JP5580215B2 - 電動式座標測定装置 - Google Patents

電動式座標測定装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5580215B2
JP5580215B2 JP2010545936A JP2010545936A JP5580215B2 JP 5580215 B2 JP5580215 B2 JP 5580215B2 JP 2010545936 A JP2010545936 A JP 2010545936A JP 2010545936 A JP2010545936 A JP 2010545936A JP 5580215 B2 JP5580215 B2 JP 5580215B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carriage
pillar
axis
along
housing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2010545936A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2011511300A (ja
Inventor
イートン,ホーマー,エル
Original Assignee
イートン,ホーマー,エル
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by イートン,ホーマー,エル filed Critical イートン,ホーマー,エル
Publication of JP2011511300A publication Critical patent/JP2011511300A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5580215B2 publication Critical patent/JP5580215B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Description

本発明は、工作物上の点の座標値を決定するための装置に関し、より具体的には関節接続された複雑な座標アーム上に取り付けられたプローブを位置決めするための機構に関する。
座標測定装置は、一般に、多くの産業において、工作物の輪郭を解析したり製造が仕様に従っているか否かを確認するために使用される。第1のタイプの装置では、プローブは、関節接続された多軸測定アームに取り付けられる。プローブは、手作業で工作物上の点に接触されてそのデカルト座標を確認する。プローブを輪郭面に沿ってなぞってその球座標又は円柱座標を決定することもできる。アームの各関節に組み込まれたデジタルエンコーダが、方位信号を生成し、その方位信号が、その信号から所望の座標値を抽出するデータ処理装置に送られる。この第1のタイプの座標測定装置の例は、本明細書の一部を構成するものとしてここに援用される本出願人の特許文献1に開示されている。
第2のタイプの座標測定装置では、多軸の調節可能な支持体上に取り付けられたプローブが、コンピュータ制御されたモータによって自動的に工作物と接触され、互いに直角に向けられた装置の種々の構造要素の動きが指示される。プローブに組み込まれた光学又は触覚センサが、工作物との接触が確立されたときにピラー又はアームの動きを止める。この第2のタイプの座標測定装置の例は、本明細書の一部を構成するものとしてここに援用される特許文献2に開示されている。
第1のタイプの座標測定装置内に存在する複数の構成要素(特に、可動部)のために、高い精度はなかなか達成されない。また、このタイプの装置は、温度変化に敏感である。第2のタイプの座標測定装置は、より堅牢になる傾向があり、限られた数の座標変換部品を有し、従ってより高い精度を提供することができる。しかしながら、これらの装置は、よりかさばって重く複雑である。
本発明は、性能が改善された新しい材料を利用することによって軽量且つ高精度な座標測定装置を創出する努力から生まれた。
米国特許第5,829,148号 米国特許第5,134,782号
