对于各固定线性输送机2来执行对台式输送机T的位置进行控制的反馈控制。并且，控制部100基于由线性尺37检测出的台式输送机T的位置来对施加于线性电动机定子35的电流进行调整，由此相对于可动线性输送机3来执行沿X方向控制台式输送机T的位置的反馈控制。而且，控制部100基于编码器532检测出的驱动电动机531的旋转位置、换言之沿Y方向的可动线性输送机3的位置(Y坐标)来对驱动电动机531的旋转位置进行调整，由此相对于单轴机器人51来执行沿Y方向控制台式输送机T的位置的反馈控制。

在所述搬运系统1中，可动线性输送机3能够在可动范围Ym内沿Y方向移动，能够位于可动范围Ym内包括的多个相对位置Lf1、Lf2中的任一相对位置。在此，相对位置Lf1、Lf2是在Y方向上相互不同的位置，相对位置Lf1在X方向上与固定线性输送机2a、2c相对，相对位置Lf2在X方向上与固定线性输送机2b、2d相对。即，位于相对位置Lf1的可动线性输送机3从Xr侧与固定线性输送机2a的Xr侧的端面21r相对，并且从Xl侧与固定线性输送机2c的Xl侧的端面21l相对。并且，位于相对位置Lf2的可动线性输送机3从Xr侧与固定线性输送机2d的Xr侧的端面21r相对，并且从Xl侧与固定线性输送机2b的Xl侧的端面21l相对。

需要说明的是，以在位于相对位置Lf1的可动线性输送机3的端面31l与固定线性输送机2a的端面21r之间空开间隔(间隙)的方式，支撑机构41将可动线性输送机3支撑于固定线性输送机2a。并且，以在位于相对位置Lf1的可动线性输送机3的端面31r与固定线性输送机2c的端面21l之间空开间隔(间隙)的方式，支撑机构43将可动线性输送机3支撑于固定线性输送机2c。同样，以在位于相对位置Lf2的可动线性输送机3的端面31l与固定线性输送机2d的端面21r之间空开间隔(间隙)的方式，支撑机构41将可动线性输送机3支撑于固定线性输送机2d。并且，以在位于相对位置Lf2的可动线性输送机3的端面31r与固定线性输送机2b的端面21l之间空开间隔(间隙)的方式，支撑机构43将可动线性输送机3支撑于固定线性输送机2b。

因此，控制部100对单轴机器人51进行控制而使可动线性输送机3位于相对位置Lf1，并且对固定线性输送机2a以及可动线性输送机3进行控制，由此能够在固定线性输送机2a与可动线性输送机3之间移载台式输送机T。并且，控制部100对单轴机器人51进行控制而使可动线性输送机3位于相对位置Lf1，并且对固定线性输送机2c以及可动线性输送机3进行控制，由此能够在固定线性输送机2c与可动线性输送机3之间移载台式输送机T。

或者，控制部100对单轴机器人51进行控制而使可动线性输送机3位于相对位置Lf2，并且对固定线性输送机2d以及可动线性输送机3进行控制，由此能够在固定线性输送机2d与可动线性输送机3之间移载台式输送机T。并且，控制部100对单轴机器人51进行控制而使可动线性输送机3位于相对位置Lf2，并且对固定线性输送机2b以及可动线性输送机3进行控制，由此能够在固定线性输送机2b与可动线性输送机3之间移载台式输送机T。

在此，在固定线性输送机2与可动线性输送机3之间的台式输送机T的移载包括台式输送机T从固定线性输送机2向可动线性输送机3的移动以及台式输送机T从可动线性输送机3向固定线性输送机2的移动这两个动作。

这种控制部100能够以各种各样的方案搬运台式输送机T，尤其能够执行以下那样的分支搬运。例如，在图1A中，台式输送机T与固定线性输送机2a卡合。相对于此，在搬运系统1中，在台式输送机T卡合的固定线性输送机2a的Xr侧并排排列有两个固定线性输送机2b、2c。因此，在将该台式输送机T从固定线性输送机2a向Xr侧搬运时，能够将固定线性输送机2b以及固定线性输送机2c分别作为搬运目的地来使用。即，能够使搬运路向这些固定线性输送机2b、2c中的任一个分支并搬运台式输送机T(分支搬运)。需要说明的是，这种分支搬运能够在固定线性输送机2b(搬运起始地)与固定线性输送机2a、2d(搬运目的地)之间、固定线性输送机2c(搬运起始地)与固定线性输送机2a、2d(搬运目的地)之间、固定线性输送机2d(搬运起始地)与固定线性输送机2b、2c(搬运目的地)之间执行。

在此，使用图1A～图1F来说明将台式输送机T从固定线性输送机2a向固定线性输送机2b进行分支搬运的例子。在图1A中，可动线性输送机3停止于与台式输送机T卡合的固定线性输送机2a相对的相对位置Lf1。在图1A～1B中，将台式输送机T从固定线性输送机2a向可动线性输送机3移载。在台式输送机T向可动线性输送机3的移载完成后，可动线性输送机3从相对位置Lf1沿Y方向朝向相对位置Lf2移动(图1C)。可动线性输送机3到达与固定线性输送机2b相对的相对位置Lf2时，停止于该相对位置Lf2(图1D)。然后，在图1D～1E中，将台式输送机T从可动线性输送机3向固定线性输送机2b移载。

