JP2000310597A - ビデオ検査装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 26
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 32
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 8
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
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- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 透明で水平な製品支持板上に置かれた背面よ
り照明される製品を、製品に対して上面より垂直に設け
られた光学系システムのビデオカメラで検査する装置を
提供する。 【解決手段】 Ｚ方向に対して直角なＹ方向で水平に移
動調節可能なようにベース１０に装架された透明な製品
支持板１９の上方に、Ｚ方向で垂直に移動調節可能なヨ
ーク２４をベースに設ける。ＹとＺ方向に対して直角な
Ｘ方向で水平に移動調節可能なキャリッジ２ｂが製品支
持板の上方にあって、検査される製品の像をカメラに投
影するビデオカメラとレンズ系を担持する。製品支持板
の下方でＸ方向に調節できるようにベースに装架された
サブステージコリメーターは、レンズ系に対する平行光
線束源を有し、上記したキャリッジとつながれていてキ
ャリッジと共に動いて、光線束源を常にレンズ系に一致
させる。
り照明される製品を、製品に対して上面より垂直に設け
られた光学系システムのビデオカメラで検査する装置を
提供する。 【解決手段】 Ｚ方向に対して直角なＹ方向で水平に移
動調節可能なようにベース１０に装架された透明な製品
支持板１９の上方に、Ｚ方向で垂直に移動調節可能なヨ
ーク２４をベースに設ける。ＹとＺ方向に対して直角な
Ｘ方向で水平に移動調節可能なキャリッジ２ｂが製品支
持板の上方にあって、検査される製品の像をカメラに投
影するビデオカメラとレンズ系を担持する。製品支持板
の下方でＸ方向に調節できるようにベースに装架された
サブステージコリメーターは、レンズ系に対する平行光
線束源を有し、上記したキャリッジとつながれていてキ
ャリッジと共に動いて、光線束源を常にレンズ系に一致
させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ軸（水平軸）と
Ｚ軸（垂直軸）と直角をなすＹ軸（水平軸）に沿って可
動で透明な対物台または製品テーブルの上方で該Ｘ軸と
Ｚ軸に沿って調節自在に可動な光学系システム用のキュ
リアーを有するビデオ検査装置を提供するものであり、
上記した製品テーブルの下ではサブステージコリメータ
ーシステムが、光学系システムのＸ軸方向での調節と同
時に、他のＸ軸に沿って調節可能である。
Ｚ軸（垂直軸）と直角をなすＹ軸（水平軸）に沿って可
動で透明な対物台または製品テーブルの上方で該Ｘ軸と
Ｚ軸に沿って調節自在に可動な光学系システム用のキュ
リアーを有するビデオ検査装置を提供するものであり、
上記した製品テーブルの下ではサブステージコリメータ
ーシステムが、光学系システムのＸ軸方向での調節と同
時に、他のＸ軸に沿って調節可能である。
【０００２】
【従来の技術】上記した種類のビデオ検査システムで
は、これまで、互いに直角に伸びるＸ軸とＹ軸にそれぞ
れ沿って調節可能なように、かつＺ軸上で垂直方向で調
整可能なように設けられたスライドまたはキャリアーに
よって担持される下方に視る光学システムの下に全体と
してあって、ベース上に設けられた対物台または製品テ
ーブルを採用してきた。
は、これまで、互いに直角に伸びるＸ軸とＹ軸にそれぞ
れ沿って調節可能なように、かつＺ軸上で垂直方向で調
整可能なように設けられたスライドまたはキャリアーに
よって担持される下方に視る光学システムの下に全体と
してあって、ベース上に設けられた対物台または製品テ
ーブルを採用してきた。
【０００３】このような普通のビデオ検査システムのほ
かに、より大きな計測ができるシステムとして、光学系
システムと垂直方向に可動なそのスライドを支持するガ
ントリー装置の一部をなすものがある。このようなシス
テムにおいて、普通には大きな橋状の構造体が、２個の
大きな真っ直ぐなベアリング上に支持され、この橋状構
造体はＹ軸方向のみに可動である。このような橋状構造
体の上にスライドが装架され、このスライドは橋状構造
体上でＸ軸方向に調節可能であり、このスライドによっ
て担持される光学系スライドは垂直方向で調節可能であ
る。このようにして、光学システムは希望するＸ、Ｙ点
に位置することができる。
かに、より大きな計測ができるシステムとして、光学系
システムと垂直方向に可動なそのスライドを支持するガ
ントリー装置の一部をなすものがある。このようなシス
テムにおいて、普通には大きな橋状の構造体が、２個の
大きな真っ直ぐなベアリング上に支持され、この橋状構
造体はＹ軸方向のみに可動である。このような橋状構造
体の上にスライドが装架され、このスライドは橋状構造
体上でＸ軸方向に調節可能であり、このスライドによっ
て担持される光学系スライドは垂直方向で調節可能であ
る。このようにして、光学システムは希望するＸ、Ｙ点
に位置することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した今までのシス
テムに比べて、本発明の有利なところは、垂直なＺ軸方
向での計測範囲が相当に大きくなることであり、かつ計
測の精度が向上することでもある。例えば、計測範囲内
のいずれの高さ（Ｚ軸高）においても、Ｘ軸は光学系の
計測面に対して固定した関係に保たれると言うことは、
計測のより良い一貫性を保証し、かつ計測に伴う洗浄の
スライド機構のピッチ、ロール、ヨーイングによる不正
確性を減じることになる。
テムに比べて、本発明の有利なところは、垂直なＺ軸方
向での計測範囲が相当に大きくなることであり、かつ計
測の精度が向上することでもある。例えば、計測範囲内
のいずれの高さ（Ｚ軸高）においても、Ｘ軸は光学系の
計測面に対して固定した関係に保たれると言うことは、
計測のより良い一貫性を保証し、かつ計測に伴う洗浄の
スライド機構のピッチ、ロール、ヨーイングによる不正
確性を減じることになる。
【０００５】従って、本発明の一目的は、改良されたコ
ンパクトな上記した種類のビデオ検査装置を提供するこ
とであり、本発明による装置では、対物台または製品テ
