KR20120019299A - 열변형 등을 흡수할 수 있는 플렉셔를 구비한 리니어 스테이지. - Google Patents

열변형 등을 흡수할 수 있는 플렉셔를 구비한 리니어 스테이지. Download PDF

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KR20120019299A
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Abstract

본 발명은 리니어 스테이지에 관한 것으로서, X-Y 평면 상에서 Y 방향으로 길게 연장된 형상의 Y 방향 이송장치를 구비하는 리니어 스테이지에 있어서, 상기 Y 방향 이송장치의 일단부에는, 상기 Y 방향 이송장치의 Y 방향 변형을 흡수할 수 있는 플렉셔가 결합되어 있는 특징을 갖는다.
본 발명에 따르면, Y 방향 이송장치의 일단부에 결합되며 상기 Y 방향 이송장치의 Y 방향 변형을 흡수할 수 있는 플렉셔를 구비함으로써, 열변형 등에 의하여 상기 Y 방향 이송장치가 미세하게 휘어지는 것이 방지될 수 있는 효과가 있다.

Description

열변형 등을 흡수할 수 있는 플렉셔를 구비한 리니어 스테이지.{Linear stage with flexure to absorb deformation such as heat-induced deformation.}
본 발명은 리니어 스테이지에 관한 것으로서, 특히 열응력 등에 의한 시스템의 성능 저하 및 이송장치들의 뒤틀림이 방지될 수 있는 리니어 스테이지에 관한 것이다.
리니어 모터(LM; Linear Motor)를 구비하는 갠트리(gantry)형 리니어 스테이지(linear stage)의 일례가, 도 1에 도시되어 있다. 이러한, 리니어 스테이지는 반도체 제작 공정 등 정밀 기계 가공에 널리 사용되는 장치로서, 공구 등의 정밀한 공간상 위치 이동을 목적으로 하는 장치이다.
상기 리니어 스테이지(1)는, 베이스부(50)와, 상기 베이스부(50) 위에 서로 이격된 상태로 고정되는 고정자(12, 22)와 상기 고정자(12, 22)에 대하여 X 방향으로 왕복 이동 가능한 이동자(11, 21)를 각각 구비하는 한 쌍의 X 방향 이송장치(10, 20)와, 양단이 상기 X 방향 이송장치(10, 20)의 이동자(11, 21)에 각각 결합되는 고정자(32)와 상기 고정자(32)에 대하여 Y 방향으로 왕복 이동 가능한 이동자(31)를 구비하는 Y 방향 이송장치(30)를 구비하고 있다. 여기서, 상기 고정자(12, 22, 32)의 내부에는 영구자석(미도시)이 장착되어 있고, 상기 이동자(11, 21, 31)의 내부에는 상기 영구자석과 전자기적으로 상호 작용하는 코일(미도시)이 장착되어 있으며, 상기 이동자(11, 21, 31)를 상기 고정자(12, 22, 32)에 대하여 왕복 이동 가능하게 결합하는 가이드부재(미도시)가 있으나, 이러한 구성 요소들은 리니어 모터의 일반적인 구성 요소로서 널리 알려져 있으므로, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
따라서, 상기 Y 방향 이송장치(30)의 이동자(31)는 상기 X 방향 이송장치(10, 20)에 의하여 X 방향으로 왕복 이동하며, 상기 고정자(32)와의 전자기적 상호 작용에 의하여 대하여 Y 방향으로 왕복 이동하게 된다.
그러나, 종래의 리니어 스테이지(1)는, 상기 Y 방향 이송장치(30)의 양단이 상기 X 방향 이송장치(10, 20)의 이동자(11, 21)에 단순히 결합되어 있는 구조이므로, 상기 Y 방향 이송장치(30)의 이동자(31)가 상기 고정자(32)에 대하여 Y 방향으로 왕복 이동을 반복하게 됨으로써 열이 발생하고, 이러한 발열로 인하여 상기 Y 방향 이송장치(30)의 고정자(32)가 Y방향으로 늘어나는 열변형에 노출됨으로써 미세하게 휘어지게 되는 문제점이 있다.
