JP2005353839A - ボンディング装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ボンディング装置において、より高速、より高精度を可能にすることである。
【解決手段】ボンディング装置１０は、ほぼ同じ構成のＸモータ部２０及びＹモータ部５０と、これらにＸＹ平面で移動可能な移動テーブル６０を含む。移動テーブル６０には、回転可能なジョイント機構４２，５２でＸモータ部２０及びＹモータ部５０が接続される。Ｘモータ部２０及びＹモータ部５０において、可動子２４の可動コイル３０は軸支機構３６によりＺ軸周りに回転可能に軸支され、軸支機構３６はガイドレール３８とリニアガイド３７からなる案内機構により、軸方向に直動可能に案内される。
【選択図】図１

Description

本発明はボンディング装置に係り、特に、ＸモータとＹモータとによって駆動される移動テーブルにボンディングヘッド部が搭載されるボンディング装置に関する。

ワイヤボンディング装置やダイボンディング装置等では、ボンディング作業を行うボンディングヘッド部を任意の位置に移動させる機構が必要である。従来のボンディング装置におけるボンディングヘッド部の移動機構として、特許文献１に述べられているいわゆる積層型ＸＹテーブル機構が知られている。積層型ＸＹテーブル機構は、ＸモータによってＸ方向に駆動されるＸテーブルと、ＹモータによってＹ方向に駆動されるＹテーブルとが積層して配置される。例えば、Ｘ方向に移動するＸテーブルの上にＹ方向に移動するＹテーブルが積み重ねて配置され、そのＹテーブルの上にボンディングヘッド部が搭載され、この構成により、ＸモータとＹモータを駆動することで、ボンディングヘッド部をＸＹ平面内の任意の位置に移動できる。

特開２００２−３２９７７２号公報

このように積層型ＸＹテーブル機構を用いることでボンディングヘッド部を任意の位置に移動でき、ボンディング作業を行うことができるが、積層構造のために次のような課題がある。

例えば、Ｘテーブルの上をＹテーブル及びボンディングヘッド部がＹ方向に移動する場合では、Ｙテーブルが移動するにつれ、Ｘテーブル上でのＹテーブル及びボンディングヘッド部の重心位置が移動する。このように、Ｙテーブルの位置によってテーブル全体の重心位置と駆動力の作用点の距離が変動する。

また、ＸＹ平面上における重心位置と駆動力の作用点のずれの問題とは別に、積層構造のために、Ｚ方向の重心位置に駆動力を働かせることが困難となる。

このように、従来技術の積層型ＸＹテーブル機構を用いるボンディング装置においては、ボンディングヘッドを搭載する移動テーブルの重心位置と駆動モータの駆動力の作用点とがずれ、あるいは変動する。これに起因して、駆動力の伝達が不十分となり、また、余計な振動や過渡的な変形を生じ、ボンディングヘッドの高速移動や、高精度の位置決めに対して妨げとなることがある。

本発明の目的は、ボンディングヘッド部の移動速度のより高速化を可能にするボンディング装置を提供することである。他の目的は、ボンディングヘッド部の位置決め精度をより向上させるボンディング装置を提供することである。

本発明に係るボンディング装置は、Ｘモータの駆動とＹモータの駆動とによってベース上でＸＹ平面内を任意に移動可能な移動テーブルと、移動テーブルに搭載されるボンディングヘッド部とを含むボンディング装置であって、Ｘモータは、ベースに配置されるＸ固定子と、先端が移動テーブルに設けられるＸジョイント部に軸支され、Ｘ固定子と協働しＸ方向へ駆動されるＸ可動子と、Ｘ可動子をＺ軸周りに回転可能に軸支するＸ軸支部と、Ｘ軸支部をＸ軸方向に直動可能に案内することで、Ｘ軸支部を介しＸ可動子を回転可能に軸支しつつ直動可能に案内するＸ案内部と、を有し、Ｙモータは、ベースに配置されるＹ固定子と、先端が移動テーブルに設けられＹジョイント部に軸支され、Ｙ固定子と協働しＹ方向へ駆動されるＸ可動子と、Ｙ可動子をＺ軸周りに回転可能に軸支するＹ軸支部と、Ｙ軸支部をＹ軸方向に直動可能に案内することで、Ｙ軸支部を介しＹ可動子を回転可能に軸支しつつ直動可能に案内するＹ案内部と、を有することを特徴とする。

