JPH1110467A - Ｘｙテーブル - Google Patents
ＸｙテーブルInfo
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- JPH1110467A JPH1110467A JP9178906A JP17890697A JPH1110467A JP H1110467 A JPH1110467 A JP H1110467A JP 9178906 A JP9178906 A JP 9178906A JP 17890697 A JP17890697 A JP 17890697A JP H1110467 A JPH1110467 A JP H1110467A
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- base
- armature
- linear motor
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/28—Electric drives
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
Abstract
(57)【要約】
【課題】 トップテーブルを正確に位置決めし、高加減
速で移動できるようにする。 【解決手段】 ベースに支持されＸ軸方向に移動自在な
Ｘ軸テーブル３と、ベースに支持されＹ軸方向に移動自
在なＹ軸テーブル１２と、Ｘ軸テーブル３の移動に追随
してＸ軸方向に移動自在であるとともに、Ｙ軸テーブル
１２の移動に追随してＹ軸方向に移動自在のトップテー
ブル２０を備えたＸＹテーブルにおいて、Ｘ軸テーブル
３を支持するＸ軸ベース１に取付けたリニアモータの電
機子６と、Ｘ軸テーブル３の裏面に設け、リニアモータ
５の電機子６に対向する可動子７と、Ｙ軸テーブル１２
を支持するＹ軸ベース１０に取付けたリニアモータ１４
の電機子１５と、Ｙ軸テーブル１２の裏面に設け、リニ
アモータ１４の電機子１５に対向する可動子１６とを設
けている。したがって、トップテーブルを精度よく位置
決めでき、高加減速で移動できる。
速で移動できるようにする。 【解決手段】 ベースに支持されＸ軸方向に移動自在な
Ｘ軸テーブル３と、ベースに支持されＹ軸方向に移動自
在なＹ軸テーブル１２と、Ｘ軸テーブル３の移動に追随
してＸ軸方向に移動自在であるとともに、Ｙ軸テーブル
１２の移動に追随してＹ軸方向に移動自在のトップテー
ブル２０を備えたＸＹテーブルにおいて、Ｘ軸テーブル
３を支持するＸ軸ベース１に取付けたリニアモータの電
機子６と、Ｘ軸テーブル３の裏面に設け、リニアモータ
５の電機子６に対向する可動子７と、Ｙ軸テーブル１２
を支持するＹ軸ベース１０に取付けたリニアモータ１４
の電機子１５と、Ｙ軸テーブル１２の裏面に設け、リニ
アモータ１４の電機子１５に対向する可動子１６とを設
けている。したがって、トップテーブルを精度よく位置
決めでき、高加減速で移動できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体組立装置、工
作機械、計測装置等において位置決めテーブルとして使
用されるＸＹテーブルに関するものである。
作機械、計測装置等において位置決めテーブルとして使
用されるＸＹテーブルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のＸＹテーブルは、図４に示すよう
に構成している。図において、３０はベースで、このベ
ース３０上にＸ軸方向に敷設したガイドレール３１と、
このガイドレール３１の端部にＹ軸方向に敷設したガイ
ドレール３２を設けている。３３はガイドレール３１上
に載置しＸ軸方向に移動自在に取付けたＸ軸テーブル
で、このＸ軸テーブル３３上に２つのガイドローラ３
４、３５が取付けてある。３６はＸ軸駆動モータで、こ
のＸ軸駆動モータ３６の回転軸にボールネジを有するＸ
軸送りねじ３７を連結している。前記Ｘ軸送りねじ３７
に前記Ｘ軸テーブル３３の裏面に取付けたボールナット
（図示せず）が螺合し、Ｘ軸送りねじ３７の回転により
Ｘ軸テーブル３３をＸ軸方向に作動するように構成して
いる。３８はガイドレール３２に載置しＹ軸方向に移動
自在に取付けたＹ軸テーブルで、このＹ軸テーブル３８
上にＸ軸方向に延びるガイドレール３９が敷設してあ
る。４０はＹ軸駆動モータで、このＹ軸駆動モータ４０
の回転軸にボールネジを有するＹ軸送りねじ４１を連結
している。前記Ｙ軸送りねじ４１に前記Ｙ軸テーブル３