따라서, 종래의 리니어 스테이지(1)는, 상기 열변형에 의하여 상기 Y 방향 이송장치(30)가 미세하게 휘어지게 됨으로써, 상기 이동자(31)가 정확하고 신속하게 위치 이동되기 어려워진다는 문제점이 있다.
본 발명은 상기 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 열응력 등에 의한 시스템의 성능 저하 및 이송장치들의 뒤틀림이 방지될 수 있도록 구조가 개선된 리니어 스테이지를 제공하기 위함이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 리니어 스테이지는, X-Y 평면 상에서 Y 방향으로 길게 연장된 형상의 Y 방향 이송장치를 구비하는 리니어 스테이지에 있어서, 상기 Y 방향 이송장치의 일단부에는, 상기 Y 방향 이송장치의 Y 방향 변형을 흡수할 수 있는 플렉셔가 결합되어 있는 특징을 갖는다.
여기서, 상기 플렉셔는, 내측부; 상기 내측부와 이격된 상태로 상기 내측부의 둘레를 감싸는 외측부; 상기 외측부와 내측부를 연결하며, 상기 내측부가 상기 외측부에 대하여 Y 방향으로의 이동은 용이하고 X 방향으로의 이동은 용이하지 않도록 X 방향으로 길게 연장된 형상의 연결부;를 구비하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 플렉셔는, 내측부; 상기 내측부와 이격된 상태로 상기 내측부의 둘레를 감싸는 외측부; 상기 내측부의 X 방향 전후측과 상기 외측부의 내측 사이에 배치되는 중간부; 상기 외측부와 상기 중간부를 연결하며, 상기 중간부가 상기 외측부에 대하여 Y 방향으로의 이동은 용이하고 X 방향으로의 이동은 용이하지 않도록 X 방향으로 길게 연장된 형상의 제1연결부; 상기 중간부와 상기 내측부를 연결하며, 상기 내측부가 상기 중간부에 대하여 Y 방향으로의 이동은 용이하고 X 방향으로의 이동은 용이하지 않도록 X 방향으로 길게 연장된 형상의 제2연결부; 를 구비할 수도 있다.
여기서, 상기 연결부의 양단은, 굽힘 모멘트와 관련된 관성모멘트가 상기 연결부의 다른 부분보다 더 작은 것을 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 플렉셔에 결합되며, X 방향으로 길게 연장된 형상의 X 방향 이송장치; 탄성 변형 가능한 판형 부재로서, 상기 X 방향 이송장치와 상기 Y 방향 이송장치 사이를 연결하는 판스프링;을 더 구비할 수도 있다.
본 발명에 따르면, Y 방향 이송장치의 일단부에 결합되며 상기 Y 방향 이송장치의 Y 방향 변형을 흡수할 수 있는 플렉셔를 구비함으로써, 열응력 등에 의한 시스템의 성능 저하 및 이송장치들의 뒤틀림이 방지될 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 리니어 스테이지를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예인 리니어 스테이지의 분리 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 리니어 스테이지의 정면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 리니어 스테이지의 결합 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 리니어 스테이지의 정면도이다.
도 6은 도 2에 도시된 플렉셔의 변형 전 평면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 플렉셔의 변형 후 평면도이다.
이하에서, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예인 리니어 스테이지의 분리 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 리니어 스테이지의 정면도이다.
도 2 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 리니어 스테이지(100)는, X-Y 평면상에서 공구 등의 정밀한 위치 이동을 목적으로 하는 장치로서, 한 쌍의 X 방향 이송장치(10, 20)와, Y 방향 이송장치(30)와, 플렉셔(40)와, 베이스부(50)를 포함하여 구성된다.
상기 X 방향 이송장치(10)는, 상기 Y 방향 이송장치(30)를 X 방향으로 이동하기 위한 리니어 모터(Linear Motor)로서, X 방향으로 길게 연장된 형태의 고정자(12)와, 상기 고정자(12)에 대하여 X 방향으로 왕복 이동 가능한 이동자(11)를 구비하고 있다.