本発明は、2本の直交軸に沿った幾つかの支持構成要素の並進と台構成要素の回転とによって測定プローブを誘導する。構成要素は、データ処理装置の制御下で電動機によって駆動されるケーブル及びプーリ機構によって操縦される。ケーブルの複雑な引き回しにより、機械のより遠くの方に位置決めされた第2部分の位置決めに影響を及ぼすことなく、第1可動部分の変位に自動的に適応する。
従って、幾つかの実施形態では、固定台と前記台上に第1の軸であるZ軸のまわりに回転可能に支持されたハウジングと、ハウジング上に取り付けられZ軸に沿って延在するピラーと、前記ピラーに沿って並進可能で且つ前記ピラーによって支持されたキャリッジと、キャリッジ上に摺動可能に係合され、第2の軸であるY軸のまわりに並進可能であり、両端に位置する第1と第2の先端を有する水平クロスアームと、ハウジング内の電気機械組立体であって、複数の駆動手段及び前記駆動手段を並進可能なキャリッジと摺動クロスアームに連結するための手段を有する電気機械組立体と、前記第1の先端に取り付けられた少なくとも1個のプローブとを有する座標測定装置が提供される。
幾つかの実施形態では、電気機械組立体は、それぞれが駆動プーリを有する複数のモータと、ピラー及びキャリッジと連結された複数の方向変更プーリと、プーリと係合して、キャリッジをピラーに沿って上下に並進させ且つアームをキャリッジに対して双方向に並進させる細長要素とを有する。
幾つかの実施形態では、組立体は、更に、ハウジングとピラーをZ軸のまわりに回転させるための電動機構を有する。
幾つかの実施形態では、プローブは、前記第1の先端に固定されたタレットと、タレット内にあり、垂直の第3の軸であるZ’軸のまわりに回転可能な本体と、本体に取り付けられた検出要素とを有する。
幾つかの実施形態では、電気機械組立体は、更に、ハウジング内の補助モータと、モータを本体に連結するためのケーブル及びプーリ機構とを有する。
幾つかの実施形態では、装置は、更に、前記Z軸に沿ったキャリッジの直線位置と、前記Y軸に沿ったアームの直線位置と、台に対するハウジングの角度位置と、本体の向きとを示すための符号化手段を有する。
幾つかの実施形態では、検出要素は、第1の端において本体に結合されたシャフトと、反対側の端において本体に取り付けられたセンサとを有する。
幾つかの実施形態では、シャフトは、前記Z’と平行で且つ前記Z’から離間された方向に突出する。
幾つかの実施形態では、装置は、更に、モータを動作させ且つプローブを工作物表面上の少なくとも1点と接触した状態に位置決めする手段を備えた制御ユニットを有する。
幾つかの実施形態では、センサは撮像装置を有し、制御ユニットは、モータを動作させ且つ前記撮像装置を前記表面上の点の近くに位置決めするための手段を更に有する。
幾つかの実施形態では、装置は、更に、アームの第2の先端に固定された第2のプローブを有する。
幾つかの実施形態では、装置は、更に、前記モータを動作させ且つ前記プローブを工作物表面上の少なくとも1点と接触した状態に位置決めするための手段を備えた制御ユニットを有する。
幾つかの実施形態では、制御ユニットは、更に、前記向きと前記角度位置を協調させるための手段を有する。
幾つかの実施形態では、協調させるための手段は、前記表面に対するシャフトの角度位置を調整するための手段を有する。
幾つかの実施形態では、制御するための手段は、更に、プローブを前記表面上の経路に沿って移動させるための手段を有する。
幾つかの実施形態では、制御するための手段は、更に、前記表面上の一連の離散した点上にプローブを断続的に位置決めするための手段を有する。
幾つかの実施形態では、断続的に位置決めするための手段は、前記本体を180度未満の弧で交互に双方向に回転させるための手段を有する。
幾つかの実施形態では、細長要素は、合成プラスチック材料で作成されたケーブルを有する。
幾つかの実施形態では、符号化手段は、線形及び円形インデクサと光検出器を有し、また、第2の制御手段は、前記符号化手段に応答するサーボシステムを有する。
幾つかの実施形態では、前記可撓性の細長要素の内の第1のものは、両端がキャリッジに固定され、ピラーの上側領域内の第1の方向変更プーリと、ピラーの下側領域内の第2の方向変更プーリと、前記モータ内の第1のものによって駆動されるプーリとに係合するケーブルである。
