JP7292819B2 - コンベアテーブル移載装置、搬送システムおよびコンベアテーブル移載方法 - Google Patents

Description

この発明は、それぞれコンベアテーブルを駆動可能な複数の固定リニアコンベアの間でコンベアテーブルを移載する技術に関する。

特許文献１では、台車を循環させる搬送システムが記載されている。この搬送システムは、並列に配置された２個の搬送路を備える。搬送路は、直列に配列された複数のガイドレールを有し、各ガイドレールには複数のコイルが直列に配列されている。そして、搬送路は、コンベアテーブルである台車に内蔵された永久磁石とコイルとの間の磁力によってコンベアテーブルを駆動する。かかる搬送路は、固定的に設置された固定リニアコンベアとして機能する。

さらに、搬送システムは、２個の固定リニアコンベアの両端に配置された２個の移載装置を備える。各移載装置は、上記と同様に磁力によってコンベアテーブルを駆動する可動リニアコンベアを有し、２個の固定リニアコンベアにそれぞれ対向する２個の対向位置の間で可動リニアコンベアを移動させる。そして、可動リニアコンベアは、対向する固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルの受け渡しを実行する。

特開２０１９－０６２６１４号公報

ところで、このように可動リニアコンベアを移動させるにあたっては、駆動源によって駆動される駆動部材に従って可動リニアコンベアを支持する可動部材を移動させる構成が考えられる。かかる構成では、駆動源により駆動される駆動部材を案内する直動案内部材と、可動リニアコンベアを支持する可動部材を案内する直動案内部材とが平行でないと、駆動部材や可動部材に無理な荷重が加わって、可動リニアコンベアをスムーズに移動させることができない。一方、これらの直動案内部材を高い平行度で取り付けるには、精密な調整作業が必要となる。

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、駆動源によって駆動される駆動部材に従って可動リニアコンベアを支持する可動部材を移動させるにあたって、駆動部材および可動部材それぞれの直動案内部材の取り付けに精密な調整作業を要することなく、可動リニアコンベアをスムーズに移動させることを可能とする技術の提供を目的とする。

本発明に係るコンベアテーブル移載装置は、駆動部材と、駆動部材を駆動する駆動源と、駆動源により駆動される駆動部材の移動を案内する第１直動案内部材とを有する駆動部と、コンベアテーブルを駆動する可動リニアコンベアを支持する可動部材と、可動部材の移動を案内する第２直動案内部材と、可動部材と駆動部材とを接続する、１以上の自由度を持ったリンク機構とを備え、駆動部材が第１直動案内部材に沿って駆動されると、可動部材がリンク機構を介して駆動部材により駆動されて第２直動案内部材に沿って移動し、可動リニアコンベアが所定の移動方向に移動する。

本発明に係るコンベアテーブル移載方法は、駆動部材を駆動源によって駆動しつつ駆動部材を第１直動案内部材により案内する工程と、コンベアテーブルを駆動する可動リニアコンベアを支持する可動部材の移動を第２直動案内部材により案内する工程とを備え、可動部材と駆動部材とは、１以上の自由度を持ったリンク機構により接続され、駆動部材が第１直動案内部材に沿って駆動されると、可動部材がリンク機構を介して駆動部材により駆動されて第２直動案内部材に沿って移動し、可動リニアコンベアが所定の移動方向に移動する。

このように構成された本発明（コンベアテーブル移載装置および方法）では、駆動源によって駆動される駆動部材と、可動リニアコンベアを支持する可動部材とが、リンク機構によって接続される。そして、駆動部材が第１直動案内部材に沿って駆動されると、可動部材がリンク機構を介して駆動部材により駆動されて第２直動案内部材に沿って移動し、可動リニアコンベアが所定の移動方向に移動する。この際、リンク機構は１以上の自由度を持つ。したがって、第１・第２直動案内部材の平行度に応じて、リンク機構がその自由度によって屈曲するため、駆動部材や可動部材に加わる荷重を抑えることができる。その結果、駆動部材および可動部材それぞれの直動案内部材の取り付けに精密な調整作業を要することなく、可動リニアコンベアをスムーズに移動させることが可能となっている。

また、リンク機構は、球面ベアリングを有し、球面ベアリングによって自由度を持つように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。このように３自由度を有する球面ベアリングをリンク機構に用いることで、リンク機構をフレキシブルに屈曲させて、駆動部材や可動部材に加わる荷重をより確実に抑えることができる。その結果、第１・第２直動案内部材の平行度が低い場合であっても、可動リニアコンベアをスムーズに移動させることができる。

また、リンク機構は、移動方向において異なる位置に配置された２個の球面ベアリングを有するように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。このように２個の球面ベアリングをリンク機構に用いることで、リンク機構をよりフレキシブルに屈曲させて、駆動部材や可動部材に加わる荷重をさらに確実に抑えることができる。

また、球面ベアリングは、外輪と、外輪の内側に配置されて外輪に球面で接触する内輪とを有し、球面ベアリングが有する外輪と内輪とを押圧する、移動方向への成分を有する押圧力を発生する付勢部材をさらに備えるように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。かかる構成では、球面ベアリングの外輪と内輪との間の移動方向へのがたつきを抑えることができる。その結果、球面ベアリングのがたつきが可動リニアコンベアの位置に与える影響を排除できる。

なお、かかる構成は、移動方向は水平方向である場合に、特に好適である。つまり、かかる場合には、球面ベアリングの外輪と内輪との自重がこれらのがたつきの抑制に寄与しないため、付勢部材によってがたつきを抑制することが好適となる。

また、駆動部は、取付架台に取り付けられた第１固定リニアコンベアに対向する第１対向位置と、取付架台に取り付けられた第２固定リニアコンベアと対向する第２対向位置との間で移動方向に可動リニアコンベアを移動させるように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。かかる構成では、可動リニアコンベアを駆動部により第１対向位置に位置させることで、可動リニアコンベアと第１固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルの受け渡しが実行できるとともに、可動リニアコンベアを駆動部により第２対向位置に位置させることで、可動リニアコンベアと第２固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルの受け渡しを実行できる。特に本発明では、第１・第２直動案内部材の平行度に応じて、リンク機構がその自由度によって屈曲するため、可動リニアコンベアを適切な姿勢で第１・第２対向位置に案内できる。その結果、可動リニアコンベアと第１・第２固定リニアコンベアとの間のコンベアテーブルの受け渡しをスムーズに実行できる。

また、第２直動案内部材は、第１固定リニアコンベアに取り付けられるとともに、第２固定リニアコンベアに取り付けられるように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。かかる構成では、第１固定リニアコンベアに取り付けられた直動案内部材によって可動リニアコンベアの第１対向位置への移動が案内されるため、第１対向位置に移動した可動リニアコンベアを第１固定リニアコンベアに対して的確に位置決めできる。同様に、第２固定リニアコンベアに取り付けられた直動案内部材によって可動リニアコンベアの第２対向位置への移動が案内されるため、第２対向位置に移動した可動リニアコンベアを第２固定リニアコンベアに対して的確に位置決めできる。その結果、固定リニアコンベアが取り付けられた取付架台の歪みや熱変形によらず、固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとの間のスムーズなコンベアテーブルの受け渡しが実行可能となっている。

また、可動リニアコンベアの位置を検出する位置検出部をさらに備え、駆動部は、位置検出部が検出する位置に基づき可動リニアコンベアの位置を制御することで、可動リニアコンベアの第１対向位置への位置決めを制御し、可動リニアコンベアの第２対向位置への位置決めを制御するように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。かかる構成では、位置検出部による検出結果に基づき、第１・第２固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアの位置を的確に制御できる。ただし、位置検出部は、その配置箇所での可動リニアコンベアの位置を検出するに過ぎないため、可動リニアコンベアの姿勢を検出することはできない。そのため、位置検出部を用いるだけでは、第１・第２固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアの姿勢が傾いた状態で、コンベアテーブルの受け渡しが実行されるおそれがある。これに対して、本発明では、第１・第２直動案内部材の平行度に応じて、リンク機構がその自由度によって屈曲するため、可動リニアコンベアを適切な姿勢で第１・第２対向位置に案内できる。その結果、第１・第２固定リニアコンベアに対して、適切な位置および姿勢で可動リニアコンベアを位置決めできる。