また、本発明に係るボンディング装置において、Ｘジョイント部、Ｙジョイント部、Ｘ軸支部、Ｙ軸支部の中の少なくとも１つは、２枚の板ばねを互いに略直交方向に配置し、回転方向のみに自由度を与えるように、各板ばねの両端部を軸支対象の２つの対象物にそれぞれ接続する軸支機構を有することが好ましい。

また、本発明に係るボンディング装置において、ベースに対する移動テーブルの回転を規制する回転規制機構を含むことが好ましい。

また、本発明に係るボンディング装置において、ベースに対し、移動テーブルを流体支持する流体支持機構を含むことが好ましい。

また、Ｘジョイント部及びＹジョイント部は、ボンディングヘッド部を含む移動テーブルの略重心位置に設けられることが好ましい。

また、本発明に係るボンディング装置において、ＸＹ平面内におけるボンディングヘッド部の中立位置の軸方向に対し、Ｘモータの軸方向は略＋４５度の傾きを有し、Ｙモータの軸方向は略−４５度の傾きを有することが好ましい。

上記構成により、ＸモータのＸ可動子は、Ｚ軸周りに回転可能に軸支されつつＸ軸方向に直動でき、その先端は移動テーブルに回転可能に軸支される。また、ＹモータのＹ可動子は、Ｚ軸周りに回転可能に軸支されつつＹ軸方向に直動でき、その先端は移動テーブルに回転可能に軸支される。この構造では、移動テーブルは１つであり、その１つの移動テーブルに、Ｘ可動子の先端とＹ可動子の先端とがそれぞれ軸支される。例えば、Ｘ可動子がＸ方向に駆動されると、その先端が移動テーブルをＸ方向に移動し、そのとき、Ｙ可動子は、移動テーブルに軸支されるＹジョイント部と、Ｙ軸支部との回転機能により回転して移動テーブルの移動に追従できる。Ｙ可動子がＹ方向に駆動されるときも同様である。

したがって、従来技術のように、Ｘモータに駆動されるＸテーブルと、Ｙモータに駆動されるＹテーブルとを積層することなく、１つの移動テーブルをＸモータとＹモータとで駆動してＸＹ平面の任意の位置に移動させることができる。移動テーブルは１つであるので、その上に搭載されるボンディングヘッド部も含めたテーブルの重心位置は固定的であり、Ｘモータの駆動力の作用点、Ｙモータの駆動力の作用点との間の距離が変動することがない。したがって、駆動を常に安定して行うことができ、ボンディングヘッド部の移動速度のより高速化が可能となり、位置決め精度をより向上させることができる。

また、軸支部を２枚の板ばねを略直交方向に配置させ、回転方向のみに自由度を与える軸支部を用いることで、簡単な構成で軸支を行うことができる。

また、回転規制機構を設けるので、ベースに対し移動テーブルの回転が規制される。

また、流体支持機構を設けるので、ベースに対し移動テーブルが流体支持され、移動テーブルの移動負荷を軽減でき、ボンディングヘッド部の移動速度の高速化と、位置決め精度の向上を図ることができる。

また、Ｘモータが移動テーブルに軸支ジョイントされるところ、Ｘモータが移動テーブルに軸支ジョイントされるところは、ボンディングヘッド部を含む移動テーブルの略重心位置とされるので、駆動力の作用点と重心位置とが略一致し、余計な振動や過渡的な変形を生ずることを抑制できる。