８の裏面に取付けたボールナット（図示せず）が螺合
し、Ｙ軸送りねじ４１の回転によりＹ軸テーブル３８を
Ｙ軸方向に移動するように構成している。４２はトップ
テーブルで、このトップテーブル４２の一方側にＹ軸方
向に延びる溝４３が設けられ、Ｘ軸テーブル３３に設け
た一方のガイドローラ３４をトップテーブル４２の側面
に接触させ、他方のガイドローラ３５を前記溝４３に挿
入している。つぎに、ＸＹテーブルの動作について説明
をする。Ｘ軸駆動モータ３６を駆動すると、このＸ軸駆
動モータ３６の回転軸の軸端に連結したＸ軸送りねじ３
７のボールネジを介してＸ軸テーブル３３がＸ軸方向に
移動するとともに、Ｘ軸テーブル３３上に設けたガイド
ローラ３４、３５を介してトップテーブル４２がＸ軸方
向に移動する。つぎに、Ｙ軸駆動モータ４０を駆動する
と、このＹ軸駆動モータ４０の軸端に連結したＹ軸送り
ネジ４１のボールネジを介してＹ軸テーブル３８がＹ軸
方向に移動する。このＹ軸テーブル３８がＹ軸方向に移
動すると、Ｙ軸テーブル３８上に敷設したガイドレール
３９上のトップテーブル４２がＹ軸テーブルと一体的に
Ｙ軸方向に移動する。このトップテーブル４２がＹ軸方
向に移動すると、Ｘ軸テーブル３３のガイドローラ３
４、３５がトップテーブル４２の側面あるいは溝４３内
を摺動しながらトップテーブル４２を所定の位置に移動
して停止させる。
に構成している。図において、３０はベースで、このベ
ース３０上にＸ軸方向に敷設したガイドレール３１と、
このガイドレール３１の端部にＹ軸方向に敷設したガイ
ドレール３２を設けている。３３はガイドレール３１上
に載置しＸ軸方向に移動自在に取付けたＸ軸テーブル
で、このＸ軸テーブル３３上に２つのガイドローラ３
４、３５が取付けてある。３６はＸ軸駆動モータで、こ
のＸ軸駆動モータ３６の回転軸にボールネジを有するＸ
軸送りねじ３７を連結している。前記Ｘ軸送りねじ３７
に前記Ｘ軸テーブル３３の裏面に取付けたボールナット
（図示せず）が螺合し、Ｘ軸送りねじ３７の回転により
Ｘ軸テーブル３３をＸ軸方向に作動するように構成して
いる。３８はガイドレール３２に載置しＹ軸方向に移動
自在に取付けたＹ軸テーブルで、このＹ軸テーブル３８
上にＸ軸方向に延びるガイドレール３９が敷設してあ
る。４０はＹ軸駆動モータで、このＹ軸駆動モータ４０
の回転軸にボールネジを有するＹ軸送りねじ４１を連結
している。前記Ｙ軸送りねじ４１に前記Ｙ軸テーブル３
８の裏面に取付けたボールナット（図示せず）が螺合
し、Ｙ軸送りねじ４１の回転によりＹ軸テーブル３８を
Ｙ軸方向に移動するように構成している。４２はトップ
テーブルで、このトップテーブル４２の一方側にＹ軸方
向に延びる溝４３が設けられ、Ｘ軸テーブル３３に設け
た一方のガイドローラ３４をトップテーブル４２の側面
に接触させ、他方のガイドローラ３５を前記溝４３に挿
入している。つぎに、ＸＹテーブルの動作について説明
をする。Ｘ軸駆動モータ３６を駆動すると、このＸ軸駆
動モータ３６の回転軸の軸端に連結したＸ軸送りねじ３
７のボールネジを介してＸ軸テーブル３３がＸ軸方向に
移動するとともに、Ｘ軸テーブル３３上に設けたガイド
ローラ３４、３５を介してトップテーブル４２がＸ軸方
向に移動する。つぎに、Ｙ軸駆動モータ４０を駆動する
と、このＹ軸駆動モータ４０の軸端に連結したＹ軸送り
ネジ４１のボールネジを介してＹ軸テーブル３８がＹ軸
方向に移動する。このＹ軸テーブル３８がＹ軸方向に移
動すると、Ｙ軸テーブル３８上に敷設したガイドレール
３９上のトップテーブル４２がＹ軸テーブルと一体的に
Ｙ軸方向に移動する。このトップテーブル４２がＹ軸方
向に移動すると、Ｘ軸テーブル３３のガイドローラ３
４、３５がトップテーブル４２の側面あるいは溝４３内
を摺動しながらトップテーブル４２を所定の位置に移動
して停止させる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のＸＹ
テーブルは、Ｘ軸駆動モータ３６、Ｙ軸駆動モータ４０
に連結したＸ軸送りねじ３７、Ｙ軸送りねじ４１のボー
ルネジにＸ軸テーブル３３、Ｙ軸テーブル３８の裏面に
取付けたボールナットをねじ結合させてＸ軸テーブル３
３、Ｙ軸テーブル３８を移動させている。このため、ボ
ールネジとボールナットとのネジ結合による誤差によ
り、Ｘ軸テーブル３３およびＹ軸テーブル３８を正確に
位置決めすることができなかった。また、ボールネジの
速度限界によりＸ軸テーブル３３およびＹ軸テーブル３