本発明に係る搬送システムは、コンベアテーブルを駆動する第１固定リニアコンベアと、コンベアテーブルを駆動する第２固定リニアコンベアと、上記のコンベアテーブル移載装置とを備え、コンベアテーブル移載装置によって、第１固定リニアコンベアと第２固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルを移載する。したがって、駆動部材および可動部材それぞれの直動案内部材の取り付けに精密な調整作業を要することなく、可動リニアコンベアをスムーズに移動させることが可能となっている。

本発明によれば、駆動源によって駆動される駆動部材に従って可動リニアコンベアを支持する可動部材を移動させるにあたって、駆動部材および可動部材それぞれの直動案内部材の取り付けに精密な調整作業を要することなく、可動リニアコンベアをスムーズに移動させることが可能となる。

図１は本発明に係る搬送システムを模式的に示す正面図。 図１の搬送システムを示す部分斜視図。 図１の搬送システムを示す部分斜視図。 固定リニアコンベアの取付架台への取付態様を示す部分斜視図。 固定リニアコンベアの取付架台への取付態様を示す部分斜視図。 可動リニアコンベアの周辺構成を示す部分斜視図。 リンク機構の一部の断面を模式的に示す図。 可動リニアコンベアの位置を検出する位置検出部の構成を模式的に示す図。 変形例に係る搬送システムを示す平面図。 図１の搬送システムを示す部分斜視図。 図９に示す搬送システムが具備するリンク機構の一例を模式的に示す図。

図１は本発明に係る搬送システムを模式的に示す正面図である。本明細書では、水平方向であるＸ方向、Ｘ方向に直交する水平方向であるＹ方向および鉛直方向であるＺ方向を適宜示して説明を行う。図１に示すように、搬送システム１は、複数のコンベアテーブルＴを循環搬送する構成を備える。コンベアテーブルＴには、例えば搬送システム１が設置される工場での作業対象となるワークを載置することができる。

この搬送システム１は例えば金属製の取付架台２を備える。取付架台２は、基台２１、取付ステージ２３ａおよび取付ステージ２３ｂを有する。基台２１、取付ステージ２３ａおよび取付ステージ２３ｂは、水平に配置された矩形の平板であり、Ｚ方向に間隔を空けて並ぶ。取付架台２は、基台２１の上面２１１の四隅でＺ方向に立設された支柱２７を有し、取付ステージ２３ａは、これら支柱２７の上端に取り付けられて、基台２１の上面２１１に上方から対向する。取付架台２は、取付ステージ２３ａの上面２３１の四隅でＺ方向に立設された支柱２９を有し、取付ステージ２３ｂは、これら支柱２９の上端に取り付けられて、取付ステージ２３ａの上面２３１に上方から対向する。基台２１の上面２１１、取付ステージ２３ａの上面２３１および取付ステージ２３ｂの上面２３１のそれぞれは、水平な平面であり、Ｚ方向からの平面視においてＸ方向およびＹ方向に平行な辺を持つ矩形状を有する。

搬送システム１は、取付ステージ２３ａの上面２３１に取り付けられた固定リニアコンベア５ａと、取付ステージ２３ｂの上面２３１に取り付けられた固定リニアコンベア５ｂとを有する。固定リニアコンベア５ａはＸ方向に平行に配置され、Ｘ方向において、固定リニアコンベア５ａの両端は取付ステージ２３ａの上面２３１の両端から突出する。固定リニアコンベア５ｂはＸ方向に平行に配置され、Ｘ方向において、固定リニアコンベア５ｂの両端は取付ステージ２３ｂの上面２３１の両端から突出している。固定リニアコンベア５ａ、５ｂのそれぞれには、コンベアテーブルＴがＸ方向の端から係合・離脱することができ、固定リニアコンベア５ａ、５ｂは、それぞれに係合するコンベアテーブルＴを磁力によってＸ方向に駆動する。

さらに、搬送システム１は、Ｘ方向において、取付架台２の両側、換言すれば固定リニアコンベア５ａ、５ｂの両側に配置されたコンベアテーブル移載装置６を備える。各コンベアテーブル移載装置６は、固定リニアコンベア５ａから固定リニアコンベア５ｂへコンベアテーブルＴを移載し、固定リニアコンベア５ｂから固定リニアコンベア５ａへコンベアテーブルＴを移載する。

このコンベアテーブル移載装置６は、Ｘ方向に平行に配置された可動リニアコンベア７を備える。可動リニアコンベア７には、コンベアテーブルＴがＸ方向の端から係合・離脱することができ、可動リニアコンベア７は、それに係合するコンベアテーブルＴを磁力によってＸ方向に駆動する。そして、コンベアテーブル移載装置６は、可動リニアコンベア７をＺ方向に駆動することで、固定リニアコンベア５ａにＸ方向から対向する対向位置Ｐａと、固定リニアコンベア５ｂにＸ方向から対向する対向位置Ｐｂとの間で可動リニアコンベア７を移動させる。対向位置Ｐａに位置する可動リニアコンベア７と固定リニアコンベア５ａとは、Ｘ方向に並んで、コンベアテーブルＴを互いに受け渡すことができ、対向位置Ｐｂに位置する可動リニアコンベア７と固定リニアコンベア５ｂとは、Ｘ方向に並んで、コンベアテーブルＴを互いに受け渡すことができる。

かかるコンベアテーブル移載装置６によれば、固定リニアコンベア５ａから固定リニアコンベア５ｂへのコンベアテーブルＴへの移載を次のように実行できる。まず、コンベアテーブル移載装置６は、可動リニアコンベア７を対向位置Ｐａに位置させる。そして、固定リニアコンベア５ａから対向位置Ｐａの可動リニアコンベア７にコンベアテーブルＴが移動する。次に、コンベアテーブル移載装置６は、対向位置Ｐａから対向位置Ｐｂに可動リニアコンベア７を移動させる。最後に、対向位置Ｐｂの可動リニアコンベア７から固定リニアコンベア５ｂにコンベアテーブルＴが移動する。こうして、コンベアテーブルＴの移載が完了する。なお、これと逆の動作を実行することで、固定リニアコンベア５ｂから固定リニアコンベア５ａへコンベアテーブルＴを移載することができる。

なお、取付架台２の両側の構成（２個のコンベアテーブル移載装置６等）は共通するため、以下では、図１の右側を主に示しつつ、搬送システム１について説明を行う。また、リニアコンベア５ａ、５ｂは同一の構成を具備するため、これらを特に区別しない場合には固定リニアコンベア５と適宜称することとする。また、固定リニアコンベア５ａ、５ｂが取り付けられる取付ステージ２３ａ、２３ｂも適宜取付ステージ２３と称することとする。

図２および図３は図１の搬送システムを示す部分斜視図であり、図４および図５は固定リニアコンベアの取付架台への取付態様を示す部分斜視図であり、図６は可動リニアコンベアの周辺構成を示す部分斜視図である。図２では、可動リニアコンベア７が対向位置Ｐａに位置する状態が示され、図３では、可動リニアコンベア７が対向位置Ｐａと対向位置Ｐｂの途中に位置する状態が示されている。また、図４では、固定リニアコンベア５ｂが取付ステージ２３ｂから上方へ外れた状態が示され、図５では、固定リニアコンベア５ｂの内部構造を示すために固定リニアコンベア５ｂの端部断面が示されている。これらの図に示すように、固定リニアコンベア５は、リニアハウジング５１と、リニアハウジング５１に上方から対向するテーブルカバー５３と、リニアハウジング５１に対してテーブルカバー５３を支持するサポートプレート５５とを有する。

