JPH11114745A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH11114745A JPH11114745A JP30368697A JP30368697A JPH11114745A JP H11114745 A JPH11114745 A JP H11114745A JP 30368697 A JP30368697 A JP 30368697A JP 30368697 A JP30368697 A JP 30368697A JP H11114745 A JPH11114745 A JP H11114745A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空チャンバ内で作動する搬送装置を冷却し
て熱変形による位置決め精度の低下および固定子のコイ
ルの焼損をなくする。 【解決手段】真空チャンバ１内のベース２上にＸ軸ガイ
ドレール３を介して設けられたＸ軸テーブル４と、Ｘ軸
ガイドレール３の間に設けた固定子６とＸ軸テーブル４
の下面に設けた可動子７とにより形成されたＸ軸リニア
モータ５と、Ｘ軸テーブル４上に設けたＹ軸ガイドレー
ル８を介して設けられたＹ軸テーブル９と、Ｙ軸ガイド
レール８の間に設けた固定子１１とＹ軸テーブル９の下
面に設けた可動子１２とにより形成されたＹ軸リニアモ
ータ１０を備えた搬送装置において、Ｘ軸ガイドレール
３と平行にした部分をベース２に埋設した循環路１３
と、循環路１３近傍のベース２の上面にけた受熱面２ａ
と、受熱面２ａに対向するＸ軸テーブル４の下面に設け
た放熱面４ｂとを備えている。したがって、真空チャン
バ１内の搬送装置を冷却して固定子のコイルの焼損をな
くする。
て熱変形による位置決め精度の低下および固定子のコイ
ルの焼損をなくする。 【解決手段】真空チャンバ１内のベース２上にＸ軸ガイ
ドレール３を介して設けられたＸ軸テーブル４と、Ｘ軸
ガイドレール３の間に設けた固定子６とＸ軸テーブル４
の下面に設けた可動子７とにより形成されたＸ軸リニア
モータ５と、Ｘ軸テーブル４上に設けたＹ軸ガイドレー
ル８を介して設けられたＹ軸テーブル９と、Ｙ軸ガイド
レール８の間に設けた固定子１１とＹ軸テーブル９の下
面に設けた可動子１２とにより形成されたＹ軸リニアモ
ータ１０を備えた搬送装置において、Ｘ軸ガイドレール
３と平行にした部分をベース２に埋設した循環路１３
と、循環路１３近傍のベース２の上面にけた受熱面２ａ
と、受熱面２ａに対向するＸ軸テーブル４の下面に設け
た放熱面４ｂとを備えている。したがって、真空チャン
バ１内の搬送装置を冷却して固定子のコイルの焼損をな
くする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置な
ど真空中において稼働する搬送装置に関する。
ど真空中において稼働する搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空装置内の搬送装置は、図３に
示すように構成されている。図において、３０は真空チ
ャンバで、この真空チャンバ３０内に搬送装置のテーブ
ル３１が載置されている。３２はテーブル３１上にＸ軸
方向に敷設されたＸ軸ガイドレール、３３は前記Ｘ軸ガ
イドレール３２に載置されたＸ軸テーブルで、Ｘ軸方向
にＸ軸ガイドレール３２に沿って移動できるように構成
している。３４は前記Ｘ軸テーブル３３を駆動するＸ軸
リニアモータで、そのＸ軸リニアモータ３４の固定子３
５をＸ軸ガイドレール３２間に取付け、可動子３６を前
記固定子３５に対向させて前記Ｘ軸テーブル３３の下面
に取付けている。３７はＸ軸テーブル３３上に載置さ
れ、Ｙ軸方向に敷設されたＹ軸ガイドレール、３８は前
記Ｙ軸ガイドレール３７に載置されたＹ軸テーブルで、
Ｙ軸方向にＹ軸ガイドレール３７に沿って移動できるよ
うに構成している。３９は前記Ｙ軸テーブル３８を駆動
するＹ軸リニアモータで、そのＹ軸リニアモータ３９の
固定子４０をＹ軸ガイドレール３７間に取付け、可動子
４１を前記固定子４０に対向させて前記Ｙ軸テーブル３
８の下面に取付けている。つぎに、このよう構成した搬
送装置の動作について説明する。Ｘ軸リニアモータ３４