また、ボンディングヘッド部の中立位置の軸方向に対し、Ｘモータの軸方向とＹモータの軸方向はそれぞれ反対方向に略４５度の傾きを有するので、ボンディングヘッド部に対し、ＸモータもＹモータも対称的に駆動力を作用させることができ、ボンディングヘッド部に対する見かけ上の推力がＸモータとＹモータの合力となって、１つのモータの推力の約１．４倍にすることができる。ここで、ボンディングヘッド部の中立位置の軸方向とは、通常ボンディングヘッド部は長手軸を有するが、Ｘモータ及びＹモータから駆動力を受けずに中立的な状態におけるボンディングヘッド部の長手軸方向をいう。

以下に図面を用いて本発明に係る実施の形態につき詳細に説明する。以下において、ボンディング装置はワイヤボンディング装置として説明するが、ダイボンディング装置、フェイスダウンボンディング装置等のボンディング装置であってもよい。

図１はワイヤボンディング装置１０の構成図である。ワイヤボンディング装置１０は、ボンディング作業を行う機構部１２と、機構部１２を構成する各要素の動作を全体として制御し、移動テーブル６０に搭載されるボンディングヘッド部７０を用いて所定のボンディング作業を行わせる制御部１４を含む。図２は、機構部１２についての平面図である。

図１、図２において、機構部１２は、Ｘモータ部２０と、Ｙモータ部５０と、Ｘモータ部２０及びＹモータ部５０により駆動され、ＸＹ平面で移動可能な移動テーブル６０と、流体を介して移動テーブル６０を支持するベース部９０を含んで構成される。

Ｘモータ部２０とＹモータ部５０は、ともにほぼ同じ構成要素を有するリニアモータで、その可動子の先端がそれぞれ移動テーブル６０に接続され、Ｘモータ部２０とＹモータ部５０の駆動を制御することで、移動テーブル６０及びボンディングヘッド部７０を図１に示されるＸＹ平面の任意の位置に移動させる機能を有する。Ｘモータ部２０とＹモータ部５０とは先端の移動テーブル６０との接続位置が異なることを除けばほぼ同じであるので、同様の構成要素には同一の符号を付す。以下では、Ｘモータ部２０の構成について主に述べるが、説明におけるＸ方向等をＹ方向等と読み替えることで、Ｙモータ部５０の構成となる。

Ｘモータ部２０は、固定子２２と可動子２４を備え、固定子２２は、ヨーク部２６と永久磁石２８を含む。可動子２４は、固定子２２ヨーク部２６と永久磁石２８とで形成される磁束を横切るように配置される可動コイル３０と、可動コイルに接続される先端部３２とを含む。可動コイル３０には、図示されていない駆動回路に接続され、制御部１４からの駆動信号に応じて駆動電流が流されることで、固定子２２の形成する磁束と相互作用し、図１に示すＸ方向への駆動力が与えられる。

可動コイル３０の外側には、可動リング３４が接続される。可動リング３４は、固定子２２のヨーク部２６の長手軸方向に垂直な面内、すなわち図１に示すＹＺ平面内で、ヨーク部２６外周を周回する形のリング材で、可動コイル３０の外周に適当な接着材等の固定手段で取り付けられる。したがって、可動リング３４は、可動コイル３０とともに移動する。

固定子２２の外側に設けられるガイドレール台４０は、Ｘ方向に延びるガイドレール３８を支持する部材である。ガイドレール台４０は、固定子２２と一定の固定した配置関係で配置される。ガイドレール３８は、固定子２２の上側及び図１では現れていない下側に配置され（参考のため、後述の図４に一部示されている）、リニアガイド３７をＸ方向に移動可能に案内する機能を有する。

リニアガイド３７と可動リング３４との間に設けられる軸支機構３６は、可動リング３４を図１に示すＺ軸周りに回転可能に支持しつつ、リニアガイド３７に接続する機能を有する回転接続部である。したがって、可動リング３４は、軸支機構３６の作用により、リニアガイド３７に沿ってＸ方向に直進運動しながら、Ｚ軸周りに回転することができる。可動リング３４の動きは可動コイル３０、すなわち可動子２２の動きと同じであるので、可動子２４は、Ｘ方向に直進運動しながら、Ｚ軸周りに回転することができることになる。

