JP3960903B2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3960903B2 JP3960903B2 JP2002324232A JP2002324232A JP3960903B2 JP 3960903 B2 JP3960903 B2 JP 3960903B2 JP 2002324232 A JP2002324232 A JP 2002324232A JP 2002324232 A JP2002324232 A JP 2002324232A JP 3960903 B2 JP3960903 B2 JP 3960903B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulley
- adjacent
- stage
- endless belt
- main
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送装置、特に半導体製造のためのウェハーを搬送するための搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程のうちの特定の工程、例えば露光工程などにおいてはウェハーを露光機まで一つずつ搬送している。このような場合には搬送装置、例えば搬送用ハンドが使用されており、搬送装置は複数のウェハーが収納されたカセットから一つのウェハーを取り出して露光機まで搬送する。次いで、露光機におけるアライメント後に露光作用を行い、搬送装置によってウェハーはカセットまで再び戻される。露光工程以外の工程、または半導体以外の分野においても、このように一つの搬送物を搬送することが行われている。
【0003】
前述したような場合に使用される搬送装置は回転機構を組み合わせたいわゆるスカラ型搬送装置である。スカラ型搬送装置は複数のアームを有しており、これらアームの各端部は隣接するアームの端部に回動可能に取り付けられている。スカラ型搬送装置においては、例えば複数のアームを一直線状に整列させることにより搬送物を遠方まで搬送すると共に、これらアームを折り畳むことにより搬送物、例えばウェハーをカセットまで戻すようにしている(例えば、特許文献1参照。)。
【特許文献1】
特開平08−255822号公報(第1図および第2図)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献1に記載されるようなスカラ型搬送装置は複数の回動可能なアームの運動を組み合わせることによって搬送物を直線状に搬送しているので、最終的な搬送位置における誤差が生じやすく、搬送物を高精度で搬送するのは困難である。特にウェハーを比較的遠方まで搬送する際には搬送物の最終的な搬送位置が大幅に変化する場合がある。
【0005】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、搬送物を高精度で搬送可能な搬送装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために請求項1に記載の発明によれば、ベースと、搬送物を担持するハンド部と、前記ベースと前記ハンド部との間において互いに隣接して配置される少なくとも二つの段とを具備し、該段のそれぞれは、ハウジングと、所定の距離を空けて配置された二つまたは四つのメインプーリに係合するエンドレスベルトと、前記メインプーリ間に延びる前記エンドレスベルトに取り付けられた連結部とを含んでおり、前記段のうちの前記ハンド部に隣接する段の連結部は前記ハンド部に連結しており、前記段のうちの残りの段の前記連結部は隣接する一つの隣接段の前記ハウジングに連結しており、前記段のうちの少なくとも一つの段は、該段のメインプーリと反対方向に回転可能であると共に前記メインプーリ間において移動可能であるように前記エンドレスベルトに係合した駆動プーリを含んでおり、該駆動プーリは隣接する一つの前記隣接段の一つの前記メインプーリと同軸に配置されており、前記段のうちの少なくとも一つの段においては前記連結部と前記駆動プーリとが前記エンドレスベルトの各側部にそれぞれ配置されており、これら連結部および駆動プーリは隣接する隣接段の連結部および駆動プーリとはエンドレスベルトの反対側の各側部にそれぞれ配置されており、前記段の前記メインプーリの回転軸線と前記隣接段の前記メインプーリの回転軸線とは互いに平行になっており、前記少なくとも二つの段のうちの一つの段の前記メインプーリの駆動時に前記連結部が前記エンドレスベルト上を移動することにより前記隣接段の前記ハウジングが前記隣接段と共に移動し、前記隣接段の前記一つのメインプーリが移動することにより該メインプーリと同軸に配置される前記駆動プーリが前記エンドレスベルトに沿って移動し、前記ハンド部に隣接する段の前記連結部により前記ハンド部が移動し、これにより、前記ハンド部を前記ベースに対して移動させるようにした搬送装置が提供される。
【0007】
すなわち請求項1に記載の発明によって、直線運動を組合せることにより搬送物を直線状に搬送しているので、搬送物を高精度で搬送することができる。また複数の段は同時に移動するので搬送物を比較的高速で搬送することができる。従って、例えば請求項1に記載の搬送装置を露光時に使用する場合には一つの搬送物(ウェハー)に対するアライメント時間を短縮することができ、結果的にスループットを向上させることができる。また、請求項1に記載の発明においてはメインプーリを回転させるための単一のアクチュエータによって他の段およびハンドを移動させることができるので、複数のアクチュエータを設ける必要がない。メインプーリが二つである場合には各段の寸法をほぼ同一にできるので、搬送物を比較的遠方まで搬送することができる。また、メインプーリが四つである場合には、搬送装置の非延伸時に搬送装置が占める体積を比較的小さくすることができる。
【0008】
請求項2に記載の発明によれば、前記駆動プーリに隣接する二つの補助プーリがそれぞれ設けられている。
すなわち請求項2に記載の発明によって、搬送装置の延伸時に段を安定して移動させることができる。
【0009】
請求項3に記載の発明によれば、前記段が前記隣接段を案内する案内部を含む。
すなわち請求項3に記載の発明によって、或る段を隣接する段に対して所定方向に確実に線形移動させられる。この案内部は例えばハウジングに形成された溝でありうる。