８を高加減速で移動することができなかった。したがっ
て、Ｘ軸テーブル３３とＹ軸テーブル３８に追随して移
動するトップテーブル４２を正確に位置決めすることが
できず、また、高加減速で移動することができなかっ
た。そこで、本発明は、トップテーブルを、正確に位置
決めできるようにするとともに、高加減速で移動できる
ようにすることを目的とする。
テーブルは、Ｘ軸駆動モータ３６、Ｙ軸駆動モータ４０
に連結したＸ軸送りねじ３７、Ｙ軸送りねじ４１のボー
ルネジにＸ軸テーブル３３、Ｙ軸テーブル３８の裏面に
取付けたボールナットをねじ結合させてＸ軸テーブル３
３、Ｙ軸テーブル３８を移動させている。このため、ボ
ールネジとボールナットとのネジ結合による誤差によ
り、Ｘ軸テーブル３３およびＹ軸テーブル３８を正確に
位置決めすることができなかった。また、ボールネジの
速度限界によりＸ軸テーブル３３およびＹ軸テーブル３
８を高加減速で移動することができなかった。したがっ
て、Ｘ軸テーブル３３とＹ軸テーブル３８に追随して移
動するトップテーブル４２を正確に位置決めすることが
できず、また、高加減速で移動することができなかっ
た。そこで、本発明は、トップテーブルを、正確に位置
決めできるようにするとともに、高加減速で移動できる
ようにすることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明は、ベースに支持されＸ軸方向に移動自在な
Ｘ軸テーブルと、前記ベースに支持されＹ軸方向に移動
自在なＹ軸テーブルと、Ｘ軸テーブルの移動に追随して
Ｘ軸方向に移動自在であるとともに、Ｙ軸テーブルの移
動に追随してＹ軸方向に移動自在のトップテーブルを備
えたＸＹテーブルにおいて、前記Ｘ軸テーブルを支持す
るＸ軸ベースに取付けたリニアモータの電機子と、前記
Ｘ軸テーブルの裏面に設け、前記リニアモータの電機子
に対向する可動子と、前記Ｙ軸テーブルを支持するＹ軸
ベースに取付けたリニアモータの電機子と、前記Ｙ軸テ
ーブルの裏面に設け、前記リニアモータの電機子に対向
する可動子とを設けている。
め、本発明は、ベースに支持されＸ軸方向に移動自在な
Ｘ軸テーブルと、前記ベースに支持されＹ軸方向に移動
自在なＹ軸テーブルと、Ｘ軸テーブルの移動に追随して
Ｘ軸方向に移動自在であるとともに、Ｙ軸テーブルの移
動に追随してＹ軸方向に移動自在のトップテーブルを備
えたＸＹテーブルにおいて、前記Ｘ軸テーブルを支持す
るＸ軸ベースに取付けたリニアモータの電機子と、前記
Ｘ軸テーブルの裏面に設け、前記リニアモータの電機子
に対向する可動子と、前記Ｙ軸テーブルを支持するＹ軸
ベースに取付けたリニアモータの電機子と、前記Ｙ軸テ
ーブルの裏面に設け、前記リニアモータの電機子に対向
する可動子とを設けている。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施例に
基づいて説明をする。図１は、本発明の実施例を示すＸ
Ｙテーブルの平面図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う断面
図、図３は本発明の実施例を示すＸＹテーブルの一部を
断面した側面図である。図において、１はＸ軸ベース
で、このＸ軸ベース１の上面の中央をＸ軸方向に突出部
を設けている。前記Ｘ軸ベース１の突出部には凹部１ａ
が形成され、前記突出部の両側にＸ軸方向に延びるＸ軸
ガイドレール２が取付けてある。前記Ｘ軸ベース１の裏
面にはＸ軸方向に延びる複数個の冷却フィン１ｂが設け
てある。３はＸ軸テーブルで、このＸ軸テーブル３の下
面にＸ軸スライダ４を取付けている。前記Ｘ軸テーブル
３のＸ軸スライダ４は前記Ｘ軸ガイドレール２に係合し
て、Ｘ軸テーブル３をＸ軸方向に移動できるようにして
いる。５はＸ軸テーブル３を駆動するリニアモータで、
このリニアモータ５の電機子６をＸ軸ベース１の上面の
凹部１ａに収納し、可動子７をＸ軸テーブル３の裏面に
取付けている。前記電機子６は櫛歯状の鉄板を積層した
電機子鉄板６ａに電機子巻線６ｂを巻装し、この電機子
巻線６ｂの外周に絶縁樹脂６ｃを充填してＸ軸ベース１
の凹部１ａに収納固定している。前記可動子７はＸ軸テ
ーブル３の裏面に取付けた可動子ヨーク７ａに永久磁石
７ｂを取付けて構成している。前記永久磁石７ｂは相隣
り合う磁極面が異極となるように配置し、前記電機子６
の電機子巻線６ｂのピッチと同じピッチで配置してい
る。８はＸ軸テーブル３とＸ軸ベース１とに設けたリニ
アエンコーダである。９はＸ軸ベース１に取付けたスト