幾つかの実施形態では、前記可撓性の細長要素の内の第2のものは、両端がそれぞれ前記第1と第2の先端に固定されたケーブルであり、ケーブルは、キャリッジの上側及び下側に位置するピラーの部分に沿って上方及び下方に延在し、前記モータの内の第2のものによって駆動されるプーリと係合する。
幾つかの実施形態では、各回転体を動作させるケーブル及びプーリ機構は、前記キャリッジの上側及び下側に位置するピラーの部分に沿って上方及び下方に延在する閉ループ・ケーブルを有する。
幾つかの実施形態では、固定台と、前記台上に第1の軸のまわりに回転可能に支持されたハウジングと、前記ハウジング上に取り付けられ且つ前記第1の軸に沿って延在するピラーと、前記ピラーに沿って並進可能であり且つ前記ピラーによって支持されたキャリッジと、前記キャリッジ上に摺動可能に係合され、第2の軸のまわりに並進可能で、両端に位置する第1と第2の先端を有するクロスアームと、前記ハウジング内の電気機械組立体であって、複数の駆動機構及び前記駆動機構を前記並進可能なキャリッジと摺動クロスアームに連結する連結機構を有する電気機械組立体と、前記第1の先端に取り付けられた少なくとも1個のプローブとを有する座標測定装置が提供される。
本発明による座標測定装置の主要機械要素の概略斜視図である。 装置全体の概略図である。 撮像プローブの概略図である。
次に図面を参照すると、図1に、第1の軸Zのまわりにハウジング12が回転可能に取り付けられた固定台11を有する座標測定装置10が示される。ハウジングの頂部に固定された中空管状ピラー13が、ハウジングと同軸に垂直方向に延在する。キャリッジ14が、ピラーによって支持され、ピラーの長さに沿って垂直方向に並進することができる。水平な中空管状クロスアーム15が、キャリッジ内に係合され、第2の軸である水平軸Yに沿って双方向に並進することができる。クロスアームの各先端部16、17には、第3の軸である縦軸Z’、Z”のまわりに回転する回転体20、21を収容するタレット18、19が固定される。触覚プローブ22、23が、回転体20、21の下端にスナップ式に嵌め込まれたシャフト24、25を有する。ハウジング12内の電気機械組立体26が、モータ駆動機構への連結機構を構成する一連のケーブルとプーリによって、キャリッジ14、クロスアーム15及び回転体20、21に結合される。電気機械組立体26は、4個の電動機27、28、29、30を有する。その内の3個のモータ27、28、29は、選択されたモータのタイプにより、直接又は減速機34、35、36を介してプーリ31、32、33を駆動する。
第1のモータ27は、キャリッジ14の上下運動を制御する。ケーブル37は、ニュージャージー州モリスタウンのHoneywell International Inc.,から入手可能なSPECTRAブランドの高分子量ポリエチレン・ファイバ等の合成プラスチック材料で作成されており、その第1の端がキャリッジの部分38に接続されている。ケーブルは、ピラー13内をその上部まで垂直方向に延在し、そこで、ケーブルの方向をピラーの下部の方に変更するプーリ39の上を通り、ピラーの下部で、ケーブルの方向が、別のプーリ40によって水平方向に変更され、次にケーブルはモータ・プーリ31と係合する。別の方向変更プーリ41から、ケーブルは、キャリッジの方に上昇し、そこでその反対端が別の部分42に固定される。第1のモータ27が作動されると、その回転方向に応じて、キャリッジ14が、ピラー13の長さ方向に沿って上又は下に並進されることが分かるであろう。
第2のモータ28は、第2のケーブル43によって、キャリッジに対するアーム15の双方向の並進を制御する。ケーブル43は、その第1の端がアームの第1の先端16に取り付けられ、次に方向変更プーリ44と係合し、ピラー内をその上部まで上昇し、そこで別の方向変更プーリ45と係合し、その後でハウジング12内に下降する。そこで、ケーブルは、第3の方向変更プーリ46と係合した後で、第2のモータ28によって駆動されるプーリ32と係合する。次に、ケーブル43は、プーリ47によってキャリッジ14の方に導かれ、キャリッジ内で、第6のプーリ48がケーブルをアームの他端17の方に導き、そこでケーブルの反対側の端が取り付けられている。ケーブル43が、キャリッジ14の上側と下側に位置するピラーの部分に沿って上方及び下方に延在するようにすることにより、ケーブルが、ぴんと張ったままになり、ピラー13に沿ってキャリッジが動く間にアームの並進位置を固定したままにできることに注意されたい。