【0010】
請求項4に記載の発明によれば、前記エンドレスベルトの各側部にそれぞれ配置された前記連結部と前記駆動プーリとが互いに対向している。
すなわち請求項4に記載の発明によって、隣接段の移動距離を長くすることができる。
【0011】
請求項5に記載の発明によれば、前記エンドレスベルトがスチールベルトである。
すなわち請求項5に記載の発明によって、ベルト使用時に粉塵が発生するのを抑えることができる。搬送装置をクリンルーム内において使用する場合には、請求項5に記載の発明は特に有利である。また、これにより本発明の搬送装置を真空雰囲気に対応させられる。
【0012】
請求項6に記載の発明によれば、前記ベースが鉛直軸線回りに回転可能である。
すなわち請求項6に記載の発明によって、例えば搬送装置を延伸して搬送物を装填した後に搬送装置を縮小させ、次いでベースを回転させた後に搬送装置を再び延伸させて搬送物を搬送する場合には、設置面積を大幅に小さくすることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同一の部材には同一の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。
図1(a)は本発明に基づく搬送装置の延伸時における側面図である。図1(a)に示されるように本発明の搬送装置10は搬送物、例えばシリコンウェハーを担持するためのハンド部50を有している。搬送装置10のベース12は台部11上に設置されており、ベース12とハンド部50との間には複数、図1(a)においては三つの段20、30、40が設けられている。図1(a)においては段20はベース12に取り付けられており、段30は段20の上方に配置されており、段40は段30の上方に配置されている。また、図1(a)から分かるように連結部37によって段30のハウジング39と段40のハウジング49とが連結されている。
【0014】
図1(b)は本発明に基づく搬送装置の非延伸時における反対側からの側面図である。図1(b)から分かるように、連結部27によって段20のハウジング29と段30のハウジング39とが連結されており、連結部47によって段40のハウジング49とハンド部50とが連結されている。さらに、段20の一端にはアクチュエータ18、例えばモータ18が設けられている。また搬送装置10の台部11またはベース12は鉛直方向に昇降可能および/またはこれら自体が回転可能になっている。
【0015】
図2(a)は本発明に基づく搬送装置の延伸時における頂面図であり、図2(b)は本発明に基づく搬送装置の延伸時における分解図である。これら図面に示されるように、ハンド部50の先端には湾曲部51が形成されており、搬送物、例えばウェハーを湾曲部51に担持する。各段20、30、40には、二つまたは四つ(図2(a)および図2(b)に示される実施形態においては四つ)のメインプーリがそれぞれ配置されており、これらメインプーリにはエンドレスベルト23、33、43がそれぞれ係合している。
【0016】
図3は本発明に基づく搬送装置の非延伸時における分解斜視図であり、図4は本発明に基づく搬送装置の延伸時における分解斜視図である。図3および図4においては各段20、30、40はそれぞれ二つのメインプーリを有している。図3および図4に示されるように、段20は二つのメインプーリ21、22を含んでおり、これらメインプーリ21、22にはエンドレスベルト23が係合している。さらに段20はエンドレスベルト23の一側23aに係合する駆動プーリ24を含んでいる。図3および図4から分かるようにメインプーリ21、22の回転時に駆動プーリ24はメインプーリ21、22とは反対方向に回転する。さらに、駆動プーリ24はエンドレスベルト23に対して平行に移動可能になっている。また駆動プーリ24付近には補助プーリ25、26が設けられていても良い。駆動プーリ24がエンドレスベルト23に対して平行に移動する際に、補助プーリ25、26は駆動プーリ24と一体的に移動する。これにより搬送装置10の延伸時に段を安定して移動させることができる。また、エンドレスベルト23の他側23bには前述した連結部27が設けられている。連結部27は段30のハウジング39に連結しているが、理解を容易にするために図3および図4においてはハウジング39を省略すると共に、連結部27の一部のみを示している。図3および図4においては駆動プーリ24はメインプーリ21、22の中心を結ぶ直線上に配置されている。搬送装置10の非延伸時においては駆動プーリ24および連結部27はそれぞれエンドレスベルト23の第一の側部23aおよび第二の側部23bにおいてメインプーリ21に隣接するように配置されている。
【0017】
段30は二つのメインプーリ31、32を含んでおり、これらメインプーリ31、32にはエンドレスベルト33が係合している。図3および図4から分かるように段30の駆動プーリ34はエンドレスベルト33の第二の側部33bに係合している。さらにエンドレスベルト33の第一の側部33aには連結部37が取り付けられている。これら段30の駆動プーリ34および連結部37は段20の駆動プーリ24および連結部27と同様である。また、段20の場合と同様に、段30の駆動プーリ34付近には補助プーリ35、36が設けられていても良い。図3および図4から分かるように段30のメインプーリ31と段20の駆動プーリ24とは共通の中心軸線A上に配置されており、メインプーリ31および駆動プーリ24は同一方向に回転する。連結部37は段40のハウジング49に連結しているが、理解を容易にするために図3および図4においてはハウジング49を省略すると共に、連結部37の一部のみを示している。搬送装置10の非延伸時においては連結部37および駆動プーリ34はそれぞれエンドレスベルト33の第一の側部33aおよび第二の側部33bにおいてメインプーリ31に隣接するように配置されている。
【0018】
同様に段40も二つのメインプーリ41、42を含んでおり、これらメインプーリ41、42にはエンドレスベルト43が係合している。図3および図4から分かるように連結部47がエンドレスベルト43の第二の側部43bに取り付けられている。図示されるように連結部47は搬送装置10のハンド部50に連結されている。図3および図4から分かるように段40のメインプーリ41と段30の駆動プーリ34とは共通の中心軸線B上に配置されており、メインプーリ41および駆動プーリ34は同一方向に回転する。搬送装置10の非延伸時においては連結部47はそれぞれエンドレスベルト43の第二の側部23bにおいてメインプーリ41に隣接するように配置されている。