可動子２４の先端部３２は、可動コイル３０の動きを移動テーブル６０に伝達する機能を有するもので、可動コイル３０に接続され、固定子２２の前面部の開口を通って移動テーブル６０側に延びる板材等で構成することができる。可動子２４と移動テーブル６０とは、ジョイント機構４２によって図１に示すＺ軸周りに回転可能に接続される。すなわち、ジョイント機構４２は、軸支機構と同じである。なお、図１、図２では、Ｘモータ部２０の可動子２４の先端部３２と移動テーブル６０との接続部をジョイント機構４２として示し、Ｙモータ部２０の可動子２４の先端部３２と移動テーブル６０との接続部をジョイント機構５２として示してある。

ジョイント機構４２，５２は、ボンディングヘッド部７０を含む移動テーブル全体の重心位置にできるだけ近接して設けられることが好ましい。また、図２に示されるように、ボンディングヘッド部７０が中立的な位置にあるとき、ボンディングヘッド部７０の軸方向は、Ｘモータ部２０の軸方向と、Ｙモータ部５０の軸方向とほぼ同じ傾きとなるようにすることが好ましい。通常ボンディングヘッド部は、図１、図２に示すように、先端にキャピラリを取り付けた細長いアームを有し、そのアームの長手軸を基準にボンディングヘッド部の位置座標系を考えることが多い。ボンディングヘッド部の中立位置の軸方向とは、Ｘモータ及びＹモータから駆動力を受けずに中立的な状態におけるボンディングヘッド部の長手軸方向、すなわちアーム部の長手軸方向のことである。換言すれば、ボンディングヘッド部７０の細長いアーム部の長手軸方向に対し、Ｘモータ部２０の軸方向は＋４５度の傾きを有し、Ｙモータ部５０の軸方向は−４５度の傾きを有することが好ましい。このようにすることで、Ｘモータ部２０の駆動力の作用点、及びＹモータ部５０の駆動力の作用点とを、移動させたいボンディングヘッド部７０を含む移動テーブル６０全体の重心位置と略一致させることができる。また、ボンディング動作は、ボンディングヘッド部７０の長手軸方向及びそれと直角方向のワイヤ配線が主体的なため、Ｘモータ部２０、Ｙモータ部５０の駆動力の方向をボンディングヘッド部７０の長手軸方向に対しそれぞれ４５度回転させて配置することで、ボンディングヘッド部への推力がＸモータ部２０の駆動力とＹモータ部５０の駆動力の合力となり、１つのモータ部による推力の約１．４倍にすることができる。

軸支機構３６、ジョイント機構４２，５２は、軸と穴の組合せ機構等の一般的な回転支持機構を用いることができる。図３は、２枚の板ばねを互いに略直交方向に配置し、回転方向にのみ自由度を与えるように、各板ばねの両端部を軸支対象の２つの対象物にそれぞれ固定する軸支機構１００を用いる例を示す図である。このような機構は、クロスピボット機構と呼ばれることがある。

図３の軸支機構１００は、相互に回転のみの自由度で動かしたい２つの対象物１０２，１０４について、２枚の板ばね１０６，１０８を用いて接続するものである。２枚の板ばね１０６，１０８は、相互に略９０度の角度をなすように配置したいので、２つの対象物１０２，１０４には、略直交する板ばね１０６，１０８のそれぞれの両端部に接続するように、直交関係を有する接続面１１０，１１１，１１２，１１３が形成される。すなわち、第１の対象物１０２において、一方側の接続面１１０と他方側の接続面１１１とは直交し、第２の対象物１０４において一方側の接続面１１２と他方側の接続面１１３とは直交するように形成される。そして、第１の対象物１０２の一方側の接続面１１０と、第２の対象物１０４の一方側の接続面１１２とは平行となるように、第１の対象物１０２の他方側の接続面１１１と、第２の対象物１０４の他方側の接続面１１３とは平行となるように配置される。その配置関係で、第１の板ばね１０６は、一方端を第１の対象物１０２の一方側の接続面１１０に、他方端を第２の対象物１０４の一方側の接続面１１２に接続される。同様に第２の板ばね１０８は、一方端を第１の対象物１０２の他方側の接続面１１１に、他方端を第２の対象物１０４の他方側の接続面１１３に接続される。

このような構成とすることで、第１の対象物１０２と第２の対象物１０４とは、２枚の板ばね１０６，１０８が直交する面に垂直な軸１２０の周りの回転のみの自由度が与えられる。かかる構成の軸支機構１００において、第１の対象物１０２を可動リング３４とし、第２の対象物１０４をリニアガイド３７とすれば、簡単な構成で、図１、図２に示す軸支機構３６に用いることができる。また、第１の対象物１０２を可動子２４の先端部３２とし、第２の対象物１０４を移動テーブル６０とすれば、簡単な構成で、図１、図２に示すジョイント機構４２，５２に用いることができる。

図１、図２に戻り、移動テーブル６０は、ボンディングヘッド部７０を搭載し、ベース部９０上でＸＹ平面内を任意に移動できるテーブルで、より具体的には、Ｘモータ部２０の可動子２４の先端部３２、Ｙモータ部５０の可動子２４の先端部３２により駆動されるテーブルである。図４は、図２のＡ−Ａ線に沿った断面図、すなわちＸモータ部２０の長手方向の断面と移動テーブル６０周りの断面を示す図である。

移動テーブル６０は、スタンド６２が板状テーブル６４の上に略垂直に立てられている構造を有している。スタンド６２は、その一部の面でＸモータ部２０の可動子２４の先端部３２とジョイント機構４２により接続される部材である。スタンド６２はまた、先端にボンディング作業のためのキャピラリ７２を有するボンディングヘッド部７０が取り付けられる部材でもある。ジョイント機構４２は、ボンディングヘッド部７０を含む移動テーブル６０全体の３次元の重心位置の近傍に設けられることが好ましい。すなわち、ＸＹ平面内の重心位置のみならず、Ｚ方向の重心位置の近傍に設けられることが好ましい。こうすることで、Ｘモータ部２０の駆動力の作用点、及びＹモータ部５０の駆動力の作用点とを、移動させたいボンディングヘッド部７０を含む移動テーブル６０全体の３次元の重心位置と略一致させることができる。これにより、ボンディングヘッド部７０の高速移動、高精度位置決めが可能となる。

板状テーブル６４は、ベース部９０との間で、流体支持機構６６により浮上しながらＸＹ平面内で移動することができる部材である。流体支持機構６６を形成する板状テーブル６４の下面と、ベース部９０の上面は、ともに平坦に加工されることが好ましい。そして、流体支持機構６６は、図示されていない気体圧発生部からの加圧気体がベース部９０と板状テーブル６４の隙間に供給されて、板状テーブル６４がベース部９０に対し浮上し、一方で図示されていない真空装置により、ベース部９０と板状テーブル６４の隙間を吸引することで、適当な隙間を維持することができる。流体支持機構６６を用いることで、移動テーブルの負荷を軽減でき、高精度の位置決めが可能となる。

回転規制機構８０は、移動テーブル６０がＸＹ平面内で回転しないように規制する機能を有する。回転規制機構８０の具体的構成を図５に示す。ここで、Ｘモータ部２０の軸方向とＹモータ部５０の軸方向は、ボンディングヘッド部７０の軸方向と略４５度傾いているので、図５では、図１に示すＸ方向、Ｙ方向と４５度傾いているＸ'方向及びＹ'方向を用いて、移動テーブル６０の回転規制について説明する。回転規制機構８０は、規制上板８２と規制下板８４とを有し、移動テーブル６０の板状テーブル６４と規制上板８２との間で図５に示すＸ'方向の移動のみを可能とし、規制上板８２と規制下板８４との間で図５に示すＹ'方向の移動のみを可能として、全体として、移動テーブルの板状テーブル６４の動きをＸ'方向及びＹ'方向にのみ可能とし、余計な回転を起こさないように規制する機構である。規制下板８４は、ベース部９０に対し固定した位置関係に配置される。

具体的には、板状テーブル６４の上面にＸ'方向に沿ってガイドレール８５が配置され、これに対応して、規制上板８２の下面にＸ'方向の案内方向を有するリニアガイド８６が設けられる。また、規制下板８４の上面にＹ'方向に沿ってガイドレール８７が配置され、これに対応して、規制上板８２の下面にＹ'方向の案内方向を有するリニアガイド８８が設けられる。このようにして、移動テーブル６０の回転を規制することができる。

再び図１に戻り、制御部１４は、Ｘモータ部２０と、Ｙモータ部５０と、ボンディングヘッド部７０の図示されていないＺモータとに指示を与え、ボンディング作業のために、ボンディングヘッド部７０の先端のキャピラリ７２を、任意のＸＹＺの位置に移動させる移動制御機能と、ボンディングヘッド部７０に指示を与え、図示されていないトランスデューサからボンディングのためのエネルギをキャピラリに与える機能と、これらを所定のシーケンスに従って処理し、連続したボンディング作業を行わせるシーケンス処理機能等を有する。移動制御機能を実行するとき、図示されていない位置センサからの位置情報をフィードバックすることが好ましい。

かかる構成のボンディング装置１０の作用を以下に説明する。一例として、ボンディングヘッド部７０を、図１に示す＋Ｘ方向に任意の量ΔＸだけ移動する場合を取り上げる。このとき、まず制御部１４より、ΔＸに対応する駆動信号が図示されていない駆動回路に出され、駆動回路からΔＸに対応する駆動電流がＸモータ部２０に供給される。具体的には、可動コイル３０に駆動電流が供給され、これに応じ、可動子２４は固定子２２に対し＋ΔＸだけ移動する。すなわち、可動子２４の先端部３２は、ジョイント機構４２を介して、移動テーブル６０のスタンド６２を＋ΔＸだけ移動させる。このとき、スタンド６２とともに板状テーブル６４は、回転規制機構８０の規制の下で、流体支持機構６６に流体支持されて、ベース部９０上を浮上しつつ滑らかに＋ΔＸだけ移動する。

このとき、スタンド６２にジョイント機構５２により回転可能に接続されるＹモータ部５０の可動子２４の先端部３２もまた、＋ΔＸだけ移動しようとする。しかし、Ｙモータ部５０には制御部１４から移動指令が出ていないので、単に、Ｙモータ部５０の軸支機構３６を中心に回転できるだけである。すなわち、スタンド６２が＋Ｘ方向に押されるのに対応し、Ｙモータ部５０の可動子２４は、軸支機構３６を中心として、図１の紙面上で時計方向に回転する。したがって、わずかにＹ方向の位置がずれることになるが、実際には、位置センサにより、位置指令値と、移動テーブル６０の実際の位置とは常にフィードバックされるので、このようなずれは直ちに補正され、所望の（＋ΔＸ，０）の移動が達成される。

ボンディングヘッド部７０を、図１に示す＋Ｙ方向に任意の量ΔＹだけ移動する場合も同様である。また、Ｘモータ部２０とＹモータ部５０とを同時に移動制御することもできる。このようにして、ボンディングヘッド部７０をＸＹ平面の任意の位置に移動させることができる。

上記のように、ＸモータとＹモータとを用い、各モータの可動子をＺ軸周りに回転可能に軸支しつつ軸方向に移動可能とし、各モータの可動子の先端をそれぞれ回転可能なジョイントで移動テーブルに接続することで、１つの移動テーブルを積層構造とせずに、ＸＹ平面内の任意の位置に移動させることができる。また、また、各モータ部の駆動力の作用点を移動テーブル全体の重心位置の近傍にできる。したがって、駆動力の伝達が効率的に行われ、余分な振動や変形を抑制でき、ボンディングヘッド部の高速移動、高精度の位置決めを可能にする。