ーブルは、一方向（Ｙ軸方向）のみで直線的に滑り動
き、Ｘ方向で可動なように設けられかつ光学系システム
を担持するスライドまたはキャリアーは、全光学系シス
テムと同時にＺ方向で垂直に可動である。
ンパクトな上記した種類のビデオ検査装置を提供するこ
とであり、本発明による装置では、対物台または製品テ
ーブルは、一方向（Ｙ軸方向）のみで直線的に滑り動
き、Ｘ方向で可動なように設けられかつ光学系システム
を担持するスライドまたはキャリアーは、全光学系シス
テムと同時にＺ方向で垂直に可動である。
【０００６】本発明の他の目的は、上述した種類の改良
されたビデオ検査装置を提供することにあり、本発明で
は、物置台または製品支持板はベースに一方向（Ｙ方
向）のみで動くように取付けられ、一方ベース上で製品
支持板に対して垂直方向に動くように装架されているヨ
ーク機構は、ヨーク上でＸ方向に可動であり、かつキャ
リアーと共に製品支持板に対してＸ及びＺ方向に動ける
ように装架されている光学システムを担持するスライド
またはキャリアーまたはキャリアーをその上に装架して
いる。
されたビデオ検査装置を提供することにあり、本発明で
は、物置台または製品支持板はベースに一方向（Ｙ方
向）のみで動くように取付けられ、一方ベース上で製品
支持板に対して垂直方向に動くように装架されているヨ
ーク機構は、ヨーク上でＸ方向に可動であり、かつキャ
リアーと共に製品支持板に対してＸ及びＺ方向に動ける
ように装架されている光学システムを担持するスライド
またはキャリアーまたはキャリアーをその上に装架して
いる。
【０００７】本発明の更に他の目的は、上述した種類の
改良されコンパクトなビデオ検査装置を提供することに
あり、本発明になるこの装置においては、サブステージ
コリメーターが透明な製品支持板または物置き台の下に
設けられ、このメーターは光学システムと共にＸ方向で
調節できるので、コリメーターを光学システムの光学ヘ
ッドと一致するように維持することができる。
改良されコンパクトなビデオ検査装置を提供することに
あり、本発明になるこの装置においては、サブステージ
コリメーターが透明な製品支持板または物置き台の下に
設けられ、このメーターは光学システムと共にＸ方向で
調節できるので、コリメーターを光学システムの光学ヘ
ッドと一致するように維持することができる。
【０００８】この発明の更に他の目的は、ヨーク上でＸ
軸の水平方向で調節可能な光学システム用キャリアを採
用し、一方ヨークをＺ軸の垂直方向で調節可能にするこ
とにより、光学システムに正確なＺ方向の動きを与える
ことできるものである。
軸の水平方向で調節可能な光学システム用キャリアを採
用し、一方ヨークをＺ軸の垂直方向で調節可能にするこ
とにより、光学システムに正確なＺ方向の動きを与える
ことできるものである。
【０００９】更にまた、この発明の他の目的は、上記し
た種類の検査装置を提供することで、本発明にあって
は、Ｘ方向にある光学システム用スライドがケーブルに
よってサブステージコリメーターに連結されており、光
学システム用スライドの動きがサブステージコリメータ
ーに伝達されるものである。
た種類の検査装置を提供することで、本発明にあって
は、Ｘ方向にある光学システム用スライドがケーブルに
よってサブステージコリメーターに連結されており、光
学システム用スライドの動きがサブステージコリメータ
ーに伝達されるものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】透明な製品支持板は、ベ
ース上でＹ方向で水平方向に調節できるようにベース上
に装架されている。ベースの上方表面から上方に突出す
る一対の円柱に、ヨークがＺ方向で垂直動できるように
支持される。ヨークの側面にＸ方向で水平に調節できる
ようにスライドが装架され、このスライドはレンズシス
テムを担持する。このレンズシステムは、その下方端に
透明な製品支持板に対面する対物レンズ機構を有し、こ
のレンズシステムの上方端に、対物レンズからの像を受
けるビデオカメラを有する。
ース上でＹ方向で水平方向に調節できるようにベース上
に装架されている。ベースの上方表面から上方に突出す
る一対の円柱に、ヨークがＺ方向で垂直動できるように
支持される。ヨークの側面にＸ方向で水平に調節できる
ようにスライドが装架され、このスライドはレンズシス
テムを担持する。このレンズシステムは、その下方端に
透明な製品支持板に対面する対物レンズ機構を有し、こ
のレンズシステムの上方端に、対物レンズからの像を受
けるビデオカメラを有する。
【００１１】サブステージコリメーターを支持するアー
ムは、透明な製品支持板の下方でベースに装架され、水
平にＸ方向で調節できる。このアームの先端は透明な製
品支持板の下に伸び、その中に平行光線束の光源を有す
る。この光源は対物レンズ機構に対面し、透明な製品支
持板に載せられた製品の裏面を照明する。ケーブルが光
学システム用スライドをサブステージコリメーターのア
ームにつなげて、スライドとアームを一緒にＸ方向に移
動せしめて、平行光線束を常に光学システムの対物レン
ズと一致せしめる。
ムは、透明な製品支持板の下方でベースに装架され、水
平にＸ方向で調節できる。このアームの先端は透明な製
品支持板の下に伸び、その中に平行光線束の光源を有す
る。この光源は対物レンズ機構に対面し、透明な製品支
持板に載せられた製品の裏面を照明する。ケーブルが光
学システム用スライドをサブステージコリメーターのア
ームにつなげて、スライドとアームを一緒にＸ方向に移
動せしめて、平行光線束を常に光学システムの対物レン
ズと一致せしめる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して符号により
説明すると、符号１０は本発明の実施の一形態になるコ
ンパクトなビデオ検査装置のベース全体を示す。形状が
全体として長方形なこのベースは、平らな正面１１と、
この正面に対して直角に伸びる平らな上面１２とを有す
る。この上面の中央部には、比較的深い長方形な窪み１
３が形成されており、この窪みはベース１０の前方端と
後方端との間に伸び、かつ互いに対向し間隔を置いて平
行な側壁１４，１５とを有する。図１に示される通り、
窪み１３中には、Ｙ方向の長手方向で調節できるよう
に、長方形の製品支持用のテーブル１６が装架されてい
る。
説明すると、符号１０は本発明の実施の一形態になるコ
ンパクトなビデオ検査装置のベース全体を示す。形状が
全体として長方形なこのベースは、平らな正面１１と、
この正面に対して直角に伸びる平らな上面１２とを有す
る。この上面の中央部には、比較的深い長方形な窪み１