【0019】
以下、図3および図4を参照しつつ本発明の搬送装置10の動作を説明する。段20に設けられたアクチュエータ18(図1(a)および図1(b)を参照されたい)を駆動させることにより、段20のメインプーリ21を回転させる。これによりエンドレスベルト23が図示されるように回転する。従って、連結部27はエンドレスベルト23の第二の側部23b上をメインプーリ21からメインプーリ22まで移動する。これにより段30の図示しないハウジング39、従って、段30自体が連結部27と共に移動する。段30は段20のハウジング29に形成された案内部(図示しない)、例えば溝に沿って摺動する。従って、図4に示されるように段30を段20に対して所定方向に確実に線形的に移動させられる。段30が移動することによりメインプーリ31自体も同様に線形的に移動し、これにより段20の駆動プーリ24がメインプーリ21からメインプーリ22までエンドレスベルト23の第一の側部23aに沿って回転しながら移動する。前述したように駆動プーリ24と段30のメインプーリ31とは同一の回転軸線Aに配置されているので、段30のメインプーリ31および駆動プーリ24はメインプーリ21とは反対方向に回転する。図3および図4に示されるように、段20の連結部27と駆動プーリ24とは互いに平行に移動する。
【0020】
連結部37はエンドレスベルト33の第一の側部33aに取り付けられているので、段30のメインプーリ31が段20のメインプーリ21とは反対方向に回転することにより、連結部37がメインプーリ31からメインプーリ32までエンドレスベルト33の第一の側部33a上を移動する。段30の連結部37の移動方向は段20の連結部27の移動方向と同一である。これにより段40の図示しないハウジング49、従って、段40自体が連結部37と共に移動する。段40は段30のハウジング39に形成された案内部(図示しない)、例えば溝に沿って摺動する。従って、図4に示されるように段40は段30に対して線形的に移動する。段40が移動することによりメインプーリ41自体も同様に線形的に移動し、これにより段30の駆動プーリ34がメインプーリ31からメインプーリ32までエンドレスベルト33の第二の側部33bに沿って回転しながら移動する。前述したように駆動プーリ34と段40のメインプーリ41とが同一の回転軸線B上に配置されているので、段40のメインプーリ41および駆動プーリ34はメインプーリ31とは反対方向に回転する。図3および図4に示されるように、段30の連結部37と駆動プーリ37とは互いに平行に移動する。
【0021】
連結部47はエンドレスベルト43の第二の側部43bに取り付けられているので、段40のメインプーリ41が回転することにより、連結部47がメインプーリ41からメインプーリ42までエンドレスベルト43の第二の側部43b上を移動する。段40の連結部47の移動方向は段20の連結部27および段30の連結部37の移動方向と同一である。これによりハンド部50が連結部47と共に移動する。ハンド部50は段40のハウジング49に形成された案内部(図示しない)、例えば溝に沿って摺動する。従って、図4に示されるようにハンド部50は段40に対して線形的に移動する。これによりハンド部50に担持された搬送物、例えばウェハーを比較的遠方まで搬送することができる。
【0022】
このように、本発明の搬送装置10においては直線運動を組合せることにより搬送物を直線状に搬送しているので、搬送物を高精度で搬送することができる。また、実際には各段30、40およびハンド部50は段20に対してほぼ同時に線形移動するので搬送物を比較的高速で搬送することができる。従って、例えば搬送装置10を露光時に使用する場合には一つの搬送物(ウェハー)に対するアライメント時間を短縮することができ、結果的にスループットを向上させることができる。また、本発明の搬送装置10においてはメインプーリ21を回転させるための単一のアクチュエータ18によって他の段30、40およびハンド部50を移動させることができるので、複数のアクチュエータを設ける必要がない。また、図3および図4においては各段のメインプーリが二つである場合を示しているが、図2(a)および図2(b)に示されるように各段のメインプーリが四つであってもよい。メインプーリが二つである場合には各段の寸法をほぼ同一にできるので、搬送物を比較的遠方まで搬送することができる。また、メインプーリが四つである場合には、図2(a)および図2(b)に示されるように四つのメインプーリのうちの一つのメインプーリと隣接する段の駆動プーリとが同軸に配置されている。このような場合にはベースから遠方に在る段の寸法が小さくなるので搬送装置10の非延伸時に搬送装置10が占める体積を比較的小さくすることができる。
【0023】
また、各段20、30、40に設けられたエンドレスベルト23、33、43はスチールベルトであるのが好ましい。これにより、これらエンドレスベルトとメインプーリとの間の摩擦などにより生じうる粉塵の発生を抑えることができる。このことは搬送装置10をクリンルーム内で使用する場合、例えば搬送装置10を露光機のために使用する場合に特に好ましく、また、これにより本発明の搬送装置100を真空雰囲気に対応させられる。さらに、各段20、30、40における連結部27、37と、駆動プーリ24、34とがそれぞれ対向しているのが好ましい。この場合には隣接する段の移動距離を長くすることができる。さらに、各段20、30、40のエンドレスベルト23、33、43に停止部(図示しない)を設けることにより、各段の移動距離を調節するようにしてもよい。このような停止部および/または連結部27、37、47は各エンドレスベルト23、33、43の内側に取り付けられているのが好ましく、これにより停止部および連結部がメインプーリを越えて移動するのを妨げることができる。
【0024】