リニアハウジング５１は、Ｘ方向に延設されたメインハウジング５１１を有する。メインハウジング５１１とサポートプレート５５とは一体的に構成されており、テーブルカバー５３はサポートプレート５５の上端に締結されている。このメインハウジング５１１は、下方に開口する収容空間を上方および側方から囲み、Ｘ方向からの側面視において逆Ｕ字の形状を有する。また、リニアハウジング５１は、メインハウジング５１１の収容空間に配置された電装ボックス５１２を有する。この電装ボックス５１２は、Ｘ方向に延設されており、固定リニアコンベア５の電装系を収容する。さらに、リニアハウジング５１は、メインハウジング５１１の下端から側方（Ｙ方向）に突出する取付フランジ５１３を有する。この取付フランジ５１３は、メインハウジング５１１のＹ方向の両側から延設されている。メインハウジング５１１および取付フランジ５１３それぞれの底面は面一であり、固定リニアコンベア５の底面５１４（図４）を構成する。この底面５１４は水平な平面であり、取付ステージ２３の上面２３１に接触する。なお、メインハウジング５１１および取付フランジ５１３は、別体で構成されてもよいし、一体で構成されてもよい。そして、取付フランジ５１３がＸ方向に並ぶ複数の締結個所で締結部材（ネジ）によって取付ステージ２３の上面２３１に締結される。こうして、固定リニアコンベア５ａは取付ステージ２３ａの上面２３１に固定され、固定リニアコンベア５ｂは、取付ステージ２３ｂの上面２３１に固定される。

テーブルカバー５３はＸ方向に延設されており、コンベアテーブルＴは、Ｘ方向のテーブルカバー５３の両端に対して外嵌・離脱することができる。そして、テーブルカバー５３に係合したコンベアテーブルＴは、テーブルカバー５３に沿ってＸ方向へ移動する。また、サポートプレート５５は、Ｘ方向に延設されつつＺ方向に立設されており、リニアハウジング５１のメインハウジング５１１の上面に対して間隔を空けつつテーブルカバー５３を支持する。

さらに、固定リニアコンベア５は、メインハウジング５１１の上面とテーブルカバー５３との間に配置されたリニアモータ固定子５６を有する。リニアモータ固定子５６は、Ｘ方向に配列された複数のコイルを有し、コンベアテーブルＴに設けられたリニアモータ可動子（永久磁石）とコイルとの間に生じる磁力によってコンベアテーブルＴをＸ方向に駆動する。なお、リニアモータ固定子５６のコイルに流す電流は、電装ボックス５１２に収容された電装系によって制御される。

また、固定リニアコンベア５は、メインハウジング５１１の上面とテーブルカバー５３との間に配置された一対の直動案内レール５７を有する。一対の直動案内レール５７は、Ｘ方向に延設され、Ｙ方向に間隔を空けて配置される。一対の直動案内レール５７は、Ｙ方向において、Ｙ方向において、サポートプレート５５およびリニアモータ固定子５６を挟むように、メインハウジング５１１の上面の両端に配置されている。コンベアテーブルＴは、Ｘ方向の直動案内レール５７の両端に対して係合・離脱することができ、直動案内レール５７に係合するコンベアテーブルＴの移動は、直動案内レール５７によってＸ方向に案内される。

上述の通り、コンベアテーブル移載装置６は、可動リニアコンベア７を備える。可動リニアコンベア７は、Ｘ方向への長さにおいて固定リニアコンベア５と異なる（可動リニアコンベア７は固定リニアコンベア５より短い）。ただし、その他において、可動リニアコンベア７は固定リニアコンベア５と同一の構成を備える。

つまり、可動リニアコンベア７は、Ｘ方向に延設されたリニアハウジング７１を有し、リニアハウジング７１は、メインハウジング７１１、電装ボックス７１２および取付フランジ７１３を有する。また、可動リニアコンベア７は、テーブルカバー７３およびサポートプレート７５を有し、テーブルカバー７３は、リニアハウジング７１のメインハウジング７１１の上面に対して間隔を空けつつ、サポートプレート７５によって支持される。そして、コンベアテーブルＴは、Ｘ方向のテーブルカバー７３の両端に対して外嵌・離脱することができ、テーブルカバー７３に係合したコンベアテーブルＴは、テーブルカバー７３に沿ってＸ方向へ移動する。

さらに、可動リニアコンベア７は、メインハウジング７１１の上面とテーブルカバー７３との間に配置されたリニアモータ固定子７６を有する。リニアモータ固定子７６は、電装ボックス７１２に収容された電装系の制御に基づき、コンベアテーブルＴのリニアモータ可動子との間に生じる磁力によってコンベアテーブルＴをＸ方向に駆動する。また、可動リニアコンベア７は、メインハウジング７１１の上面とテーブルカバー７３との間に配置された一対の直動案内レール７７を有する。一対の直動案内レール７７は、Ｘ方向に延設され、Ｙ方向に間隔を空けて配置される。コンベアテーブルＴは、Ｘ方向の直動案内レール７７の両端に対して係合・離脱することができ、直動案内レール７７に係合するコンベアテーブルＴの移動は、直動案内レール７７によってＸ方向に案内される。

また、コンベアテーブル移載装置６は、対向位置Ｐａと対向位置Ｐｂとの間における可動リニアコンベア７のＺ方向への移動を案内する直動案内機構８を備える。直動案内機構８は、固定リニアコンベア５ａに取り付けられる取付ブロック８１ａと、固定リニアコンベア５ｂに取り付けられる取付ブロック８１ｂとを有する。取付ブロック８１ａと取付ブロック８１ｂとは、取付対象において異なるが、互いに同一の構成を備える。そこで、これらを特に区別しない場合には取付ブロック８１と適宜称することとする。

取付ブロック８１は、Ｙ方向に間隔を空けて配置された一対の側壁プレート８１１を有する。各側壁プレート８１１は、Ｚ方向およびＸ方向に平行に配置された平板であり、Ｚ方向に延設された矩形状を有する。また、取付ブロック８１ａは、一対の側壁プレート８１１の上端の間でＹ方向に延設された取付プレート８１２を有する。取付プレート８１２は水平に配置された平板であり、この取付プレート８１２の上面８１３は、水平な平面である。さらに、取付ブロック８１ａは、取付プレート８１２の下側において、一対の側壁プレート８１１の間で水平に配置された補強プレート８１４を有する。この補強プレート８１４は、取付プレート８１２と同一の構成を備える。これら取付プレート８１２および補強プレート８１４のＹ方向の両端は、一対の側壁プレート８１１に固定されている。また、取付ブロック８１は、取付プレート８１２と補強プレート８１４との間でＺ方向に延設された一対の補強プレート８１５を有する。各補強プレート８１５は、Ｚ方向およびＸ方向に平行に配置された平板であり、Ｚ方向に延設された矩形状を有する。これら補強プレート８１５のＺ方向の両端は、取付プレート８１２および補強プレート８１４に固定されている。

さらに、取付ブロック８１は、固定リニアコンベア５との位置決めを行う位置決め部材８１６を有する。図５に示すように、位置決め部材８１６は、取付プレート８１２の上面８１３に固定されており、Ｙ方向に間隔を空けて配列された一対の係合孔８１７を有し、各係合孔８１７は上方へ開口する。一方、固定リニアコンベア５は、Ｙ方向に当該間隔を空けて配列された一対の係合突起５８をＸ方向の端部に有する。各係合突起５８は、底面５１４から下方に突出する。そして、固定リニアコンベア５の一対の係合突起５８が位置決め部材８１６の一対の係合孔８１７に上方から係合することで、固定リニアコンベア５と取付ブロック８１とが水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に位置決めされる。