상기 X 방향 이송장치(20)는, 상기 Y 방향 이송장치(30)를 X 방향으로 이동하기 위한 리니어 모터(Linear Motor)로서, X 방향으로 길게 연장된 형태의 고정자(22)와, 상기 고정자(22)에 대하여 X 방향으로 왕복 이동 가능한 이동자(21)를 구비하고 있다.
상기 Y 방향 이송장치(30)는, Y 방향의 이동을 위한 리니어 모터(Linear Motor)로서, Y 방향으로 길게 연장된 형태의 고정자(32)와, 상기 고정자(32)에 대하여 Y 방향으로 왕복 이동 가능한 이동자(31)를 구비하고 있다.
상기 고정자(32)의 일단부는 상기 플렉셔(40)에 결합되며, 상기 고정자(32)의 타단부는 상기 X 방향 이송장치(20)의 이동자(21)에 결합된다.
상기 이송장치(10, 20, 30)들은, 일반적으로 알려진 리니어 모터(Linear Motor)로서, 상기 배경기술 항목에서 이미 설명한 영구자석(미도시), 코일(미도시), 가이드부재(미도시)를 구비하고 있는 바, 그에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 베이스부(50)는, 평판 형상의 부재로서, 하면이 바닥에 고정되어 있으며, 상면의 일단부에는 상기 X 방향 이송장치(10)의 고정자(12)가 결합되어 있고, 상면의 타단부에는 상기 X 방향 이송장치(20)의 고정자(22)가 결합되어 있다.
상기 Y 방향 이송장치(30)의 고정자(32)의 일단부 측면과 상기 X 방향 이송장치(10)의 이동자(11)는 한 쌍의 판스프링(48)에 의하여 연결되어 있는데, 이 판스프링(48)은 탄성 변형 가능한 판형 부재이다.
상기 플렉셔(flexure)(40)는, 상기 Y 방향 이송장치(30)의 Y 방향 변형을 흡수할 수 있는 평판형 금속 부재로서, 상기 Y 방향 이송장치(30)의 일단부 하면과 상기 X 방향 이송장치(10)의 이동자(11)의 상면 사이에 배치됨으로써, 상기 Y 방향 이송장치(30)과 상기 X 방향 이송장치(10)를 연결하는 부재이다. 이 플렉셔(40)는, 내측부(41)와, 외측부(42)와, 중간부(43)를 구비한다. 본 실시예에서, 상기 플렉셔(40)는 와이어 커팅 공법에 의하여 일체로 제작된다.
상기 내측부(41)는, 사각형 모양의 부분으로서, 도 6에 도시된 바와 같이, 좌우측면으로부터 돌출된 한쌍의 돌출부(411)가 형성되어 있으며, 좌우측 단부에는 복수 개의 내측결합공(47)이 형성되어 있다.
상기 내측부(41)는, 상기 내측결합공(47)에 의하여 상기 Y 방향 이송장치(30)의 고정자(32)의 일단부 하면과 나사결합된다.
상기 외측부(42)는, 상기 내측부(41)와 이격된 상태로 상기 내측부(41)의 둘레를 감싸는 사각 고리 모양의 부분으로서, 좌우측 내주면으로부터 내측으로 돌출된 한 쌍의 돌출부(421)가 형성되어 있으며, 상하측 단부에 복수 개의 외측결합공(46)이 형성되어 있다.
상기 외측부(42)는, 상기 외측결합공(46)에 의하여 상기 X 방향 이송장치(10)의 이동자(11)의 상면과 나사결합된다. 따라서, 상기 Y 방향 이송장치(30)의 고정자(32)의 일단부는, 상기 플렉셔(40)를 통하여 상기 X 방향 이송장치(10)의 이동자(11)에 결합되는 구조를 가진다.
상기 중간부(43)는, 사각 띠 형상의 부분으로서 한 쌍이 마련되며, 하나는 상기 내측부(41)의 상측과 상기 외측부(42)의 내측 사이에서 좌우 방향으로 길게 배치되어 있으며, 나머지 하나는 상기 내측부(41)의 하측과 상기 외측부(42)의 내측 사이에서 좌우 방향으로 길게 배치되어 있다.