第3のモータ29は、第3のケーブル50によって回転体20、21の向きを制御する。ケーブル50は、連続した閉ループを構成し、モータ29と連結されたプーリ33と係合され、方向変更プーリ51、52、53、54及び55によって、回転体20、21にそれぞれ連結されたプーリ56、57の方に導かれる。アーム15の制御と関連して使用されるのと類似の方式により、一連のプーリを介してケーブル50をピラー13内を上下に動かすことによって、ケーブル50がぴんと張ったままになり、ピラー13に沿ってキャリッジ14が動いている間に回転体20及び21の回転位置が固定されたままになることに注意されたい。
第4のモータ30は、必要に応じて、減速機62を介して歯車61を駆動する。歯車61は、台11内のトラック63と噛み合って、ハウジング12とピラーを縦軸Zのまわりに回転させる。プーリ44、48、53及び54の軸が、キャリッジ14に固定されていることに注意されたい。ハウジング12又はピラー13に固定された軸にプーリ40、41、46、47、51及び52を取り付けることができる。
プローブ・シャフト24の軸Z2は、回転体20とプーリ55の軸Z’と平行で且つ軸Z’から僅かに離間されていることが好ましい。第3のモータ29の回転運動を180度未満の弧で振動させることによって、プローブ22の先端64に振動運動を与えることができ、これにより、プローブが工作物の表面上の経路に沿って駆動されるときに前記表面上の複数の離散した点を測定できる。
キャリッジ、アーム及び回転体の駆動運動が、キャリッジ、アーム又は回転体自体に駆動モータを設けることなく行われ、従って、これらの構造体内にモータと電源線の重さと熱源がなくなることに注意されたい。このようにして、幾つかの実施形態では、装置を、最大5500立方センチメートルの測定体積と5ミクロンのファーレンジ精度(far range accuracy)と2ミクロンのニアレンジ精度(near range accuracy)を提供しながら、12キログラム未満の重量にすることができ、バッテリ電源で電力供給することができ、従って持ち運び可能にできる。
次に図2を参照すると、ピラー13の長さに沿って配置された第1の直線目盛65が、第1の光検出器66によって読み取られる。クロスアーム15に沿った第2の目盛67が、第2の光検出器68によって読み取られる。両方の検出器は、キャリッジ14に取り付けられている。台11と連結された光学デスク69が、ハウジング12と連結された第3の光センサ70によって読み取られる。回転体20、21と連結された類似の光学デスク71、72が、タレット18、19と連結された光センサ73、74によって読み取られる。種々のセンサ及び検出器からの及びモータへの信号導体75は、制御ユニット76に接続され、制御ユニット76は、種々の検出器とセンサから受け取った信号と自動データ処理装置77によって生成された命令とに応じてモータに通電しその動きを指示するのに必要な全ての電子及びサーボ・システム組立体を有する。処理装置は、手動入力装置78によって提供される信号に応答するか、或いはコンピュータ・プログラム79によって提供される測定ルーチンを定義する命令に応答する。従って、プローブのどちらかに指示して、装置の到達距離内の任意の面と接触させ、またプローブのいずれかが接触する工作物上の任意の点の正確な座標を提供することができる。
図3に示されたプローブの代替実施形態では、前の実施形態の触覚センサが、カメラや他の撮像装置によって置き換えられている。カメラによって生成される画像信号は、画像認識コンピュータ・プログラムで動作する処理装置に送られる。
モータと、キャリッジ、クロスアーム及び回転体間との間の機械式連結機構は、噛み合わせ歯車、チェーン及び他の明らかに同等な要素によって実現できることを理解されたい。
本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明の精神及び添付の特許請求の範囲から逸脱することなく変更を行うことができまた他の実施形態を考え出すことができる。