图3是示意性地示出基板搬运系统具备的分支搬运装置的第一例的主视图。该分支搬运装置A包括上述的可动线性输送机3以及输送机移动单元4。在图3中，示出了在搬运系统1的设置面上放置的基板19、在基板19上放置的安装基座11、安装于安装基座11的固定线性输送机2以及分支搬运装置A。该分支搬运装置A的输送机移动单元4如上述那样具有支撑机构41以及支撑机构43。它们中，支撑机构41通过单轴机器人51来使可动线性输送机3沿Y方向移动，支撑机构43通过Y轴输送机引导件71来将可动线性输送机3沿Y方向引导。

图4是示意性地示出通过单轴机器人来对可动线性输送机进行支撑的支撑机构的侧视图。图4所示的支撑机构41具有与Y方向平行地配置的单轴机器人51，单轴机器人51具有沿Y方向延伸设置的机器人主体52和在机器人主体52的Y方向的一端安装的驱动电动机531。该机器人主体52具有机器人壳体521、收纳于机器人壳体521的滚珠丝杠523、在机器人壳体521的Xr侧配置的滑动件525(图3)。滚珠丝杠523具有与Y方向平行地延伸设置的丝杠轴523a和与丝杠轴523a螺合的螺母523b，驱动电动机531与丝杠轴523a连接，滑动件525通过连接部件(未图示)而与螺母523b连接。因此，在驱动电动机531使丝杠轴523a旋转时，螺母523b沿Y方向移动，滑动件525伴随于螺母523b而沿Y方向移动。如此，单轴机器人51通过滚珠丝杠523将驱动电动机531的驱动力向滑动件525传递，由此沿滚珠丝杠523的延伸设置方向即Y方向引导滑动件525，并且将驱动电动机531的驱动力施加于滑动件525。由此，滑动件525沿Y方向移动。

机器人壳体521的上表面521t从下侧与固定线性输送机2的凸缘23的底面23b相碰，通过上表面521t和底面23b抵接，将机器人壳体521定位于固定线性输送机2。尤其，如图3所示，Xl侧的固定线性输送机2的Xr侧的端部22r从供该固定线性输送机2安装的安装基座11向Xr侧突出。相对于此，单轴机器人51的机器人壳体521从下侧与固定线性输送机2的端部22r相对，在俯视下与该端部22r重叠。并且，在固定线性输送机2的端部22r处，固定线性输送机2的凸缘23和机器人壳体521的上表面521t通过螺钉S(紧固部件)而紧固、固定。

需要说明的是，如图4所示，在Y方向上，单轴机器人51的机器人壳体521以包括可动范围Ym的方式比可动范围Ym长，两个固定线性输送机2a、2d位于机器人壳体521的两端之间。并且，机器人壳体521的上表面521t通过螺钉S与两个固定线性输送机2a、2d的各自的凸缘23紧固、固定。

并且，支撑机构41具有在滑动件525的Xr侧配置的输送机支撑部件61。输送机支撑部件61具有以与X方向正交的方式沿Z方向竖立设置的竖立设置板611、在竖立设置板611的上端沿水平设置的水平板612、在竖立设置板611与水平板612之间设置的支撑件613。竖立设置板611从Xr侧与滑动件525抵接，通过螺钉S而紧固、固定于滑动件525。

水平板612的上表面612t从下侧与可动线性输送机3的凸缘33的底面33b相碰，通过上表面612t和底面33b抵接，将输送机支撑部件61定位于可动线性输送机3。并且，可动线性输送机3的凸缘33和输送机支撑部件61的水平板612的上表面612t通过螺钉S(紧固部件)而紧固、固定。

如此，安装于固定线性输送机2的单轴机器人51在Z方向上对安装于可动线性输送机3的输送机支撑部件61进行支撑。即，具有单轴机器人51以及输送机输送机支撑部件61的支撑机构41起到将可动线性输送机3支撑于固定线性输送机2的功能。

而且，安装于固定线性输送机2的单轴机器人51将安装于可动线性输送机3的输送机支撑部件61沿Y方向驱动、引导。即，具有单轴机器人51以及输送机支撑部件61的支撑机构41起到相对于固定线性输送机2而将可动线性输送机3沿Y方向驱动并且将与固定线性输送机2相对的可动线性输送机3的移动沿Y方向引导的功能。

图5是示意性地示出通过滑动引导件来对可动线性输送机进行支撑的支撑机构的侧视图。图5所示的支撑机构43具有Y轴输送机引导件71，Y轴输送机引导件71具有沿Y方向延伸设置的基架72和沿Y方向延伸设置的滑动引导件73。

基架72具有以与X方向正交的方式沿Z方向竖立设置的竖立设置板721和在竖立设置板721的上端沿水平设置的水平板722，滑动引导件73固定于竖立设置板721的Xl侧的侧面。滑动引导件73具有与Y方向平行地延伸设置的Y轴导轨731，Y轴导轨731固定于基架72的水平板722。并且，滑动引导件73具有与Y轴导轨731卡合的滑动件732，滑动件732沿着Y轴导轨731沿Y方向移动。

水平板722的上表面722t从下侧与固定线性输送机2的凸缘23的底面23b相碰，通过上表面722t和底面23b抵接，将Y轴输送机引导件71定位于固定线性输送机2。尤其，如图3所示，Xr侧的固定线性输送机2的Xl侧的端部22l从供该固定线性输送机2安装的安装基座11向Xl侧突出。相对于此，Y轴输送机引导件71的基架72从下侧与固定线性输送机2的端部22l相对，在俯视下与端部22l重叠。并且，在固定线性输送机2的端部22l处，固定线性输送机2的凸缘23和水平板722的上表面722t通过螺钉S(紧固部件)而紧固、固定。

需要说明的是，如图5所示，在Y方向上，Y轴导轨731以包括可动范围Ym的方式比可动范围Ym长，对Y轴导轨731进行支撑的基架72也以包括可动范围Ym的方式比可动范围Ym长。相对于此，两个固定线性输送机2b、2c位于基架72的两端之间。并且，基架72的水平板722的上表面722t通过螺钉S而紧固、固定于两个固定线性输送机2b、2c的各自的凸缘23。