상기 외측부(42)의 돌출부(421)의 상면과 상기 내측부(41)의 상측에 배치된 중간부(43)의 양측 일단부의 하면은 각각 제1연결부(44)에 의하여 연결되어 있으며, 마찬가지로 상기 외측부(42)의 돌출부(421)의 하면과 상기 내측부(41)의 하측에 배치된 중간부(43)의 양측 일단부의 상면은 각각 제1연결부(44)에 의하여 연결되어 있다.
상기 제1연결부(44)는, 상기 중간부(43)가 상기 외측부(42)에 대하여 Y 방향으로의 이동은 용이하고 X 방향으로의 이동은 용이하지 않도록, X 방향으로 길게 연장된 형상을 가지며, 상기 제1연결부(44)의 양단은 굽힘 모멘트와 관련된 관성모멘트(moment of inertia)가 상기 제1연결부(44)의 다른 부분보다 더 작을 수 있도록 잘록한 형상을 가진다.
한편, 상기 내측부(41)의 돌출부(411)의 상면과 상기 내측부(41)의 상측에 배치된 중간부(43)의 양측 일단부의 하면은 각각 제2연결부(45)에 의하여 연결되어 있으며, 마찬가지로 상기 내측부(41)의 돌출부(411)의 하면과 상기 내측부(41)의 하측에 배치된 중간부(43)의 양측 일단부의 상면은 각각 제2연결부(45)에 의하여 연결되어 있다.
상기 제2연결부(45)는, 상기 내측부(41)가 상기 중간부(43)에 대하여 Y 방향으로의 이동은 용이하고 X 방향으로의 이동은 용이하지 않도록 X 방향으로 길게 연장된 형상을 가지며, 상기 제2연결부(45)의 양단은 굽힘 모멘트와 관련된 관성모멘트가 상기 제2연결부(45)의 다른 부분보다 더 작을 수 있도록 잘록한 형상을 가진다.
이하에서는, 상술한 구성의 리니어 스테이지(100)의 작동 원리를 설명하기로 한다. 상기 리니어 스테이지(100)가 계속적으로 작동하게 되면, 상기 Y 방향 이송장치(30)의 이동자(31)가 상기 고정자(32)에 대하여 Y 방향으로 왕복 이동을 반복하게 됨으로써 열이 발생하고, 이러한 발열로 인하여 상기 Y 방향 이송장치(30)의 고정자(32)가 Y방향으로 늘어나는 열변형에 노출된다. 한편, 상기 반복 사용에 의한 발열뿐만 아니라, 상기 리니어 스테이지(100)에 장착되는 부품에서 발생되는 발열이나 운송 중의 외기 온도 변화 등도 열변형의 원인이 될 수 있음은 물론이다.
따라서, 상기 고정자(32)의 타단부는 상기 X 방향 이송장치(20)의 이동자(21)에 결합되어 있으므로 Y 방향으로 이동할 수 없도록 구속되어 있는 바, 상기 열변형에 의하여 상기 고정자(32)의 일단부가 Y축의 양의 방향으로 위치 이동하게 되고 상기 판스프링(48)도 같은 방향으로 약간 탄성 변형하게 된다. 또한 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 고정자(32)의 일단부에 결합된 상기 플렉셔(40)의 내측부(41)도 상기 고정자(32)의 일단부와 마찬가지로 Y축의 양의 방향으로 위치 이동하게 된다.
이때, 상기 중간부(43)도, 상기 제2연결부(45)에 의하여 상기 내측부(41)에 결합되어 있으므로, 상기 내측부(41)와 마찬가지로 Y축의 양의 방향으로 위치 이동하게 된다. 여기서, 상기 제2연결부(45)의 양단부는 굽힘 모멘트와 관련된 관성모멘트가 작은 값을 가지도록 잘록한 형상이므로 용이하게 굽혀지므로 상기 제2연결부(45)의 양단부의 굽힘 변형에 대한 반발 모멘트는 비교적 작은 값을 가진다.