３が形成されており、この窪みはベース１０の前方端と
後方端との間に伸び、かつ互いに対向し間隔を置いて平
行な側壁１４，１５とを有する。図１に示される通り、
窪み１３中には、Ｙ方向の長手方向で調節できるよう
に、長方形の製品支持用のテーブル１６が装架されてい
る。
【００１３】図２により明らかに示されている通り、テ
ーブル１６の対向側は、窪み１３の対面する側壁１４，
１５に線状に設けられた２対のボールベアリング１７に
よって支持されている。ベース１０と同様に、図２にて
示されている通り、テーブル１６はその上面に長方形の
大きな窪み１８を有し、その上端は、窪み１８の内面に
設けられた溝へ嵌着する透明で長方形な製品支持板１９
によって閉ざされている。
ーブル１６の対向側は、窪み１３の対面する側壁１４，
１５に線状に設けられた２対のボールベアリング１７に
よって支持されている。ベース１０と同様に、図２にて
示されている通り、テーブル１６はその上面に長方形の
大きな窪み１８を有し、その上端は、窪み１８の内面に
設けられた溝へ嵌着する透明で長方形な製品支持板１９
によって閉ざされている。
【００１４】ベース１０の後方端に近接してベースの下
方端に２個の円筒状のロッドベアリング２１が固定さ
れ、この２個のベアリングは間隔を置いて互いに平行に
ベースの上面１２から上方に垂直に突出する。このベア
リング２１には、断面が全体として長方形な固なヨーク
２４が、一対のドライブスクリュー２２によって縦方
向、即ち図１に示されるＺ方向で調節できるように装架
されている。スクリュー２２の下方端は、図２に示され
る通り、ベース１０上に固定された一対のモーター２３
の軸に連結され、ヨーク２４の対向端に設けられた軸孔
と駆動的に連結されている。このモーター２３自体は、
通常な手段によって制御されるものであって、本発明を
なすものでなく、協動してヨーク２４を選択的にＺ方向
で上下に移動させる。
方端に２個の円筒状のロッドベアリング２１が固定さ
れ、この２個のベアリングは間隔を置いて互いに平行に
ベースの上面１２から上方に垂直に突出する。このベア
リング２１には、断面が全体として長方形な固なヨーク
２４が、一対のドライブスクリュー２２によって縦方
向、即ち図１に示されるＺ方向で調節できるように装架
されている。スクリュー２２の下方端は、図２に示され
る通り、ベース１０上に固定された一対のモーター２３
の軸に連結され、ヨーク２４の対向端に設けられた軸孔
と駆動的に連結されている。このモーター２３自体は、
通常な手段によって制御されるものであって、本発明を
なすものでなく、協動してヨーク２４を選択的にＺ方向
で上下に移動させる。
【００１５】ヨークは、その前面、即ちベース１０の前
方端に面した方の表面に細長い長方形の溝２５を有し、
この溝はヨークの両端の間に伸び、この溝には摺動自在
に長方形状のスライドまたはキャリアー２６が装架さ
れ、このようにヨーク２４に支持されたスライドはヨー
クに対してＸ方向で摺動する。スライド２６の表面にス
ライドと共に動くようにハウジング２７が取り付けら
れ、このハウジングは通常の光学拡大システムを収納す
る。このハウジング２７の上端にハウジングと共に動く
ように、通常のビデオカメラ２８が付けられ、このビデ
オカメラは、光学拡大システムを経て、透明な製品支持
板上に置かれた（図示されていない）製品の像を受ける
ように設けられている。このために、ハウジング２７の
下方端から突出する部品は、その中に通常の対物レンズ
機構を有し、このレンズ機構は、製品支持板１９上の製
品と一致するように動かされ、光学システムによって検
査され、カメラ２８によって記録される。
方端に面した方の表面に細長い長方形の溝２５を有し、
この溝はヨークの両端の間に伸び、この溝には摺動自在
に長方形状のスライドまたはキャリアー２６が装架さ
れ、このようにヨーク２４に支持されたスライドはヨー
クに対してＸ方向で摺動する。スライド２６の表面にス
ライドと共に動くようにハウジング２７が取り付けら
れ、このハウジングは通常の光学拡大システムを収納す
る。このハウジング２７の上端にハウジングと共に動く
ように、通常のビデオカメラ２８が付けられ、このビデ
オカメラは、光学拡大システムを経て、透明な製品支持
板上に置かれた（図示されていない）製品の像を受ける
ように設けられている。このために、ハウジング２７の
下方端から突出する部品は、その中に通常の対物レンズ
機構を有し、このレンズ機構は、製品支持板１９上の製
品と一致するように動かされ、光学システムによって検
査され、カメラ２８によって記録される。
【００１６】キャリアー２６は、その両対向端の間でＸ
方向に伸びる細長い穴を有する。キャリアー２６の両端
の中間部の溝中に、キャリアーの穴３１と同一軸上にあ
るように内部の螺旋を切った穴を有するドライブナット
３２が取り付けられている。キャリアーの穴３１と同軸
にかつこの穴の中で回転自在に伸びるキャリアーのドラ
イブスクリュー３３は、その中間部でドライブナット３
２の穴と駆動的に噛合する。このドライブスクリュー３
３は、その一端で、ヨーク２４の溝２５の端に近い底に
固定されたモーター３４の出力軸に連結されており、溝
２５の対向端に固定されているベアリング３５に、その
他端が軸支されている。従って、モーター３４が駆動さ
れると、スクリュー３３がキャリアー２４を溝中で選択
的に左右いずれかのＸ方向に動かし、この動きと共に、
ハウジング２７、そのビデオカメラとレンズ部が同様に
一体となって、キャリアーと共にＸ方向に動かされる。
方向に伸びる細長い穴を有する。キャリアー２６の両端
の中間部の溝中に、キャリアーの穴３１と同一軸上にあ
るように内部の螺旋を切った穴を有するドライブナット
３２が取り付けられている。キャリアーの穴３１と同軸
にかつこの穴の中で回転自在に伸びるキャリアーのドラ
イブスクリュー３３は、その中間部でドライブナット３
２の穴と駆動的に噛合する。このドライブスクリュー３
３は、その一端で、ヨーク２４の溝２５の端に近い底に
固定されたモーター３４の出力軸に連結されており、溝
２５の対向端に固定されているベアリング３５に、その
他端が軸支されている。従って、モーター３４が駆動さ
れると、スクリュー３３がキャリアー２４を溝中で選択
的に左右いずれかのＸ方向に動かし、この動きと共に、
ハウジング２７、そのビデオカメラとレンズ部が同様に
一体となって、キャリアーと共にＸ方向に動かされる。
【００１７】キャリアー２６とその協働する光学系シス
テムハウジング２７の正確な位置を決めるために，通常
の位置検知装置を採用することができる。図示される実
施例では、キャリアーは、その溝中に設けられた電気的