并且，支撑机构43具有在滑动件732的Xl侧配置的输送机支撑部件81。输送机支撑部件81具有以与X方向正交的方式沿Z方向竖立设置的竖立设置板811和在竖立设置板811的上端沿水平设置的水平板812。竖立设置板811固定于滑动件732的Xl侧的侧面。因此，输送机支撑部件81由沿着Y轴导轨731移动的滑动件732沿Y方向引导，并且克服Z方向上的重力并由Y轴输送机引导件71支撑。

输送机支撑部件81的水平板812的上表面812t从下侧与可动线性输送机3的凸缘33的底面33b相碰，通过上表面812t和底面33b抵接，将输送机支撑部件81定位于可动线性输送机3。并且，可动线性输送机3的凸缘33和输送机支撑部件81的水平板812的上表面812t通过螺钉S(紧固部件)而紧固、固定。

如此，安装于固定线性输送机2的Y轴输送机引导件71在Z方向上对安装于可动线性输送机3的输送机支撑部件81进行支撑。即，具有Y轴输送机引导件71以及输送机支撑部件81的支撑机构43起到将可动线性输送机3支撑于固定线性输送机2的功能。

而且，安装于固定线性输送机2的Y轴输送机引导件71将安装于可动线性输送机3的输送机支撑部件81沿Y方向引导。即，具有Y轴输送机引导件71以及输送机支撑部件81的支撑机构43起到将与固定线性输送机2相对的可动线性输送机3的移动沿Y方向引导的功能。

如此，分支搬运装置A具备将可动线性输送机3的Xl侧的端部32l支撑于固定线性输送机2的Xr侧的端部22r的支撑机构41和将可动线性输送机3的Xr侧的端部32r支撑于固定线性输送机2的Xl侧的端部22l的支撑机构43。使用图4以及图5来说明所述分支搬运装置A的沿Y方向的动作。如图4所示，在驱动电动机531对滚珠丝杠523的丝杠轴523a进行驱动时，固定于滑动件525(图3)的输送机支撑部件61沿Y方向移动，并且固定于输送机支撑部件61的可动线性输送机3沿Y方向移动。并且，如图5所示，可动线性输送机3的移动由Y轴输送机引导件71的Y轴导轨731沿Y方向引导。如此，可动线性输送机3由单轴机器人51沿Y方向驱动、引导，并且由Y轴导轨731沿Y方向引导，由此能够在包括相对位置Lf1以及相对位置Lf2的可动范围Ym内沿Y方向移动。

在以上说明的第一例中，设有对X方向(搬运方向)上的可动线性输送机3的Xl侧(一侧)的端部32l(第一端部)进行支撑的支撑机构41(第一支撑机构)和对X方向上的可动线性输送机3的Xr侧(另一侧)的端部32r(第二端部)进行支撑的支撑机构43(第二支撑机构)。尤其，支撑机构41具有安装于可动线性输送机3的端部32l的输送机支撑部件61(第一可动部件)和安装于固定线性输送机2a(第一固定线性输送机)并将输送机支撑部件61沿Y方向(切换方向)引导的单轴机器人51(第一引导部)。通过这种具有输送机支撑部件61和单轴机器人51的支撑机构41，能够将可动线性输送机3的端部32l牢固地支撑于固定线性输送机2a。因此，即便在相对于可动线性输送机3的载荷偏向端部32l的情况下，也能够抑制与固定线性输送机2a相对的该端部32l的下沉，适当地执行固定线性输送机2a与该端部32l之间的台式输送机T的移载。而且，支撑机构43具有安装于可动线性输送机3的端部32r的输送机支撑部件81(第二可动部件)和安装于固定线性输送机2b(第二固定线性输送机)并将输送机支撑部件81沿Y方向引导的Y轴输送机引导件71(第二引导部)。通过这种具有输送机支撑部件81和Y轴输送机引导件71的支撑机构43，能够将可动线性输送机3的端部32r牢固地支撑于固定线性输送机2b。因此，即便在相对于可动线性输送机3的载荷偏向端部32r的情况下，也能够抑制与固定线性输送机2b相对的该端部32r的下沉，适当地执行固定线性输送机2b与端部32r之间的台式输送机T的移载。其结果是，能够克服相对于可动线性输送机3的载荷的偏向并对可动线性输送机3进行支撑，适当地执行在可动线性输送机3的两侧配置的各固定线性输送机2a、2b与可动线性输送机3之间的台式输送机T的移载。

并且，单轴机器人51具有驱动电动机531(驱动源)，驱动电动机531通过将输送机支撑部件61沿Y方向驱动而使可动线性输送机3沿Y方向移动。即，通过单轴机器人51的驱动电动机531，能够在相对位置Lf1(第一位置)与相对位置Lf2(第二位置)之间使可动线性输送机3沿Y方向移动。尤其，能够利用单轴机器人51这样单一的功能部来紧凑地实现输送机支撑部件61的驱动以及引导这两功能，能够实现分支搬运装置A(搬运路切换装置)的小型化。

并且，单轴机器人51具有与Y方向平行地配置的滚珠丝杠523。并且，输送机支撑部件61与滚珠丝杠523的螺母523b连接，驱动电动机531使滚珠丝杠523的丝杠轴523a旋转而将输送机支撑部件61沿Y方向驱动。在所述结构下，通过在可动线性输送机3的Xl侧配置的滚珠丝杠式的单轴机器人51，能够使可动线性输送机3沿Y方向移动。