한편, 상기 중간부(43)가 Y축의 양의 방향으로 위치 이동하더라도, 상기 제1연결부(44)에 의하여 상기 중간부(43)와 연결되어 있는 외측부(42)는, 상기 X 방향 이송장치(10)의 이동자(11)에 결합되어 있으므로, Y 방향으로 위치 이동하지는 않는다. 따라서, 상기 Y 방향 이송장치(30)의 고정자(32)의 열변형이 상기 플렉셔(40)에 의하여 흡수된다.
이때, 상기 판스프링(48)이 상기 X 방향 이송장치(10)와 Y 방향 이송장치(30)를 연결한 상태로 장착되어 있으므로, 상기 X 방향 이송장치(10)에 의하여 상기 Y 방향 이송장치(30)가 X 방향으로 격렬하게 왕복 이동되는 경우, 상기 Y 방향 이송장치(30)의 열변형은 허용하면서도 상기 Y 방향 이송장치(30)를 어느 정도 구속함으로써, 상기 X 방향 이송장치(10)에 대한 상기 Y 방향 이송장치(30)의 상대적인 흔들림이나 비틀림이 방지될 수 있다는 장점이 있다.
이에 반하여, 상기 내측부(41)가 X 방향으로 이동하게 되는 경우를 가정해보면, 상기 연결부(44, 45)들이 X 방향으로 길게 연장된 형상을 가짐으로써 X 방향으로 강한 강성(rigidity)을 가지므로, 상기 내측부(41)에 가해지는 X 방향 외력은 상기 중간부(43)를 거쳐 그대로 상기 외측부(42)로 전달되는 구조이며, 상기 외측부(42)에 대한 상기 내측부(41)의 X 방향으로의 상대적 이동은 거의 발생하지 않게 된다.
상기 리니어 스테이지(100)는, 상기 외측부(42)와 상기 중간부(43)를 연결하며, X 방향으로 길게 연장된 형상의 제1연결부(44) 및 상기 중간부(43)와 상기 내측부(41)를 연결하며, X 방향으로 길게 연장된 형상의 제2연결부(45)를 구비하고 있으므로, 상기 플렉셔(40)의 중간부(43)가 상기 외측부(42)에 대하여 Y 방향으로의 이동은 용이하고 X 방향으로의 이동은 용이하지 않게 되며, 상기 내측부(41)가 상기 중간부(43)에 대하여 Y 방향으로의 이동은 용이하고 X 방향으로의 이동은 용이하지 않게 된다는 장점이 있다.
그리고, 상기 리니어 스테이지(100)는, 상기 연결부들(44, 45)의 양단이 굽힘 모멘트와 관련된 관성모멘트가 상기 연결부들(44, 45)의 다른 부분보다 더 작도록 잘록한 형상을 가지고 있으므로, 상기 Y 방향 이송장치(30)의 고정자(32)에 열변형이 발생하더라도, 상기 연결부들(44, 45)의 양단에서 발생하는 굽힘 모멘트가 미미하므로 큰 반발력 없이 용이하게, 상기 내측부(41)가 상기 외측부(42)에 대하여 Y 방향으로 이동될 수 있다는 장점이 있다.
이렇게, 상기 리니어 스테이지(100)는, 상기 Y 방향 이송장치(30)의 일단부에 결합되며 상기 Y 방향 이송장치(30)의 Y 방향 변형을 흡수할 수 있는 플렉셔(40)를 구비하고 있으므로, 열변형에 의하여 상기 Y 방향 이송장치(30)가 미세하게 휘어지거나 뒤틀리는 것이 방지될 수 있으며, 이러한 처짐 방지로 인하여 상기 Y 방향 이송장치(30)의 이동자(31)가 정확하게 위치 이동될 수 있다는 장점이 있다.
본 실시예에서는, X 방향 이송장치(10, 20)를 포함하고 있으나, X 방향 이송장치(10, 20)를 구비하지 않고 Y 방향 이송장치(30)만을 구비할 수도 있음은 물론이다. 이때, 상기 플렉셔(40)는 상기 베이스부(50)와 상기 Y 방향 이송장치(30)의 일단부를 연결하게 된다.