位置センサー３７を有し、このセンサーは、溝２５の長
手方向でＸ方向に伸展するように溝２５の底部に設けら
れた細長いスケール３８に対する。同様に、垂直ロッド
２１には、それぞれ細長いスケール４１が付けられてお
り、このスケールはヨーク２４の両端の近くに設けられ
た二つの電気的センサー４２のいずれか一つと対して、
ヨーク２４の製品支持板に対してのＺ方向の位置を正確
に示すものである。
テムハウジング２７の正確な位置を決めるために，通常
の位置検知装置を採用することができる。図示される実
施例では、キャリアーは、その溝中に設けられた電気的
位置センサー３７を有し、このセンサーは、溝２５の長
手方向でＸ方向に伸展するように溝２５の底部に設けら
れた細長いスケール３８に対する。同様に、垂直ロッド
２１には、それぞれ細長いスケール４１が付けられてお
り、このスケールはヨーク２４の両端の近くに設けられ
た二つの電気的センサー４２のいずれか一つと対して、
ヨーク２４の製品支持板に対してのＺ方向の位置を正確
に示すものである。
【００１８】また、図１にて示されるように、テーブル
１６の対向する側縁部は、ベース１０の上面１２上に摺
動自在にかぶさり、電気的センサー４４を担持する。こ
のセンサーは、ベース１０の窪み１３の対向する両端近
くで、ベース１０の上面１２に付けられた細長い線状の
スケール４５の上面と対し、かつこの上面の上を摺動す
る。このようにして、キャリアー２６のＸ方向における
位置、テーブル２６のＹ方向における位置、およびヨー
ク２４のＺ方向における位置が、それぞれ正確にセンサ
ー３７，４２，４４による信号によって決められる。
１６の対向する側縁部は、ベース１０の上面１２上に摺
動自在にかぶさり、電気的センサー４４を担持する。こ
のセンサーは、ベース１０の窪み１３の対向する両端近
くで、ベース１０の上面１２に付けられた細長い線状の
スケール４５の上面と対し、かつこの上面の上を摺動す
る。このようにして、キャリアー２６のＸ方向における
位置、テーブル２６のＹ方向における位置、およびヨー
ク２４のＺ方向における位置が、それぞれ正確にセンサ
ー３７，４２，４４による信号によって決められる。
【００１９】細長いコリメーター支持アーム５３が、製
品支持板の下でＸ方向で動くように、ベース１０の窪み
１３中に装架されている。全体として断面が長方形なこ
のアーム５３は、図１に示されるように、その後方また
は左側端の近くで、一対の間隔を置いて互いに平行な円
筒状の案内ロッド５１，５２によって摺動し得るように
支持されており、これらのロッドはその両端でベース１
０の窪み１３の対向する側壁に固定されている。互いに
平行にＸ方向に伸展するこれらのロッド５１，５２は、
アーム５３に設けられた一対の通孔中を摺動自在に通っ
て伸びる。アーム５３は、従ってロッド５１，５２上で
Ｘ方向にかつ透明な製品支持板の下でこの支持板と平行
な面上で摺動し得ることになる。
品支持板の下でＸ方向で動くように、ベース１０の窪み
１３中に装架されている。全体として断面が長方形なこ
のアーム５３は、図１に示されるように、その後方また
は左側端の近くで、一対の間隔を置いて互いに平行な円
筒状の案内ロッド５１，５２によって摺動し得るように
支持されており、これらのロッドはその両端でベース１
０の窪み１３の対向する側壁に固定されている。互いに
平行にＸ方向に伸展するこれらのロッド５１，５２は、
アーム５３に設けられた一対の通孔中を摺動自在に通っ
て伸びる。アーム５３は、従ってロッド５１，５２上で
Ｘ方向にかつ透明な製品支持板の下でこの支持板と平行
な面上で摺動し得ることになる。
【００２０】アーム５３の前方端には開口５４が設けら
れており、この開口は、後述する通り、ビデオカメラハ
ウジング２７の下方端の部品２９によって担持される対
物レンズ機構と一致するように位置決めされる。開口５
４の下のアーム５３には、平行にされた光を開口５４を
通って上方に、かつ透明板１９の上に載せられた製品の
底に向って通常の方法で発する光源が装架されている。
れており、この開口は、後述する通り、ビデオカメラハ
ウジング２７の下方端の部品２９によって担持される対
物レンズ機構と一致するように位置決めされる。開口５
４の下のアーム５３には、平行にされた光を開口５４を
通って上方に、かつ透明板１９の上に載せられた製品の
底に向って通常の方法で発する光源が装架されている。
【００２１】アーム５３の発光源をビデオカメラハウジ
ング２７と一致するように維持するためには、ビデオカ
メラキャリアー２６が協同してＸ方向に動くことが必要
である。このために、溝２５の背面に細長い溝５６を設
け、ヨーク２４の対向端の間をＸ方向に摺動し得る平衡
用の背面キャリアー５７をこの溝５６に摺動自在に装架
する。そうして、キャリアー２６の一端（図１では左側
端で、図３では右側端）にケーブル６１の一端を取り付
け、ケーブルの他端を背面キャリアー５７の一端（図１
では左側端で、図３では右側端）に取り付けた。ケーブ
ル６１はその中間部で、図１で示されるように、ヨーク
２４の溝２５，５６の左端の近くに位置して、互いに間
隔を置いて垂直な軸を中心として共通な面で回転するよ
うに設けられた二つの間隔を置いた円形の滑車６２，６
３上を通過する。前面キャリアー２６の他端、即ち図１
では右側端で、図３では左側端には、他のケーブル６５
の一端が固定され、この他のケーブルの他端は、背面キ
ャリアー５７のケーブル６１が付けられた端部から離れ
た端部、即ち図１で示されるキャリアー５７の右側端
で、図３で示される左側端に連結される。このケーブル
６５の中間部は、ケーブル６１と同様に、溝２５，５６
の図１における右側端の近くで共通のつい水平面上で回
転するようにヨーク２４に装架された二つの間隔を置い
た滑車６６，６７によって導かれる。
ング２７と一致するように維持するためには、ビデオカ
メラキャリアー２６が協同してＸ方向に動くことが必要
である。このために、溝２５の背面に細長い溝５６を設
け、ヨーク２４の対向端の間をＸ方向に摺動し得る平衡
用の背面キャリアー５７をこの溝５６に摺動自在に装架
する。そうして、キャリアー２６の一端（図１では左側
端で、図３では右側端）にケーブル６１の一端を取り付
け、ケーブルの他端を背面キャリアー５７の一端（図１
では左側端で、図３では右側端）に取り付けた。ケーブ
ル６１はその中間部で、図１で示されるように、ヨーク
２４の溝２５，５６の左端の近くに位置して、互いに間
隔を置いて垂直な軸を中心として共通な面で回転するよ
うに設けられた二つの間隔を置いた円形の滑車６２，６
３上を通過する。前面キャリアー２６の他端、即ち図１