并且，输送机支撑部件61具有从下侧与可动线性输送机3的端部32l的底面33b相对的上表面612t(第一支撑面)，通过上表面612t与端部32l的底面33b相碰而将输送机支撑部件61和可动线性输送机3的端部32l定位。并且，单轴机器人51具有从下侧与固定线性输送机2a、2d的底面23b相碰的上表面521t(第一安装面)，通过上表面521t与固定线性输送机2a、2d的底面23b相碰而将单轴机器人51和固定线性输送机2a、2d定位。而且，输送机支撑部件81具有从下侧与可动线性输送机3的端部32r的底面33b相对的上表面812t(第二支撑面)，通过上表面812t与端部32r的底面33b相碰而将输送机支撑部件81和可动线性输送机3的端部32r定位。并且，Y轴输送机引导件71具有从下侧与固定线性输送机2b、2c的底面23b相碰的上表面722t(第二安装面)，通过上表面722t与固定线性输送机2b、2c的底面23b相碰而将Y轴输送机引导件71和固定线性输送机2b、2c定位。在所述结构下，通过使分支搬运装置A的上表面521t与固定线性输送机2a、2d的底面23b相碰，并且使分支搬运装置A的上表面722t与固定线性输送机2b、2c的底面23b相碰，能够简便地将固定线性输送机2a、2b、2c、2d和可动线性输送机3定位。因此，能够减轻与固定线性输送机2a、2b、2c、2d相对的分支搬运装置A的安装作业所需要的作业人员的负担。

并且，固定线性输送机2c(第三固定线性输送机)从X方向的Xr侧与相对位置Lf1(第三位置)相对，可动线性输送机3停止于相对位置Lf1并且在与固定线性输送机2c之间移载台式输送机T。并且，支撑机构43的Y轴输送机引导件71安装于固定线性输送机2c。通过这种支撑机构43，能够将可动线性输送机3的端部32r牢固地支撑于固定线性输送机2c。因此，即便在相对于可动线性输送机3的载荷偏向端部32r的情况下，也能够抑制与固定线性输送机2c相对的该端部32r的下沉，适当地执行固定线性输送机2c与该端部32r之间的台式输送机T的移载。

并且，固定线性输送机2d(第四固定线性输送机)从X方向的Xl侧与相对位置Lf2(第四位置)相对，可动线性输送机3停止于相对位置Lf2并且在与固定线性输送机2d之间移载台式输送机T。并且，支撑机构41的单轴机器人51安装于固定线性输送机2d。通过这种支撑机构41，能够将可动线性输送机3的端部32l牢固地支撑于固定线性输送机2d。因此，即便在相对于可动线性输送机3的载荷偏向端部32l的情况下，也能够抑制与固定线性输送机2d相对的该端部32l的下沉，适当地执行固定线性输送机2d与该端部32l之间的台式输送机T的移载。

并且，在分支搬运装置A中设有将支撑机构41安装于供固定线性输送机2a、2d安装的安装基座11r(第一安装基座)的固定板13(第一安装部件)和将支撑机构43安装于供固定线性输送机2b、2c安装的安装基座11l(第二安装基座)的固定板13(第二安装部件)。在所述结构下，通过固定板13来对支撑机构41、43进行支撑，由此能够减轻向固定线性输送机2a、2b、2c、2d施加的负荷。

图6是示意性地示出基板搬运系统具备的分支搬运装置的第二例的主视图。在此，以与图3的第一例的不同为中心进行说明，共通的部分标注相当的附图标记并适当省略说明。在该第二例中，支撑机构43取代Y轴输送机引导件71(第一例)而具有单轴机器人51，并且取代输送机支撑部件81(第一例)而具有输送机支撑部件61。即，支撑机构43具备与支撑机构41共通的结构。

在所述支撑机构43中，单轴机器人51的上表面521t从下侧与固定线性输送机2的端部22l的底面23b抵接。并且，在该端部22l处，单轴机器人51的上表面521t通过螺钉S而与固定线性输送机2的凸缘23紧固、固定。而且，在支撑机构43中，输送机支撑部件61固定于单轴机器人51的滑动件525，该输送机支撑部件61的上表面612t从下侧与可动线性输送机3的端部32r的底面33b抵接，在该端部32r处紧固、固定于可动线性输送机3的凸缘33。因此，支撑机构43能够将可动线性输送机3的端部32r支撑于固定线性输送机2的端部22l，并且将可动线性输送机3的端部32r沿Y方向驱动、引导。

如此，在第二例中，支撑机构43具有安装于可动线性输送机3的端部32r的输送机支撑部件61(第二可动部件)和安装于固定线性输送机2b(第二固定线性输送机)并将输送机支撑部件61沿Y方向(切换方向)引导的单轴机器人51(第二引导部)。通过这种具有输送机支撑部件61和单轴机器人51的支撑机构43，能够将可动线性输送机3的端部32r牢固地支撑于固定线性输送机2b。因此，即便在相对于可动线性输送机3的载荷偏向端部32r的情况下，也能够抑制与固定线性输送机2b相对的该端部32r的下沉，适当地执行固定线性输送机2b与该端部32r之间的台式输送机T的移载。需要说明的是，支撑机构43对于固定线性输送机2c(第三固定线性输送机)也能够起到同样的效果。

并且，支撑机构41的单轴机器人51(第一引导部)具有驱动电动机531(第一驱动源)，支撑机构43的单轴机器人51(第二引导部)具有驱动电动机531(第二驱动源)。并且，支撑机构41、43各自的驱动电动机531通过将输送机支撑部件61(第一、第二可动部件)沿Y方向驱动而使可动线性输送机3沿Y方向移动。在所述结构下，通过支撑机构41、43各自的驱动电动机531，能够在相对位置Lf1与相对位置Lf2之间使可动线性输送机3沿Y方向移动。尤其，在支撑机构41、43中，分别能够利用单轴机器人51这样单一的功能部来紧凑地实现输送机支撑部件61的驱动以及引导这两功能，能够实现分支搬运装置A(搬运路切换装置)的小型化。

并且，在支撑机构41、43中，单轴机器人51(第一、第二引导部)分别具有与Y方向平行地配置的滚珠丝杠523(第一、第二滚珠丝杠)。相对于此，输送机支撑部件61(第一、第二可动部件)与滚珠丝杠523的螺母523b连接，驱动电动机531使滚珠丝杠523的丝杠轴523a旋转而将输送机支撑部件61沿Y方向驱动。在所述结构下，通过在可动线性输送机3的Xl侧配置的滚珠丝杠式的单轴机器人51和在可动线性输送机3的Xr侧配置的滚珠丝杠式的单轴机器人51，能够使可动线性输送机3沿Y方向移动。

另外，在如图6的第二例那样在可动线性输送机3的两侧设置单轴机器人51的分支搬运装置A中，控制部100也可以如以下那样对各单轴机器人51的驱动电动机531进行控制。

图7是示出具备两台单轴机器人的分支搬运装置中的移载控制的一例的流程图。该图的流程图在固定线性输送机2与可动线性输送机3之间移载台式输送机T时通过控制部100的控制来执行。

在步骤S101中，判断是否执行台式输送机T的移载。然后，在判断为移载台式输送机T时(步骤S101中为“是”)，进入步骤S102。在步骤S102中，判断在与可动线性输送机3之间移载台式输送机T的固定线性输送机2是可动线性输送机3的Xl侧的固定线性输送机2a、2d还是可动线性输送机3的Xr侧的固定线性输送机2b、2c。

在对象的固定线性输送机2处于Xl侧的情况下，控制部100使Xr侧的支撑机构43的驱动电动机531的动作停止，并且对于Xl侧的支撑机构41的驱动电动机531进行上述的反馈控制并使台式输送机T位于相对位置Lf1或相对位置Lf2(步骤S103)。此时，支撑机构43的驱动电动机531停止(无伺服)，因此支撑机构43的单轴机器人51未起到对可动线性输送机3进行驱动的功能，仅起到将可动线性输送机3沿Y方向引导的功能。如此，将可动线性输送机3定位于相对位置Lf1或相对位置Lf2后，在可动线性输送机3与该可动线性输送机3的Xl侧的固定线性输送机2之间移载台式输送机T(步骤S104)。

在对象的固定线性输送机2处于Xr侧的情况下，控制部100使Xl侧的支撑机构41的驱动电动机531的动作停止，并且对于Xr侧的支撑机构43的驱动电动机531进行上述的反馈控制并使台式输送机T位于相对位置Lf1或相对位置Lf2(步骤S105)。此时，支撑机构41的驱动电动机531停止(无伺服)，因此支撑机构41的单轴机器人51未起到对可动线性输送机3进行驱动的功能，仅起到将可动线性输送机3沿Y方向引导的功能。如此，将可动线性输送机3定位于相对位置Lf1或相对位置Lf2后，在可动线性输送机3与该可动线性输送机3的Xr侧的固定线性输送机2之间移载台式输送机T(步骤S106)。

在图7的移载控制中，控制部100对支撑机构41、43各自的驱动电动机531(第一、第二驱动源)的动作进行控制。尤其，控制部100在可动线性输送机3与Xl侧的固定线性输送机2a、2d之间移载台式输送机T时使Xr侧的支撑机构43的驱动电动机531的动作停止，并且通过Xl侧的支撑机构41的驱动电动机531的动作来将可动线性输送机3的位置控制为相对位置Lf1、Lf2(步骤S103)。并且，控制部100在可动线性输送机3与Xr侧的固定线性输送机2b、2c之间移载台式输送机T时，使Xl侧的支撑机构41的驱动电动机531的动作停止，并且通过Xr侧的支撑机构43的驱动电动机531的动作来将可动线性输送机3的位置控制为相对位置Lf1、Lf2(步骤S105)。在所述结构下，在固定线性输送机2a、2d与可动线性输送机3之间移载台式输送机T时，能够防止支撑机构43的驱动电动机531的动作的干涉，并且通过支撑机构41的驱动电动机531而相对于固定线性输送机2a、2d来准确地将可动线性输送机3定位，实现台式输送机T的顺利的移载。并且，在固定线性输送机2b、2c与可动线性输送机3之间移载台式输送机T时，能够防止支撑机构41的驱动电动机531的动作的干涉，并且通过支撑机构43的驱动电动机531而相对于固定线性输送机2b、2c来准确地将可动线性输送机3定位，实现台式输送机T的顺利的移载。

图8是示意性地示出基板搬运系统具备的分支搬运装置的第三例的主视图，图9是示意性地示出图8的分支搬运装置具有的连杆机构的一例的侧视图。在此，以与图3的第一例的不同为中心进行说明，共通的部分标注相当的附图标记并适当省略说明。在该第三例中，支撑机构41取代单轴机器人51(第一例)而具有Y轴输送机引导件71，并且取代输送机支撑部件61(第一例)而具有输送机支撑部件81。即，支撑机构41具备与支撑机构43共通的结构。

在所述支撑机构41中，Y轴输送机引导件71的上表面722t从下侧与固定线性输送机2的端部22r的底面23b抵接。并且，在该端部22r处，Y轴输送机引导件71的上表面722t通过螺钉S而紧固、固定于固定线性输送机2的凸缘23。而且，在支撑机构41中，输送机支撑部件81固定于Y轴输送机引导件71的滑动件732，该输送机支撑部件81的上表面812t从下侧与可动线性输送机3的端部32l的底面33b抵接，在该端部32l处紧固、固定于可动线性输送机3的凸缘33。因此，支撑机构41能够将可动线性输送机3的端部32l支撑于固定线性输送机2的端部22r，并且将可动线性输送机3的端部32l沿Y方向引导。

并且，在图8的输送机移动单元4中，在放置于基板19的支撑框架18上沿Y方向配置单轴机器人51。并且，单轴机器人51和可动线性输送机3通过连杆机构9而连接。如图9所示，连杆机构9具有安装板91和在安装板91的上表面上固定的球面轴承92。并且，连杆机构9具有在比安装板91靠上侧处设置的安装板94和在安装板94的下表面上固定的球面轴承95。

而且，连杆机构9具有将球面轴承92与球面轴承95之间连接的杆97，该杆97的一端971由球面轴承95承受，杆97的与一端971相反的另一端972由球面轴承92承受。所述杆97相对于球面轴承92而具有两个旋转自由度，并且相对于球面轴承95而具有两个旋转自由度。即，杆97能够分别以相互正交的两根旋转轴为中心，相对于球面轴承92而旋转，并且相对于球面轴承95而旋转。

并且，安装板91通过螺钉S而紧固、固定于单轴机器人51的滑动件525的上表面。并且，安装板94通过螺钉S而紧固、固定于可动线性输送机3的凸缘33的底面33b。该安装板94在X方向上在可动线性输送机3的端部32l与端部32r之间的中央位置处固定于可动线性输送机3。因此，在驱动电动机531通过滚珠丝杠523的驱动而将滑动件525沿Y方向驱动时，通过连杆机构9与滑动件525连接的可动线性输送机3沿Y方向移动。

如此，在第三例中，具备在可动线性输送机3的端部32l与端部32r之间的安装位置(安装板94的位置)处安装于可动线性输送机3的连杆机构9和通过将连杆机构9沿Y方向驱动而使可动线性输送机3沿Y方向移动的单轴机器人51。连杆机构9具有经由安装板94而安装于可动线性输送机3的球面轴承95(第一球面轴承)、经由安装板91而安装于单轴机器人51的滑动件525的球面轴承92(第二球面轴承)、将球面轴承95与球面轴承92连接的杆97。并且，杆97的一端971由球面轴承95承受，杆97的另一端972由球面轴承92承受。在所述结构下，能够通过连杆机构9的球面轴承92、95的自由度来吸收支撑机构41、43各自的Y轴输送机引导件71与单轴机器人51之间的平行度的误差。因此，能够使可动线性输送机3沿Y方向顺利地移动。

如此，在上述的实施方式中，搬运系统1相当于本发明的“搬运系统”的一例，安装基座11l相当于本发明的“第一安装基座”的一例，安装基座11r相当于本发明的“第二安装基座”的一例，固定板13相当于本发明的“第一、第二安装部件”的一例，控制部100相当于本发明的“控制部”的一例，固定线性输送机2a相当于本发明的“第一固定线性输送机”的一例，固定线性输送机2b相当于本发明的“第二固定线性输送机”的一例，固定线性输送机2c相当于本发明的“第三固定线性输送机”的一例，固定线性输送机2d相当于本发明的“第四固定线性输送机”的一例，可动线性输送机3相当于本发明的“可动线性输送机”的一例，端部32l相当于本发明的“第一端部”的一例，端部32r相当于本发明的“第二端部”的一例，支撑机构41相当于本发明的“第一支撑机构”的一例，支撑机构43相当于本发明的“第二支撑机构”的一例，分支搬运装置A相当于本发明的“搬运路切换装置”的一例，相对位置Lf1相当于本发明的“第一位置”的一例，相对位置Lf1相当于本发明的“第三位置”的一例，相对位置Lf2相当于本发明的“第二位置”的一例，相对位置Lf2相当于本发明的“第四位置”的一例，台式输送机T相当于本发明的“输送机台”的一例，X方向相当于本发明的“搬运方向”的一例，Xl侧相当于本发明的“一侧”的一例，Xr侧相当于本发明的“另一侧”的一例，Y方向相当于本发明的“切换方向”的一例，可动范围Ym相当于本发明的“可动范围”的一例，连杆机构9相当于本发明的“连杆机构”的一例，单轴机器人51相当于本发明的“单轴机器人”的一例，球面轴承95相当于本发明的“第一球面轴承”的一例，球面轴承92相当于本发明的“第二球面轴承”的一例，杆97相当于本发明的“杆”的一例，一端971相当于本发明的“一端”的一例，另一端972相当于本发明的“另一端”的一例。

在第一例(图3)中，支撑机构41的输送机支撑部件61相当于本发明的“第一可动部件”的一例，支撑机构41的单轴机器人51相当于本发明的“第一引导部”的一例，支撑机构43的输送机支撑部件81相当于本发明的“第二可动部件”的一例，支撑机构43的Y轴输送机引导件71相当于本发明的“第二引导部”的一例。

在第二例(图6)中，支撑机构41的输送机支撑部件61相当于本发明的“第一可动部件”的一例，支撑机构41的单轴机器人51相当于本发明的“第一引导部”的一例，支撑机构43的输送机支撑部件61相当于本发明的“第二可动部件”的一例，支撑机构43的单轴机器人51相当于本发明的“第二引导部”的一例。