の固定子３５を励磁すると、Ｘ軸テーブル３３がＸ軸ガ
イドレール３２に沿ってＸ軸方向に移動する。つぎに、
Ｙ軸リニアモータ３９の固定子４０を励磁すると、Ｙ軸
テーブル３８がＹ軸ガイドレール３７に沿ってＹ軸方向
に移動して、Ｙ軸テーブル３８に載置した搬送物を所定
位置に搬送して、停止する。
示すように構成されている。図において、３０は真空チ
ャンバで、この真空チャンバ３０内に搬送装置のテーブ
ル３１が載置されている。３２はテーブル３１上にＸ軸
方向に敷設されたＸ軸ガイドレール、３３は前記Ｘ軸ガ
イドレール３２に載置されたＸ軸テーブルで、Ｘ軸方向
にＸ軸ガイドレール３２に沿って移動できるように構成
している。３４は前記Ｘ軸テーブル３３を駆動するＸ軸
リニアモータで、そのＸ軸リニアモータ３４の固定子３
５をＸ軸ガイドレール３２間に取付け、可動子３６を前
記固定子３５に対向させて前記Ｘ軸テーブル３３の下面
に取付けている。３７はＸ軸テーブル３３上に載置さ
れ、Ｙ軸方向に敷設されたＹ軸ガイドレール、３８は前
記Ｙ軸ガイドレール３７に載置されたＹ軸テーブルで、
Ｙ軸方向にＹ軸ガイドレール３７に沿って移動できるよ
うに構成している。３９は前記Ｙ軸テーブル３８を駆動
するＹ軸リニアモータで、そのＹ軸リニアモータ３９の
固定子４０をＹ軸ガイドレール３７間に取付け、可動子
４１を前記固定子４０に対向させて前記Ｙ軸テーブル３
８の下面に取付けている。つぎに、このよう構成した搬
送装置の動作について説明する。Ｘ軸リニアモータ３４
の固定子３５を励磁すると、Ｘ軸テーブル３３がＸ軸ガ
イドレール３２に沿ってＸ軸方向に移動する。つぎに、
Ｙ軸リニアモータ３９の固定子４０を励磁すると、Ｙ軸
テーブル３８がＹ軸ガイドレール３７に沿ってＹ軸方向
に移動して、Ｙ軸テーブル３８に載置した搬送物を所定
位置に搬送して、停止する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の真空
装置内の搬送装置は、真空チャンバ３０において発生し
たＸ軸リニアモータ３４あるいはＹ軸リニアモータ３９
から発生した熱は周囲に空気がないため放熱できず、搬
送装置取付け部から真空チャンバへの熱伝導しか熱の逃
げ場がない。しかし、搬送装置のＸ軸テーブル３３ある
いはＹ軸テーブル３８はリニアガイドで支持されてお
り、リニアガイドはボールあるいはコロを介して支持さ
れているため、伝熱面積はボールあるいはコロとこれら
軌道面との接触面積が極めて小さいため、真空チャンバ
等の壁面への熱伝導効果は小さく搬送装置の可動部で発
生した熱は無限に蓄積されてしまう。このため、リニア
ガイドが熱変形を生じ機械精度に悪影響をもたらすほ
か、Ｘ軸リニアモータ３４あるいはＹ軸リニアモータ３
９の固定子３５、４０のコイルを焼損するという問題が
あった。そこで、本発明は真空チャンバ内で作動する搬
送装置の可動部を冷却し、搬送装置の位置決め精度を低
下することなく、Ｘ軸リニアモータあるいはＹ軸リニア
モータの固定子のコイルを焼損しないようにすることを
目的とする。
装置内の搬送装置は、真空チャンバ３０において発生し
たＸ軸リニアモータ３４あるいはＹ軸リニアモータ３９
から発生した熱は周囲に空気がないため放熱できず、搬
送装置取付け部から真空チャンバへの熱伝導しか熱の逃
げ場がない。しかし、搬送装置のＸ軸テーブル３３ある
いはＹ軸テーブル３８はリニアガイドで支持されてお
り、リニアガイドはボールあるいはコロを介して支持さ
れているため、伝熱面積はボールあるいはコロとこれら
軌道面との接触面積が極めて小さいため、真空チャンバ
等の壁面への熱伝導効果は小さく搬送装置の可動部で発
生した熱は無限に蓄積されてしまう。このため、リニア
ガイドが熱変形を生じ機械精度に悪影響をもたらすほ
か、Ｘ軸リニアモータ３４あるいはＹ軸リニアモータ３
９の固定子３５、４０のコイルを焼損するという問題が
あった。そこで、本発明は真空チャンバ内で作動する搬
送装置の可動部を冷却し、搬送装置の位置決め精度を低
下することなく、Ｘ軸リニアモータあるいはＹ軸リニア
モータの固定子のコイルを焼損しないようにすることを
目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明は、真空チャンバ内に設置されたベース