では右側端で、図３では左側端には、他のケーブル６５
の一端が固定され、この他のケーブルの他端は、背面キ
ャリアー５７のケーブル６１が付けられた端部から離れ
た端部、即ち図１で示されるキャリアー５７の右側端
で、図３で示される左側端に連結される。このケーブル
６５の中間部は、ケーブル６１と同様に、溝２５，５６
の図１における右側端の近くで共通のつい水平面上で回
転するようにヨーク２４に装架された二つの間隔を置い
た滑車６６，６７によって導かれる。
【００２２】背面キャリアー５７は前面キャリアー２６
に連結されているのに加えて、図３にて図示されるよう
に、背面キャリアー５７はその背面に、Ｙ軸を中心とし
て回転しかつ後述する目的のために通常の方法で跳ね返
りバネと協動するスプール７１が回転自在に取り付けら
れている。このスプール７１は、他のケーブル７２によ
ってコリメーター支持アーム５３に連結されている。こ
のケーブルの中間部はスプール７１の周りに巻かれ、そ
の両端はスプールから正反対方向に向ってそれぞれ伸
び、間隔を置いて平行なＹ軸を中心として回転するよう
にヨークの溝５６に取り付けられた滑車７３または７４
上を通過する。滑車７３上を通って、ケーブル７２の一
端は垂直に下方に伸びて、ベース１０に取り付けられた
別の滑車７５上を通過し、その後に水平に伸びてアーム
５３に達し、案内ロッド５１，５２の間で該アームに取
り付けられる。ケーブル７２の他端は、滑車７４の上を
通過した後に垂直に下降し、滑車７５が設けられている
側と反対のベースの側で回転するようにベースに取り付
けられた別の滑車７６上を通過する。この滑車７６を通
過した後に、ケーブル７２のこの端は、ケーブルの別の
端が取り付けられている側と反対の側の対応するベース
の位置に取り付けられる。
に連結されているのに加えて、図３にて図示されるよう
に、背面キャリアー５７はその背面に、Ｙ軸を中心とし
て回転しかつ後述する目的のために通常の方法で跳ね返
りバネと協動するスプール７１が回転自在に取り付けら
れている。このスプール７１は、他のケーブル７２によ
ってコリメーター支持アーム５３に連結されている。こ
のケーブルの中間部はスプール７１の周りに巻かれ、そ
の両端はスプールから正反対方向に向ってそれぞれ伸
び、間隔を置いて平行なＹ軸を中心として回転するよう
にヨークの溝５６に取り付けられた滑車７３または７４
上を通過する。滑車７３上を通って、ケーブル７２の一
端は垂直に下方に伸びて、ベース１０に取り付けられた
別の滑車７５上を通過し、その後に水平に伸びてアーム
５３に達し、案内ロッド５１，５２の間で該アームに取
り付けられる。ケーブル７２の他端は、滑車７４の上を
通過した後に垂直に下降し、滑車７５が設けられている
側と反対のベースの側で回転するようにベースに取り付
けられた別の滑車７６上を通過する。この滑車７６を通
過した後に、ケーブル７２のこの端は、ケーブルの別の
端が取り付けられている側と反対の側の対応するベース
の位置に取り付けられる。
【００２３】上述するようにケーブルを連結することに
より、前面キャリアー２６がＸ方向で、例えば図３で右
方向に移動されると、ケーブル６１は背面キャリアー５
７を図３において左方向に移動させる、スプール７１は
それと協動する跳ね返りスプリングによって回転しない
ように押さえられているので、キャリアー５７が図３で
左方向に動くと、滑車７３，７５の上を通過する部分の
ケーブル７２はアーム５３を同様に図３において右側に
引っ張ることになり、アーム５３の光源が部品２９のレ
ンズ機構と垂直方向で一致することになる。勿論、前面
キャリアー２６が図３で左側に動くと、キャリアー５７
は反対方向に動き、ケーブル７２は滑車７４，７６を介
してアーム５３をも図３において左に向かって動かす。
より、前面キャリアー２６がＸ方向で、例えば図３で右
方向に移動されると、ケーブル６１は背面キャリアー５
７を図３において左方向に移動させる、スプール７１は
それと協動する跳ね返りスプリングによって回転しない
ように押さえられているので、キャリアー５７が図３で
左方向に動くと、滑車７３，７５の上を通過する部分の
ケーブル７２はアーム５３を同様に図３において右側に
引っ張ることになり、アーム５３の光源が部品２９のレ
ンズ機構と垂直方向で一致することになる。勿論、前面
キャリアー２６が図３で左側に動くと、キャリアー５７
は反対方向に動き、ケーブル７２は滑車７４，７６を介
してアーム５３をも図３において左に向かって動かす。
【００２４】図４は、図３と同様な背面図であるが、こ
の図は本発明の他の実施例を示すもので、背面キャリア
ー５７は、前面キャリアー２６と共にＸ方向に動くよう
に、固なバーまたはブラケット８１によって前面キャリ
アー２６に連結されている。このバー８１はその一端で
キャリアー２６の背面に固定され、ヨーク２４に形成さ
れた細長い穴８２を介して後方に伸び、その他端でヨー
クの背面に固定されている。従って、図４に示されるよ
うに、ブラケット８１はキャリアー２６と５７とを互い
に一致するように固定し、かつヨークの両端間でＸ方向
に伸びる溝８２中に沿って摺動し得る。先に述べた実施
例の如く、円形でスプリングを付けた滑車７１を、Ｙ軸
上で回転するようにキャリアー５７の背面に設ける。そ
して、先の実施例の如くに、ケーブル７２の中間部を滑
車７１に巻き、その両端が互いに滑車の径の正反対方向
に伸びるように引き出す。
の図は本発明の他の実施例を示すもので、背面キャリア
ー５７は、前面キャリアー２６と共にＸ方向に動くよう
に、固なバーまたはブラケット８１によって前面キャリ
アー２６に連結されている。このバー８１はその一端で
キャリアー２６の背面に固定され、ヨーク２４に形成さ
れた細長い穴８２を介して後方に伸び、その他端でヨー
クの背面に固定されている。従って、図４に示されるよ
うに、ブラケット８１はキャリアー２６と５７とを互い
に一致するように固定し、かつヨークの両端間でＸ方向
に伸びる溝８２中に沿って摺動し得る。先に述べた実施
例の如く、円形でスプリングを付けた滑車７１を、Ｙ軸
上で回転するようにキャリアー５７の背面に設ける。そ
して、先の実施例の如くに、ケーブル７２の中間部を滑
車７１に巻き、その両端が互いに滑車の径の正反対方向
に伸びるように引き出す。
【００２５】この実施例では、ケーブル７２の対向端
は、キャリアー５７の反対方向で距離を置いてＹ軸上で
回転するように溝５６に付けられた一対の反転用滑車８
３，８４に架けられる。反転用滑車８３で反転して、ケ
ーブル７２の一方端は水平にＸ方向に進み、別の滑車８
５に架けられる。この滑車上から、このケーブルの一方