본 실시예에서는, 상기 플렉셔(40)의 내측부(41)와 외측부(42)가 상기 중간부(43)를 거쳐서 연결되어 있지만, 상기 중간부(43)를 포함하지 않고 상기 내측부(41)와 외측부(42)가 X 방향으로 길게 연장된 형상의 연결부에 의하여 직접 연결되는 구성도 가능함은 물론이다.
본 실시예에서는, 상기 이송장치(10, 20, 30)로서 리니어 모터(Linear Motor)가 사용되고 있으나, 볼 스크류(ball screw) 등과 같은 다양한 구동기가 사용될 수 있음은 물론이다.
본 실시예에서는, 상기 플렉셔(40)가 상기 Y 방향 이송장치(30)의 Y 방향 열변형을 흡수하는 것으로 설명하였으나, 상기 X 방향 이송장치(10, 20)간의 평형 상태가 불완전함으로써 조성되는 정렬불량(misalignment)상태에서 상기 Y 방향 이송장치(30)에 발생되는 변형과 같은 구조변형도 흡수할 수 있음은 물론이다.
이상으로 본 발명을 설명하였는데, 본 발명의 기술적 범위는 상술한 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것은 아니며, 해당 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 수정 또는 변경된 등가의 구성은 본 발명의 기술적 사상의 범위를 벗어나지 않는 것임은 명백하다.
＊ 도면의 주요부위에 대한 부호의 설명 ＊
100 : 리니어 스테이지 10 : X 방향 이송장치
11 : 이동자 12 : 고정자
20 : X 방향 이송장치 21 : 이동자
22 : 고정자 30 : Y 방향 이송장치
31 : 이동자 32 : 고정자
40 : 플렉셔 41 : 내측부
42 : 외측부 43 : 중간부
44 : 제1연결부 45 : 제2연결부
46 : 외측결합공 47 : 내측결합공
48 : 판스프링 50 : 베이스부

Claims (5)

  1. X-Y 평면 상에서 Y 방향으로 길게 연장된 형상의 Y 방향 이송장치를 구비하는 리니어 스테이지에 있어서,
    상기 Y 방향 이송장치의 일단부에는, 상기 Y 방향 이송장치의 Y 방향 변형을 흡수할 수 있는 플렉셔가 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 플렉셔는,
    내측부;
    상기 내측부와 이격된 상태로 상기 내측부의 둘레를 감싸는 외측부;
    상기 외측부와 내측부를 연결하며, 상기 내측부가 상기 외측부에 대하여 Y 방향으로의 이동은 용이하고 X 방향으로의 이동은 용이하지 않도록 X 방향으로 길게 연장된 형상의 연결부;
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 플렉셔는,
    내측부;
    상기 내측부와 이격된 상태로 상기 내측부의 둘레를 감싸는 외측부;
    상기 내측부의 X 방향 전후측과 상기 외측부의 내측 사이에 배치되는 중간부;
    상기 외측부와 상기 중간부를 연결하며, 상기 중간부가 상기 외측부에 대하여 Y 방향으로의 이동은 용이하고 X 방향으로의 이동은 용이하지 않도록 X 방향으로 길게 연장된 형상의 제1연결부;
    상기 중간부와 상기 내측부를 연결하며, 상기 내측부가 상기 중간부에 대하여 Y 방향으로의 이동은 용이하고 X 방향으로의 이동은 용이하지 않도록 X 방향으로 길게 연장된 형상의 제2연결부;
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지.
  4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 연결부의 양단은, 굽힘 모멘트와 관련된 관성모멘트가 상기 연결부의 다른 부분보다 더 작은 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 플렉셔에 결합되며, X 방향으로 길게 연장된 형상의 X 방향 이송장치;
    탄성 변형 가능한 판형 부재로서, 상기 X 방향 이송장치와 상기 Y 방향 이송장치 사이를 연결하는 판스프링;
    을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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