と、前記ベース上に固定されたＸ軸ガイドレールと、前
記Ｘ軸ガイドレールに載置されたＸ軸テーブルと、前記
Ｘ軸ガイドレール間に設けられた固定子と前記Ｘ軸テー
ブの下面に前記固定子に対向させて設けた可動子を有す
るＸ軸リニアモータと、前記Ｘ軸テーブル上に敷設され
たＹ軸ガイドレールと、前記Ｙ軸ガードレール上に載置
されたＹ軸テーブルと、前記Ｙ軸ガイドレール間に設け
られた固定子と前記Ｙ軸テーブルの下面に前記固定子に
対向させて設けた可動子を有するＹ軸リニアモータとを
備えた搬送装置において、前記Ｘ軸ガイドレールと平行
にした部分を前記ベースに埋設した冷媒の循環路と、前
記循環路近傍の前記ベースの上面に設けた受熱面と、前
記受熱面に対向する前記Ｘ軸テーブルの下面に設けた放
熱面とを備えている。
めに、本発明は、真空チャンバ内に設置されたベース
と、前記ベース上に固定されたＸ軸ガイドレールと、前
記Ｘ軸ガイドレールに載置されたＸ軸テーブルと、前記
Ｘ軸ガイドレール間に設けられた固定子と前記Ｘ軸テー
ブの下面に前記固定子に対向させて設けた可動子を有す
るＸ軸リニアモータと、前記Ｘ軸テーブル上に敷設され
たＹ軸ガイドレールと、前記Ｙ軸ガードレール上に載置
されたＹ軸テーブルと、前記Ｙ軸ガイドレール間に設け
られた固定子と前記Ｙ軸テーブルの下面に前記固定子に
対向させて設けた可動子を有するＹ軸リニアモータとを
備えた搬送装置において、前記Ｘ軸ガイドレールと平行
にした部分を前記ベースに埋設した冷媒の循環路と、前
記循環路近傍の前記ベースの上面に設けた受熱面と、前
記受熱面に対向する前記Ｘ軸テーブルの下面に設けた放
熱面とを備えている。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下本発明を図に示す実施例につ
いて説明する。図１は本発明の第１の実施例を示すもの
で、（ａ）は搬送装置の斜視図、（ｂ）は要部の拡大断
面図である。図において、１は真空チャンバで、この真
空チャンバ１内に搬送装置のベース２が載置されてい
る。前記ベース２上にＸ軸ガイドレール３が敷設され、
このＸ軸ガイドレール３上にＸ軸テーブル４がＸ軸方向
に移動しうるように取付けられている。５はＸ軸テーブ
ル４を駆動するＸ軸リニアモータで、そのＸ軸リニアモ
ータ５の固定子６をＸ軸ガイドレール３間に取付け、可
動子７を前記固定子６に対向させて前記Ｘ軸テーブル４
の下面に取付けている。８はＹ軸ガイドレールで、前記
Ｘテーブル４上にＹ軸方向に敷設している。９は前記Ｙ
軸ガイドレール８に載置したＹ軸テーブルで、このＹ軸
テーブル８上に搬送物を載置してＹ軸方向に移動できる
ようにしてある。１０はＹ軸テーブル９を駆動するＹ軸
リニアモータで、そのＹ軸リニアモータ１０の固定子１
１をＹ軸ガイドレール８間に取付け、可動子１２を前記
固定子１１に対向させてＹ軸テーブール９の下面に取付
けている。前記固定子１１はＸテーブル４に設けた凹部
４ａに嵌め込み、Ｘテーブル４の下面に放熱面４ｂを設
け、この放熱面４ｂを前記ベース２に埋設した循環路１
３の両側に形成した受熱面２ａに対向させてある。１４
は前記循環路１３に接続する管路で、真空チャンバ１の
壁面に取付けた管路継ぎ手１４を介して真空チャンバ１
外に導出してある。１５は前記循環路１３に接続し循環
路１３内を流通する冷媒を冷却する冷却手段、１６は前
記循環路１３に接続し循環路内の冷媒を圧送する循環手
段である。このように構成された搬送装置のＸ軸リニア
モータ５の固定子６を励磁すると、Ｘ軸テーブル４がＸ
軸ガイドレール３に沿ってＸ軸方向に移動する。さら
に、Ｙ軸リニアモータ１０の固定子１１を励磁すると、
Ｙ軸テーブル９がＹ軸ガイドレール８に沿ってＹ軸方向
に移動してＹ軸テーブル９上の搬送物を所定位置に搬送
する。前記Ｘ軸リニアモータ５あるいはＹ軸リニアモー
タ１０を励磁するとＸ軸リニアモータ５の固定子６ある
いはＹ軸リニアモータ１０の固定子１１に損失熱が発生
する。この損失熱はＸ軸テーブル４を伝導して放熱面４
ｂからこの放熱面４ｂに対向するベース２の受熱面２ａ
に損失熱を熱放射により放出する。受熱面２ａには循環
路９が設けられ、この循環路９を流れる冷媒により受熱
面２ａが冷却される。このように固定子６、１１で発生