端は垂直に下方に伸び、ベース１０にＹ軸上で回転自在
に付けられた別の滑車８６に架けられた後に、溝１３中
をＸ方向に伸展し、コリメーター支持アーム５３の一側
に固定される。一方、ケーブル７２の他端は、反転用滑
車８４に架けられ、ここで反転してＸ方向に伸展して別
の滑車８７に到り、ここから垂直に下方に伸びて、ベー
ス１０にＹ軸上で回転するように固定された滑車８８に
到り、ここから溝１３中を水平にＸ方向に伸展してコリ
メーター支持アーム５３の他側に固定される。
は、キャリアー５７の反対方向で距離を置いてＹ軸上で
回転するように溝５６に付けられた一対の反転用滑車８
３，８４に架けられる。反転用滑車８３で反転して、ケ
ーブル７２の一方端は水平にＸ方向に進み、別の滑車８
５に架けられる。この滑車上から、このケーブルの一方
端は垂直に下方に伸び、ベース１０にＹ軸上で回転自在
に付けられた別の滑車８６に架けられた後に、溝１３中
をＸ方向に伸展し、コリメーター支持アーム５３の一側
に固定される。一方、ケーブル７２の他端は、反転用滑
車８４に架けられ、ここで反転してＸ方向に伸展して別
の滑車８７に到り、ここから垂直に下方に伸びて、ベー
ス１０にＹ軸上で回転するように固定された滑車８８に
到り、ここから溝１３中を水平にＸ方向に伸展してコリ
メーター支持アーム５３の他側に固定される。
【００２６】上述した構成により、前面と背面のキャリ
アー２６，５７が一緒になって、例えば図４において左
に向かって動くと、反転用滑車８４はそこに架けられた
ケーブル７２に弛みを生じさせ、一方他の反転用滑車８
３はそこに架けられたケーブルをキャリアー２６，５７
と同一の方向に引き、従ってコリメーター支持アーム５
３の発光端がレンズ部品２９と一致するように保たれ
る。
アー２６，５７が一緒になって、例えば図４において左
に向かって動くと、反転用滑車８４はそこに架けられた
ケーブル７２に弛みを生じさせ、一方他の反転用滑車８
３はそこに架けられたケーブルをキャリアー２６，５７
と同一の方向に引き、従ってコリメーター支持アーム５
３の発光端がレンズ部品２９と一致するように保たれ
る。
【００２７】この実施例による構造では、先に述べた実
施例におけるケーブル６１，６５が不要になる。また、
これらの両実施例とも、ヨーク２４がロッドベアリング
２１に沿って垂直方向で移動すると、スプリングが装架
された滑車は、ヨークが例えば上方に持ち上げられる
と、それに連れて必要とされる長さのケーブルが繰り出
されるのを許し、ヨークが例えば下方にロッドベアリン
グ２１に沿って下降すると、滑車７１に付けられた反動
スプリングがこの滑車を、例えば図３，４において反時
計方向に回転させ、ケーブル７２を常に適度な緊張下に
維持することになる。
施例におけるケーブル６１，６５が不要になる。また、
これらの両実施例とも、ヨーク２４がロッドベアリング
２１に沿って垂直方向で移動すると、スプリングが装架
された滑車は、ヨークが例えば上方に持ち上げられる
と、それに連れて必要とされる長さのケーブルが繰り出
されるのを許し、ヨークが例えば下方にロッドベアリン
グ２１に沿って下降すると、滑車７１に付けられた反動
スプリングがこの滑車を、例えば図３，４において反時
計方向に回転させ、ケーブル７２を常に適度な緊張下に
維持することになる。
【００２８】以上において、本発明を限られた実施例に
よって図示し、詳述したが、本発明を更に改変すること
ができるのは勿論のことである。例えば、通常のタッチ
式検査プローブを、ビデオ光学システムに隣接して、あ
るいはこのシステムの代わりに、ヨーク２４にＸ方向で
調節自在に固定することも可能である。また、二本の異
なるケーブルを一つのまたは二つの滑車７１に巻いて、
ケーブル７２と同様な機能を与えることもできる。更に
また、この発明は、この種の技術に通暁するものによっ
て容易なあるいは本願の特許請求の範囲内に属する改変
例にも及ぶことは、勿論である。
よって図示し、詳述したが、本発明を更に改変すること
ができるのは勿論のことである。例えば、通常のタッチ
式検査プローブを、ビデオ光学システムに隣接して、あ
るいはこのシステムの代わりに、ヨーク２４にＸ方向で
調節自在に固定することも可能である。また、二本の異
なるケーブルを一つのまたは二つの滑車７１に巻いて、
ケーブル７２と同様な機能を与えることもできる。更に
また、この発明は、この種の技術に通暁するものによっ
て容易なあるいは本願の特許請求の範囲内に属する改変
例にも及ぶことは、勿論である。
【００２９】
【発明の効果】上述したところから明らかな通り、コリ
メーター支持アーム５３と協動するビデオカメラ２８が
ＸまたはＺ方向で移動していかように調節されていて
も、またテーブル１６の透明な製品支持板１９上にある
製品がＹ方向でいかように動かされていても、ハウジン
グ２７中の対物レンズ機構と常に一致するように保持さ
れ得るサブステージ照明手段をコリメーター支持アーム
５３に採用しているので、本発明は極めて正確でしかも
構造がコンパクトな検査装置を提供し得るものである。
更にまた、電気的な位置センサー３７，４２，４４は、
それらと協動するスケールとあいまって、それぞれＸ、
Ｚ、Ｙ方向に位置が調節された検査装置の各要素部分の
位置を、直ちにしかも正確に示す卓越した効果を有す
る。
メーター支持アーム５３と協動するビデオカメラ２８が
ＸまたはＺ方向で移動していかように調節されていて
も、またテーブル１６の透明な製品支持板１９上にある
製品がＹ方向でいかように動かされていても、ハウジン
グ２７中の対物レンズ機構と常に一致するように保持さ
れ得るサブステージ照明手段をコリメーター支持アーム
５３に採用しているので、本発明は極めて正確でしかも
構造がコンパクトな検査装置を提供し得るものである。
更にまた、電気的な位置センサー３７，４２，４４は、
それらと協動するスケールとあいまって、それぞれＸ、
Ｚ、Ｙ方向に位置が調節された検査装置の各要素部分の
位置を、直ちにしかも正確に示す卓越した効果を有す
る。
【図１】本発明の一実施例によるコンパクトなビデオ検
査装置の斜視図であり、装置の三つの異なる構成部分が
異なる方向にて調節可能であることを、交差する線Ｘ、
Ｙ、およびＺにて図解的に示すものである。
査装置の斜視図であり、装置の三つの異なる構成部分が
異なる方向にて調節可能であることを、交差する線Ｘ、
Ｙ、およびＺにて図解的に示すものである。
【図２】本発明の装置の正面図であり、その一部を断面
で示す。
で示す。
【図３】本発明の装置の背面図であり、サブステージコ
リメーター構成部分をケーブル機構によって平衡用のキ
