KR20190083193A

KR20190083193A - 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템

Info

Publication number: KR20190083193A
Application number: KR1020180000815A
Authority: KR
Inventors: 조규중
Original assignee: 이노6 주식회사
Priority date: 2018-01-03
Filing date: 2018-01-03
Publication date: 2019-07-11

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템은, 테이블, 상기 테이블 하부에 마련되고, 상기 테이블이 이동되는 공간을 형성하는 진동 감쇄 플레이트 유닛, 상기 진동 감쇄 플레이트 유닛에서 상기 테이블이 이동되도록 가이드하는 가이드 유닛 및 상기 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛을 포함하고, 상기 진동 감쇄 플레이트 유닛은 상기 테이블이 이동되는 공간을 형성하는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트의 측면을 둘러싸는 형상으로 마련되는 제2 플레이트를 포함하고, 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트는 분리되도록 마련되어, 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트의 일측에서 발생되는 진동이 타측으로 전달되지 않도록 구성된다.

Description

이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템{Moveable Repulsive power reduction Table System}

본 발명은 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 테이블 이동으로 발생되는 진동을 감쇄할 수 있는 테이블 시스템에 관한 것이다.

이동 가능하게 구성된 테이블 장치는 XY 평면 상을 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 테이블 장치는 테이블 위에 놓여지는 기판 등의 위치를 정밀하게 조절하는 얼라이먼트 테이블로서 이용된다.

한국 공개특허공보 제2008-0083297호, 한국 공개특허공보 제2000-0006149호, 일본 공개특허공보 제2005-297189호 등 다수의 이동 가능한 테이블은 하부에 적어도 1개 이상의 움직이는 테이블을 배치하고 있고, 이로 인하여 테이블의 구조가 대형화되고 있다. 이에 따라, 테이블의 이동시 발생된 진동으로 인하여 정밀한 테이블 이동 제어가 어려운 문제가 발생된다.

대한민국 공개특허 제2008-0083297호 대한민국 공개특허 제2000-0006149호

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 테이블이 이동하면서 발생되는 진동을 감쇄할 수 있도록 개선된 구성을 가지는 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템을 제공한다.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 상술된 것에 제한되지 않는다.

상기 진동 감쇄 플레이트 유닛은 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 마련되는 진동 감쇄부를 더 포함할 수 있다.

상기 진동 감쇄부는 에어 스프링으로 제공될 수 있다.

상기 진동 감쇄부는 오일 뎀퍼로 제공될 수 있다.

상기 가이드 유닛은 상기 테이블이 일방향으로 움직이도록 가이드하는 가이드 레일을 포함하고, 상기 가이드 레일은 상기 제2 플레이트 상부에 마련될 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템은, 테이블, 상기 테이블이 이동되는 공간을 형성하는 제1 플레이트, 상기 제1 플레이트를 둘러싸는 형상을 가지고, 상기 제1 플레이트와 분리되어 마련되는 제2 플레이트, 상기 진동 감쇄 플레이트 유닛에서 상기 테이블이 이동되도록 가이드하는 가이드 유닛, 상기 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛 및 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 마련되는 진동 감쇄부를 포함한다.

상기 진동 감쇄부는 에어 스프링으로 제공될 수 있다.

상기 진동 감쇄부는 오일 뎀퍼로 제공될 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템은, 테이블, 상기 테이블이 이동되는 공간을 형성하는 제1 플레이트, 상기 제1 플레이트를 둘러싸는 형상을 가지고, 상기 제1 플레이트와 분리되어 마련되는 제2 플레이트, 상기 진동 감쇄 플레이트 유닛에서 상기 테이블이 이동되도록 가이드하는 가이드 레일을 포함하는 가이드 유닛 및 상기 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛을 포함하고, 상기 가이드 레일은 상기 제2 플레이트 상부에 마련될 수 있다.

상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 마련되는 진동 감쇄부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따른 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템은 테이블이 이동되면서 발생되는 진동을 효율적으로 감쇄시킬 수 있다.

또한, 테이블의 이동으로 발생되는 진동을 감쇄함으로써, 테이블의 이동을 보다 정밀하게 제어할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템을 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 구성의 결합관계를 보여주는 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 테이블 시스템의 일측면을 보여주는 도면이다.
도 4는 도 1의 테이블 시스템의 저면을 보여주는 도면이다.
도 5는 도 1의 진동 감쇄부를 확대하여 보여주는 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 설명한다. 그러나, 기술되는 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명되는 실시예들에 의하여 한정되는 것은 아니다. 또한, 여러 실시예들은 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템을 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1의 구성의 결합관계를 보여주는 분해 사시도이고, 도 3은 도 1의 테이블 시스템의 일측면을 보여주는 도면이고, 도 4는 도 1의 테이블 시스템의 저면을 보여주는 도면이고, 도 5는 도 1의 진동 감쇄부를 확대하여 보여주는 도면이다.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템(1)은 테이블(10), 진동 감쇄 플레이트 유닛(20), 가이드 유닛(30) 그리고 구동 유닛(미도시)을 포함할 수 있다.