図5は本発明に基づく搬送装置の延伸時における頂面図である。図5においては本発明の搬送装置10が搬送物、すなわちウェハーを露光機に搬送する場合を想定している。図5には複数のウェハーが収納されたカセット90が示されている。このような場合には搬送装置10を延伸させてカセット90内の搬送物、すなわちウェハーをハンド部50により担持した後に搬送装置10を縮小する。次いで搬送装置10のベース12(図5には示さない)を約180°回転させて、搬送装置10を再び延伸させることにより、搬送物を露光機まで搬送する。搬送装置10をこのように動作させることにより、図5に示されるような障害物81、82が存在している場合であっても、搬送物を搬送することができる。従って、設置面積が極端に小さい場合であっても、本発明に基づく搬送装置10を採用することができる。
【0025】
前述した実施形態においては搬送物としてウェハーを想定しているが、本発明の搬送装置をウェハー以外の搬送物にも適用できるのは明らかである。また図3および図4においては三つの段20、30、40を備えた搬送装置10について説明したが、二つの段を備えた搬送装置10およびさらに多数の段を備えた搬送装置10も本発明の範囲に含まれる。
【0026】
【発明の効果】
各請求項に記載の発明によれば、直線運動を組合せることにより搬送物を直線状に搬送しているので、搬送物を高精度で搬送することができるという共通の効果を奏しうる。
【0027】
さらに、請求項2に記載の発明によれば、搬送装置の延伸時に段を安定して移動させることができるという効果を奏しうる。
さらに、請求項3に記載の発明によれば、或る段を隣接する段に対して所定方向に確実に線形移動させられるという効果を奏しうる。
さらに、請求項4に記載の発明によれば、隣接段の移動距離を長くすることができるという効果を奏しうる。
さらに、請求項5に記載の発明によれば、ベルト使用時に粉塵が発生するのを抑えることにより、本発明の搬送装置が真空雰囲気に対応可能になるという効果を奏しうる。
さらに、請求項6に記載の発明によれば、設置面積を大幅に小さくすることができるという効果を奏しうる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)本発明に基づく搬送装置の延伸時における側面図である。
(b)本発明に基づく搬送装置の非延伸時における反対側からの側面図である。
【図2】(a)本発明に基づく搬送装置の延伸時における頂面図である。
(b)本発明に基づく搬送装置の延伸時における分解図である。
【図3】本発明に基づく搬送装置の非延伸時における分解斜視図である。
【図4】本発明に基づく搬送装置の延伸時における分解斜視図である。
【図5】本発明に基づく搬送装置の延伸時における頂面図である。
【符号の説明】
10…搬送装置
11…台部
12…ベース
18…モータ
18…アクチュエータ
20、30、40…段
21、31、41…メインプーリ
22、32、42…メインプーリ
23、33、43…エンドレスベルト
24、34…駆動プーリ
27、37、47…連結部
29、39、49…ハウジング
50…ハンド部
51…湾曲部
81…障害物
90…カセット
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送装置、特に半導体製造のためのウェハーを搬送するための搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程のうちの特定の工程、例えば露光工程などにおいてはウェハーを露光機まで一つずつ搬送している。このような場合には搬送装置、例えば搬送用ハンドが使用されており、搬送装置は複数のウェハーが収納されたカセットから一つのウェハーを取り出して露光機まで搬送する。次いで、露光機におけるアライメント後に露光作用を行い、搬送装置によってウェハーはカセットまで再び戻される。露光工程以外の工程、または半導体以外の分野においても、このように一つの搬送物を搬送することが行われている。
【0003】
前述したような場合に使用される搬送装置は回転機構を組み合わせたいわゆるスカラ型搬送装置である。スカラ型搬送装置は複数のアームを有しており、これらアームの各端部は隣接するアームの端部に回動可能に取り付けられている。スカラ型搬送装置においては、例えば複数のアームを一直線状に整列させることにより搬送物を遠方まで搬送すると共に、これらアームを折り畳むことにより搬送物、例えばウェハーをカセットまで戻すようにしている(例えば、特許文献1参照。)。
【特許文献1】
特開平08−255822号公報(第1図および第2図)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献1に記載されるようなスカラ型搬送装置は複数の回動可能なアームの運動を組み合わせることによって搬送物を直線状に搬送しているので、最終的な搬送位置における誤差が生じやすく、搬送物を高精度で搬送するのは困難である。特にウェハーを比較的遠方まで搬送する際には搬送物の最終的な搬送位置が大幅に変化する場合がある。
【0005】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、搬送物を高精度で搬送可能な搬送装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために請求項1に記載の発明によれば、ベースと、搬送物を担持するハンド部と、前記ベースと前記ハンド部との間において互いに隣接して配置される少なくとも二つの段とを具備し、該段のそれぞれは、ハウジングと、所定の距離を空けて配置された二つまたは四つのメインプーリに係合するエンドレスベルトと、前記メインプーリ間に延びる前記エンドレスベルトに取り付けられた連結部とを含んでおり、前記段のうちの前記ハンド部に隣接する段の連結部は前記ハンド部に連結しており、前記段のうちの残りの段の前記連結部は隣接する一つの隣接段の前記ハウジングに連結しており、前記段のうちの少なくとも一つの段は、該段のメインプーリと反対方向に回転可能であると共に前記メインプーリ間において移動可能であるように前記エンドレスベルトに係合した駆動プーリを含んでおり、該駆動プーリは隣接する一つの前記隣接段の一つの前記メインプーリと同軸に配置されており、前記段のうちの少なくとも一つの段においては前記連結部と前記駆動プーリとが前記エンドレスベルトの各側部にそれぞれ配置されており、これら連結部および駆動プーリは隣接する隣接段の連結部および駆動プーリとはエンドレスベルトの反対側の各側部にそれぞれ配置されており、前記段の前記メインプーリの回転軸線と前記隣接段の前記メインプーリの回転軸線とは互いに平行になっており、前記少なくとも二つの段のうちの一つの段の前記メインプーリの駆動時に前記連結部が前記エンドレスベルト上を移動することにより前記隣接段の前記ハウジングが前記隣接段と共に移動し、前記隣接段の前記一つのメインプーリが移動することにより該メインプーリと同軸に配置される前記駆動プーリが前記エンドレスベルトに沿って移動し、前記ハンド部に隣接する段の前記連結部により前記ハンド部が移動し、これにより、前記ハンド部を前記ベースに対して移動させるようにした搬送装置が提供される。