かかる取付ブロック８１は、次のようにして固定リニアコンベア５に取り付けられる。つまり、取付ブロック８１の取付プレート８１２の上面８１３は、取付ステージ２３の上面２３１と面一に配置され、固定リニアコンベア５の底面５１４のうち、Ｘ方向に突出した部分（取付面）は、取付プレート８１２の上面８１３に接触する。なお、上記の一対の係合突起５８は、取付ステージ２３からＸ方向に突出する部分（取付面）に設けられて、一対の係合孔８１７に係合する。固定リニアコンベア５の取付フランジ５１３は、取付ステージ２３から取付プレート８１２へＸ方向に突出して、取付プレート８１２の上面８１３に接触し、Ｘ方向に並ぶ複数の締結個所で締結部材（ネジ）によって取付ステージ２３の上面２３１に締結される。こうして、固定リニアコンベア５ａの底面５１４には取付ブロック８１ａの上面８１３が取り付けられ、固定リニアコンベア５ｂの底面５１４には取付ブロック８１ｂの上面８１３が取り付けられる。

また、直動案内機構８は、取付ブロック８１を取付ステージ２３に取り付ける一対の支持プレート８２を有する。各支持プレート８２は、水平に配置された平板であり、Ｘ方向に延設された矩形状を有し、一対の支持プレート８２は、固定リニアコンベア５のＹ方向の両側に配置されている。これに対して、Ｙ方向において、取付プレート８１２は、固定リニアコンベア５の両側に突出しており、各支持プレート８２は、取付ステージ２３の上面２３１と取付プレート８１２の上面８１３（固定リニアコンベア５からＹ方向へ突出した部分）とに架け渡されている。そして、各支持プレート８２は、取付ステージ２３および取付プレート８１２のそれぞれに複数の締結箇所で締結部材（ネジ）によって締結される。つまり、取付ブロック８１は、一対の支持プレート８２を介して取付ステージ２３によって支持される。

こうして固定リニアコンベア５ａに取り付けられた取付ブロック８１ａと、固定リニアコンベア５ｂに取り付けられた取付ブロック８１ｂとが、Ｚ方向に間隔を空けて配置される。取付ブロック８１ａの一対の側壁プレート８１１と、取付ブロック８１ｂの一対の側壁プレート８１１とは、それぞれＺ方向に間隔を空けて対向する。つまり、図２～図６においてＹ方向に沿った左側を一方としつつ右側を他方とすると、取付ブロック８１ａの一方の側壁プレート８１１と、取付ブロック８１ｂの一方の側壁プレート８１１とは、Ｚ方向に間隔を空けて対向し、取付ブロック８１ａの他方の側壁プレート８１１と、取付ブロック８１ｂの他方の側壁プレート８１１とは、Ｚ方向に間隔を空けて対向する。

さらに、直動案内機構８は、それぞれＺ方向に延設された一対の直動案内レール８３を備える。これら直動案内レール８３は、Ｙ方向に間隔を空けつつ平行に配置されている。一対の直動案内レール８３は、取付ブロック８１ａ、８１ｂの一対の側壁プレート８１１に対応して設けられている。つまり、一方の直動案内レール８３は、取付ブロック８１ａの一方の側壁プレート８１１と、取付ブロック８１ｂの一方の側壁プレート８１１とに架け渡され、他方の直動案内レール８３は、取付ブロック８１ａの他方の側壁プレート８１１と、取付ブロック８１ｂの他方の側壁プレート８１１とに架け渡される。

Ｚ方向において、直動案内レール８３の下端の位置（高さ）は、取付ブロック８１ａの側壁プレート８１１の下端の位置（高さ）と一致し、直動案内レール８３の上端の位置（高さ）は、取付ブロック８１ｂの側壁プレート８１１の上端の位置（高さ）と一致する。そして、直動案内レール８３の下端からの所定範囲が取付ブロック８１ａの側壁プレート８１１にＸ方向から接触して締結部材（ネジ）によって締結され、直動案内レール８３の上端からの所定範囲が取付ブロック８１ｂの側壁プレート８１１にＸ方向から接触して締結部材（ネジ）によって締結される。

各直動案内レール８３は、分割案内レール８３１、８３２と、中間案内レール８３３とを有する。分割案内レール８３１は、取付ブロック８１ａの側壁プレート８１１にＸ方向から取り付けられて、この側壁プレート８１１によりＺ方向に平行に支持される。Ｚ方向において、分割案内レール８３１の下端は取付ブロック８１ａの側壁プレート８１１の下端と同じ位置（高さ）である一方、分割案内レール８３１の上端はこの側壁プレート８１１より上方に突出する。また、分割案内レール８３２は、取付ブロック８１ｂの側壁プレート８１１にＸ方向から取り付けられて、この側壁プレート８１１によりＺ方向に平行に支持される。Ｚ方向において、分割案内レール８３２の上端は取付ブロック８１ｂの側壁プレート８１１の上端と同じ位置（高さ）である一方、分割案内レール８３２の下端はこの側壁プレート８１１より下方に突出する。

分割案内レール８３１と分割案内レール８３２とは、Ｚ方向に間隔を空けて互いに対向し、中間案内レール８３３は、分割案内レール８３１と分割案内レール８３２との間でＺ方向に平行に配置される。こうして、分割案内レール８３１、中間案内レール８３３および分割案内レール８３２が順番にＺ方向に直線状に並ぶ。なお、分割案内レール８３１と中間案内レール８３３との間には遊び（隙間）が設けられ、中間案内レール８３３と分割案内レール８３２との間には遊び（隙間）が設けられている。

分割案内レール８３１、８３２と、中間案内レール８３３とは、互いに異なる材質で構成されている。具体的には、分割案内レール８３１、８３２は、焼き入れされた鉄であり、中間案内レール８３３は焼き入れされていない鉄である。したがって、中間案内レール８３３は、分割案内レール８３１、８３２よりも低い強度を有し、荷重に対して柔軟に変形する。

また、直動案内レール８３は、分割案内レール８３１と中間案内レール８３３とを互いに取り付ける連結部材８３７と、分割案内レール８３２と中間案内レール８３３とを互いに取り付ける連結部材８３８とを有する。つまり、連結部材８３７は、分割案内レール８３１と中間案内レール８３３とを跨いで配置されたステイを締結部材によってこれらに締結する構成を有し、分割案内レール８３１と中間案内レール８３３とを相互に固定・接続する。また、連結部材８３８は、分割案内レール８３２と中間案内レール８３３とを跨いで配置されたステイを締結部材によってこれらに締結する構成を有し、分割案内レール８３２と中間案内レール８３３とを相互に固定・接続する。Ｘ方向において、連結部材８３７、８３８は、直動案内レール８３に対して側壁プレート８１１と同じ側に配置され、取付ブロック８１ａ、８１ｂそれぞれの側壁プレート８１１の間に位置する。

さらに、コンベアテーブル移載装置６は、直動案内機構８の直動案内レール８３に沿って可動リニアコンベア７を移動させる可動部材７９を備える。可動部材７９は、Ｙ方向およびＺ方向に平行に配置された可動プレート７９１を有する。Ｘ方向において、可動プレート７９１は、直動案内レール８３に対して側壁プレート８１１の逆側に配置され、可動プレート７９１のＹ方向の両端は、一対の直動案内レール８３にＸ方向から対向する。

また、可動部材７９は、Ｙ方向において、可動プレート７９１の一方端部および他方端部のそれぞれに取り付けられたスライダ７９２を有する。これらスライダ７９２は、Ｚ方向に延設されている。そして、可動プレート７９１の一方端部のスライダ７９２は、可動プレート７９１と一方の直動案内レール８３との間に位置して、当該一方の直動案内レール８３に係合する。可動プレート７９１の他方端部のスライダ７９２は、可動プレート７９１と他方の直動案内レール８３との間に位置して、当該他方の直動案内レール８３に係合する。これらスライダ７９２は、係合する直動案内レール８３に沿ってＺ方向にスライド可能である。