した損失熱をＸ軸テーブル４を伝導して放熱面４ｂから
受熱面２ａに放射して冷却するので固定子６、１１のコ
イルの焼損がなく、ガイドレールが熱変形を生じなく、
機械精度を低下することがない。図２は、本発明の第２
の実施例を示すもので、放熱面４ｂに複数の凹部４ｃお
よび受熱面２ａに複数の凸部２ｂを形成することで対向
面積を増大させて冷却効果を向上している。
いて説明する。図１は本発明の第１の実施例を示すもの
で、（ａ）は搬送装置の斜視図、（ｂ）は要部の拡大断
面図である。図において、１は真空チャンバで、この真
空チャンバ１内に搬送装置のベース２が載置されてい
る。前記ベース２上にＸ軸ガイドレール３が敷設され、
このＸ軸ガイドレール３上にＸ軸テーブル４がＸ軸方向
に移動しうるように取付けられている。５はＸ軸テーブ
ル４を駆動するＸ軸リニアモータで、そのＸ軸リニアモ
ータ５の固定子６をＸ軸ガイドレール３間に取付け、可
動子７を前記固定子６に対向させて前記Ｘ軸テーブル４
の下面に取付けている。８はＹ軸ガイドレールで、前記
Ｘテーブル４上にＹ軸方向に敷設している。９は前記Ｙ
軸ガイドレール８に載置したＹ軸テーブルで、このＹ軸
テーブル８上に搬送物を載置してＹ軸方向に移動できる
ようにしてある。１０はＹ軸テーブル９を駆動するＹ軸
リニアモータで、そのＹ軸リニアモータ１０の固定子１
１をＹ軸ガイドレール８間に取付け、可動子１２を前記
固定子１１に対向させてＹ軸テーブール９の下面に取付
けている。前記固定子１１はＸテーブル４に設けた凹部
４ａに嵌め込み、Ｘテーブル４の下面に放熱面４ｂを設
け、この放熱面４ｂを前記ベース２に埋設した循環路１
３の両側に形成した受熱面２ａに対向させてある。１４
は前記循環路１３に接続する管路で、真空チャンバ１の
壁面に取付けた管路継ぎ手１４を介して真空チャンバ１
外に導出してある。１５は前記循環路１３に接続し循環
路１３内を流通する冷媒を冷却する冷却手段、１６は前
記循環路１３に接続し循環路内の冷媒を圧送する循環手
段である。このように構成された搬送装置のＸ軸リニア
モータ５の固定子６を励磁すると、Ｘ軸テーブル４がＸ
軸ガイドレール３に沿ってＸ軸方向に移動する。さら
に、Ｙ軸リニアモータ１０の固定子１１を励磁すると、
Ｙ軸テーブル９がＹ軸ガイドレール８に沿ってＹ軸方向
に移動してＹ軸テーブル９上の搬送物を所定位置に搬送
する。前記Ｘ軸リニアモータ５あるいはＹ軸リニアモー
タ１０を励磁するとＸ軸リニアモータ５の固定子６ある
いはＹ軸リニアモータ１０の固定子１１に損失熱が発生
する。この損失熱はＸ軸テーブル４を伝導して放熱面４
ｂからこの放熱面４ｂに対向するベース２の受熱面２ａ
に損失熱を熱放射により放出する。受熱面２ａには循環
路９が設けられ、この循環路９を流れる冷媒により受熱
面２ａが冷却される。このように固定子６、１１で発生
した損失熱をＸ軸テーブル４を伝導して放熱面４ｂから
受熱面２ａに放射して冷却するので固定子６、１１のコ
イルの焼損がなく、ガイドレールが熱変形を生じなく、
機械精度を低下することがない。図２は、本発明の第２
の実施例を示すもので、放熱面４ｂに複数の凹部４ｃお
よび受熱面２ａに複数の凸部２ｂを形成することで対向
面積を増大させて冷却効果を向上している。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、真空
チャンバ内で作動する搬送装置に発生した損失熱を、放
熱面から受熱面へさらに受熱面近傍に流れる冷媒へ熱伝
導と熱放射を利用して伝えるので、搬送装置に発生する
損失熱を効果的に冷却でき、位置決め精度を低下するこ
となく、また固定子のコイルの焼損を防ぐことができ
る。
チャンバ内で作動する搬送装置に発生した損失熱を、放
熱面から受熱面へさらに受熱面近傍に流れる冷媒へ熱伝
導と熱放射を利用して伝えるので、搬送装置に発生する
損失熱を効果的に冷却でき、位置決め精度を低下するこ
となく、また固定子のコイルの焼損を防ぐことができ
る。
【図１】 本発明の第１の実施例を示すもので、（ａ）
は搬送装置の斜視図、（ｂ）は搬送装置の要部拡大図で
ある。
は搬送装置の斜視図、（ｂ）は搬送装置の要部拡大図で
ある。
【図２】 本発明の第２の実施例を示す搬送装置の要部
