JP2010253663A - 反力処理機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】機構50では、フレーム21でシャフト部12xが架台2に連結固定されると共に、ガイド22でシャフト部12xが定盤4に対してX軸方向に相対移動可能とされ、定盤4とX軸シャフト部12xとの間でX軸反力が逃がされる。よって、X軸反力がシャフト部12xに加わると、このX軸反力は定盤4に伝達されることなく架台2に伝達される。また、Y軸及びZ軸方向におけるシャフト部12xと定盤4との相対移動がガイド22で規制されることから、これらの位置関係が保持される。さらに、シャフト部12xが逃げ機構24を介して架台2に連結固定されることから、例えば架台2に加わる外力でシャフト部12xがズレることが抑制される。よって、シャフト部12xとコイル部13xとの間隔を大きくすることなくこれらの接触を抑制できる。
【選択図】図4
Description
Claims (7)
- 架台と、前記架台に除振ユニットを介して支持される定盤と、前記定盤上に支持され該定盤上を移動する移動体と、前記移動体を一方向に駆動するアクチュエータと、を具備するステージ装置に用いられる反力処理機構であって、
前記一方向とは異なる方向の変位を吸収する逃げ機構を介して、前記アクチュエータの固定子を前記架台に連結固定する連結部と、
前記定盤に対する前記アクチュエータの固定子の相対移動を、前記一方向とは異なる方向に規制しつつ前記一方向にガイドするガイド部と、を備えたことを特徴とする反力処理機構。 - 架台と、該架台に除振ユニットを介して支持される定盤と、前記定盤上に支持され該定盤上を移動する第1及び第2移動体と、前記第1移動体を第1方向に駆動する第1アクチュエータと、前記第2移動体を前記第1方向と交差する第2方向に駆動する第2アクチュエータと、を具備するステージ装置に用いられる反力処理機構であって、
前記第1方向とは異なる方向の変位を吸収する第1逃げ機構を介して、前記第1アクチュエータの固定子を前記架台に連結固定する第1連結部と、
前記第2方向とは異なる方向の変位を吸収する第2逃げ機構を介して、前記第2アクチュエータの固定子を前記架台に連結固定する第2連結部と、
前記定盤に対する前記第1アクチュエータの固定子の相対移動を、前記第1方向とは異なる方向に規制しつつ前記第1方向にガイドする第1ガイド部と、
前記定盤に対する前記第2アクチュエータの固定子の相対移動を、前記第2方向とは異なる方向に規制しつつ前記第2方向にガイドする第2ガイド部と、を備えたことを特徴とする反力処理機構。 - 前記第2移動体は、前記第1移動体上を移動するものであり、
前記第2アクチュエータの固定子を支持する支持機構をさらに備え、
前記支持機構は、前記第2方向における前記第2アクチュエータの固定子の前記第1移動体に対する相対移動を可能にすると共に、前記第1方向における該固定子と前記第1移動体との同期移動を可能にするよう構成されていることを特徴とする請求項2記載の反力処理機構。 - 前記支持機構は、
前記定盤上に配置されたベース部と、
前記ベース部上に配置され、前記第2アクチュエータの固定子に固定された固定ブロック部と、
前記ベース部に対する前記固定ブロック部の相対移動を、前記第2方向に規制しつつ前記第1方向にガイドする第1支持機構ガイド部と、
前記第1移動体に対する前記固定ブロック部の相対移動を、前記第1方向に規制しつつ前記第2方向にガイドする第2支持機構ガイド部と、を含み、
前記第2連結部は、前記第2逃げ機構を介して前記架台と前記ベース部とを連結固定し、
前記第2ガイド部は、前記定盤と前記ベース部との間に設けられていることを特徴とする請求項3記載の反力処理装置。 - 前記アクチュエータは、シャフトモータであることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項記載の反力処理機構。
- 架台と、前記架台に除振ユニットを介して支持される定盤と、前記定盤上に支持され該定盤上を移動する移動体と、前記移動体を一方向に駆動するアクチュエータと、を具備するステージ装置に用いられる反力処理機構であって、
前記アクチュエータの固定子を前記架台に連結固定する連結部と、
前記定盤に対する前記アクチュエータの固定子の相対移動を、前記一方向とは異なる方向に規制しつつ前記一方向に許容する固定子支持部と、を備え、
前記固定子支持部は、前記アクチュエータの固定子が移動しようとする力を、前記一方向については前記架台に伝達させ、前記一方向と異なる方向については前記定盤に伝達させることを特徴とする反力処理機構。 - 前記連結部は、前記一方向と異なる方向の変位を吸収する逃げ機構を有し、前記アクチュエータの固定子と前記架台との間で発生する変位を許容することを特徴とする請求項6記載の反力処理機構。
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