さらに、可動部材７９は、可動プレート７９１の上端に取り付けられた支持プレート７９３を有する。支持プレート７９３は、Ｘ方向において、可動プレート７９１の上端から側壁プレート８１１の逆側へ突出し、水平に支持されている。支持プレート７９３の上面７９４は水平な平面である。また、可動部材７９は、可動プレート７９１と支持プレート７９３とに取り付けられた一対の補強ブレース７９５を有し、各補強ブレース７９５は、可動プレート７９１による支持プレート７９３の支持を補強する。

そして、支持プレート７９３の上面７９４に可動リニアコンベア７が取り付けられている。つまり、可動リニアコンベア７のメインハウジング７１１および取付フランジ７１３それぞれの底面は面一であり、可動リニアコンベア７の底面７１４（図６）を構成する。可動リニアコンベア７の底面７１４は支持プレート７９３の上面７９４に接触し、可動リニアコンベア７の各取付フランジ７１３がＸ方向に並ぶ複数の締結箇所で締結部材（ネジ）によって支持プレート７９３の上面７９４に締結される。なお、可動リニアコンベア７の底面７１４のうち、Ｘ方向において、取付架台２側の一部（半分）が支持プレート７９３の上面７９４に接触する一方、取付架台２の逆側の一部（半分）は支持プレート７９３の上面７９４から突出している。

かかる構成では、可動リニアコンベア７のＺ方向への移動を、可動リニアコンベア７を支持する可動部材７９に係合する直動案内レール８３によって案内することができる。そして、コンベアテーブル移載装置６は、可動リニアコンベア７をＺ方向に駆動するために駆動部６１を備える。駆動部６１は、Ｚ方向に平行に設置された単軸ロボット６２と、単軸ロボット６２の駆動力によってＺ方向に移動する駆動部材６３と、駆動部材６３の移動を案内する一対の直動案内レール６４を有する。

単軸ロボット６２は、可動リニアコンベア７および可動部材７９に対して、Ｙ方向にずれて配置されており、Ｚ方向に延設されたロボットハウジング６２１と、Ｚ方向に平行に配置されたボールネジ６２２と、ボールネジ６２２を回転させるモータ６２３とを有する。単軸ロボット６２のロボットハウジング６２１は、Ｙ方向から可動リニアコンベア７に対向する開口６２４を有する。ボールネジ６２２は、ロボットハウジング６２１内に配置され、モータ６２３はロボットハウジング６２１の上端に取り付けられている。そして、ボールネジ６２２とモータ６２３とがカップリングされている。この単軸ロボット６２は、背面板６７１およびＬ字金具６７２で構成される取付金具によって取付架台２に取り付けられている。具体的には、背面板６７１はＺ方向およびＸ方向に平行であってＺ方向に長い平板である。この背面板６７１は、Ｙ方向において単軸ロボット６２の可動リニアコンベア７と逆側の面に取り付けられている。そして、Ｚ方向に並ぶ複数のＬ字金具６７によって、背面板６７１が取付架台２に取り付けられている。こうして、単軸ロボット６２は、取付架台２に固定・支持されている。

また、一対の直動案内レール６４は、Ｘ方向に間隔を空けつつＺ方向に平行に配置されている。これら直動案内レール６４は、Ｙ方向から見てボールネジ６２２を挟むようにロボットハウジング６２１内に配置されて、ロボットハウジング６２１の内壁に取り付けられている。

駆動部材６３は、Ｙ方向において、可動部材７９より単軸ロボット６２側にずれて配置されており、可動部材７９と単軸ロボット６２との間に位置する。この駆動部材６３は、Ｚ方向およびＸ方向に平行に配置された駆動プレート６３１と、Ｘ方向において、駆動プレート６３１の両端部それぞれに取り付けられたスライダ６３２とを有する。これらスライダ６３２は、Ｚ方向に延設されている。そして、Ｘ方向において、駆動プレート６３１の一方端部のスライダ６３２および他方端部のスライダ６３２と、一対の直動案内レール６４とが係合する。つまり、Ｘ方向において、駆動プレート６３１の一方端部のスライダ６３２は、一方の直動案内レール６４に係合し、駆動プレート６３１の他方端部のスライダ６３２は、他方の直動案内レール６４に係合する。さらに、駆動プレート６３１は、ボールネジ６２２のナットに取り付けられており、当該ナットに伴ってＺ方向に移動する。

かかる構成では、モータ６２３によってボールネジ６２２を回転させることで、駆動部材６３をＺ方向に移動させることができる。さらに、駆動部材６３のＺ方向への移動を、駆動部材６３に係合する直動案内レール６４によって案内することができる。

さらに、コンベアテーブル移載装置６は、可動リニアコンベア７を支持する可動部材７９と、単軸ロボット６２により駆動される駆動部材６３とを接続するリンク機構９を備える。このリンク機構９について、図７を併用しつつ説明する。ここで、図７はリンク機構の一部の断面を模式的に示す図である。

リンク機構９は、Ｚ方向およびＸ方向に平行に配置された接続プレート９１と、接続プレート９１からＹ方向に延設されたアーム９２とを有する。接続プレート９１は、駆動部材６３の駆動プレート６３１に取り付けられており、アーム９２はＹ方向に平行に接続プレート９１から可動部材７９側へ延設されている。このアーム９２は、Ｙ方向において可動部材７９側へ向かうにつれて先細りとなるテーパー形状を有する平板である。また、アーム９２は、Ｘ方向において可動プレート７９１に対して直動案内レール８３の逆側に配置されている。

さらに、リンク機構９は、Ｙ方向におけるアーム９２の先端（アーム９２の両端のうち可動部材７９側の端）に取り付けられたシャフトホルダ９３１と、シャフトホルダ９３１に保持されるシャフト９３２とを有する。シャフト９３２はＸ方向に平行に保持されており、シャフト９３２の先端部は、シャフトホルダ９３１から可動プレート７９１側へＸ方向に突出する。そして、シャフト９３２の当該先端部に球面ベアリング９４が取り付けられている。球面ベアリング９４は、シャフト９３２に固定された内輪９４１と、内輪９４１に外嵌された外輪９４２とを有し、内輪９４１と外輪９４２が球面接触しつつ互いに摺動することができる。

また、リンク機構９は、可動プレート７９１に取り付けられたシャフトホルダ９５１と、シャフトホルダ９５１に保持されるシャフト９５２とを有する。シャフト９５２はＸ方向に平行に保持されており、シャフト９５２の先端部は、シャフトホルダ９５１からシャフトホルダ９３１側へＸ方向に突出する。そして、シャフト９５２の当該先端部に球面ベアリング９６が取り付けられている。球面ベアリング９６は、シャフト９５２に固定された内輪９６１と、内輪９６１に外嵌された外輪９６２とを有し、内輪９６１と外輪９６２とが球面接触しつつ互いに摺動することができる。

こうして、リンク機構９は、Ｚ方向に配列された球面ベアリング９４と球面ベアリング９６とを有する。さらに、リンク機構９は、これら球面ベアリング９４、９６それぞれの外輪９４２、９６２を保持するホルダプレート９７を有する。つまり、ホルダプレート９７には、球面ベアリング９４の外輪９４２と球面ベアリング９６の外輪９６２とが固定されている。

このように、リンク機構９は、それぞれ３自由度を有する２個の球面ベアリング９４、９６によって、駆動部材６３と可動部材７９とを接続する。かかる構成では、駆動部６１によるボールネジ６２２の回転に伴って、駆動部材６３が一対の直動案内レール６４に案内されつつＺ方向に移動すると、この駆動部材６３の移動は、リンク機構９を介して可動部材７９に伝達されて可動部材７９をＺ方向に駆動する。その結果、可動リニアコンベア７は、一対の直動案内レール８３によって案内されつつＺ方向に駆動される。

かかるコンベアテーブル移載装置６によれば、駆動部６１によって可動リニアコンベア７を対向位置Ｐａおよび対向位置Ｐｂのそれぞれに位置決めすることができる。コンベアテーブル移載装置６は、かかる位置決めを的確に実行するために、可動リニアコンベア７の位置を検出する位置検出部６９（図８）を有する。