【0007】
すなわち請求項1に記載の発明によって、直線運動を組合せることにより搬送物を直線状に搬送しているので、搬送物を高精度で搬送することができる。また複数の段は同時に移動するので搬送物を比較的高速で搬送することができる。従って、例えば請求項1に記載の搬送装置を露光時に使用する場合には一つの搬送物(ウェハー)に対するアライメント時間を短縮することができ、結果的にスループットを向上させることができる。また、請求項1に記載の発明においてはメインプーリを回転させるための単一のアクチュエータによって他の段およびハンドを移動させることができるので、複数のアクチュエータを設ける必要がない。メインプーリが二つである場合には各段の寸法をほぼ同一にできるので、搬送物を比較的遠方まで搬送することができる。また、メインプーリが四つである場合には、搬送装置の非延伸時に搬送装置が占める体積を比較的小さくすることができる。
【0008】
請求項2に記載の発明によれば、前記駆動プーリに隣接する二つの補助プーリがそれぞれ設けられている。
すなわち請求項2に記載の発明によって、搬送装置の延伸時に段を安定して移動させることができる。
【0009】
請求項3に記載の発明によれば、前記段が前記隣接段を案内する案内部を含む。
すなわち請求項3に記載の発明によって、或る段を隣接する段に対して所定方向に確実に線形移動させられる。この案内部は例えばハウジングに形成された溝でありうる。
【0010】
請求項4に記載の発明によれば、前記エンドレスベルトの各側部にそれぞれ配置された前記連結部と前記駆動プーリとが互いに対向している。
すなわち請求項4に記載の発明によって、隣接段の移動距離を長くすることができる。
【0011】
請求項5に記載の発明によれば、前記エンドレスベルトがスチールベルトである。
すなわち請求項5に記載の発明によって、ベルト使用時に粉塵が発生するのを抑えることができる。搬送装置をクリンルーム内において使用する場合には、請求項5に記載の発明は特に有利である。また、これにより本発明の搬送装置を真空雰囲気に対応させられる。
【0012】
請求項6に記載の発明によれば、前記ベースが鉛直軸線回りに回転可能である。
すなわち請求項6に記載の発明によって、例えば搬送装置を延伸して搬送物を装填した後に搬送装置を縮小させ、次いでベースを回転させた後に搬送装置を再び延伸させて搬送物を搬送する場合には、設置面積を大幅に小さくすることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同一の部材には同一の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。
図1(a)は本発明に基づく搬送装置の延伸時における側面図である。図1(a)に示されるように本発明の搬送装置10は搬送物、例えばシリコンウェハーを担持するためのハンド部50を有している。搬送装置10のベース12は台部11上に設置されており、ベース12とハンド部50との間には複数、図1(a)においては三つの段20、30、40が設けられている。図1(a)においては段20はベース12に取り付けられており、段30は段20の上方に配置されており、段40は段30の上方に配置されている。また、図1(a)から分かるように連結部37によって段30のハウジング39と段40のハウジング49とが連結されている。
【0014】
図1(b)は本発明に基づく搬送装置の非延伸時における反対側からの側面図である。図1(b)から分かるように、連結部27によって段20のハウジング29と段30のハウジング39とが連結されており、連結部47によって段40のハウジング49とハンド部50とが連結されている。さらに、段20の一端にはアクチュエータ18、例えばモータ18が設けられている。また搬送装置10の台部11またはベース12は鉛直方向に昇降可能および/またはこれら自体が回転可能になっている。
【0015】
図2(a)は本発明に基づく搬送装置の延伸時における頂面図であり、図2(b)は本発明に基づく搬送装置の延伸時における分解図である。これら図面に示されるように、ハンド部50の先端には湾曲部51が形成されており、搬送物、例えばウェハーを湾曲部51に担持する。各段20、30、40には、二つまたは四つ(図2(a)および図2(b)に示される実施形態においては四つ)のメインプーリがそれぞれ配置されており、これらメインプーリにはエンドレスベルト23、33、43がそれぞれ係合している。
【0016】
図3は本発明に基づく搬送装置の非延伸時における分解斜視図であり、図4は本発明に基づく搬送装置の延伸時における分解斜視図である。図3および図4においては各段20、30、40はそれぞれ二つのメインプーリを有している。図3および図4に示されるように、段20は二つのメインプーリ21、22を含んでおり、これらメインプーリ21、22にはエンドレスベルト23が係合している。さらに段20はエンドレスベルト23の一側23aに係合する駆動プーリ24を含んでいる。図3および図4から分かるようにメインプーリ21、22の回転時に駆動プーリ24はメインプーリ21、22とは反対方向に回転する。さらに、駆動プーリ24はエンドレスベルト23に対して平行に移動可能になっている。また駆動プーリ24付近には補助プーリ25、26が設けられていても良い。駆動プーリ24がエンドレスベルト23に対して平行に移動する際に、補助プーリ25、26は駆動プーリ24と一体的に移動する。これにより搬送装置10の延伸時に段を安定して移動させることができる。また、エンドレスベルト23の他側23bには前述した連結部27が設けられている。連結部27は段30のハウジング39に連結しているが、理解を容易にするために図3および図4においてはハウジング39を省略すると共に、連結部27の一部のみを示している。図3および図4においては駆動プーリ24はメインプーリ21、22の中心を結ぶ直線上に配置されている。搬送装置10の非延伸時においては駆動プーリ24および連結部27はそれぞれエンドレスベルト23の第一の側部23aおよび第二の側部23bにおいてメインプーリ21に隣接するように配置されている。