이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템(1)은 진동 감쇄 플레이트 유닛(20)의 상부에서 테이블(10)이 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 테이블(10)은 레이저 가공 장치에서는 레이저 광원이 놓여 질 수 있고, 반도체 제조 공정에서 제공되는 와이어 본딩의 경우에는 와이어 본딩 헤드가 놓여질 수 있다.

테이블(10)은 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 테이블(10)은 가이드 유닛(30)에 의하여 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 이하에서 제1 방향(91)과 제2 방향(92)은 서로 수직한 방향으로 정의한다.

진동 감쇄 플레이트 유닛(20)은 테이블(10)이 이동되는 공간을 형성할 수 있다. 진동 감쇄 플레이트 유닛(20)은 테이블(10), 가이드 유닛(30) 그리고 구동 유닛(미도시)이 배치되어 테이블(10)이 진동 감쇄 플레이트 유닛(20)의 상부에서 이동되도록 구성될 수 있다.

일 예에 의하면, 진동 감쇄 플레이트 유닛(20)은 제1 플레이트(21)와 제2 플레이트(22)를 포함할 수 있다.

제1 플레이트(21)는 상부에 테이블(10)이 이동되는 공간을 형성할 수 있다. 제1 플레이트(21)는 제2 플레이트(22)로 둘러싸인 형태로 마련될 수 있다. 제1 플레이트(21)는 제2 플레이트(22)와 분리되어 마련될 수 있다.

제2 플레이트(22)는 제1 플레이트(21)의 측면을 둘러싸는 형상으로 마련될 수 있다. 제2 플레이트(22)는 제1 플레이트(21)를 둘러싸는 형상으로 제공될 수 있다. 제2 플레이트(22)는 중앙부에 제1 플레이트(21)가 배치되는 공간이 형성될 수 있다. 제2 플레이트(22)는 제1 플레이트(21)와 분리된 상태로 제공될 수 있다.

진동 감쇄 플레이트 유닛(20)은 진동 감쇄부(25)를 더 포함할 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 진동 감쇄부(25)는 제1 플레이트(21)와 제2 플레이트(22)를 연결하도록 마련될 수 있다. 진동 감쇄부(25)는 제1 플레이트(21)와 제2 플레이트(22) 사이에 배치되도록 제공될 수 있다. 진동 감쇄부(25)는 일측이 제1 플레이트(21)와 연결되고, 타측이 제2 플레이트(22)와 연결되도록 구성될 수 있다. 진동 감쇄부(25)는 제1 플레이트(21)와 제2 플레이트(22) 중 일측에서 발생되는 진동을 감쇄시켜 타측으로 전달되지 않도록 구성될 수 있다.

일 예에 의하면, 진동 감쇄부(25)는 오일 뎀퍼(Oil damper)를 포함할 수 있다. 또한, 진동 감쇄부(25)는 에어 스프링(Air spring)을 포함할 수 있다. 진동 감쇄부(25)는 오일 뎀퍼(Oil damper)와 에어 스프링(Air spring) 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.

일 예에 의하면, 제2 플레이트(22)는 일측에 가이드 레일 결합부(27)가 형성될 수 있다. 가이드 레일 결합부(27)는 가이드 레일(33)과 제2 플레이트(22)를 결합시킬 수 있다. 가이드 레일 결합부(27)는 일측이 가이드 레일(33)과 결합되고, 타측이 제2 플레이트(22)와 결합되도록 구성될 수 있다.

상술한 구성에 의하여, 슬라이드(31)가 가이드 레일(33)을 따라 이동되면서 발생되는 진동은 제2 플레이트(22)와 결합된 진동 감쇄부(25)에 의하여 감쇄되거나 소멸될 수 있다. 이로 인하여 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 가능한 테이블 시스템(1)은 테이블(10) 이동과 관련하여 발생되는 효율적으로 감쇄시킬 수 있다.

가이드 유닛(30)은 테이블(10)이 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동되도록 가이드 할 수 있다. 가이드 유닛(30)은 슬라이드(31), 가이드 레일(33) 그리고 테이블 가이드부(35)를 포함할 수 있다.

슬라이드(31)는 상부에 테이블(10)이 배치되는 공간을 마련할 수 있다. 슬라이드(31)는 가이드 레일(33)을 따라 제1 방향(91)으로 이동될 수 있도록 구성될 수 있다. 슬라이드(31)는 가이드 레일(33)을 따라 테이블(10)을 제1 방향(91)으로 이동시킬 수 있다.