拡大図である。
拡大図である。
【図３】 従来例を示す搬送装置の斜視図である。
１ ベース、 ２ ベース、 ２ａ 受熱面、 ３ Ｘ
軸ガイドレール、４ Ｘ軸テーブル、 ４ａ 放熱面、
５ Ｘ軸リニアモータ、６ 固定子、 ７ 可動子、
８ Ｙ軸ガイドレール、９ Ｙ軸テーブル、 １０ Ｙ
軸リニアモータ、 １１ 固定子、１２ 可動子、 １
３ 循環路、 １４ 管路継ぎ手、 １５ 冷却手段、
１６ 循環手段
軸ガイドレール、４ Ｘ軸テーブル、 ４ａ 放熱面、
５ Ｘ軸リニアモータ、６ 固定子、 ７ 可動子、
８ Ｙ軸ガイドレール、９ Ｙ軸テーブル、 １０ Ｙ
軸リニアモータ、 １１ 固定子、１２ 可動子、 １
３ 循環路、 １４ 管路継ぎ手、 １５ 冷却手段、
１６ 循環手段
Claims (1)
- 【請求項１】 真空チャンバ内に設置されたベースと、
前記ベース上に固定されたＸ軸ガイドレールと、前記Ｘ
軸ガイドレールに載置されたＸ軸テーブルと、前記Ｘ軸
ガイドレール間に設けられた固定子と前記Ｘ軸テーブル
の下面に前記固定子に対向させて設けた可動子を有する
Ｘ軸リニアモータと、前記Ｘ軸テーブル上に敷設された
Ｙ軸ガイドレールと、前記Ｙ軸ガードレール上に載置さ
れたＹ軸テーブルと、前記Ｙ軸ガイドレール間に設けら
れた固定子と前記Ｙ軸テーブルの下面に前記固定子に対
向させて設けた可動子を有するＹ軸リニアモータとを備
えた搬送装置において、 前記Ｘ軸ガイドレールと平行にした部分を前記ベースに
埋設した冷媒の循環路と、 前記循環路近傍の前記ベースの上面に設けた受熱面と、 前記受熱面に対向する前記Ｘ軸テーブルの下面に設けた
放熱面と、を設けたことを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30368697A JP3988225B2 (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30368697A JP3988225B2 (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11114745A true JPH11114745A (ja) | 1999-04-27 |
| JP3988225B2 JP3988225B2 (ja) | 2007-10-10 |
Family
ID=17924026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30368697A Expired - Fee Related JP3988225B2 (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3988225B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100637714B1 (ko) | 2005-03-31 | 2006-10-25 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
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-
1997
- 1997-10-17 JP JP30368697A patent/JP3988225B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (17)
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| JP3988225B2 (ja) | 2007-10-10 |
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Legal Events
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| A977 | Report on retrieval |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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