図８は可動リニアコンベアの位置を検出する位置検出部の構成を模式的に示す図である。位置検出部６９は、リニアスケール６９１と、リニアセンサ６９２とを有する。リニアスケール６９１は、取付ブロック８１ａおよび取付ブロック８１ｂのそれぞれに取り付けられている。特に図２および図３に示すように、リニアスケール６９１は、取付ブロック８１の補強プレート８１５に取り付けられており、Ｚ方向に平行に配置されている。一方、リニアセンサ６９２には、可動リニアコンベア７を支持する可動部材７９の可動プレート７９１に取り付けられており、Ｚ方向に平行に配置されている。かかる構成では、リニアセンサ６９２は、リニアスケール６９１にＸ方向から対向しつつリニアスケール６９１を読み取ることで、可動リニアコンベア７のＺ方向への位置（高さ）を検出する。

可動リニアコンベア７を対向位置Ｐａに位置決めする際には、コンベアテーブル移載装置６のモータ６２３は、取付ブロック８１ａに取り付けられたリニアスケール６９１をリニアセンサ６９２が読み取った結果に基づき、ボールネジ６２２の回転量を制御する。これによって、可動リニアコンベア７を対向位置Ｐａに的確に位置決めすることができる。また、可動リニアコンベア７を対向位置Ｐｂに位置決めする際には、コンベアテーブル移載装置６のモータ６２３は、取付ブロック８１ｂに取り付けられたリニアスケール６９１をリニアセンサ６９２が読み取った結果に基づき、ボールネジ６２２の回転量を制御する。これによって、可動リニアコンベア７を対向位置Ｐｂに的確に位置決めすることができる。

また、図２に示すように、可動リニアコンベア７が対向位置Ｐａに位置する状態では、可動部材７９は、直動案内レール８３を挟んで、取付ブロック８１ａにＸ方向から対向する。つまり、取付ブロック８１ａは、直動案内レール８３に係合する可動部材７９にＸ方向から隣接し、直動案内レール８３のうち可動部材７９が係合する下端部分を、可動部材７９が直動案内レール８３に取り付けられる面（Ｘ方向における可動部材７９側の面）の逆側から支持する。これによって、対向位置Ｐａに位置する可動リニアコンベア７を取付ブロック８１ａによってしっかりと支持することができる。

同様に、可動リニアコンベア７が対向位置Ｐｂに位置する状態では、可動部材７９は、直動案内レール８３を挟んで、取付ブロック８１ｂにＸ方向から対向する。つまり、取付ブロック８１ｂは、直動案内レール８３に係合する可動部材７９にＸ方向から隣接し、直動案内レール８３のうち可動部材７９が係合する上端部分を、可動部材７９が直動案内レール８３に取り付けられる面（Ｘ方向における可動部材７９側の面）の逆側から支持する。これによって、対向位置Ｐｂに位置する可動リニアコンベア７を取付ブロック８１ｂによってしっかりと支持することができる。

以上に説明する実施形態では、モータ６２３（駆動源）によって駆動される駆動部材６３と、可動リニアコンベア７を支持する可動部材７９とが、リンク機構９によって接続される。そして、駆動部材６３が直動案内レール６４（第１直動案内部材）に沿って駆動されると、可動部材７９がリンク機構９を介して駆動部材６３により駆動されて直動案内レール８３（第２直動案内部材）に沿って移動し、可動リニアコンベア７がＺ方向（所定の移動方向）に移動する。この際、リンク機構９は１以上の自由度を持つ。したがって、直動案内レール６４と直動案内レール８３との平行度に応じて、リンク機構９がその自由度によって屈曲するため、駆動部材６３や可動部材７９に加わる荷重を抑えることができる。その結果、駆動部材６３および可動部材７９それぞれの直動案内レール６４および直動案内レール８３への取り付けに精密な調整作業を要することなく、可動リニアコンベア７をスムーズに移動させることが可能となっている。

また、リンク機構９は、球面ベアリング９４、９６を有し、球面ベアリング９４、９６によって自由度を持つ。このように３自由度を有する球面ベアリング９４、９６をリンク機構９に用いることで、リンク機構９をフレキシブルに屈曲させて、駆動部材６３や可動部材７９に加わる荷重をより確実に抑えることができる。その結果、直動案内レール６４と直動案内レール８３との平行度が低い場合であっても、可動リニアコンベア７をスムーズに移動させることができる。

また、リンク機構９は、Ｚ方向（移動方向）において異なる位置に配置された２個の球面ベアリング９４、９６を有する。このように２個の球面ベアリング９４、９６をリンク機構９に用いることで、リンク機構９をよりフレキシブルに屈曲させて、駆動部材６３や可動部材７９に加わる荷重をさらに確実に抑えることができる。

また、駆動部６１は、取付架台２に取り付けられた固定リニアコンベア５ａ（第１固定リニアコンベア）に対向する対向位置Ｐａと、取付架台２に取り付けられた固定リニアコンベア５ｂ（第２固定リニアコンベア）と対向する対向位置Ｐｂ（第２対向位置）との間でＺ方向に可動リニアコンベア７を移動させる。かかる構成では、可動リニアコンベア７を駆動部６１により対向位置Ｐａに位置させることで、可動リニアコンベア７と固定リニアコンベア５ａとの間でコンベアテーブルＴの受け渡しが実行できるとともに、可動リニアコンベア７を駆動部６１により対向位置Ｐｂに位置させることで、可動リニアコンベア７と固定リニアコンベア５ｂとの間でコンベアテーブルＴの受け渡しを実行できる。特に本実施形態では、直動案内レール６４と直動案内レール８３との平行度に応じて、リンク機構９がその自由度によって屈曲するため、可動リニアコンベア７を適切な姿勢で対向位置Ｐａ、Ｐｂに案内できる。その結果、可動リニアコンベア７と固定リニアコンベア５ａ、５ｂとの間のコンベアテーブルＴの受け渡しをスムーズに実行できる。

また、直動案内レール８３は、固定リニアコンベア５ａに取り付けられるとともに、固定リニアコンベア５ｂに取り付けられる。かかる構成では、固定リニアコンベア５ａに取り付けられた直動案内レール８３によって可動リニアコンベア７の対向位置Ｐａへの移動が案内されるため、対向位置Ｐａに移動した可動リニアコンベア７を固定リニアコンベア５ａに対して的確に位置決めできる。同様に、固定リニアコンベア５ｂに取り付けられた直動案内レール８３によって可動リニアコンベア７の対向位置Ｐｂへの移動が案内されるため、対向位置Ｐｂに移動した可動リニアコンベア７を固定リニアコンベア５ｂに対して的確に位置決めできる。その結果、固定リニアコンベア５ａ、５ｂが取り付けられた取付架台２の歪みや熱変形によらず、固定リニアコンベア５ａ、５ｂと可動リニアコンベア７との間のスムーズなコンベアテーブルＴの受け渡しが実行可能となっている。

また、可動リニアコンベア７の位置を検出する位置検出部６９が具備されている。そして、駆動部６１は、位置検出部６９が検出する位置に基づき可動リニアコンベア７の位置を制御することで、可動リニアコンベア７の対向位置Ｐａ、Ｐｂへの位置決めを制御する。かかる構成では、位置検出部６９による検出結果に基づき、固定リニアコンベア５ａ、５ｂに対して可動リニアコンベア７の位置を的確に制御できる。ただし、位置検出部６９は、その配置箇所での可動リニアコンベア７の位置を検出するに過ぎないため、可動リニアコンベア７の姿勢を検出することはできない。そのため、位置検出部６９を用いるだけでは、固定リニアコンベア５ａ、５ｂに対して可動リニアコンベア７の姿勢が傾いた状態で、コンベアテーブルＴの受け渡しが実行されるおそれがある。これに対して、本実施形態では、直動案内レール６４と直動案内レール８３との平行度に応じて、リンク機構９がその自由度によって屈曲するため、可動リニアコンベア７を適切な姿勢で対向位置Ｐａ、Ｐｂに案内できる。その結果、固定リニアコンベア５ａ、５ｂに対して、適切な位置および姿勢で可動リニアコンベア７を位置決めできる。

このように上記の実施形態では、搬送システム１が本発明の「搬送システム」の一例に相当し、取付架台２が本発明の「取付架台」の一例に相当し、固定リニアコンベア５ａが本発明の「第１固定リニアコンベア」の一例に相当し、固定リニアコンベア５ｂが本発明の「第２固定リニアコンベア」の一例に相当し、コンベアテーブル移載装置６が本発明の「コンベアテーブル移載装置」の一例に相当し、モータ６２３が本発明の「駆動源」の一例に相当し、駆動部材６３が本発明の「駆動部材」の一例に相当し、直動案内レール６４が本発明の「第１直動案内部材」の一例に相当し、位置検出部６９が本発明の「位置検出部」の一例に相当し、可動リニアコンベア７が本発明の「可動リニアコンベア」の一例に相当し、可動部材７９が本発明の「可動部材」の一例に相当し、直動案内レール８３が本発明の「第２直動案内部材」の一例に相当し、リンク機構９が本発明の「リンク機構」の一例に相当し、球面ベアリング９４、９６が本発明の「球面ベアリング」の一例に相当し、対向位置Ｐａが本発明の「第１対向位置」の一例に相当し、対向位置Ｐｂが本発明の「第２対向位置」の一例に相当し、コンベアテーブルＴが本発明の「コンベアテーブル」の一例に相当し、Ｚ方向が本発明の「移動方向」の一例に相当する。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、図９～図１１に示す変形例のように構成してもよい。図９は変形例に係る搬送システムを示す平面図であり、図１０は図１の搬送システムを示す部分斜視図であり、図１１は図９に示す搬送システムが具備するリンク機構の一例を模式的に示す図である。図１１では、リンク機構９の一部の内部構造が破線で示されている。

図１～図８に示す上記実施形態と、図９～図１１に示す変形例との違いは、主として可動リニアコンベア７の駆動方向であり、上記実施形態では可動リニアコンベア７がＺ方向に駆動されていたのに対して、変形例では可動リニアコンベア７はＹ方向に駆動される。そこで、上記実施形態との差異点について主に説明することとし、共通する構成は相当符号を付して適宜説明を省略する。なお、共通する構成を具備することで、同様の効果が奏されることは言うまでもない。

変形例に係る搬送システム１では、固定リニアコンベア５ａと固定リニアコンベア５ｂとは、同一の取付ステージ２３の上面２３１に取り付けられており、Ｙ方向に間隔を空けつつ、Ｘ方向に平行に配置されている。これに対して、コンベアテーブル移載装置６は、可動リニアコンベア７をＹ方向に駆動することで、固定リニアコンベア５ａにＸ方向から対向する対向位置Ｐａと、固定リニアコンベア５ｂにＸ方向から対向する対向位置Ｐｂとの間で可動リニアコンベア７を移動させる。

かかる直動案内機構８では、固定リニアコンベア５ａ、５ｂに対応して、取付ブロック８１ａ、８１ｂがＹ方向に並ぶ。そして、取付ブロック８１ａの上面が固定リニアコンベア５ａの底面に取り付けられ、取付ブロック８１ｂの上面が固定リニアコンベア５ｂの底面に取り付けられている。これら取付ブロック８１ａと取付ブロック８１ｂには、一対の直動案内レール８３がＹ方向に架け渡されている。一対の直動案内レール８３は、Ｚ方向に間隔を空けて取付ブロック８１ａ、８１ｂに取り付けられ、それぞれＹ方向に平行に支持されている。そして、可動部材７９は、一対の直動案内レール８３に係合する。したがって、可動部材７９は、直動案内レール８３に案内されて、対向位置Ｐａと対向位置Ｐｂとの間をＹ方向に移動する。

また、駆動部６１の単軸ロボット６２は、Ｙ方向に平行に設けられており、Ｙ方向およびＺ方向に平行に支持された駆動部材６３をモータ６２３によってＹ方向に駆動する。また、単軸ロボット６２は、Ｙ方向に平行に延設された一対の直動案内レール６４（図９に示されず）が取り付けられており、モータ６２３によって駆動される駆動部材６３は、直動案内レール６４によって案内されつつＹ方向に移動する。

さらに、モータ６２３によって駆動される駆動部材６３と、可動リニアコンベア７を支持する可動部材７９とは、リンク機構９によって接続されている。したがって、モータ６２３に駆動される駆動部材６３が一対の直動案内レール６４に案内されつつＹ方向に移動すると、この駆動部材６３の移動は、リンク機構９を介して可動部材７９に伝達されて可動部材７９をＹ方向に駆動する。その結果、可動リニアコンベア７は、一対の直動案内レール８３によって案内されつつＹ方向に駆動される。

また、リンク機構９では、接続プレート９１は、Ｙ方向およびＺ方向に平行に配置されて駆動部材６３に取り付けられており、アーム９２は、接続プレート９１からＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に屈曲されつつ延設されて、上方へ延びる。シャフトホルダ９３１は、アーム９２の先端（上端）に取り付けられて、シャフト９３２の先端部は、シャフトホルダ９３１から可動プレート７９１側に向けてＸ方向に突出する。そして、シャフト９３２の当該先端部に球面ベアリング９４が取り付けられている。また、可動プレート７９１に取り付けられたシャフトホルダ９５１から、シャフト９５２の先端部がシャフトホルダ９３１側へＸ方向に突出する。そして、シャフト９５２の当該先端部に球面ベアリング９６が取り付けられている。こうして、このリンク機構９では、球面ベアリング９４と球面ベアリング９６とがＹ方向に配列されて、ホルダプレート９７によって保持される。

さらに、リンク機構９は、シャフトホルダ９３１とシャフトホルダ９５１との間に設けられた付勢バネ９８を有する。付勢バネ９８の両端は、シャフトホルダ９３１およびシャフトホルダ９５１に取り付けられて、付勢バネ９８は、シャフトホルダ９３１とシャフトホルダ９５１とを互いに近づける弾性力を発生する。図１１に示すように、シャフトホルダ９３１とシャフトホルダ９５１とはＹ方向にずれて配置されている。そのため、Ｙ方向において、球面ベアリング９４と球面ベアリング９６とを互いに近づける力が発生し、球面ベアリング９４の内輪９４１と外輪９４２とが押圧力Ｆｙによって押圧され、球面ベアリング９６の内輪９６１と外輪９６２とが押圧力Ｆｙによって押圧される。こうして、球面ベアリング９４、９６のＹ方向へのがたつきが抑制されている。なお、付勢バネ９８は、その両端を近づける弾性力を発生する引張コイルバネに限られず、その両端を遠ざける弾性力を発生する圧縮コイルバネでもよい。

この変形例においても、モータ６２３（駆動源）によって駆動される駆動部材６３と、可動リニアコンベア７を支持する可動部材７９とを接続するリンク機構９は１以上の自由度を持つ。したがって、直動案内レール６４と直動案内レール８３との平行度に応じて、リンク機構９がその自由度によって屈曲するため、駆動部材６３や可動部材７９に加わる荷重を抑えることができる。その結果、駆動部材６３および可動部材７９それぞれの直動案内レール６４および直動案内レール８３への取り付けに精密な調整作業を要することなく、可動リニアコンベア７をスムーズに移動させることが可能となっている。

また、球面ベアリング９４、９６は、外輪９４２、９６２と、外輪９４２、９６２の内側に配置されて外輪９４２、９６２に球面で接触する内輪９４１、９６１とを有する。そして、球面ベアリング９４、９６が有する外輪９４２、９６２と内輪９４１、９６１とを押圧する、Ｙ方向（移動方向）への成分を有する押圧力Ｆｙを発生する付勢バネ９８（付勢部材）が具備されている。かかる構成では、球面ベアリング９４、９６の外輪９４２、９６２と内輪９４１、９６１との間のＹ方向へのがたつきを抑えることができる。その結果、球面ベアリング９４、９６のがたつきが可動リニアコンベア７の位置に与える影響を排除できる。

特に、上記の変形理のように、可動リニアコンベア７の移動方向が水平方向（Ｙ方向）である場合に、付勢バネ９８を設けた構成は好適である。つまり、かかる場合には、球面ベアリング９４、９６の外輪９４２、９６２と内輪９４１、９６１の自重がこれらのがたつきの抑制に寄与しないため、付勢バネ９８によってがたつきを抑制することが好適となる。

また、上記の変形例に示す以外の変更を適宜行うことができる。例えば、Ｚ方向に可動リニアコンベア７を駆動する図１～図７の構成に付勢バネ９８を設けて、球面ベアリング９４、９６のがたつきを抑えるように構成してもよい。

また、リンク機構９に備える球面ベアリングの個数は２個に限られず、１個あるいは３個以上でもよい。

また、リンク機構９に自由度を持たせるための具体的な構成は、球面ベアリングに限られず、他の種類のベアリング等でもよい。

また、リンク機構９が有する自由度の数は上記の例に限られず、１以上であればよい。

また、固定リニアコンベア５の個数は、２個に限られず、３個以上でもよい。この際、直動案内機構８を全ての固定リニアコンベア５に取り付けてもよいし、一部の固定リニアコンベア５にのみ取り付けてもよい。後者の場合であっても、当該一部の固定リニアコンベア５については、上述と同様の効果を得ることができる。

また、固定リニアコンベア５および可動リニアコンベア７によるコンベアテーブルＴの駆動方法は、リニアモータによらず、ネジと中空モータとの組み合わせによってもよい。

また、取付ブロック８１ａ、８１ｂの具体的な構成は、複数のプレートを組み合わせた上記の例に限られず、例えば単一の矩形状の部材によって取付ブロック８１を構成してもよい。

また、直動案内レール８３を複数のレールで構成せずに、単一のレールで構成してもよい。

また、直動案内レール８３を複数のレールで構成する場合には、中間案内レール８３３を設けずに、２本の分割案内レール８３１、８３２のみで、直動案内レール８３を構成してもよい。

あるいは、直動案内レール８３を複数のレールで構成して、直動案内レール８３を４本以上のレールで構成してもよい。

また、分割案内レール８３１、分割案内レール８３２および連結案内レール８３３の特性について適宜変更ができる。具体的には、分割案内レール８３１と連結案内レール８３３とが、材質、強度および剛性の少なくとも一つにおいて互いに異なるように構成できる。剛性を異ならせる場合には、分割案内レール８３１の剛性より連結案内レール８３３の剛性を低くすることができる。同様に、分割案内レール８３２と連結案内レール８３３とが、材質、強度および剛性の少なくとも一つにおいて互いに異なるように構成できる。剛性を異ならせる場合には、分割案内レール８３２の剛性より連結案内レール８３３の剛性を低くすることができる。

また、直動案内レール８３や、直動案内レール６４を、リニアブッシュ、ボールスプラインあるいはカムフォロワといった直動案内を実行する他の部材に変更してもよい。

また、係合突起と係合孔との係合によって固定リニアコンベア５と取付ブロック８１とを位置決めするにあたり、固定リニアコンベア５に係合孔を設けて取付ブロック８１に係合突起を設けてもよい。

１…搬送システム
２…取付架台
５ａ…固定リニアコンベア（第１固定リニアコンベア）
５ｂ…固定リニアコンベア（第２固定リニアコンベア）
６…コンベアテーブル移載装置
６２３…モータ（駆動源）
６３…駆動部材
６４…直動案内レール（第１直動案内部材）
６９…位置検出部
７…可動リニアコンベア
７９…可動部材
８３…直動案内レール（第２直動案内部材）
９…リンク機構
９４…球面ベアリング
９６…球面ベアリング
Ｐａ…対向位置（第１対向位置）
Ｐｂ…対向位置（第２対向位置）
Ｔ…コンベアテーブル
Ｚ…Ｚ方向（移動方向）

Claims (10)

1. 駆動部材と、前記駆動部材を駆動する駆動源と、前記駆動源により駆動される前記駆動部材の移動を案内する第１直動案内部材とを有する駆動部と、
   コンベアテーブルを駆動する可動リニアコンベアを支持する可動部材と、
   前記可動部材の移動を案内する第２直動案内部材と、
   前記可動部材と前記駆動部材とを接続する、１以上の自由度を持ったリンク機構と
   を備え、
   前記駆動部材が前記第１直動案内部材に沿って駆動されると、前記可動部材が前記リンク機構を介して前記駆動部材により駆動されて前記第２直動案内部材に沿って移動し、前記可動リニアコンベアが所定の移動方向に移動し、
   前記駆動部は、取付架台に取り付けられた第１固定リニアコンベアに対向する第１対向位置と、前記取付架台に取り付けられた第２固定リニアコンベアと対向する第２対向位置との間で前記移動方向に前記可動リニアコンベアを移動させ、
   前記第２直動案内部材は、前記第１固定リニアコンベアに取り付けられるとともに、前記第２固定リニアコンベアに取り付けられるコンベアテーブル移載装置。
2. 前記リンク機構は、球面ベアリングを有し、前記球面ベアリングによって前記自由度を持つ請求項１に記載のコンベアテーブル移載装置。
3. 前記リンク機構は、前記移動方向において異なる位置に配置された２個の球面ベアリングを有する請求項２に記載のコンベアテーブル移載装置。
4. 前記球面ベアリングは、外輪と、前記外輪の内側に配置されて前記外輪に球面で接触する内輪とを有し、
   前記球面ベアリングが有する外輪と内輪とを押圧する、前記移動方向への成分を有する押圧力を発生する付勢部材をさらに備える請求項２または３に記載のコンベアテーブル移載装置。
5. 前記移動方向は水平方向である請求項４に記載のコンベアテーブル移載装置。
6. （削除）
7. （削除）
8. 前記可動リニアコンベアの位置を検出する位置検出部をさらに備え、
   前記駆動部は、前記位置検出部が検出する位置に基づき前記可動リニアコンベアの位置を制御することで、前記可動リニアコンベアの前記第１対向位置への位置決めを制御し、前記可動リニアコンベアの前記第２対向位置への位置決めを制御する請求項１ないし５のいずれか一項に記載のコンベアテーブル移載装置。
9. コンベアテーブルを駆動する第１固定リニアコンベアと、
   前記コンベアテーブルを駆動する第２固定リニアコンベアと、
   請求項１、２、３、４、５および８のいずれか一項に記載のコンベアテーブル移載装置と
   を備え、
   前記コンベアテーブル移載装置によって、前記第１固定リニアコンベアと前記第２固定リニアコンベアとの間で前記コンベアテーブルを移載する搬送システム。
10. 駆動部が駆動部材を駆動源によって駆動しつつ前記駆動部材を第１直動案内部材により案内する工程と、
    コンベアテーブルを駆動する可動リニアコンベアを支持する可動部材の移動を第２直動案内部材により案内する工程と
    を備え、
    前記可動部材と前記駆動部材とは、１以上の自由度を持ったリンク機構により接続され、
    前記駆動部材が前記第１直動案内部材に沿って駆動されると、前記可動部材が前記リンク機構を介して前記駆動部材により駆動されて前記第２直動案内部材に沿って移動し、前記可動リニアコンベアが所定の移動方向に移動し、
    前記駆動部は、取付架台に取り付けられた第１固定リニアコンベアに対向する第１対向位置と、前記取付架台に取り付けられた第２固定リニアコンベアと対向する第２対向位置との間で前記移動方向に前記可動リニアコンベアを移動させ、
    前記第２直動案内部材は、前記第１固定リニアコンベアに取り付けられるとともに、前記第２固定リニアコンベアに取り付けられるコンベアテーブル移載方法。

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