ャリアーへ連結し、レンズシステムキャリアーを垂直方
向で調整可能なヨークによってＺ方向にかつヨークに対
してＸ方向に調節可能にする一態様を示す。
リメーター構成部分をケーブル機構によって平衡用のキ
ャリアーへ連結し、レンズシステムキャリアーを垂直方
向で調整可能なヨークによってＺ方向にかつヨークに対
してＸ方向に調節可能にする一態様を示す。
【図４】図３と同様な背面図であり、図３とは別なケー
ブル機構を示すものである。
ブル機構を示すものである。
１０−ビデオ検査装置のベース １１−ベースの平らな正面 １２−ベースの平らな上面 １３−ベース中央部の窪み １４，１５−ベースの平衡な側壁 １６−テーブル １７−ボールベアリング １８−テーブル上面の長方形の大きな窪み １９−透明な製品支持板 ２１−円筒状のロッドベアリング ２２−ドライブスクリュー ２３−ドライブスクリューのモーター ２４−ヨーク ２５−ヨーク表面の細長い溝 ２６−ヨーク表面の溝を摺動するスライド又はキャリア
ー又はキャリエッジ ２７−キャリアーに固定された光学系ハウジング ２８−光学系ハウジングの上端のビデオカメラ ３１−キャリアー中のＸ方向の穴 ３２−ドライブナット ３３−ドライブスクリュー ３４−モーター ３５−ベアリング ３７−電気的位置センサー ３８−スケール ４１−ロッドベアリングに設けたスケール ４２−電気的位置センサー ４４−電気的位置センサー ４５−線状のスケール ５１，５２−案内ロッド ５３−コリメーター支持アーム ５４−アームの開口 ５６−ヨーク背面の細長い溝 ５７−ヨーク背面の溝を摺動する背面キャリアー ６１−ケーブル ６２，６３−滑車 ６５−ケーブル ６６，６７−滑車 ７１−スプール ７２−ケーブル ７３、７４、７５、７６−滑車 ８１−バーまたはブラケット ８２−溝 ８３，８４−反転用滑車 ８５，８６，８７，８８−滑車 Ｘ、Ｙ、Ｚ−調節可能な方向
ー又はキャリエッジ ２７−キャリアーに固定された光学系ハウジング ２８−光学系ハウジングの上端のビデオカメラ ３１−キャリアー中のＸ方向の穴 ３２−ドライブナット ３３−ドライブスクリュー ３４−モーター ３５−ベアリング ３７−電気的位置センサー ３８−スケール ４１−ロッドベアリングに設けたスケール ４２−電気的位置センサー ４４−電気的位置センサー ４５−線状のスケール ５１，５２−案内ロッド ５３−コリメーター支持アーム ５４−アームの開口 ５６−ヨーク背面の細長い溝 ５７−ヨーク背面の溝を摺動する背面キャリアー ６１−ケーブル ６２，６３−滑車 ６５−ケーブル ６６，６７−滑車 ７１−スプール ７２−ケーブル ７３、７４、７５、７６−滑車 ８１−バーまたはブラケット ８２−溝 ８３，８４−反転用滑車 ８５，８６，８７，８８−滑車 Ｘ、Ｙ、Ｚ−調節可能な方向
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１２年２月２日（２０００．２．２）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】
【従来の技術】上記した種類のビデオ検査システムで
は、これまで、互いに直角に伸びるＸ軸とＹ軸にそれぞ
れ沿って調節可能なように、かつＺ軸上で垂直方向で調
整可能なように設けられたスライドまたはキャリアーに
よって担持される下方を視る光学システムの下に全体と
してあって、ベース上に設けられた対物台または製品テ
ーブルを採用してきた。
は、これまで、互いに直角に伸びるＸ軸とＹ軸にそれぞ
れ沿って調節可能なように、かつＺ軸上で垂直方向で調
整可能なように設けられたスライドまたはキャリアーに
よって担持される下方を視る光学システムの下に全体と
してあって、ベース上に設けられた対物台または製品テ
ーブルを採用してきた。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した今までのシス
テムに比べて、本発明の有利なところは、垂直なＺ軸方
向での計測範囲が相当に大きくなることであり、かつ計
測の精度が向上することでもある。例えば、計測範囲内
のいずれの高さ（Ｚ軸高）においても、Ｘ軸は光学系の
計測面に対して固定した関係に保たれると言うことは、
計測のより良い一貫性を保証し、かつ計測に伴う線状の
スライド機構のピッチ、ロール、ヨーイングによる不正
確性を減じることになる。
テムに比べて、本発明の有利なところは、垂直なＺ軸方
向での計測範囲が相当に大きくなることであり、かつ計
測の精度が向上することでもある。例えば、計測範囲内
のいずれの高さ（Ｚ軸高）においても、Ｘ軸は光学系の
計測面に対して固定した関係に保たれると言うことは、
計測のより良い一貫性を保証し、かつ計測に伴う線状の
スライド機構のピッチ、ロール、ヨーイングによる不正
確性を減じることになる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】この発明の更に他の目的は、ヨーク上でＸ
軸の水平方向で調節可能な光学システム用キャリアを採
用し、一方ヨークをＺ軸の垂直方向で調節可能にするこ
とにより、光学システムに正確なＺ方向の動きを与える
ことができるものである。
軸の水平方向で調節可能な光学システム用キャリアを採
用し、一方ヨークをＺ軸の垂直方向で調節可能にするこ
とにより、光学システムに正確なＺ方向の動きを与える
ことができるものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】アーム５３の発光源をビデオカメラハウジ
ング２７と一致するように維持するためには、ビデオカ
メラキャリアー２６が協同してＸ方向に動くことが必要
である。このために、溝２５の背面に細長い溝５６を設
け、ヨーク２４の対向端の間をＸ方向に摺動し得る平衡
用の背面キャリアー５７をこの溝５６に摺動自在に装架
する。そうして、キャリアー２６の一端（図１では左側
端で、図３では右側端）にケーブル６１の一端を取り付
け、ケーブルの他端を背面キャリアー５７の一端（図１
では左側端で、図３では右側端）に取り付けた。ケーブ
ル６１はその中間部で、図１で示されるように、ヨーク
２４の溝２５，５６の左端の近くに位置して、互いに間
隔を置いて垂直な軸を中心として共通な面で回転するよ
うに設けられた二つの間隔を置いた円形の滑車６２，６
３上を通過する。前面キャリアー２６の他端、即ち図１
では右側端で、図３では左側端には、他のケーブル６５
の一端が固定され、この他のケーブルの他端は、背面キ
ャリアー５７のケーブル６１が付けられた端部から離れ
た端部、即ち図１で示されるキャリアー５７の右側端
で、図３で示される左側端に連結される。このケーブル