【0017】
段30は二つのメインプーリ31、32を含んでおり、これらメインプーリ31、32にはエンドレスベルト33が係合している。図3および図4から分かるように段30の駆動プーリ34はエンドレスベルト33の第二の側部33bに係合している。さらにエンドレスベルト33の第一の側部33aには連結部37が取り付けられている。これら段30の駆動プーリ34および連結部37は段20の駆動プーリ24および連結部27と同様である。また、段20の場合と同様に、段30の駆動プーリ34付近には補助プーリ35、36が設けられていても良い。図3および図4から分かるように段30のメインプーリ31と段20の駆動プーリ24とは共通の中心軸線A上に配置されており、メインプーリ31および駆動プーリ24は同一方向に回転する。連結部37は段40のハウジング49に連結しているが、理解を容易にするために図3および図4においてはハウジング49を省略すると共に、連結部37の一部のみを示している。搬送装置10の非延伸時においては連結部37および駆動プーリ34はそれぞれエンドレスベルト33の第一の側部33aおよび第二の側部33bにおいてメインプーリ31に隣接するように配置されている。
【0018】
同様に段40も二つのメインプーリ41、42を含んでおり、これらメインプーリ41、42にはエンドレスベルト43が係合している。図3および図4から分かるように連結部47がエンドレスベルト43の第二の側部43bに取り付けられている。図示されるように連結部47は搬送装置10のハンド部50に連結されている。図3および図4から分かるように段40のメインプーリ41と段30の駆動プーリ34とは共通の中心軸線B上に配置されており、メインプーリ41および駆動プーリ34は同一方向に回転する。搬送装置10の非延伸時においては連結部47はそれぞれエンドレスベルト43の第二の側部23bにおいてメインプーリ41に隣接するように配置されている。
【0019】
以下、図3および図4を参照しつつ本発明の搬送装置10の動作を説明する。段20に設けられたアクチュエータ18(図1(a)および図1(b)を参照されたい)を駆動させることにより、段20のメインプーリ21を回転させる。これによりエンドレスベルト23が図示されるように回転する。従って、連結部27はエンドレスベルト23の第二の側部23b上をメインプーリ21からメインプーリ22まで移動する。これにより段30の図示しないハウジング39、従って、段30自体が連結部27と共に移動する。段30は段20のハウジング29に形成された案内部(図示しない)、例えば溝に沿って摺動する。従って、図4に示されるように段30を段20に対して所定方向に確実に線形的に移動させられる。段30が移動することによりメインプーリ31自体も同様に線形的に移動し、これにより段20の駆動プーリ24がメインプーリ21からメインプーリ22までエンドレスベルト23の第一の側部23aに沿って回転しながら移動する。前述したように駆動プーリ24と段30のメインプーリ31とは同一の回転軸線Aに配置されているので、段30のメインプーリ31および駆動プーリ24はメインプーリ21とは反対方向に回転する。図3および図4に示されるように、段20の連結部27と駆動プーリ24とは互いに平行に移動する。
【0020】
連結部37はエンドレスベルト33の第一の側部33aに取り付けられているので、段30のメインプーリ31が段20のメインプーリ21とは反対方向に回転することにより、連結部37がメインプーリ31からメインプーリ32までエンドレスベルト33の第一の側部33a上を移動する。段30の連結部37の移動方向は段20の連結部27の移動方向と同一である。これにより段40の図示しないハウジング49、従って、段40自体が連結部37と共に移動する。段40は段30のハウジング39に形成された案内部(図示しない)、例えば溝に沿って摺動する。従って、図4に示されるように段40は段30に対して線形的に移動する。段40が移動することによりメインプーリ41自体も同様に線形的に移動し、これにより段30の駆動プーリ34がメインプーリ31からメインプーリ32までエンドレスベルト33の第二の側部33bに沿って回転しながら移動する。前述したように駆動プーリ34と段40のメインプーリ41とが同一の回転軸線B上に配置されているので、段40のメインプーリ41および駆動プーリ34はメインプーリ31とは反対方向に回転する。図3および図4に示されるように、段30の連結部37と駆動プーリ37とは互いに平行に移動する。
【0021】
連結部47はエンドレスベルト43の第二の側部43bに取り付けられているので、段40のメインプーリ41が回転することにより、連結部47がメインプーリ41からメインプーリ42までエンドレスベルト43の第二の側部43b上を移動する。段40の連結部47の移動方向は段20の連結部27および段30の連結部37の移動方向と同一である。これによりハンド部50が連結部47と共に移動する。ハンド部50は段40のハウジング49に形成された案内部(図示しない)、例えば溝に沿って摺動する。従って、図4に示されるようにハンド部50は段40に対して線形的に移動する。これによりハンド部50に担持された搬送物、例えばウェハーを比較的遠方まで搬送することができる。
【0022】