가이드 레일(33)은 슬라이드(31)가 제1 방향(91)으로 이동되도록 가이드 할 수 있다. 가이드 레일(33)은 슬라이드(31)가 제1 방향(91)으로 이동되도록 슬라이드(31)의 저면과 결합될 수 있다. 가이드 레일(33)은 제1 플레이트(21)의 양 측면에 설치될 수 있다. 가이드 레일(33)은 제1 플레이트(21)의 양 측면에 제1 방향(91)으로 평행하게 연장된 한쌍의 가이드 레일(33a, 33b)을 포함할 수 있다.

일 예에 의하면, 가이드 레일(33)은 제2 플레이트(22)에 결합될 수 있다. 가이드 레일(33)은 가이드 레일 결합부(27)를 통해 제2 플레이트(22)와 결합될 수 있다. 이를 통해, 가이드 레일(33)에서 발생되는 진동은 가이드 레일 결합부(27)와 제2 플레이트(22)를 통해 진동 감쇄부(25)로 전달되어 감쇄될 수 있다.

테이블 가이드부(35)는 슬라이드(31)의 상면에 형성될 수 있다. 테이블 가이드부(35)는 슬라이드(31)의 상면에 제2 방향(92)으로 형성될 수 있다. 테이블 가이드부(35)는 테이블(10)이 슬라이드(31)의 상면에서 제2 방향(92)으로 이동될 수 있도록 구성될 수 있다. 테이블 가이드부(35)는 슬라이드(31)의 상면 양측에 제2 방향(92)으로 평행하게 형성될 수 있다.

구동 유닛(미도시)은 가이드 유닛(30)과 연결되어 가이드 유닛(30)이 테이블(10)과 함께 이동될 수 있는 동력을 발생시킬 수 있다. 구동 유닛(미도시)은 동력을 가이드 유닛(30)에 전달하여 가이드 유닛(30)과 테이블(10)이 제1 방향(91) 및 제2 방향(92)으로 이동될 수 있도록 구성될 수 있다.

이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.

그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.

1: 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템
10: 테이블
20: 진동 감쇄 플레이트 유닛
21: 제1 플레이트
22: 제2 플레이트
25: 진동 감쇄부
30: 가이드 유닛

Claims

테이블;
상기 테이블 하부에 마련되고, 상기 테이블이 이동되는 공간을 형성하는 진동 감쇄 플레이트 유닛;
상기 진동 감쇄 플레이트 유닛에서 상기 테이블이 이동되도록 가이드하는 가이드 유닛; 및
상기 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛;을 포함하고,
상기 진동 감쇄 플레이트 유닛은 상기 테이블이 이동되는 공간을 형성하는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트의 측면을 둘러싸는 형상으로 마련되는 제2 플레이트를 포함하고,
상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트는 분리되도록 마련되어, 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트의 일측에서 발생되는 진동이 타측으로 전달되지 않도록 구성되는 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템.
제1항에 있어서,
상기 진동 감쇄 플레이트 유닛은 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 마련되는 진동 감쇄부를 더 포함하는 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템.
제2항에 있어서,
상기 진동 감쇄부는 에어 스프링으로 제공되는 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템.
제2항에 있어서,
상기 진동 감쇄부는 오일 뎀퍼로 제공되는 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템.
제2항에 있어서,
상기 가이드 유닛은 상기 테이블이 일방향으로 움직이도록 가이드하는 가이드 레일을 포함하고,
상기 가이드 레일은 상기 제2 플레이트 상부에 마련되는 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템.
테이블;
상기 테이블이 이동되는 공간을 형성하는 제1 플레이트;
상기 제1 플레이트를 둘러싸는 형상을 가지고, 상기 제1 플레이트와 분리되어 마련되는 제2 플레이트;
상기 진동 감쇄 플레이트 유닛에서 상기 테이블이 이동되도록 가이드하는 가이드 유닛;
상기 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛; 및
상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 마련되는 진동 감쇄부;를 포함하는 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템.
제6항에 있어서,
상기 가이드 유닛은 상기 테이블이 일방향으로 움직이도록 가이드하는 가이드 레일을 포함하고,
상기 가이드 레일은 상기 제2 플레이트 상부에 마련되는 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템.
제6항에 있어서,
상기 진동 감쇄부는 에어 스프링으로 제공되는 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템.
제6항에 있어서,
상기 진동 감쇄부는 오일 뎀퍼로 제공되는 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템.
테이블;
상기 테이블이 이동되는 공간을 형성하는 제1 플레이트;
상기 제1 플레이트를 둘러싸는 형상을 가지고, 상기 제1 플레이트와 분리되어 마련되는 제2 플레이트;
상기 진동 감쇄 플레이트 유닛에서 상기 테이블이 이동되도록 가이드하는 가이드 레일을 포함하는 가이드 유닛; 및
상기 가이드 유닛에 동력을 전달하는 구동 유닛;을 포함하고,
상기 가이드 레일은 상기 제2 플레이트 상부에 마련되는 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템.
제10항에 있어서,
상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 마련되는 진동 감쇄부;를 더 포함하는 이동 가능한 반발력 저감 테이블 시스템.