ッパで、前記Ｘ軸テーブル３の側面に当接するようにし
ている。１０は門型に構成したＹ軸ベースで、前記Ｘ軸
ベース１に取付け前記Ｘ軸テーブル３に立体的に交差直
交するように配置している。このＹ軸ベース１０の上面
中央にＹ軸方向に延びる凹部１０ａが設けられ、この凹
部１０ａの両側にＹ軸ガイドレール１１が取付けてあ
る。前記Ｙ軸ベース１０の裏面にＸ軸方向に延びる複数
個の冷却フィン１０ｂが設けてある。１２はＹ軸テーブ
ルで、このＹ軸テーブル１２の下面に取付けたＹ軸スラ
イダ１３を前記ガイドレール１１に係合させてＹ軸テー
ブル１２をＹ軸方向に移動できるようにしている。１４
はＹ軸テーブル１２を駆動するリニアモータで、このリ
ニアモータ１４の電機子１５をＹ軸ベース１０の凹部１
０ａに収納し、可動子１６をＹ軸テーブル１２の裏面に
取付けている。前記電機子１５は櫛歯状の鉄板を積層し
た電機子鉄板１５ａに電機子巻線１５ｂを巻装し、電機
子巻線１５ｂの外周に絶縁樹脂１５ｃを充填して、前記
Ｙ軸ベース１０の凹部１０ａに収納固定している。前記
可動子１６はＹ軸テーブル１２の裏面に取付けた可動子
ヨーク１６ａに永久磁石１６ｂを取付けて構成してい
る。前記永久磁石１６ｂは相隣り合う磁極面が異極とな
るように配置し、前記電機子１５の電機子巻線１５ｂの
ピッチと同じピッチで配置している。１７はＹ軸テーブ
ル１２とＹ軸ベース１０とに設けたリニアエンコーダで
ある。１８はＹ軸ベース１０に取付けたストッパで、前
記Ｙ軸テーブル１２の側面に当接するように構成してい
る。１９はＹ軸テーブル１２上にＸ軸方向に敷設したト
ップテーブルガイドレール、２０はトップテーブルで、
このトップテーブル２０の下面に設けたスライダ２１を
前記トップテーブルガイドレール１９に係合させ、前記
トップテーブル２０をＸ軸方向に移動できるように支持
している。２２はＸ軸テーブル３の上面に設けた支柱
で、この支柱２２に取付けたスライダ２３をトップテー
ブル２０の側面に取付けたガイドレール２４に係合さ
せ、トップテーブル２０をＹ軸方向に移動できるように
支持している。２５はＸ軸ベース１とＹ軸ベース１０と
の間に取付けた冷却ファンで、Ｘ軸ベース１とＹ軸ベー
ス１０に冷却風を送風するようにしてある。つぎに、Ｘ
Ｙテーブルの動作について説明をする。Ｘ軸ベース１に
取付けたリニアモータ５の電機子６の電機子巻線６ｂを
励磁すると、Ｘ軸テーブル３がＸ軸ガイドレール２に沿
ってＸ軸方向に移動する。このＸ軸テーブル３がＸ軸方
向に移動すると、このＸ軸テーブル３の上面に設けた支
柱２２がスライダ２３を介してトップテーブル２０をト
ップテーブルガイドレール１９に沿ってＸ軸方向に移動
する。つぎに、Ｙ軸ベース９に取付けたリニアモータ１
４の電機子１５の電機子巻線１５ｂを励磁すると、Ｙ軸
テーブル１２がガイドレール１１に沿ってＹ軸方向に移
動する。このＹ軸テーブル１２のＹ軸方向への移動にし
たがってトップテーブル２０はＹ軸テーブル１２と一体
にＹ軸方向に移動する。このように、トップテーブル２
０は、Ｘ軸方向に駆動するリニアモータ５によりＸ軸方
向に移動し、Ｙ軸方向に駆動するリニアモータ１４によ
りＹ軸方向に移動する。Ｘ軸テーブル３はリニアモータ
５で、Ｙ軸テーブル１２はリニアモータ１４で移動する
ので、誤差を生じることなく正確に位置決めできる。ま
た、Ｘ軸テーブル３、Ｙ軸テーブル１４を高加減速で移
動できる。前記リニアモータ５、１４の電機子６、１５
の電機子巻線６ｂ、１５ｂからの発熱はそれぞれの電機
子６、１４を取付けているＸ軸ベース１およびＹ軸ベー
ス１０の裏面に設けた冷却フィン１ｂ、１０ｂから放熱
する。さらに、冷却ファン２５を駆動すると、冷却風が
Ｘ軸ベース１の冷却フィン１ｂおよびＹ軸ベース１０の
冷却フィン１０ｂの間を同一方向から流通して冷却フィ
ン１ｂ、１０ｂを冷却してＸ軸ベース１およびＹ軸ベー
ス１０を冷却する。
基づいて説明をする。図１は、本発明の実施例を示すＸ
Ｙテーブルの平面図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う断面
図、図３は本発明の実施例を示すＸＹテーブルの一部を
断面した側面図である。図において、１はＸ軸ベース
で、このＸ軸ベース１の上面の中央をＸ軸方向に突出部
を設けている。前記Ｘ軸ベース１の突出部には凹部１ａ
が形成され、前記突出部の両側にＸ軸方向に延びるＸ軸
ガイドレール２が取付けてある。前記Ｘ軸ベース１の裏
面にはＸ軸方向に延びる複数個の冷却フィン１ｂが設け
てある。３はＸ軸テーブルで、このＸ軸テーブル３の下