このように、本発明の搬送装置10においては直線運動を組合せることにより搬送物を直線状に搬送しているので、搬送物を高精度で搬送することができる。また、実際には各段30、40およびハンド部50は段20に対してほぼ同時に線形移動するので搬送物を比較的高速で搬送することができる。従って、例えば搬送装置10を露光時に使用する場合には一つの搬送物(ウェハー)に対するアライメント時間を短縮することができ、結果的にスループットを向上させることができる。また、本発明の搬送装置10においてはメインプーリ21を回転させるための単一のアクチュエータ18によって他の段30、40およびハンド部50を移動させることができるので、複数のアクチュエータを設ける必要がない。また、図3および図4においては各段のメインプーリが二つである場合を示しているが、図2(a)および図2(b)に示されるように各段のメインプーリが四つであってもよい。メインプーリが二つである場合には各段の寸法をほぼ同一にできるので、搬送物を比較的遠方まで搬送することができる。また、メインプーリが四つである場合には、図2(a)および図2(b)に示されるように四つのメインプーリのうちの一つのメインプーリと隣接する段の駆動プーリとが同軸に配置されている。このような場合にはベースから遠方に在る段の寸法が小さくなるので搬送装置10の非延伸時に搬送装置10が占める体積を比較的小さくすることができる。
【0023】
また、各段20、30、40に設けられたエンドレスベルト23、33、43はスチールベルトであるのが好ましい。これにより、これらエンドレスベルトとメインプーリとの間の摩擦などにより生じうる粉塵の発生を抑えることができる。このことは搬送装置10をクリンルーム内で使用する場合、例えば搬送装置10を露光機のために使用する場合に特に好ましく、また、これにより本発明の搬送装置100を真空雰囲気に対応させられる。さらに、各段20、30、40における連結部27、37と、駆動プーリ24、34とがそれぞれ対向しているのが好ましい。この場合には隣接する段の移動距離を長くすることができる。さらに、各段20、30、40のエンドレスベルト23、33、43に停止部(図示しない)を設けることにより、各段の移動距離を調節するようにしてもよい。このような停止部および/または連結部27、37、47は各エンドレスベルト23、33、43の内側に取り付けられているのが好ましく、これにより停止部および連結部がメインプーリを越えて移動するのを妨げることができる。
【0024】
図5は本発明に基づく搬送装置の延伸時における頂面図である。図5においては本発明の搬送装置10が搬送物、すなわちウェハーを露光機に搬送する場合を想定している。図5には複数のウェハーが収納されたカセット90が示されている。このような場合には搬送装置10を延伸させてカセット90内の搬送物、すなわちウェハーをハンド部50により担持した後に搬送装置10を縮小する。次いで搬送装置10のベース12(図5には示さない)を約180°回転させて、搬送装置10を再び延伸させることにより、搬送物を露光機まで搬送する。搬送装置10をこのように動作させることにより、図5に示されるような障害物81、82が存在している場合であっても、搬送物を搬送することができる。従って、設置面積が極端に小さい場合であっても、本発明に基づく搬送装置10を採用することができる。
【0025】
前述した実施形態においては搬送物としてウェハーを想定しているが、本発明の搬送装置をウェハー以外の搬送物にも適用できるのは明らかである。また図3および図4においては三つの段20、30、40を備えた搬送装置10について説明したが、二つの段を備えた搬送装置10およびさらに多数の段を備えた搬送装置10も本発明の範囲に含まれる。
【0026】
【発明の効果】
各請求項に記載の発明によれば、直線運動を組合せることにより搬送物を直線状に搬送しているので、搬送物を高精度で搬送することができるという共通の効果を奏しうる。
【0027】
さらに、請求項2に記載の発明によれば、搬送装置の延伸時に段を安定して移動させることができるという効果を奏しうる。
さらに、請求項3に記載の発明によれば、或る段を隣接する段に対して所定方向に確実に線形移動させられるという効果を奏しうる。
さらに、請求項4に記載の発明によれば、隣接段の移動距離を長くすることができるという効果を奏しうる。
さらに、請求項5に記載の発明によれば、ベルト使用時に粉塵が発生するのを抑えることにより、本発明の搬送装置が真空雰囲気に対応可能になるという効果を奏しうる。
さらに、請求項6に記載の発明によれば、設置面積を大幅に小さくすることができるという効果を奏しうる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)本発明に基づく搬送装置の延伸時における側面図である。
(b)本発明に基づく搬送装置の非延伸時における反対側からの側面図である。
【図2】(a)本発明に基づく搬送装置の延伸時における頂面図である。
(b)本発明に基づく搬送装置の延伸時における分解図である。
【図3】本発明に基づく搬送装置の非延伸時における分解斜視図である。
【図4】本発明に基づく搬送装置の延伸時における分解斜視図である。
【図5】本発明に基づく搬送装置の延伸時における頂面図である。
【符号の説明】
10…搬送装置
11…台部
12…ベース
18…モータ
18…アクチュエータ
20、30、40…段
21、31、41…メインプーリ
22、32、42…メインプーリ
23、33、43…エンドレスベルト
24、34…駆動プーリ
27、37、47…連結部
29、39、49…ハウジング
50…ハンド部
51…湾曲部
81…障害物
90…カセット
Claims (6)
- ベースと、
搬送物を担持するハンド部と、
前記ベースと前記ハンド部との間において互いに隣接して配置される少なくとも二つの段とを具備し、該段のそれぞれは、ハウジングと、所定の距離を空けて配置された二つまたは四つのメインプーリに係合するエンドレスベルトと、前記メインプーリ間に延びる前記エンドレスベルトに取り付けられた連結部とを含んでおり、前記段のうちの前記ハンド部に隣接する段の連結部は前記ハンド部に連結しており、前記段のうちの残りの段の前記連結部は隣接する一つの隣接段の前記ハウジングに連結しており、
前記段のうちの少なくとも一つの段は、該段のメインプーリと反対方向に回転可能であると共に前記メインプーリ間において移動可能であるように前記エンドレスベルトに係合した駆動プーリを含んでおり、該駆動プーリは隣接する一つの前記隣接段の一つの前記メインプーリと同軸に配置されており、
前記段のうちの少なくとも一つの段においては前記連結部と前記駆動プーリとが前記エンドレスベルトの各側部にそれぞれ配置されており、これら連結部および駆動プーリは隣接する隣接段の連結部および駆動プーリとはエンドレスベルトの反対側の各側部にそれぞれ配置されており、