６５の中間部は、ケーブル６１と同様に、溝２５，５６
の図１における右側端の近くで共通の水平面上で回転す
るようにヨーク２４に装架された二つの間隔を置いた滑
車６６，６７によって導かれる。
ング２７と一致するように維持するためには、ビデオカ
メラキャリアー２６が協同してＸ方向に動くことが必要
である。このために、溝２５の背面に細長い溝５６を設
け、ヨーク２４の対向端の間をＸ方向に摺動し得る平衡
用の背面キャリアー５７をこの溝５６に摺動自在に装架
する。そうして、キャリアー２６の一端（図１では左側
端で、図３では右側端）にケーブル６１の一端を取り付
け、ケーブルの他端を背面キャリアー５７の一端（図１
では左側端で、図３では右側端）に取り付けた。ケーブ
ル６１はその中間部で、図１で示されるように、ヨーク
２４の溝２５，５６の左端の近くに位置して、互いに間
隔を置いて垂直な軸を中心として共通な面で回転するよ
うに設けられた二つの間隔を置いた円形の滑車６２，６
３上を通過する。前面キャリアー２６の他端、即ち図１
では右側端で、図３では左側端には、他のケーブル６５
の一端が固定され、この他のケーブルの他端は、背面キ
ャリアー５７のケーブル６１が付けられた端部から離れ
た端部、即ち図１で示されるキャリアー５７の右側端
で、図３で示される左側端に連結される。このケーブル
６５の中間部は、ケーブル６１と同様に、溝２５，５６
の図１における右側端の近くで共通の水平面上で回転す
るようにヨーク２４に装架された二つの間隔を置いた滑
車６６，６７によって導かれる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アルバート ジー ショーエツ アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14543 ラッシュ ホネオイ フォールス ナン バー６ ロード 348番地
Claims (11)
- 【請求項１】 ベースと、このベースに装架されて水平
にＹ方向で調節自在に往復動し得る製品支持テーブル
と、該ベース上に装架されテーブルの上方で上記したＹ
方向と直角に交わるＺ方向で調節自在に縦方向で移動し
得るヨーク部材とを有するビデオ検査装置で、このビデ
オ検査装置は更に、ヨーク部材と共に縦方向で調節自在
なようにヨーク部材に装架されかつ上記したＹ方向とＺ
方向とそれぞれ直角に交わるＸ方向でヨーク部材に対し
て調節自在に往復動し得る光学系システムを装架するキ
ャリアーを有し、この光学系システムはその一端の近く
に製品を支持テーブル上に検査のために置かれた製品と
対する対物レンズ機構を有し、その他端の近くにはレン
ズ機構からの製品の像を受けるビデオカメラを有するこ
とを特徴とするビデオ検査装置。 - 【請求項２】 製品支持テーブルが透明であり、このテ
ーブルの下方でベースにサブステージ照明機構が装架さ
れ、この機構がテーブルを通って上方に光を向けるよう
にした請求項１記載のビデオ検査装置。 - 【請求項３】 サブステージ照明機構からの光線は互い
に平行であり、該照明機構はベース上にＸ方向で調節自
在に往復動し得るように装架されてなる請求項２記載の
ビデオ検査装置。 - 【請求項４】 サブステージ照明機構は対物レンズ機構
に対する光源を有し、このレンズ機構の方向に平行光線
束を向け、かつ光学系システムを装架するキャリアーと
照明機構とをつなぐ手段は、照明機構がキャリアーと一
致してＸ方向で動くようにし、これによって光源が対物
レンズ機構に対するように維持される請求項２記載のビ
デオ検査装置。 - 【請求項５】 ヨーク部材に装架されこの部材と共にＺ
方向にかつこの部材に対してＸ方向に動く別のキャリア
ーを有し、この別のキャリアーを光学系システムを装架
するキャリアーにつなぐ手段は、Ｘ方向に動く光学系シ
ステムを装架するキャリアーと共にただしそれとは反対
方向に上記する別のキャリアーを動かすようにする請求
項１、２、３又は４記載のビデオ検査装置。 - 【請求項６】 光学系システムを装架するキャリアーに
連結されて、このキャリアーをＸ方向の左右いずれかの
選択される方に向ってヨーク部材の残余の位置に動かす
ように働く駆動手段と、このキャリアーとヨーク部材と
の間に置かれて、キャリアーのヨーク部材上の正確な位
置を指す電気的なセンサー手段とを有する請求項１、
２、３又は４記載のビデオ検査装置。 - 【請求項７】 ベースの端の近くからＺ方向に上方に起
立する一対の互いに間隔を置いて平行なロッドベアリン
グに、ヨーク部材がその両端の近くで該ベアリングに対
してＺ方向で動くように装架され、このロッドベアリン
グとヨーク部材との間に置かれた電気的なセンサー手段
が、ロッドベアリング上のＺ方向で動くように装架さ
れ、このロッドベアリングとヨーク部材との間に置かれ
た電気的なセンサー手段がロッドベアリング上のＺ方向
のヨーク部材の正確な位置を指す請求項１、２、３、４
又は５記載のビデオ検査装置。 - 【請求項８】 電気的なセンサー手段が、ロッドベアリ
ングのそれぞれに付けられてその長手方向に伸びる長尺
な目盛りと、ヨーク部材の対向端の近くで上記の目盛り
と対するようにヨーク部材に付けられた一対の電気的な
位置センサーとからなり、ヨーク部材のＺ方向の動きに
よってこのセンサーが働き、Ｚ方向のテーブルに対する
ヨーク部材とテーブル上の製品の位置を指す電気信号が
出される請求項７記載のビデオ検査装置。 - 【請求項９】 光学系システムを装架するキャリアーと
照明機構とをつなぐ手段が、ヨーク部材に対してＸ方向
で往復動できるように、またＹ方向に伸びる軸を中心と
して回転できるようにヨーク部材に装架され、回転に抗
する跳ね返りバネを搭載したバネ付きスプールと、中間
がこのスプールに巻かれ、両端がコリメーターの対向側
にそれぞれ連結されたケーブルと、このスプールをキャ
リアーにつないで、キャリアーのＸ方向への動きによっ
てスプールをＸ方向に動かす手段とからなり、スプール
がＸ方向に動かされたときにコリメーター機構をキャリ
アーと共にＸ方向に動かす請求項４記載のビデオ検査機
構。 - 【請求項１０】 ヨーク部材のＺ方向への動きに対応し
て、ケーブルがスプールを回転させるように働く請求項
９記載のビデオ検査機構。 - 【請求項１１】 ヨーク機構につながれ、キャリアーの
ヨーク部材上でのＸ方向への動きとは別にヨーク部材を
Ｚ方向で調節するように働く駆動手段を含む請求項１、
２、３、４、５、６、７、８、９又は１０記載のビデオ
検査機構。
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