面にＸ軸スライダ４を取付けている。前記Ｘ軸テーブル
３のＸ軸スライダ４は前記Ｘ軸ガイドレール２に係合し
て、Ｘ軸テーブル３をＸ軸方向に移動できるようにして
いる。５はＸ軸テーブル３を駆動するリニアモータで、
このリニアモータ５の電機子６をＸ軸ベース１の上面の
凹部１ａに収納し、可動子７をＸ軸テーブル３の裏面に
取付けている。前記電機子６は櫛歯状の鉄板を積層した
電機子鉄板６ａに電機子巻線６ｂを巻装し、この電機子
巻線６ｂの外周に絶縁樹脂６ｃを充填してＸ軸ベース１
の凹部１ａに収納固定している。前記可動子７はＸ軸テ
ーブル３の裏面に取付けた可動子ヨーク７ａに永久磁石
７ｂを取付けて構成している。前記永久磁石７ｂは相隣
り合う磁極面が異極となるように配置し、前記電機子６
の電機子巻線６ｂのピッチと同じピッチで配置してい
る。８はＸ軸テーブル３とＸ軸ベース１とに設けたリニ
アエンコーダである。９はＸ軸ベース１に取付けたスト
ッパで、前記Ｘ軸テーブル３の側面に当接するようにし
ている。１０は門型に構成したＹ軸ベースで、前記Ｘ軸
ベース１に取付け前記Ｘ軸テーブル３に立体的に交差直
交するように配置している。このＹ軸ベース１０の上面
中央にＹ軸方向に延びる凹部１０ａが設けられ、この凹
部１０ａの両側にＹ軸ガイドレール１１が取付けてあ
る。前記Ｙ軸ベース１０の裏面にＸ軸方向に延びる複数
個の冷却フィン１０ｂが設けてある。１２はＹ軸テーブ
ルで、このＹ軸テーブル１２の下面に取付けたＹ軸スラ
イダ１３を前記ガイドレール１１に係合させてＹ軸テー
ブル１２をＹ軸方向に移動できるようにしている。１４
はＹ軸テーブル１２を駆動するリニアモータで、このリ
ニアモータ１４の電機子１５をＹ軸ベース１０の凹部１
０ａに収納し、可動子１６をＹ軸テーブル１２の裏面に
取付けている。前記電機子１５は櫛歯状の鉄板を積層し
た電機子鉄板１５ａに電機子巻線１５ｂを巻装し、電機
子巻線１５ｂの外周に絶縁樹脂１５ｃを充填して、前記
Ｙ軸ベース１０の凹部１０ａに収納固定している。前記
可動子１６はＹ軸テーブル１２の裏面に取付けた可動子
ヨーク１６ａに永久磁石１６ｂを取付けて構成してい
る。前記永久磁石１６ｂは相隣り合う磁極面が異極とな
るように配置し、前記電機子１５の電機子巻線１５ｂの
ピッチと同じピッチで配置している。１７はＹ軸テーブ
ル１２とＹ軸ベース１０とに設けたリニアエンコーダで
ある。１８はＹ軸ベース１０に取付けたストッパで、前
記Ｙ軸テーブル１２の側面に当接するように構成してい
る。１９はＹ軸テーブル１２上にＸ軸方向に敷設したト
ップテーブルガイドレール、２０はトップテーブルで、
このトップテーブル２０の下面に設けたスライダ２１を
前記トップテーブルガイドレール１９に係合させ、前記
トップテーブル２０をＸ軸方向に移動できるように支持
している。２２はＸ軸テーブル３の上面に設けた支柱
で、この支柱２２に取付けたスライダ２３をトップテー
ブル２０の側面に取付けたガイドレール２４に係合さ
せ、トップテーブル２０をＹ軸方向に移動できるように
支持している。２５はＸ軸ベース１とＹ軸ベース１０と
の間に取付けた冷却ファンで、Ｘ軸ベース１とＹ軸ベー
ス１０に冷却風を送風するようにしてある。つぎに、Ｘ
Ｙテーブルの動作について説明をする。Ｘ軸ベース１に
取付けたリニアモータ５の電機子６の電機子巻線６ｂを
励磁すると、Ｘ軸テーブル３がＸ軸ガイドレール２に沿
ってＸ軸方向に移動する。このＸ軸テーブル３がＸ軸方
向に移動すると、このＸ軸テーブル３の上面に設けた支
柱２２がスライダ２３を介してトップテーブル２０をト
ップテーブルガイドレール１９に沿ってＸ軸方向に移動
する。つぎに、Ｙ軸ベース９に取付けたリニアモータ１
４の電機子１５の電機子巻線１５ｂを励磁すると、Ｙ軸
テーブル１２がガイドレール１１に沿ってＹ軸方向に移
動する。このＹ軸テーブル１２のＹ軸方向への移動にし
たがってトップテーブル２０はＹ軸テーブル１２と一体
にＹ軸方向に移動する。このように、トップテーブル２
０は、Ｘ軸方向に駆動するリニアモータ５によりＸ軸方
向に移動し、Ｙ軸方向に駆動するリニアモータ１４によ
りＹ軸方向に移動する。Ｘ軸テーブル３はリニアモータ
５で、Ｙ軸テーブル１２はリニアモータ１４で移動する
ので、誤差を生じることなく正確に位置決めできる。ま
た、Ｘ軸テーブル３、Ｙ軸テーブル１４を高加減速で移
動できる。前記リニアモータ５、１４の電機子６、１５
の電機子巻線６ｂ、１５ｂからの発熱はそれぞれの電機
子６、１４を取付けているＸ軸ベース１およびＹ軸ベー