前記段の前記メインプーリの回転軸線と前記隣接段の前記メインプーリの回転軸線とは互いに平行になっており、
前記少なくとも二つの段のうちの一つの段の前記メインプーリの駆動時に前記連結部が前記エンドレスベルト上を移動することにより前記隣接段の前記ハウジングが前記隣接段と共に移動し、前記隣接段の前記一つのメインプーリが移動することにより該メインプーリと同軸に配置される前記駆動プーリが前記エンドレスベルトに沿って移動し、前記ハンド部に隣接する段の前記連結部により前記ハンド部が移動し、これにより、前記ハンド部を前記ベースに対して移動させるようにした搬送装置。 - 前記駆動プーリに隣接する二つの補助プーリがそれぞれ設けられている請求項1に記載の搬送装置。
- 前記段が前記隣接段を案内する案内部を含む請求項1または2に記載の搬送装置。
- 前記エンドレスベルトの各側部にそれぞれ配置された前記連結部と前記駆動プーリとが互いに対向している請求項1から3のいずれか一項に記載の搬送装置。
- 前記エンドレスベルトがスチールベルトである請求項1から4のいずれか一項に記載の搬送装置。
- 前記ベースが鉛直軸線回りに回転可能である請求項1から5のいずれか一項に記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002324232A JP3960903B2 (ja) | 2002-11-07 | 2002-11-07 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002324232A JP3960903B2 (ja) | 2002-11-07 | 2002-11-07 | 搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004154904A JP2004154904A (ja) | 2004-06-03 |
JP3960903B2 true JP3960903B2 (ja) | 2007-08-15 |
Family
ID=32803883
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002324232A Expired - Fee Related JP3960903B2 (ja) | 2002-11-07 | 2002-11-07 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3960903B2 (ja) |
-
2002
- 2002-11-07 JP JP2002324232A patent/JP3960903B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004154904A (ja) | 2004-06-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102379269B1 (ko) | 통합된 얼라이너를 갖는 로봇 | |
US10406679B2 (en) | Unequal link SCARA arm | |
US8701519B2 (en) | Robot with belt-drive system | |
US6234738B1 (en) | Thin substrate transferring apparatus | |
US9656386B2 (en) | Coaxial drive vacuum robot | |
US8833198B2 (en) | Belt-driven robot having extended Z-axis motion | |
KR100774236B1 (ko) | 평판형상물 반송용 스카라형 로봇 및 평판형상물 처리시스템 | |
KR20010043252A (ko) | 공축 구동축을 구비한 듀얼 아암 장치 | |
KR102182483B1 (ko) | 로봇 조립체들, 기판 프로세싱 장치, 및 전자 디바이스 제조에서 기판들을 운송하기 위한 방법들 | |
JP4231552B2 (ja) | 幅広リスト・屈曲アームを有する物体移送装置 | |
TW200849450A (en) | Substrate conveying robot | |
KR20080096418A (ko) | 산업용 로봇 및 집합 처리 장치 | |
US10276416B2 (en) | Industrial robot | |
JP4222068B2 (ja) | 被処理体の搬送装置 | |
US20240178032A1 (en) | Substrate transport apparatus | |
JP3960903B2 (ja) | 搬送装置 | |
TW201233511A (en) | Coaxial harmonic drive vacuum robot | |
KR20150091310A (ko) | 링크식 반송 로봇 | |
JP4757404B2 (ja) | 搬送アーム | |
JPH10209241A (ja) | 基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置 | |
JP2007216364A (ja) | 真空用ロボット | |
JP5059729B2 (ja) | ウェーハ搬送ロボット及びウェーハ搬送装置 | |
JP7191564B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP3488393B2 (ja) | 多関節ロボット装置 | |
JPS63296235A (ja) | ウエハ搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050922 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070411 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070417 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070515 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |