JP2005353839A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. Ｘモータの駆動とＹモータの駆動とによってベース上でＸＹ平面内を任意に移動可能な移動テーブルと、移動テーブルに搭載されるボンディングヘッド部とを含むボンディング装置であって、
   Ｘモータは、
   ベースに配置されるＸ固定子と、
   先端が移動テーブルに設けられるＸジョイント部に軸支され、Ｘ固定子と協働しＸ方向へ駆動されるＸ可動子と、
   Ｘ可動子をＺ軸周りに回転可能に軸支するＸ軸支部と、
   Ｘ軸支部をＸ軸方向に直動可能に案内することで、Ｘ軸支部を介しＸ可動子を回転可能に軸支しつつ直動可能に案内するＸ案内部と、
   を有し、
   Ｙモータは、
   ベースに配置されるＹ固定子と、
   先端が移動テーブルに設けられＹジョイント部に軸支され、Ｙ固定子と協働しＹ方向へ駆動されるＹ可動子と、
   Ｙ可動子をＺ軸周りに回転可能に軸支するＹ軸支部と、
   Ｙ軸支部をＹ軸方向に直動可能に案内することで、Ｙ軸支部を介しＹ可動子を回転可能に軸支しつつ直動可能に案内するＹ案内部と、
   を有することを特徴とするボンディング装置。
2. 請求項１に記載のボンディング装置において、
   Ｘジョイント部、Ｙジョイント部、Ｘ軸支部、Ｙ軸支部の中の少なくとも１つは、
   ２枚の板ばねを互いに略直交方向に配置し、回転方向のみに自由度を与えるように、各板ばねの両端部を軸支対象の２つの対象物にそれぞれ接続する軸支機構を有することを特徴とするボンディング装置。
3. 請求項１に記載のボンディング装置において、
   ベースに対する移動テーブルの回転を規制する回転規制機構を含むことを特徴とするボンディング装置。
4. 請求項１に記載のボンディング装置において、
   ベースに対し、移動テーブルを流体支持する流体支持機構を含むことを特徴とするボンディング装置。
5. 請求項１に記載のボンディング装置において、
   Ｘジョイント部及びＹジョイント部は、ボンディングヘッド部を含む移動テーブルの略重心位置に設けられることを特徴とするボンディング装置。
6. 請求項１に記載のボンディング装置において、
   ＸＹ平面内におけるボンディングヘッド部の中立位置の軸方向に対し、Ｘモータの軸方向は略＋４５度の傾きを有し、Ｙモータの軸方向は略−４５度の傾きを有することを特徴とするボンディング装置。