ス１０の裏面に設けた冷却フィン１ｂ、１０ｂから放熱
する。さらに、冷却ファン２５を駆動すると、冷却風が
Ｘ軸ベース１の冷却フィン１ｂおよびＹ軸ベース１０の
冷却フィン１０ｂの間を同一方向から流通して冷却フィ
ン１ｂ、１０ｂを冷却してＸ軸ベース１およびＹ軸ベー
ス１０を冷却する。
【０００６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、つぎのよ
うな効果がある。 （１） 従来のものはＸ軸テーブルおよびＹ軸テーブル
をボールネジとボールナツトとをねじ結合させて移動し
ているため正確な位置決めができなかったが、本発明は
リニアモータで駆動するので、正確に位置決めすること
ができる。 （２） Ｘ軸テーブルおよびＹ軸テーブルをリニアモー
タで駆動するので、トップテーブルを高加減速で移動す
ることができる。 （３） リニアモータの電機子を収納したＸ軸ベースお
よびリニアモータの電機子を収納したＹ軸ベースの裏面
に冷却フィンを設けたので、電機子巻線からの発生熱を
効果的に放散することができる。
うな効果がある。 （１） 従来のものはＸ軸テーブルおよびＹ軸テーブル
をボールネジとボールナツトとをねじ結合させて移動し
ているため正確な位置決めができなかったが、本発明は
リニアモータで駆動するので、正確に位置決めすること
ができる。 （２） Ｘ軸テーブルおよびＹ軸テーブルをリニアモー
タで駆動するので、トップテーブルを高加減速で移動す
ることができる。 （３） リニアモータの電機子を収納したＸ軸ベースお
よびリニアモータの電機子を収納したＹ軸ベースの裏面
に冷却フィンを設けたので、電機子巻線からの発生熱を
効果的に放散することができる。
【図１】本発明の実施例を示すＸＹテーブルの平面図で
ある。
ある。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】本発明の実施例を示すＸＹテーブルの一部を断
面した側面図である。
面した側面図である。
【図４】従来のＸＹテーブルの平面図である。
１ Ｘ軸ベース、 １ａ 凹部、 １ｂ 冷却フィン、
２ Ｘ軸ガイドレール、 ３ Ｘ軸テーブル、４ Ｘ軸
スライダ、 ５ リニアモータ、 ６ 電機子、６ａ
電機子鉄板、 ６ｂ 電機子巻線、 ６ｃ 絶縁樹脂、
７ 可動子、 ７ａ 可動子ヨーク、 ７ｂ 永久磁
石、８ リニアエンコーダ、 ９ ストッパ、 １０
Ｙ軸ベース、１０ａ 凹部、 １０ｂ 冷却フィン、
１１ Ｙ軸ガイドレール、１２ Ｙ軸テーブル、 １３
Ｙ軸スライダ、 １４ リニアモータ、１５ 電機
子、 １５ａ 電機子鉄板、 １５ｂ 電機子巻線、１
５ｃ 絶縁樹脂、 １６ 可動子、 １６ａ 可動子ヨ
ーク、１６ｂ 永久磁石、 １７ リニアエンコーダ、
１８ ストッパ、１９ トップテーブルガイド、 ２
０ トップテーブル、２１ スライダ、 ２２ 支柱、
２３ スライダ、 ２４ ガイドレール２５ 冷却フ
ァン
２ Ｘ軸ガイドレール、 ３ Ｘ軸テーブル、４ Ｘ軸
スライダ、 ５ リニアモータ、 ６ 電機子、６ａ
電機子鉄板、 ６ｂ 電機子巻線、 ６ｃ 絶縁樹脂、
７ 可動子、 ７ａ 可動子ヨーク、 ７ｂ 永久磁
石、８ リニアエンコーダ、 ９ ストッパ、 １０
Ｙ軸ベース、１０ａ 凹部、 １０ｂ 冷却フィン、
１１ Ｙ軸ガイドレール、１２ Ｙ軸テーブル、 １３
Ｙ軸スライダ、 １４ リニアモータ、１５ 電機
子、 １５ａ 電機子鉄板、 １５ｂ 電機子巻線、１
５ｃ 絶縁樹脂、 １６ 可動子、 １６ａ 可動子ヨ
ーク、１６ｂ 永久磁石、 １７ リニアエンコーダ、
１８ ストッパ、１９ トップテーブルガイド、 ２
０ トップテーブル、２１ スライダ、 ２２ 支柱、
２３ スライダ、 ２４ ガイドレール２５ 冷却フ
ァン
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｂ２３Ｑ 1/14 Ａ (72)発明者 久保田 義昭 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石２番１号 株式会社安川電機内
Claims (3)
- 【請求項１】 ベースに支持されＸ軸方向に移動自在な
Ｘ軸テーブル（３）と、前記ベースに支持されＹ軸方向
に移動自在なＹ軸テーブル（１２）と、Ｘ軸テーブル
（３）の移動に追随してＸ軸方向に移動自在であるとと
もに、Ｙ軸テーブル（１２）の移動に追随してＹ軸方向
に移動自在のトップテーブル（２０）を備えたＸＹテー
ブルにおいて、 前記Ｘ軸テーブル（３）を支持するＸ軸ベース（１）に
取付けたリニアモータの電機子（６）と、 前記Ｘ軸テーブル（３）の裏面に設け、前記リニアモー
タ（５）の電機子（６）に対向する可動子（７）と、 前記Ｙ軸テーブル（１２）を支持するＹ軸ベース（１
０）に取付けたリニアモータ（１４）の電機子（１５）
と、 前記Ｙ軸テーブル（１２）の裏面に設け、前記リニアモ
ータ（１４）の電機子（１５）に対向する可動子（１
６）と、を設けたことを特徴とするＸＹテーブル。 - 【請求項２】 Ｘ軸ベース（１）およびＹ軸ベース（１
０）の背面に冷却フィン（１ｂ）（１０ｂ）を設けた請
求項１記載のＸＹテーブル。 - 【請求項３】 Ｘ軸ベース（１）およびＹ軸ベース（１
０）の側面に冷却ファン（２５）を取付けた請求項１ま
たは２記載のＸＹテーブル。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9178906A JPH1110467A (ja) | 1997-06-18 | 1997-06-18 | Ｘｙテーブル |
| PCT/JP1998/002681 WO1998058387A1 (fr) | 1997-06-18 | 1998-06-17 | Plateau a coordonnees orthonormees |
| US09/446,096 US6244192B1 (en) | 1997-06-18 | 1998-06-17 | XY table |
| KR10-1999-7011840A KR100538303B1 (ko) | 1997-06-18 | 1998-06-17 | Ｘｙ 테이블 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9178906A JPH1110467A (ja) | 1997-06-18 | 1997-06-18 | Ｘｙテーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1110467A true JPH1110467A (ja) | 1999-01-19 |
Family
ID=16056756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9178906A Pending JPH1110467A (ja) | 1997-06-18 | 1997-06-18 | Ｘｙテーブル |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6244192B1 (ja) |
| JP (1) | JPH1110467A (ja) |
| KR (1) | KR100538303B1 (ja) |
| WO (1) | WO1998058387A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0668229A1 (en) * | 1994-02-21 | 1995-08-23 | ISHIDA CO., Ltd. | Monitoring device |
| KR100473924B1 (ko) * | 2001-04-27 | 2005-03-08 | 가부시키가이샤 신가와 | 반도체 제조장치에 있어서의 ｘｙ테이블 |
| JP2007185720A (ja) * | 2006-01-11 | 2007-07-26 | Kitamura Mach Co Ltd | 工作機械 |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3616543B2 (ja) * | 1999-09-10 | 2005-02-02 | 日本電気株式会社 | Ｘｙステージ |
| US7068891B1 (en) | 2002-03-12 | 2006-06-27 | Palomar Technologies, Inc. | System and method for positioning optical fibers |
| US6713903B2 (en) * | 2002-08-15 | 2004-03-30 | Asm Technology Singapore Pte Ltd. | Motor system for positioning a load |
| DE20301895U1 (de) * | 2003-02-06 | 2004-06-09 | Leiner Gmbh | Stanzvorrichtung |