Claims (23)

  1. 座標測定装置であって、
    固定台と、
    前記台上に第1の軸のまわりに回転可能に支持されたハウジングと、
    前記ハウジング上に取り付けられ、前記第1の軸に沿って延在するピラーと、
    前記ピラーに沿って並進可能で且つ前記ピラーによって支持されたキャリッジと、
    前記キャリッジに摺動可能に係合され、第2の軸に沿って並進可能で、両端に位置する第1と第2の先端を有するクロスアームと、
    前記ハウジング内の電気機械組立体であって、複数の駆動手段及び前記駆動手段を前記並進可能なキャリッジと摺動クロスアームに連結するための手段を有する電気機械組立体と、
    前記第1の先端に取り付けられた少なくとも1個のプローブとを有する座標測定装置。
  2. 前記組立体が、
    それぞれが駆動プーリを有する複数のモータと、
    前記ピラー及びキャリッジと連結された複数の方向変更プーリと、
    前記プーリと係合して、前記キャリッジを前記ピラーに沿って上下に並進させ、前記アームを前記キャリッジに対して双方向に並進させる可撓性の細長要素とを有する、請求項1に記載の装置。
  3. 前記組立体が、更に、前記ハウジングとピラーを前記第1の軸のまわりに回転させるための電動機構を有する、請求項2に記載の装置。
  4. 前記少なくとも1個のプローブが、
    前記前記第1の先端に固定されたタレットと、
    前記タレット内にあり、第3の軸のまわりに回転可能な本体と、
    前記本体に取り付けられた検出要素とを有する、請求項2に記載の装置。
  5. 前記組立体が、更に、
    前記ハウジング内の補助モータと、
    前記モータを前記本体に連結するためのケーブル及びプーリ機構とを有する、請求項4に記載の装置。
  6. 前記第1の軸に沿った前記キャリッジの直線位置、前記第2の軸に沿った前記アームの直線位置、前記台に対する前記ハウジングの前記角度位置、及び前記本体の前記向きを示すための符号化手段を更に有する、請求項5に記載の装置。
  7. 前記検出要素が、第1の端で前記本体に結合されたシャフトと、反対端に取り付けられたセンサとを有する、請求項4に記載の装置。
  8. 前記シャフトが、前記第3の軸と平行で且つ前記第3の軸から離間された方向に突出する、請求項7に記載の装置。
  9. 前記モータを動作させ且つ前記プローブを工作物表面上の少なくとも1点と接触した状態に位置決めするための手段を備えた制御ユニットを更に有する、請求項に記載の装置。
  10. 前記センサが撮像装置を有し、
    前記制御ユニットが、更に、前記モータを動作させ且つ前記撮像装置を前記表面上の点の近くに位置決めするための手段を有する、請求項に記載の装置。
  11. 前記アームの第2の先端に固定された第2のプローブを更に有する、請求項1に記載の装置。
  12. 前記モータを動作させ且つ前記プローブを工作物表面上の少なくとも1点と接触した状態に位置決めするための手段を備えた制御ユニットを更に有する、請求項8に記載の装置。
  13. 前記制御ユニットが、前記向きと前記角度位置を協調させるための手段を更に有する、請求項12に記載の装置。
  14. 前記協調させるための手段が、前記表面に対する前記シャフトの角度位置を調整するための手段を有する、請求項13に記載の装置。
  15. 前記制御するための手段が、更に、前記プローブを前記表面上の経路に沿って移動させるための手段を有する、請求項12に記載の装置。
  16. 前記制御するための手段が、前記プローブを前記表面上の一連の離散した点上に断続的に位置決めするための手段を更に有する、請求項12に記載の装置。
  17. 前記断続的に位置決めするための手段が、前記本体を180度未満の弧で交互に双方向に回転させるための手段を有する、請求項16に記載の装置。
  18. 前記細長要素が、合成プラスチック材料で作成されたケーブルを有する、請求項2に記載の装置。
  19. 前記符号化手段が、
    線形及び円形インデクサ並びに光検出器と、
    前記符号化手段に応答するサーボ・システムを有する第2の制御手段とを有する、請求項6に記載の装置。
  20. 前記可撓性の細長要素の内の第1のものが、両端が前記キャリッジに固定され、且つ前記ピラーの上側領域内の第1の方向変更プーリと、前記ピラーの下側領域内の第2の方向変更プーリと、前記モータの内の第1のものによって駆動されるプーリとに係合するケーブルである、請求項2に記載の装置。
  21. 前記可撓性の細長要素の内の第2のものが、両端が前記第1と第2の先端にそれぞれ固定されたケーブルであり、このケーブルは、前記キャリッジの上側と下側に位置する前記ピラーの部分に沿って上方及び下方に延在し、前記モータの内の第2のものによって駆動されるプーリと係合している、請求項2に記載の装置。
  22. 前記ケーブルとプーリ機構が、前記キャリッジの上側と下側に位置する前記ピラーの部分に沿って上方及び下方に延在する閉ループ・ケーブルを有する、請求項5に記載の装置。
  23. 座標測定装置であって、
    固定台と、
    前記台上に第1の軸のまわりに回転可能に支持されたハウジングと、
    前記ハウジング上に取り付けられ且つ前記第1の軸に沿って延在するピラーと、
    前記ピラーに沿って並進可能で且つ前記ピラーによって支持されたキャリッジと、
    前記キャリッジ摺動可能に係合され、第2の軸に沿って並進し、且つ両端に位置する第1と第2の先端を有するクロスアームと、
    前記ハウジング内の電気機械組立体であって、複数の駆動機構及び前記駆動機構を前記並進可能なキャリッジ及び摺動クロスアームに連結する連結機構を有する電気機械組立体と、
    前記第1の先端に取り付けられた少なくとも1個のプローブとを有する座標測定装置。
JP2010545936A 2008-02-07 2009-01-30 電動式座標測定装置 Active JP5580215B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/027,935 US7587834B2 (en) 2008-02-07 2008-02-07 Motorized coordinate measuring device
US12/027,935 2008-02-07
PCT/US2009/032549 WO2009099917A1 (en) 2008-02-07 2009-01-30 Motorized coordinate measuring device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011511300A JP2011511300A (ja) 2011-04-07
JP5580215B2 true JP5580215B2 (ja) 2014-08-27

Family

ID=40937655

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010545936A Active JP5580215B2 (ja) 2008-02-07 2009-01-30 電動式座標測定装置

Country Status (6)

Country Link
US (2) US7587834B2 (ja)
EP (1) EP2245425B1 (ja)
JP (1) JP5580215B2 (ja)
CN (1) CN101939619B (ja)
CA (1) CA2751743C (ja)
WO (1) WO2009099917A1 (ja)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007025304B4 (de) * 2007-05-30 2009-02-26 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Verfahren zur Verbesserung der Reproduzierbarkeit einer Koordinaten-Messmaschine und deren Genauigkeit
US8250772B2 (en) * 2008-02-07 2012-08-28 Eaton Homer L Spatial measurement and robotic arm device
RU2579781C2 (ru) * 2014-08-26 2016-04-10 Публичное акционерное общество завод "Красное знамя" Устройство для автоматического регулирования положения объекта по двум взаимно перпендикулярным направлениям
US10598476B2 (en) 2015-05-12 2020-03-24 Hexagon Metrology, Inc. Apparatus and method of controlling CMM using environmental information or CMM information
US10203192B2 (en) 2015-05-29 2019-02-12 Hexagon Metrology, Inc. CMM with object location logic
US9970835B2 (en) * 2015-11-02 2018-05-15 Humanetics Innovative Solutions, Inc. String pot system for crash test dummy
DE102016209557B4 (de) * 2016-06-01 2022-03-31 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zur Identifizierung eines Werkstücks, Ermitteln eines Messablaufs und Vermessung eines Werkstücks mit einem Messgerät
DE102016113959B4 (de) * 2016-07-28 2019-05-23 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät
US10352679B2 (en) 2017-03-31 2019-07-16 Mitutoyo Corporation Compact coordinate measurement machine configuration with large working volume relative to size
CN109085490B (zh) * 2018-07-27 2021-06-29 安徽泰莱姆微电子科技股份有限公司 一种pmb测试系统
CH715610A1 (fr) * 2018-12-04 2020-06-15 Watch Out S A Système et procédés de mesure du profil d'une pièce.
CN112325736A (zh) * 2020-11-09 2021-02-05 苏州通标检测科技有限公司 一种便携式三坐标测量仪
CN118670327A (zh) * 2024-08-22 2024-09-20 山东山森数控技术有限公司 一种自定位三坐标检测工装

Family Cites Families (53)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2753634A (en) 1951-03-28 1956-07-10 Clarence H Tamplin Precision measuring machines
US2801475A (en) 1955-09-15 1957-08-06 Taft Peirce Mfg Co Gage for measuring circumambient surfaces
US2919002A (en) 1957-04-19 1959-12-29 Ibm Selection mechanism for a single printing element typewriter
US3002279A (en) 1957-07-02 1961-10-03 Miller Clarence Henry Calibrating mechanism
US3206857A (en) * 1961-12-26 1965-09-21 Gen Electric Inspection apparatus
US3561125A (en) 1968-02-23 1971-02-09 Linear Motion Technology Inc Three-dimensional position indicating sensor
US3906639A (en) 1971-06-30 1975-09-23 George Wilamowski Geometrical measurement devices
US3942253A (en) 1972-03-14 1976-03-09 Iosif Davydovich Gebel Device for measuring deviation of the normal section profile of a part from the round shape
US3944798A (en) 1974-04-18 1976-03-16 Eaton-Leonard Corporation Method and apparatus for measuring direction
DE2720065A1 (de) 1977-05-05 1978-11-09 Bosch Gmbh Robert Anordnung von zuendspulen
DE3150977A1 (de) 1981-12-23 1983-06-30 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Verfahren und einrichtung zur ermittlung und korrektur von fuehrungsfehlern
JPS60170709A (ja) 1984-02-16 1985-09-04 Toshiba Corp 形状測定装置
US4679326A (en) 1984-11-21 1987-07-14 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. Height gauge
US4727653A (en) 1985-01-22 1988-03-01 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. Coordinate measuring instrument
JPH0630803B2 (ja) 1985-06-05 1994-04-27 石川島播磨重工業株式会社 溶接線倣い装置
US4679331A (en) 1985-08-26 1987-07-14 Ppg Industries, Inc. Apparatus and method for determining contour characteristics of a contoured article
JPS62251602A (ja) * 1986-04-25 1987-11-02 Amada Co Ltd 3次元測定装置
GB8614539D0 (en) 1986-06-14 1986-07-23 Renishaw Plc Coordinate positioning apparatus
US4729174A (en) 1986-07-15 1988-03-08 Pgl Corporation Method of determining circularity and mean radius of closed curved surface
DE3637410A1 (de) * 1986-11-03 1988-05-11 Zeiss Carl Fa Verfahren zur messung von drehtischabweichungen
CA1299362C (en) 1986-12-10 1992-04-28 Gregory James Mcdonald Coordinate measuring system
IL81364A (en) * 1987-01-23 1990-08-31 Yaacov Sadeh Electro optically corrected coordinate measuring machine
DE3717459A1 (de) 1987-05-23 1988-12-01 Zeiss Carl Fa Handgefuehrtes koordinatenmessgeraet
DE3717666A1 (de) 1987-05-26 1988-12-08 Hoefler Willy Verfahren und vorrichtung zur pruefung des flankenprofils der zahnflanken von zahnraedern
DE3729813A1 (de) 1987-09-05 1989-03-16 Mauser Werke Oberndorf Koordinaten-messmaschine
GB2210350A (en) * 1987-09-25 1989-06-07 Kemble Instr Company Limited Machine drive system
DE3823042A1 (de) 1988-07-07 1990-01-11 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet
US4976043A (en) 1989-02-09 1990-12-11 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Precision contour gage
JP2844572B2 (ja) * 1989-07-24 1999-01-06 キヤノン株式会社 直交2軸移動装置
US5063334A (en) 1989-07-24 1991-11-05 Canon Kabushiki Kaisha Orthogonal two-axis moving apparatus
CH679334A5 (ja) 1989-09-11 1992-01-31 Weber Hans R
JPH0789056B2 (ja) * 1990-01-17 1995-09-27 株式会社ミツトヨ 三次元測定機
DE4005292A1 (de) 1990-02-20 1991-08-22 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet
US5198990A (en) 1990-04-23 1993-03-30 Fanamation, Inc. Coordinate measurement and inspection methods and apparatus
CA2082708C (en) 1991-12-02 2004-01-13 James Edward Randolph Jr. Tool point compensation for hardware displacement and inclination
SE9600078L (sv) * 1996-01-09 1997-05-12 Johansson Ab C E Anordning för dimensionsbestämning av tredimensionella mätobjekt
US5829148A (en) 1996-04-23 1998-11-03 Eaton; Homer L. Spatial measuring device
US5758429A (en) 1996-05-14 1998-06-02 Farzan; Farshad Translation and rotation coupled positioning method and apparatus
US6236876B1 (en) 1996-08-30 2001-05-22 The Whitaker Corporation Navigable probe and motor control apparatus
JP3542716B2 (ja) * 1997-10-23 2004-07-14 三星電子株式会社 Xyステージ
TW396483B (en) 1997-10-23 2000-07-01 Samsung Electronics Co Ltd X-Y stage
JP3126114B2 (ja) * 1997-11-12 2001-01-22 株式会社ミツトヨ 非接触表面粗さ測定装置
JPH11325869A (ja) * 1998-05-11 1999-11-26 Mitsutoyo Corp ワーク形状測定方法、装置及び座標測定機
JP3633788B2 (ja) * 1998-07-13 2005-03-30 株式会社ミツトヨ 測定装置
US20030037451A1 (en) * 2001-08-27 2003-02-27 Sarauer Alan J. Vehicle frame measuring device
KR100395440B1 (en) * 2002-03-23 2003-08-21 Fineacetechnology Co Ltd Polishing machine tool
GB0215152D0 (en) * 2002-07-01 2002-08-07 Renishaw Plc Probe or stylus orientation
ATE378571T1 (de) * 2004-04-23 2007-11-15 Klingelnberg Gmbh Vorrichtung mit abnehmbarem messtaster und messgerät mit einer solchen vorrichtung
JP4582446B2 (ja) * 2004-11-18 2010-11-17 株式会社東京精密 測定装置
DE102005058504B3 (de) * 2005-12-02 2007-05-16 Zeiss Ind Messtechnik Gmbh Vorrichtung zum Bestimmen einer Messgröße an einem Messobjekt
JP5336279B2 (ja) * 2009-07-08 2013-11-06 株式会社ミツトヨ 表面性状測定装置および真円度測定装置
DE102009060784A1 (de) * 2009-12-22 2011-06-30 Carl Zeiss 3D Automation GmbH, 73447 Taststift und Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät
JP5410317B2 (ja) * 2010-02-05 2014-02-05 株式会社ミツトヨ 三次元測定機

Also Published As

Publication number Publication date
US20090199421A1 (en) 2009-08-13
EP2245425A1 (en) 2010-11-03
US20110047808A1 (en) 2011-03-03
EP2245425B1 (en) 2016-06-22
US8191274B2 (en) 2012-06-05
CN101939619A (zh) 2011-01-05
CA2751743C (en) 2016-07-19
CA2751743A1 (en) 2009-08-13
WO2009099917A1 (en) 2009-08-13
US7587834B2 (en) 2009-09-15
JP2011511300A (ja) 2011-04-07
CN101939619B (zh) 2014-04-09
EP2245425A4 (en) 2013-06-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5580215B2 (ja) 電動式座標測定装置
US8250772B2 (en) Spatial measurement and robotic arm device
US6808344B2 (en) Multi-axis cartesian guided parallel kinematic machine
US5667354A (en) Two-dimensional manipulating robot
JP4130485B2 (ja) 釣り合い形座標位置決め機械
EP3203179A1 (en) Measuring machine based on a delta robot assembly
CN206550653U (zh) 一种二维精密运动平台
CN106403859B (zh) 具有带传动装置引导探头的scara结构的坐标测量机
CN1402828A (zh) 一种包括一个可动测量探针的测量器件
JP2006153883A (ja) プローブ用の測定ヘッド
JP2000310597A (ja) ビデオ検査装置
CN107526372B (zh) 五轴控制装置及曲面或弧面玻璃面板的检测设备
CN202793323U (zh) 一种微型非接触五坐标测量机
US4176455A (en) Plotting apparatus
CN104669164B (zh) 一种新型远程控制式传感器夹持装置
JP2006153884A (ja) プローブ用の測定ヘッド
CN216558983U (zh) 多自由度移动旋转的惯性测量单元测试平台
CN110174758B (zh) 一种测量平台用显微镜的定位方法
JP5166834B2 (ja) X線検査装置
CN113664614A (zh) 一种基于六自由度、可实现在线高精度测量的机器人
EP0672885A2 (en) A coordinate measuring machine
CN207300191U (zh) 用于非接触式机械测量装置的高精度多向测量组件
JP2021009115A (ja) 内径測定装置
CN209784647U (zh) 测量平台用显微镜
RU189959U1 (ru) Манипулятор глобусный

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120118

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130307

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130312

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20130607

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20130614

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20130711

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20130723

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20130812

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20130819

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130911

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140610

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140710

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5580215

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250