本発明に係る実施の形態におけるボンディング装置の構成図である。 本発明に係る実施の形態におけるボンディング装置の機構部の平面図である。 ２枚の板ばねを互いに略直交方向に配置し、回転方向にのみ自由度を与える軸支機構を示す図である。 図２のＡ−Ａ線に沿った断面図である。 本発明に係る実施の形態における回転規制機構の構成を示す図である。

符号の説明

１０ ワイヤボンディング装置、１２ 機構部、１４ 制御部、２０ Ｘモータ部、２２ 固定子、２４ 可動子、２６ ヨーク部、２８ 永久磁石、３０ 可動コイル、３２ 先端部、３４ 可動リング、３６，１００ 軸支機構、３７，８６，８８ リニアガイド、３８，８５，８７ ガイドレール、４０ ガイドレール台、４２，５２ ジョイント機構、５０ Ｙモータ部、６０ 移動テーブル、６２ スタンド、６４ 板状テーブル、６６ 流体支持機構、７０ ボンディングヘッド部、７２ キャピラリ、８０ 回転規制機構、８２ 規制上板、８４ 規制下板、９０ ベース部、１０２，１０４ 対象物、１０６，１０８ 板ばね、１１０，１１１，１１２，１１３ 接続面、１２０ 回転軸。

Claims (6)

1. Ｘモータの駆動とＹモータの駆動とによってベース上でＸＹ平面内を任意に移動可能な移動テーブルと、移動テーブルに搭載されるボンディングヘッド部とを含むボンディング装置であって、
   Ｘモータは、
   ベースに配置されるＸ固定子と、
   先端が移動テーブルに設けられるＸジョイント部に軸支され、Ｘ固定子と協働しＸ方向へ駆動されるＸ可動子と、
   Ｘ可動子をＺ軸周りに回転可能に軸支するＸ軸支部と、
   Ｘ軸支部をＸ軸方向に直動可能に案内することで、Ｘ軸支部を介しＸ可動子を回転可能に軸支しつつ直動可能に案内するＸ案内部と、
   を有し、
   Ｙモータは、
   ベースに配置されるＹ固定子と、
   先端が移動テーブルに設けられＹジョイント部に軸支され、Ｙ固定子と協働しＹ方向へ駆動されるＸ可動子と、
   Ｙ可動子をＺ軸周りに回転可能に軸支するＹ軸支部と、
   Ｙ軸支部をＹ軸方向に直動可能に案内することで、Ｙ軸支部を介しＹ可動子を回転可能に軸支しつつ直動可能に案内するＹ案内部と、
   を有することを特徴とするボンディング装置。
2. 請求項１に記載のボンディング装置において、
   Ｘジョイント部、Ｙジョイント部、Ｘ軸支部、Ｙ軸支部の中の少なくとも１つは、
   ２枚の板ばねを互いに略直交方向に配置し、回転方向のみに自由度を与えるように、各板ばねの両端部を軸支対象の２つの対象物にそれぞれ接続する軸支機構を有することを特徴とするボンディング装置。
3. 請求項１に記載のボンディング装置において、
   ベースに対する移動テーブルの回転を規制する回転規制機構を含むことを特徴とするボンディング装置。
4. 請求項１に記載のボンディング装置において、
   ベースに対し、移動テーブルを流体支持する流体支持機構を含むことを特徴とするボンディング装置。
5. 請求項１に記載のボンディング装置において、
   Ｘジョイント部及びＹジョイント部は、ボンディングヘッド部を含む移動テーブルの略重心位置に設けられることを特徴とするボンディング装置。
6. 請求項１に記載のボンディング装置において、
   ＸＹ平面内におけるボンディングヘッド部の中立位置の軸方向に対し、Ｘモータの軸方向は略＋４５度の傾きを有し、Ｙモータの軸方向は略−４５度の傾きを有することを特徴とするボンディング装置。
   
   

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