在第三例(图8)中，支撑机构41的输送机支撑部件81相当于本发明的“第一可动部件”的一例，支撑机构41的Y轴输送机引导件71相当于本发明的“第一引导部”的一例，支撑机构43的输送机支撑部件81相当于本发明的“第二可动部件”的一例，支撑机构43的Y轴输送机引导件71相当于本发明的“第二引导部”的一例。

在第一例(图3)中，上表面612t相当于本发明的“第一支撑面”的一例，上表面521t相当于本发明的“第一安装面”的一例，上表面812t相当于本发明的“第二支撑面”的一例，上表面722t相当于本发明的“第二安装面”的一例。

在第二例(图6)中，Xl侧的上表面612t相当于本发明的“第一支撑面”的一例，Xl侧的上表面521t相当于本发明的“第一安装面”的一例，Xr侧的上表面612t相当于本发明的“第二支撑面”的一例，Xr侧的上表面521t相当于本发明的“第二安装面”的一例。

在第三例(图8)中，Xl侧的上表面812t相当于本发明的“第一支撑面”的一例，Xl侧的上表面722t相当于本发明的“第一安装面”的一例，Xr侧的上表面812t相当于本发明的“第二支撑面”的一例，Xr侧的上表面722t相当于本发明的“第二安装面”的一例。

需要说明的是，本发明并不限定于上述实施方式，只要不脱离其宗旨，就能够对上述的实施方式施加各种各样的变更。例如，上述的分支搬运装置A不一定需要基板19。因此，也可以不使用基板19而将分支搬运装置A直接放置于设置面。

并且，搬运系统1中使用的固定线性输送机2的个数、配置能够适当变更。例如，能够进行从图1的例子使固定线性输送机2c的位置沿Y方向偏移、或使固定线性输送机2d的位置沿Y方向偏移、或省去固定线性输送机2c、或省去固定线性输送机2d这样的变形。并且，在X方向的Xr侧或Xl侧并排排列的固定线性输送机2的个数并不限于两个，也可以为三个以上。从两侧对可动线性输送机3进行支撑的上述支撑机构41、43对于如此设置的三个以上的固定线性输送机2也能够起到与上述相同的效果。

并且，对可动线性输送机3进行驱动的方向(切换方向)能够进行各种各样的变更。因此，对可动线性输送机3进行驱动的方向并不限于水平方向，也可以为铅垂方向。在该情况下，分支搬运装置A能够在铅垂方向上使台式输送机T的搬运路分支。

附图标记说明

1…搬运系统

11l…安装基座(第一安装基座)

11r…安装基座(第二安装基座)

13…固定板(第一·第二安装部件)

100…控制部

2…固定线性输送机

2a…固定线性输送机(第一固定线性输送机)

2b…固定线性输送机(第二固定线性输送机)

2c…固定线性输送机(第三固定线性输送机)

2d…固定线性输送机(第四固定线性输送机)

3…可动线性输送机

32l…端部(第一端部)

32r…端部(第二端部)

41…支撑机构(第一支撑机构)

43…支撑机构(第二支撑机构)

A…分支搬运装置(搬运路切换装置)

Lf1…相对位置(第一位置、第三位置)

Lf2…相对位置(第二位置、第四位置)

T…台式输送机

X…X方向(搬运方向)

Xl…Xl侧(一侧)

Xr…Xr侧(另一侧)

Y…Y方向(切换方向)

Ym…可动范围

Claims (13)

1.一种搬运路切换装置，具备：

可动线性输送机，沿预定的搬运方向搬运输送机台；

第一支撑机构，对所述搬运方向上的作为所述可动线性输送机的一侧的端部的第一端部进行支撑；以及

第二支撑机构，对所述搬运方向上的作为所述可动线性输送机的与所述一侧相反的另一侧的端部的第二端部进行支撑，

所述第一支撑机构以及所述第二支撑机构对所述可动线性输送机进行支撑，所述可动线性输送机在包括相对于所述搬运方向而倾斜的切换方向上相互不同的第一位置和第二位置的可动范围内沿所述切换方向移动，

第一固定线性输送机从所述搬运方向的所述一侧与所述第一位置相对，

第二固定线性输送机从所述搬运方向的所述另一侧与所述第二位置相对，

所述可动线性输送机停止于所述第一位置并且在与所述第一固定线性输送机之间移载所述输送机台，

所述可动线性输送机停止于所述第二位置并且在与所述第二固定线性输送机之间移载所述输送机台，

所述第一支撑机构具有安装于所述可动线性输送机的所述第一端部的第一可动部件和安装于所述第一固定线性输送机并将所述第一可动部件沿所述切换方向引导的第一引导部，

所述第二支撑机构具有安装于所述可动线性输送机的所述第二端部的第二可动部件和安装于所述第二固定线性输送机并将所述第二可动部件沿所述切换方向引导的第二引导部。

2.根据权利要求1所述的搬运路切换装置，其中，

所述第一引导部具有驱动源，

所述驱动源通过将所述第一可动部件沿所述切换方向驱动而使所述可动线性输送机沿所述切换方向移动。

3.根据权利要求2所述的搬运路切换装置，其中，

所述第一引导部具有与所述切换方向平行地配置的滚珠丝杠，

所述第一可动部件与所述滚珠丝杠的螺母连接，

所述驱动源使所述滚珠丝杠的丝杠轴旋转而将所述第一可动部件沿所述切换方向驱动。

4.根据权利要求1所述的搬运路切换装置，其中，

所述第一引导部具有第一驱动源，

所述第二引导部具有第二驱动源，

所述第一驱动源通过将所述第一可动部件沿所述切换方向驱动而使所述可动线性输送机沿所述切换方向移动，

所述第二驱动源通过将所述第二可动部件沿所述切换方向驱动而使所述可动线性输送机沿所述切换方向移动。

5.根据权利要求4所述的搬运路切换装置，其中，

所述第一引导部具有与所述切换方向平行地配置的第一滚珠丝杠，

所述第一可动部件与所述第一滚珠丝杠的螺母连接，

所述第一驱动源使所述第一滚珠丝杠的丝杠轴旋转而将所述第一可动部件沿所述切换方向驱动，

所述第二引导部具有与所述切换方向平行地配置的第二滚珠丝杠，

所述第二可动部件与所述第二滚珠丝杠的螺母连接，

所述第二驱动源使所述第二滚珠丝杠的丝杠轴旋转而将所述第二可动部件沿所述切换方向驱动。

6.根据权利要求4或5所述的搬运路切换装置，其中，

所述搬运路切换装置还具备对所述第一驱动源的动作以及所述第二驱动源的动作进行控制的控制部，

所述控制部构成为，

在使所述可动线性输送机和所述第一固定线性输送机在所述搬运方向上相对时，使所述第二驱动源的动作停止并且通过所述第一驱动源的动作来将所述可动线性输送机的位置控制为所述第一位置，

在使所述可动线性输送机和所述第二固定线性输送机在所述搬运方向上相对时，使所述第一驱动源的动作停止并且通过所述第二驱动源的动作来将所述可动线性输送机的位置控制为所述第二位置。

7.根据权利要求1所述的搬运路切换装置，其中，

所述搬运路切换装置还具备：

连杆机构，在所述搬运方向上在所述第一端部与所述第二端部之间的安装位置处安装于所述可动线性输送机；以及

单轴机器人，通过将所述连杆机构沿所述切换方向驱动而使所述可动线性输送机沿所述切换方向移动，

所述连杆机构具有安装于所述可动线性输送机的第一球面轴承、安装于所述单轴机器人的滑动件的第二球面轴承以及将所述第一球面轴承与所述第二球面轴承连接的杆，

所述杆的一端由所述第一球面轴承承受，所述杆的与所述一端相反的另一端由所述第二球面轴承承受。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的搬运路切换装置，其中，

所述第一可动部件具有从下侧与所述第一端部的底面相对的第一支撑面，

通过所述第一支撑面与所述第一端部的底面相碰而将所述第一可动部件和所述第一端部定位，

所述第一引导部具有从下侧与所述第一固定线性输送机的底面相碰的第一安装面，

通过所述第一安装面与所述第一固定线性输送机的底面相碰而将所述第一引导部和所述第一固定线性输送机定位，

所述第二可动部件具有从下侧与所述第二端部的底面相对的第二支撑面，

通过所述第二支撑面与所述第二端部的底面相碰而将所述第二可动部件和所述第二端部定位，

所述第二引导部具有从下侧与所述第二固定线性输送机的底面相碰的第二安装面，

通过所述第二安装面与所述第二固定线性输送机的底面相碰而将所述第二引导部和所述第二固定线性输送机定位。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的搬运路切换装置，其中，

所述可动范围包括与所述第一位置以及所述第二位置中的至少所述第二位置不同的第三位置，

第三固定线性输送机从所述搬运方向的所述另一侧与所述第三位置相对，

所述可动线性输送机停止于所述第三位置并且在与所述第三固定线性输送机之间移载所述输送机台，

所述第二支撑机构的所述第二引导部安装于所述第三固定线性输送机。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的搬运路切换装置，其中，

所述可动范围包括与所述第一位置以及所述第二位置中的至少所述第一位置不同的第四位置，

第四固定线性输送机从所述搬运方向的所述一侧与所述第四位置相对，

所述可动线性输送机停止于所述第四位置并且在与所述第四固定线性输送机之间移载所述输送机台，

所述第一支撑机构的所述第一引导部安装于所述第四固定线性输送机。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的搬运路切换装置，其中，

所述搬运路切换装置还具备：

第一安装部件，将所述第一支撑机构安装于供所述第一固定线性输送机安装的第一安装基座；以及

第二安装部件，将所述第二支撑机构安装于供所述第二固定线性输送机安装的第二安装基座。

12.一种搬运系统，具备：

第一固定线性输送机，将输送机台沿搬运方向驱动；

第二固定线性输送机，将所述输送机台沿所述搬运方向驱动；以及

权利要求1～11中任一项所述的搬运路切换装置，在所述搬运方向上配置于所述第一固定线性输送机与所述第二固定线性输送机之间。

13.一种搬运路切换方法，具备如下工序：使沿预定的搬运方向搬运输送机台的可动线性输送机在包括相对于所述搬运方向而倾斜的切换方向上相互不同的第一位置和第二位置的可动范围内沿所述切换方向移动，

所述搬运方向上的作为所述可动线性输送机的一侧的端部的第一端部由第一支撑机构支撑，

所述搬运方向上的作为所述可动线性输送机的与所述一侧相反的另一侧的端部的第二端部由第二支撑机构支撑，

第一固定线性输送机从所述搬运方向的所述一侧与所述第一位置相对，

第二固定线性输送机从所述搬运方向的所述另一侧与所述第二位置相对，

所述可动线性输送机停止于所述第一位置并且在与所述第一固定线性输送机之间移载所述输送机台，

所述可动线性输送机停止于所述第二位置并且在与所述第二固定线性输送机之间移载所述输送机台，

所述第一支撑机构具有安装于所述可动线性输送机的所述第一端部的第一可动部件和安装于所述第一固定线性输送机并将所述第一可动部件沿所述切换方向引导的第一引导部，

所述第二支撑机构具有安装于所述可动线性输送机的所述第二端部的第二可动部件和安装于所述第二固定线性输送机并将所述第二可动部件沿所述切换方向引导的第二引导部。