| US20050093502A1 (en) * | 2003-10-31 | 2005-05-05 | Nikon Corporation | Stage with isolated actuators for low vacuum environment |
| JP4875287B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2012-02-15 | セイコーインスツル株式会社 | アクチュエータ及びテーブル装置 |
| JP2005353839A (ja) * | 2004-06-10 | 2005-12-22 | Shinkawa Ltd | ボンディング装置 |
| US20080011912A1 (en) * | 2006-01-09 | 2008-01-17 | Chen-Sung Liao | Adjustable mounting device for mounting an optical engine in a display apparatus |
| TWM316150U (en) * | 2007-01-19 | 2007-08-01 | Yue-Ting Chen | Stage-plane extension structure of multilayered sliding rail in cutter |
| CN102554638B (zh) * | 2010-12-31 | 2016-06-29 | 富泰华工业（深圳）有限公司 | 定位机台 |
| KR101520401B1 (ko) | 2015-01-13 | 2015-05-15 | 재단법인차세대융합기술연구원 | 이동 가능한 테이블 시스템 |
| CN108568788A (zh) * | 2018-07-11 | 2018-09-25 | 南通理工学院 | 一种智能多功能工作台及控制方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61109637A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-28 | Hitachi Ltd | テ−ブル装置 |
| JP2510874B2 (ja) * | 1988-01-29 | 1996-06-26 | キヤノン株式会社 | 精密移動テ―ブル |
| JP2890922B2 (ja) * | 1991-10-14 | 1999-05-17 | 松下電器産業株式会社 | ボンダのｘｙテーブル装置 |
-
1997
- 1997-06-18 JP JP9178906A patent/JPH1110467A/ja active Pending
-
1998
- 1998-06-17 US US09/446,096 patent/US6244192B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-06-17 WO PCT/JP1998/002681 patent/WO1998058387A1/ja active IP Right Grant
- 1998-06-17 KR KR10-1999-7011840A patent/KR100538303B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0668229A1 (en) * | 1994-02-21 | 1995-08-23 | ISHIDA CO., Ltd. | Monitoring device |
| KR100473924B1 (ko) * | 2001-04-27 | 2005-03-08 | 가부시키가이샤 신가와 | 반도체 제조장치에 있어서의 ｘｙ테이블 |
| JP2007185720A (ja) * | 2006-01-11 | 2007-07-26 | Kitamura Mach Co Ltd | 工作機械 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20010013820A (ko) | 2001-02-26 |
| US6244192B1 (en) | 2001-06-12 |
| WO1998058387A1 (fr) | 1998-12-23 |
| KR100538303B1 (ko) | 2005-12-21 |
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